TW201530986A - 線性馬達單元 - Google Patents

Abstract

本發明實現一種兼具低成本化及高性能化，並具優異散熱性的軸旋轉型線性馬達單元，其包含：將電樞與設置於框架的前端部的軸導支持部以間隔隔開的方式配置，且將軸導配置於軸導支持部的基端側的第一線性馬達，以及將電樞與設置於框架的前端部的軸導支持部的基端側以抵接的方式配置，並且將軸導配置於軸導支持部的前端側的第二線性馬達。第一線性馬達與第二線性馬達係在框架的寬度方向上，以各線性馬達的軸導對齊的方式交替地配置。軸導支持部係以旋轉自如的方式支持軸導，軸導係以能前後移動的方式支承軸體，軸導係經由旋轉馬達旋轉驅動。

Description

線性馬達單元

本發明係關於一種能將驅動對象進行旋轉動作以及直線動作的軸旋轉型的線性馬達單元。

由於線性馬達係經由電磁感應運作，因此與像是滾珠螺桿機構的機械運作相比，能以小型化進行高速運作。例如，在半導體製造裝置的貼片機（電子元件安裝裝置）中係使用桿式線性馬達。

桿式線性馬達係包含具有永久磁鐵的桿體以及包圍該桿體的線圈，並經由永久磁鐵的磁場與流過線圈的電流的電磁感應作用，進而給予桿體往軸向的推力以進行直線運動。

近年來為了實現旋轉動作以及直線動作，已提出各種經由對旋轉馬達的力矩產生部與推力產生部的滾珠栓槽軸(ball spline)與軸承(bearing)的連結機構進行設計而實現的技術。

與旋轉動作以及直線動作相關的技術已有揭露包含了在外緣的一部份上具有線性軸部與栓槽溝的旋轉移動軸，以及與旋轉移動軸的栓槽溝接合的栓槽導軌軸承的二自由度的致動器（參考專利文獻1）。

另外，已有揭露了將第二軸構件配置為與線性馬達的桿體平行的線性致動器（參考專利文獻2）。根據專利文獻2，為了讓桿體的直線運動連帶使第二軸構件進行直線運動，桿體的前端部與第二軸構件的前端部係利用第一連結構件進行連結。第二連結構件係為了使第二軸構件能進行直線運動，而將第二軸構件與外殼連接，以防止第二軸構件沿著桿體軸線的周圍旋轉。

〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕 〔專利文獻1〕特許3300465號公報 〔專利文獻2〕特開2010-57357號公報

〔發明所欲解決之課題〕 然而，專利文獻1與專利文獻2的技術均為連結機構複雜而無法達成線性馬達的小型、節省空間性以及輕量化。

近年來已開發出為了進行直線動作而將中心軸設為無法旋轉的結構，並另外設置與該中心軸平行的旋轉軸，使旋轉軸與中心軸連帶動作而能進行旋轉動作的小型線性馬達。然而，具有該中心軸與旋轉軸的小型線性馬達還是需要有將中心軸與旋轉軸連結的連結部，而不利於線性馬達的小型、節省空間性以及輕量化。

本發明係有鑑於上述情事而創作者，其目的在於提供一種軸旋轉型的線性馬達單元，其藉由簡單的結構使轉子能進行直線以及旋轉動作，並且能達成小型、節省空間性以及輕量化。

此外，本發明的目的在於提供一種能兼具低成本化且高性能化，並具有優異的散熱性的軸旋轉型的線性馬達單元。

〔解決課題之手段〕 為達成上述目的，本發明之線性馬達單元係由框架上電樞的配置方式不同的線性馬達交替地並列配置所構成。

設置於上述框架前端部的軸導支持部以支持能旋轉且前後移動的軸導(shaft guide)，並且以該軸導支承上述軸體。

各線型馬達的上述軸導係經由旋轉馬達進行旋轉驅動。

〔發明效果〕 根據本發明之線性馬達單元，係將框架上電樞的配置方式不同的線性馬達交替地並列配置，並使各線性馬達的軸導經由旋轉馬達旋轉驅動。此外，軸體係由能旋轉且前後移動的軸導所支承。因此，本發明之線性馬達單元係藉由簡單的結構而使轉子能進行直線以及旋轉動作，並能達成小型、節省空間性以及輕量化，兼具低成本化以及高性能化。

以下，茲參閱圖式對第一至第二實施例之線性馬達單元進行說明。

第一及第二實施例之線性馬達單元係由框架上電樞的配置方式不同的線性馬達交替地並列配置所構成，各線性馬達的軸導係經由旋轉馬達旋轉驅動。此外，軸體係由能旋轉且前後移動的軸導所支承。

因此根據第一及第二實施例，係藉由簡單的結構而使轉子能進行直線以及旋轉動作，且能達成小型、節省空間性以及輕量化，並能實現兼具低成本化以及高性能化的線性馬達單元。

〔第一實施例〕 〔線性馬達單元的構成〕 首先參照第1圖至第7圖，對第一實施例之線性馬達單元的構成進行說明。第1圖係為第一實施例之線性馬達單元的立體圖。第2圖係為第一實施例之線性馬達A1的立體圖。第3圖係為第一實施例之線性馬達B的立體圖。第4圖係為第一實施例之線性馬達A1、B的激磁部以及電樞的縱向截面圖。第5圖係為第一實施例之線性馬達A1、B的右側面圖。

如第1圖所示，第一實施例之線性馬達單元100係包含複數個線性馬達A1、B，以及使該線性馬達A1、B的軸體10進行旋轉動作的旋轉馬達7。

如第1圖至第3圖所示，各線性馬達A1、B係包含激磁部1、電樞2、配線板4、5以及框架6。雖然線性馬達A1與B係大致上具有相同的結構，但是電樞2的配置以及軸導80的配置不同。此外，將於下文對關於線性馬達A1與B的電樞2的配置以及軸導80的配置進行詳細說明。

線性馬達A1與B的激磁部1係具有相同的結構。如第4圖所示，激磁部1係包含軸體10以及永久磁鐵12。本實施例中，激磁部1係作為轉子運用。此外，以下的說明係將軸體10的前進側稱為前端側，將軸體10的後退側稱為基端側。

軸體10係為具有中空部11的圓筒體狀的金屬構件。就軸體10的構成材料而言，例如可使用沃斯田鐵系的不銹鋼等非磁性體，但是不以此材料為限。

在軸體10的中空部11中，係將圓柱狀的永久磁鐵12沿著軸向以複數串聯的方式設置。本實施例的永久磁鐵12係為例如在軸向上以磁極相斥(N-N, S-S)的方式磁化的永久磁鐵。為了便於配置該磁極相斥的永久磁鐵12，因此在永久磁鐵12、12之間設置圓柱狀的軟磁性體13，但是亦可構成為不設置軟磁性體13。

軸體10的前端側係藉由作為後述的軸導80的滾珠栓槽襯套支承。由於將軸體10以滾珠栓槽襯套支承，因此軸體10能旋轉以及前後移動。

如第2圖及第3圖所示，在軸體10的外緣上，沿著該軸體10的軸向(以下簡稱為「軸向」) 形成用於承接滾珠栓槽襯套的滾珠的圓弧狀承接溝槽81。圓弧狀承接溝槽81係形成一對在軸體10的徑向上。

雖然線性馬達A1與B的電樞2本身的結構相同，但是在框架6上電樞2的配置不同。

再次參照第4圖，電樞2係具有複數個線圈20、以及用於覆蓋該線圈20周圍的矩形筒體狀的磁性套40。本實施例中，電樞2係作為定子(線性導軌)運用。

具有永久磁鐵12的軸體10(轉子)的周圍係由在軸向上串聯配置的複數個線圈20所覆蓋。各線圈20係在電絕緣性的繞線管30的周圍捲繞成圓筒狀。

複數個線圈20，例如在三相交流電源的情況下，係在軸向上依照u相、v相、w相的順序配置。同一相的複數個線圈20係連續捲繞。在本實施例的三相交流電源的情況下，各u相群、v相群、w相群的複數個線圈20係橫跨複數個繞線管30連續捲繞。亦即，各u相群、v相群、w相群的複數個線圈20係連續捲繞在每隔兩個的繞線管30上。

複數個線圈20群的兩端上，設置有圓筒體狀的襯套支持部23。襯套支持部23係內建有軸體10的導引襯套24。此外，導引襯套24亦可直接內建在後述之磁性套40。

第6圖係為第一實施例之磁性套的套件的立體圖。

如第2圖、第3圖以及第6圖所示，磁性套40係為矩形筒體狀的磁性金屬構件。磁性套40係由一對ㄇ字型的套件41、41組合成矩形筒體狀而形成。磁性套40係覆蓋在複數個線圈20群的周圍。

磁性套40的長度係設定為比配置在線圈20內的軸體10的永久磁鐵12群的全長更長(參照第4圖)。各套件41、41的基端側中間部以及前端側中間部上形成用於使印刷配線基板4、5以站立狀態插入的缺口部49。

磁性套40係將軸體10的永久磁鐵12大部分的磁通量密閉，因而具有抑制磁通量漏出的功能。由於磁性套40的軸向兩端部係為敞開的狀態，因此透氣性佳，能抑制線圈20的發熱。

就磁性套40的構成材料而言，例如可使用SC材料等鐵類的磁性體。為了兼顧性能以及成本，磁性套40較佳為板金或沖壓成型的矽鋼板，但不以此材料為限。

印刷配線基板4、5係如第4圖所示，在兩端的線圈20的繞線管30以及襯套支持部23之間，設置成與軸向相對的垂直方向的站立狀態。各u相群、v相群、w相群的線圈20的分接導線、線圈20、20彼此之間的跨接線以及末端線係分開配置在磁性套40內不同的角落。各u相群、v相群、w相群的線圈20的分接導線係連接於前端側的印刷配線基板5，末端線係連接於基端側的印刷配線基板4。

第7圖係為第一實施例之框架的立體圖。第8圖係為第一實施例之線性馬達A1的電樞配置的立體圖。第9圖係為第一實施例之線性馬達B的電樞配置的立體圖。

如第1圖、第2圖、第3圖以及第7圖所示，框架6係為安裝激磁部1以及電樞2且呈L字形狀的板狀構件。在L字型框架6的前端部上設置軸導支持部82，其用於支持作為軸導80的滾珠栓槽襯套80。軸導支持部82係由中央有圓形孔83的矩形構件所形成。在軸導支持部82的圓形孔83內，滾珠栓槽襯套80(軸導80)係透過軸承84支持。滾珠栓槽襯套的滾珠係沿著軸體10圓弧狀的承接溝槽81滾動。

在框架6的表面上，磁性套40之間形成空隙部53，並且形成了用於形成T字形狀的冷卻通路的凹部54。在該凹部54的中央部上形成透氣孔55。該透氣孔55設為母螺紋，且能與未圖示的冷卻管連接。冷卻空氣係透過透氣孔55流入至形成冷卻通路的凹部54內，並從空隙部53流出。由於在框架6與磁性套40之間形成冷卻通路，因此促進了線圈20的散熱。

L型框架6的板狀部分上形成用於讓螺栓51插入的貫穿孔52。如第1圖至第3圖所示，磁性套40係經由將螺栓51插入L型框架6的貫穿孔52，並栓入襯套支持部24的母螺紋而固定。亦即，在L型框架6的板狀部分上設置電樞2，且在該電樞2內容納激磁部1。

在L型框架6的板狀部分的前端側上形成台階部56，作為線性馬達A1的電樞2的配置基準。

就框架6的構成材料而言，例如可使用容易加工的鋁或鋁合金，但並不以此材料為限。框架6的成型，例如可經由沖壓加工等塑性加工或切削加工，而能夠容易地形成。

如第2圖以及第8圖所示，線性馬達A1的電樞2係將磁性套40的前端部與軸導支持部82以間隔隔開的方式配置。具體而言，線性馬達A1的電樞2係將磁性套40的前端部配置在與台階部56一致的位置。線性馬達A1的滾珠栓槽襯套(軸導80)係配置在自軸導支持部82的內側(基端側)突出的位置。

另一方面，如第3圖以及第9圖所示線性馬達B的電樞2係將磁性套40的前端部與軸導支持部82以抵接的方式配置。線性馬達B的滾珠栓槽襯套(軸導80)係配置在自軸導支持部82的外側(前端側)突出的位置。

本實施例之線性馬達單元100係將複數個線性馬達A1與線性馬達B交替地並列配置。由於將複數個線性馬達A1與線性馬達B交替地的並列配置，因此線性馬達A1的軸導支持部82與線性馬達B的軸導支持部82係以鋸齒狀的方式相互交錯的配置。

由於線性馬達A1的滾珠栓槽襯套(軸導80)配置在軸導支持部82的內側，且線性馬達B的滾珠栓槽襯套(軸導80)配置在軸導支持部82的外側，因此能將一條正時皮帶8跨越線性馬達A1群以及線性馬達B群的滾珠栓槽襯套而經由同一台的旋轉馬達7進行驅動。

如第1圖至第3圖、第5圖所示，軸體10的基端部係以螺栓61固定於沿著垂直方向配置的四角柱狀的塊狀構件61。在該塊狀構件61的下部的框架6側上，固定了隨著該塊狀構件61一同沿著後述的導軌66移動的移動子63。

在塊狀構件61的下部的一側部與移動子63的前端部之間，以螺栓62固定了用於測量後述的線性感測器60的量規(gauge)64。

另一方面，在框架6的基端側下部，將板狀的懸掛構件65偏向另外一側部進行固定。ㄇ字狀的導軌66係固定在該懸掛構件65的內側。移動子63係沿著該導軌66滑動。

另外，截面為倒L字狀的支持構件67係以螺栓62固定在懸掛構件65的下部。在該支持構件67上設置了用於檢測量規64的位置以及輸出位置信息的線性感測器60。線性感測器60與用於輸出檢測數據的輸出線70連接。

由於考慮磁力以及熱的影響，線性感測器60係配置在與包含線圈20的電樞2分開的部位。線性感測器60可為磁力式、光學式等任一形式均可使用。

〔線性馬達單元的動作〕 接著，參照第1圖至第4圖，對第一實施例之線性馬達單元100的動作進行說明。

如第4圖所示，第一實施例之線性馬達單元100的激磁部1係將複數個永久磁鐵12配置在軸體10的中空部11，並在軸向上以磁極相斥(N-N, S-S)的方式磁化。電樞2係設置成包圍具有永久磁鐵12的軸體10，且具有沿著軸向排列的複數個線圈20。線圈20係例如對應三相電源的u相、v相、w相而配置，且移相至u相、v相、w相的線圈20而使電流通過。

第一實施例中，各線性馬達A1、B的激磁部1係作為轉子，且電樞2係作為定子運用。亦即，各線性馬達A1、B係使電流通過電樞2的線圈20，以使其與激磁部1的永久磁鐵12產生的磁通量交叉。當永久磁鐵12的磁通量與電樞2的線圈20中流動的電流交叉時，各線性馬達A1、B經由電磁感應的作用，使具有永久磁鐵12的軸體10產生往軸向的推力，並使軸體10直線運動。

第一實施例之線性馬達單元100係將複數個線性馬達A1與線性馬達B交替地並列配置。

如第2圖及第8圖所示，線性馬達A1的電樞2係將磁性套40的前端部與軸導支持部82以間隔隔開的方式配置。線性馬達A1的滾珠栓槽襯套(軸導80)係配置在軸導支持部82的內側的位置。

另一方面，如第3圖以及第9圖所示，線性馬達B的電樞2係將磁性套40的前端部與軸導支持部82以抵接的方式配置。線性馬達B的滾珠栓槽襯套(軸導80)係配置在自軸導支持部82的外側(前端側)突出的位置。

亦即，由於將複數個線性馬達A1與線性馬達B交替地並列配置，因此線性馬達A1的軸導支持部82與線性馬達B的軸導支持部82係以鋸齒狀的方式相互交錯的配置。

由於將配置在軸導支持部82內側的滾珠栓槽襯套的線性馬達A1以及配置在軸導支持部82外側的滾珠栓槽襯套的線性馬達B進行組合，因此能以一條正時皮帶8跨越線性馬達A1群以及線性馬達B群的滾珠栓槽襯套而經由相同的旋轉馬達7進行驅動。

此外，軸體係由能旋轉且前後移動的軸導所支承。另外，進一步將各u相群、v相群、w相群的線圈20的分接導線、線圈20、20彼此之間的跨接線以及末端線係分開配置在磁性套40內不同的角落。因此，根據第一實施例之線性馬達單元100，藉由簡單的結構使轉子能進行直線以及旋轉動作，並且能達成小型、節省空間性以及輕量化。

此外，由於本實施例的線性馬達A1、B係個別具備線性感測器60，因此亦能作為單軸的致動器使用。此外，根據本實施例之線性馬達單元100，若將複數個線性馬達A1、B組合，就能構成多軸的致動器。

因此，由於能簡單地作為單軸或多軸的致動器使用，因此能確保貼片機的頭部構造的靈活性。

此外，框架6的上面具有凹部54，且在磁性套40與框架6之間形成空隙部53作為冷卻通路。在框架6的凹部54形成透氣孔55。因此，由於使冷卻空氣自透氣孔55流入至自空隙部53形成的冷卻通路，能將包含線圈20的電樞2冷卻。

因此，根據第一實施例，能實現兼具低成本化以及高性能化，且具有優異放熱性的軸旋轉型的線性馬達單元100。

此外，電樞2係將由具有永久磁鐵12的軸體10所形成激磁部1包圍。電樞2係在磁性套40內收納複數個線圈20群。

由於磁性套40係由磁性材料所形成的矩形筒體，例如將矽鋼板經由板金或沖壓加工而能簡單的形成。此外，框架6能例如經由沖壓加工或切削加工等而簡單的形成。因此，本實施例之線性馬達單元100能兼具低成本化以及高性能化。

另外，由於磁性套40係將永久磁鐵12大部分的磁通量密閉而抑制磁通量漏出，因此不需要磁力遮蔽板，能達成小型、節省空間性以及輕量化。

並且，具有永久磁鐵12的軸體10係經由環狀的線圈20群所包圍。線圈20群係收納在磁性套40內。因此，第一實施例的線性馬達單元100的磁性套40能將永久磁鐵12大部分的磁通量密閉而抑制磁通量漏出。

〔第二實施例〕 接著參照第10圖以及第11圖，以對第二實施例之線性馬達單元200進行說明。第10圖係為第二實施例之線性馬達單元的立體圖。第11圖係為第二實施例之線性馬達A2的立體圖。此外，與第一實施例相同的構成構件係附上相同的符號，且省略其說明。

如第10圖以及第11圖所示，第二實施例之線性馬達單元200係由線性馬達A2與線性馬達B進行組合，其與第一實施例不同的點在於經由個別(2台)的旋轉馬達進行旋轉驅動。

亦即，第二實施例之線性馬達單元200係使用線性馬達A2替代線性馬達A1。線性馬達A2的電樞2係將磁性套40的前端部與軸導支持部82以間隔隔開的方式配置。具體而言，線性馬達A2的電樞2係將磁性套40的前端部配置在與台階部56一致的位置。線性馬達A2的滾珠栓槽襯套(軸導80)係配置在自軸導支持部82的外側(前端側)突出的位置。

另一方面，線性馬達B的電樞2係與第一實施例相同，將磁性套40的前端部與軸導支持部82以抵接的方式配置。線性馬達B的滾珠栓槽襯套(軸導80)係配置在自軸導支持部82的外側(前端側)突出的位置。

亦即，由於複數個線性馬達A2與線性馬達B係交替地並列配置，因此線性馬達A2的軸導支持部82與線性馬達B的軸導支持部82係以鋸齒狀的方式相互交錯的配置。但是雙方的線性馬達A2、B的滾珠栓槽襯套(軸導80) 係配置在軸導支持部82的外側。

因此，藉由使配置在軸導支持部82外側的滾珠栓槽襯套的線性馬達A2與配置在軸導支持部82外側的滾珠栓槽襯套的線性馬達B進行組合，將正時皮帶8個別跨越各線性馬達A2群以及線性馬達B群，而由個別的旋轉馬達7進行驅動。

第二實施例之線性馬達單元200基本上能發揮與第一實施例相同的作用效果。

特別是第二實施例之線性馬達單元200係將複數個在軸導支持部82外側配置了滾珠栓槽襯套的線性馬達A2以及在軸導支持部82外側配置了滾珠栓槽襯套的線性馬達B交替地並列配置。

因此，第二實施例之線性馬達單元200能發揮將各線性馬達A1群的滾珠栓槽襯套與線性馬達B群的滾珠栓槽襯套經由個別的旋轉馬達進行驅動的特有效果。

以上，雖已對本發明之較佳實施例進行說明，惟此等僅為用以說明本發明之例示，並非意在將本發明之範圍侷限於此等實施形態。本發明可於未脫離其要旨之範圍內，以與上述實施例相異之各種態樣實施之。

1‧‧‧激磁部
10‧‧‧軸體
11‧‧‧中空部
12‧‧‧永久磁鐵
13‧‧‧軟磁性體
2‧‧‧電樞
20‧‧‧線圈
23‧‧‧襯套支持部
24‧‧‧導引襯套
30‧‧‧繞線管
4、5‧‧‧配線板
40‧‧‧磁性套
41‧‧‧套件
49‧‧‧缺口部
51、62‧‧‧螺栓
52‧‧‧貫穿孔
53‧‧‧空隙部
54‧‧‧凹部
55‧‧‧透氣孔
56‧‧‧台階部
6‧‧‧框架
60‧‧‧線性感測器
61‧‧‧塊狀構件
63‧‧‧移動子
64‧‧‧量規
65‧‧‧懸掛構件
66‧‧‧導軌
67‧‧‧支持構件
7‧‧‧旋轉馬達
70‧‧‧輸出線
8‧‧‧正時皮帶
80‧‧‧軸導
81‧‧‧承接溝槽
82‧‧‧軸導支持部
83‧‧‧圓形孔
84‧‧‧軸承
A1、B‧‧‧線性馬達
100、200‧‧‧線性馬達單元

第1圖係為第一實施例之線性馬達單元的立體圖。 第2圖係為第一實施例之線性馬達A1的立體圖。 第3圖係為第一實施例之線性馬達B的立體圖。 第4圖係為第一實施例之線性馬達A1、B的激磁部以及電樞的縱向截面圖。 第5圖係為第一實施例之線性馬達A1、B的右側面圖。 第6圖係為第一實施例之磁性套的套件的立體圖。 第7圖係為第一實施例之框架的立體圖。 第8圖係為第一實施例之線性馬達A1的電樞配置的立體圖。 第9圖係為第一實施例之線性馬達B的電樞配置的立體圖。 第10圖係為第二實施例之線性馬達單元的立體圖。 第11圖係為第二實施例之線性馬達A2的立體圖。

1‧‧‧激磁部

10‧‧‧軸體

2‧‧‧電樞

4、5‧‧‧配線板

6‧‧‧框架

60‧‧‧線性感測器

61‧‧‧塊狀構件

63‧‧‧移動子

64‧‧‧量規

66‧‧‧導軌

7‧‧‧旋轉馬達

70‧‧‧輸出線

8‧‧‧正時皮帶

82‧‧‧軸導支持部

A1、B‧‧‧線性馬達

100‧‧‧線性馬達單元

Claims (8)

1. 一種線性馬達單元，其包含： 一第一線性馬達，係將一電樞與設置於一框架的前端部的一軸導支持部以間隔隔開的方式配置，並且將一軸導配置於該軸導支持部的基端側；以及 一第二線性馬達，係將該電樞與設置於該框架的前端部的該軸導支持部的基端側以抵接的方式配置，並且將該軸導配置於該軸導支持部的前端側； 該第一線性馬達與該第二線性馬達係在該框架的寬度方向上，以各線性馬達的軸導對齊的方式交替地配置； 該軸導支持部係以旋轉自如的方式支持該軸導； 該軸導係以能前後移動的方式支承一軸體； 該軸導係經由一旋轉馬達旋轉驅動。
2. 一種線性馬達單元，其包含： 一第三線性馬達，係將一電樞與設置於一框架的前端部的一軸導支持部以間隔隔開的方式配置，並且將一軸導配置於該軸導支持部的前端側；以及 一第二線性馬達，係將該電樞與設置於該框架的前端部的該軸導支持部的基端側以抵接的方式配置，並且將該軸導配置於該軸導支持部的前端側； 該第三線性馬達與該第二線性馬達係在該框架的寬度方向上，以各線性馬達的軸導對齊的方式交替地配置； 該軸導支持部係以旋轉自如的方式支持該軸導； 該軸導係以能前後移動的方式支承一軸體； 該軸導係經由一旋轉馬達旋轉驅動。
3. 如申請專利範圍第1至2項中的任一項所述之線性馬達單元，其中在該軸體的外緣部係具有沿著該軸體的軸向形成的承接溝槽，用於承接該軸導的滾珠。
4. 如申請專利範圍第1至2項中的任一項所述之線性馬達單元，其中各線性馬達係包含：在該軸體內具有複數個永久磁鐵的一激磁部； 包圍該激磁部的複數個線圈；以及具有覆蓋該線圈的磁性套的該電樞。
5. 如申請專利範圍第1至2項中的任一項所述之線性馬達單元，其中該框架由於具有該軸導支持部而形成為呈Ｌ字形狀的Ｌ形框架。
6. 如申請專利範圍第1項中所述之線性馬達單元，其中該第一線性馬達以及該第二線性馬達的該軸導係經由相同的旋轉馬達進行驅動。
7. 如申請專利範圍第2項中所述之線性馬達單元，其中該第三線性馬達以及該第二線性馬達的該軸導係分別經由不同的旋轉馬達進行驅動。
8. 如申請專利範圍第1至2項中的任一項所述之線性馬達單元，其中在該框架上形成有讓冷卻空氣通過的冷卻通路。