TW201532909A - 隔離式搬運盒之密合結構 - Google Patents

Abstract

一種隔離式搬運盒之密合結構，該密合結構包含一底座、一環形墊片及一上蓋，該環形墊片具有一下凸環體及一下承接部，該上蓋包含一頂壁、一側壁及一密合環，該密合環具有一上承接部及一上凸環體。利用該上承接部抵靠該下凸環體以及該上凸環體抵靠於該下承接部，於進氣作業時，能夠減少該隔離式搬運盒的內部氣體外洩的機會。

Description

隔離式搬運盒之密合結構

本發明係關於一種隔離式搬運盒之密合結構，特別關於一種能提高氣密性之隔離式搬運盒之密合結構。

現今半導體製程中常使用自動化物料搬運系統(Automated Material Handling System，AMHS)與隔離進出料標準機械介面(Standard Mechanical Interface，SMIF)設備，其藉由隔離式搬運盒進行晶圓與光罩於非使用期間的維護與運送，不但能取代傳統人工搬運、降低無塵室設備之建置與維護成本，還能提升晶圓與光罩的潔淨度，達到超高生產良率，故近年來，隔離式搬運盒已成為半導體廠無塵室中不可或缺的搬運工具。

如上所述，為避免破壞晶圓或光罩，一般係採用晶圓盒或光罩盒來保護晶圓或光罩，且於盒內充填惰性氣體以防止晶圓或光罩產生氧化而毀損。請參閱第1圖所示，其揭示一種習用之光罩盒1，該光罩盒1包含一底座13及一上蓋14，該底座13之底部具有數個可連接充氣管的填充裝置12，利用該等填充裝置12使充氣管可在欲進行進氣作業時對光罩盒1充填氣體，以提升晶圓與光罩的潔淨度。

然而，由於該底座13與上蓋14係透過彼此之間的底座溝槽及上蓋側壁相卡合，該底座溝槽及上蓋側壁的接合處仍存在有間隙，導致於 進氣作業時，氣體容易從間隙洩出而造成氣密性不佳，進一步影響該光罩盒1內部的氣壓，而無法在進氣作業的過程中，迅速充氣達到預定的氣壓值。

故，有必要提供一種隔離式搬運盒，以解決習用技術所存在的問題。

本發明之主要目的在於提供一種隔離式搬運盒，利用下凸環體抵靠上承接部及上凸環體抵靠下承接部，可提高隔離式搬運盒的氣密性。

為達上述之目的，本發明提供一種隔離式搬運盒之密合結構，包含一底座、一環形墊片及一上蓋，該環形墊片放置在該底座上，且該環形墊片之一周緣具有一下凸環體及一下承接部，該上蓋抵靠在該環形墊片上，且該上蓋包含一頂壁、一側壁及一密合環，該側壁自該頂壁之一周緣向下延伸，該密合環自該側壁之一底周緣水平向外延伸，其中該密合環具有一上承接部及一上凸環體，該上承接部用以供該下凸環體抵靠，該上凸環體抵靠於該下承接部。

在本發明之一實施例中，該環形墊片之周緣依序形成該下凸環體及下承接部，該下承接部自該下凸環體水平向外延伸；且該密合環對應依序形成該上承接部及上凸環體，該上凸環體自該上承接部水平向外延伸。

在本發明之一實施例中，該環形墊片之周緣依序形成該下承接部及下凸環體，該下凸環體自該下承接部水平向外延伸；且該密合環對應依序形成該上凸環體及上承接部，該上承接部自該上凸環體水平向外延伸。

在本發明之一實施例中，該下凸環體具有一倒U字形之縱剖面。

在本發明之一實施例中，該上凸環體具有一U字形之縱剖面。

在本發明之一實施例中，該上蓋還包含至少一凹陷部，該凹陷部形成在該頂壁的至少一角隅。

在本發明之一實施例中，該上蓋還包含一矩形凹槽，該矩形凹槽形成在該頂壁中央。

在本發明之一實施例中，該底座具有一頂面及一凹陷環部，該凹陷環部形成在該頂面的一外周側，且用以供該環形墊片放置。

在本發明之一實施例中，該環形墊片更具有一階梯部，該下凸環自該階梯部的一端延伸而與該底座相間隔。

在本發明之一實施例中，該環形墊片更具有一伸入部，自該階梯部的另一端延伸且伸入該底座中。

如上所述，利用該上承接部抵靠該下凸環體以及該上凸環體抵靠於該下承接部，於進氣作業進行時，能夠減少該隔離式搬運盒的內部氣體外洩的機會，進而提高其氣密性，同時使該隔離式搬運盒在進氣作業的過程中，能夠迅速充氣達到預定的氣壓值。

1‧‧‧光罩盒

12‧‧‧填充裝置

13‧‧‧底座

14‧‧‧上蓋

100‧‧‧隔離式搬運盒

2‧‧‧底座

20‧‧‧通氣孔

21‧‧‧頂面

22‧‧‧凹陷環部

3‧‧‧限位件

4‧‧‧濾膜組件

5‧‧‧環形墊片

51‧‧‧下凸環體

52‧‧‧下承接部

53‧‧‧階梯部

54‧‧‧伸入部

6‧‧‧上蓋

61‧‧‧頂壁

62‧‧‧側壁

63‧‧‧密合環

631‧‧‧上承接部

632‧‧‧上凸環體

64‧‧‧凹陷部

65‧‧‧矩形凹槽

第1圖：習用之光罩盒的立體分解圖；第2圖：本發明一實施例之隔離式搬運盒的立體分解圖； 第3圖：本發明一實施例之隔離式搬運盒的側視分解圖；第4圖：本發明一實施例之隔離式搬運盒的側視組合圖；第5圖：本發明一實施例之隔離式搬運盒的俯視圖；第6圖：本發明另一實施例之隔離式搬運盒的局部側視圖；及第7圖：本發明又一實施例之隔離式搬運盒的局部側視圖。

為了讓本發明之上述及其他目的、特徵、優點能更明顯易懂，下文將特舉本發明較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。再者，本發明所提到的方向用語，例如上、下、頂、底、前、後、左、右、內、外、側面、周圍、中央、水平、橫向、垂直、縱向、軸向、徑向、最上層或最下層等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發明，而非用以限制本發明。

請參照第2、3圖所示，本發明一實施例之隔離式搬運盒100，包含一底座2、數個限位件3、數個濾膜組件4、一環形墊片5及一上蓋6，該隔離式搬運盒100例如為光罩盒或晶圓盒，其係用以存放光罩或半導體元件(如晶圓)之存放裝置之結構，本發明將於下文詳細說明各元件的細部構造、組裝關係及其運作原理。

續參照第2、3圖所示，該底座2具有一頂面21及一凹陷環部22，該凹陷環部22形成在該頂面21的一外周側，而且用以供該環形墊片5放置。

續參照第2、3圖所示，該等限位件3設置在該底座2上，在本實施例中，該等限位件3設置有三個，其中兩個限位件3間隔相對，另一個 限位件3配置在該兩限位件3的相鄰側邊，因此，當放入一片光罩於該底座2時，可藉由該等該等限位件3固定支撐該半導體元件或光罩。

續參照第2、3圖所示，該等濾膜組件4設置在該底座2的數個 通氣孔20上，其中該等濾膜組件4的濾膜可利用混合纖維製成，因此具有許多適當孔徑之微孔隙。當空氣流通過該濾膜組件4時，至少可由濾膜之微孔隙過濾空氣中之微塵與雜質。

請參照第3、4圖所示，該環形墊片5呈中空環形，並對應放 置在該底座2的凹陷環部22上，且該環形墊片5之一周緣具有一下凸環體51及一下承接部52。在本實施例中，該環形墊片5為一塑膠環形墊片，且該環形墊片5之周緣由內而外依序形成該下凸環體51及下承接部52，且該下承接部52自該下凸環體51水平向外延伸，其中該下凸環體51具有一倒U字形之縱剖面，而且，該下凸環體51之高度大於該底座2的頂面21的高度，以利該上蓋6抵靠該下凸環體51。

請參照第3、4、5圖所示，該上蓋6抵靠在該環形墊片5上， 而且該上蓋6包含一頂壁61、一側壁62及一密合環63，其中該側壁62自該頂壁61之一周緣向下延伸，該密合環63自該側壁62之一底周緣水平向外延伸，該密合環63具有一上承接部631及一上凸環體632，在本實施例中，該密合環62由內而外依序形成該上承接部631及上凸環體632，以對應該下凸環體51及下承接部52，使該上承接部631能夠供該下凸環體51抵靠，該上凸環體632抵靠於該下承接部52，而且該上凸環體632具有一U字形之縱剖面。 另外，如第5圖所示，該上蓋6還包含二凹陷部64(或僅設置一個)及一矩形凹槽65，該等凹陷部64分別形成在該頂壁61的二個角隅，該矩形凹槽65形成 在該頂壁61中央，該等凹陷部64及矩形凹槽65係用以減少該隔離式搬運盒100的內部容氣體積，進而提高進氣速度及效率。

請參照第6圖所示，除了本實施例之外，該環形墊片5及密合 環63也可設計為，該環形墊片5之周緣由內而外依序形成該下承接部52及下凸環體51，該下凸環體51自該下承接部52水平向外延伸，而且該密合環62由內而外對應依序形成該上凸環體632及上承接部631，該上承接部631自該上凸環體632水平向外延伸，使該上承接部631能夠供該下凸環體51抵靠，該上凸環體632抵靠於該下承接部52。

請參照第7圖所示，除了本實施例之外，該環形墊片5可設計 為更具有一階梯部53及一伸入部54，該下凸環51自該階梯部53的一端延伸而與該底座2相間隔，用以使該密合環63蓋合與該下凸環51時，該下凸環51能夠有向下緩衝的空間，而使環形墊片5及密合環63更為緊密，該伸入部54係自該階梯部53的另一端延伸且伸入該底座2中，用以將該環形墊片5加強固定在該底座2而減少偏移的機會。

請參照第4圖所示，依據上述的結構，該隔離式搬運盒100 的上蓋6組合在該底座2上時，該環形墊片5被夾制在其中，而且該上承接部631係抵靠該下凸環體51，且該上凸環體632抵靠於該下承接部52，使該隔離式搬運盒100具有由上承接部631與下凸環體51抵靠形成的一接觸密合內圈，以及由上凸環體632與下承接部52抵靠形成的一接觸密合外圈，當進氣作業進行時，可透過該接觸密合內圈及接觸密合外圈，減少該隔離式搬運盒100的內部氣體外洩的機會，進而提高其氣密性。

藉由上述的設計，利用該上承接部631係抵靠該下凸環體51 以及該上凸環體632抵靠於該下承接部52，於進氣作業進行時，能夠減少該隔離式搬運盒100的內部氣體外洩的機會，進而提高該隔離式搬運盒100的氣密性，同時使該隔離式搬運盒100在進氣作業的過程中，能夠迅速充氣達到預定的氣壓值。另外，透過該等凹陷部64分別形成在該頂壁61的二個角隅，能夠減少該隔離式搬運盒100的內部容氣體積，進而提高進氣速度及效率。

雖然本發明已以較佳實施例揭露，然其並非用以限制本發明，任何熟習此項技藝之人士，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種更動與修飾，因此本創作之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100‧‧‧隔離式搬運盒

2‧‧‧底座

21‧‧‧頂面

22‧‧‧凹陷環部

3‧‧‧限位件

4‧‧‧濾膜組件

5‧‧‧環形墊片

51‧‧‧下凸環體

52‧‧‧下承接部

6‧‧‧上蓋

61‧‧‧頂壁

62‧‧‧側壁

63‧‧‧密合環

631‧‧‧上承接部

632‧‧‧上凸環體

Claims (10)

1. 一種隔離式搬運盒之密合結構，包含：一底座；一環形墊片，放置在該底座上，該環形墊片之一周緣具有一下凸環體及一下承接部；及一上蓋，抵靠在該環形墊片上，該上蓋包含：一頂壁；一側壁，自該頂壁之一周緣向下延伸；及一密合環，自該側壁之一底周緣水平向外延伸，其中該密合環具有：一上承接部，用以供該下凸環體抵靠；及一上凸環體，抵靠於該下承接部。
2. 如申請專利範圍第1項所述之隔離式搬運盒之密合結構，其中該環形墊片之周緣依序形成該下凸環體及下承接部，該下承接部自該下凸環體水平向外延伸；且該密合環對應依序形成該上承接部及上凸環體，該上凸環體自該上承接部水平向外延伸。
3. 如申請專利範圍第1項所述之隔離式搬運盒之密合結構，其中該環形墊片之周緣依序形成該下承接部及下凸環體，該下凸環體自該下承接部水平向外延伸；且該密合環對應依序形成該上凸環體及上承接部，該上承接部自該上凸環體水平向外延伸。
4. 如申請專利範圍第1項所述之隔離式搬運盒之密合結構，其中該下凸環體具有一倒U字形之縱剖面。
5. 如申請專利範圍第1項所述之隔離式搬運盒之密合結構，其中該上凸環體具有一U字形之縱剖面。
6. 如申請專利範圍第1項所述之隔離式搬運盒之密合結構，其中該上蓋還包含至少一凹陷部，該凹陷部形成在該頂壁的至少一角隅。
7. 如申請專利範圍第1或6項所述之隔離式搬運盒之密合結構，其中該上蓋還包含一矩形凹槽，該矩形凹槽形成在該頂壁中央。
8. 如申請專利範圍第1項所述之隔離式搬運盒之密合結構，其中該底座具有一頂面及一凹陷環部，該凹陷環部形成在該頂面的一外周側，且用以供該環形墊片放置。
9. 如申請專利範圍第1項所述之隔離式搬運盒之密合結構，其中該環形墊片更具有一階梯部，該下凸環自該階梯部的一端延伸而與該底座相間隔。
10. 如申請專利範圍第9項所述之隔離式搬運盒之密合結構，其中該環形墊片更具有一伸入部，自該階梯部的另一端延伸且伸入該底座中。