TW201513942A - 噴霧塗佈器 - Google Patents

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TW102135795A
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Tokinori Terada
Takashi Sano
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Leap Co Ltd
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Abstract

提供一種將任意的膜厚之平坦的塗佈膜或多層膜形成於大型基板的噴霧塗佈器。 噴霧塗佈器100係將具備噴射塗佈液之噴霧噴嘴的部10與具備作用為加熱器之燈35的燈部35搭載於往正交之兩方向進行往復移動的滑動器40,並將基板固定器20所固持之基板60相對向配置成表面相對噴霧噴嘴成為朝下,在藉噴霧噴嘴噴射塗佈液而將塗佈液塗佈於基板60的表面後,藉燈35加熱使其變成乾燥,而形成厚膜,在該噴霧塗佈器100,以藉來自噴霧噴嘴之噴射按照噴霧區域單位依序進行塗佈液的塗佈,在對已進行塗佈之噴霧區域塗佈後馬上藉燈35進行乾燥的方式,並列地配置噴霧噴嘴部10與燈部30,並搭載於滑動器40。

Description

噴霧塗佈器
本發明係有關於一種將塗佈液塗佈於基板之噴霧塗佈器,更詳細說明之,係將任意的膜厚之平坦的塗佈膜或多層膜形成於大型基板的噴霧塗佈器。
如近年來顯示面板等之顯示基板的大形化所示,要求對1~3m2以上的大型基板之具有凹凸的基板表面,自由地選擇厚膜或多層膜等,並可塗佈的塗布裝置。而,在以往之塗布裝置,採用藉由使安裝於基板固定器之基板轉動,形成厚膜的方法。可是,在大型基板,將基板安裝於基板固定器並使其以所要之速度轉動或移動係困難,在形成平坦之厚膜上具有問題。
第4圖係根據本發明與以往之噴霧塗佈器之塗佈膜的比較圖。第5圖a表示藉以往之噴霧塗佈器所形成的塗佈膜。在大型基板,因為難均勻地控制基底之凹凸形狀的濕潤性,所以厚膜97的表面變成不均勻,或根據情況,發生無法塗佈的部分。
在專利文獻1,記載包含如下之步驟的主旨,附著步驟,係將成為塗膜之塗佈液噴霧於產生塗膜之基底的表面,使塗佈液附著於表面;及成膜步驟,係以表面之大致中心為 軸,使該基底繞軸轉動,而將由塗佈膜所構成之塗膜形成於表面。
【先行專利文獻】 【專利文獻】
[專利文獻1]特開2000-140745號公報
本發明之目的在於提供一種將任意的膜厚之平坦的塗佈膜或多層膜形成於大型基板的噴霧塗佈器。
本發明之噴霧塗佈器係將噴射塗佈液之噴霧噴嘴與加熱器搭載於往正交之兩方向進行往復移動的滑動器,並將基板固定器所固持之基板相對向配置成基板的表面相對噴霧噴嘴成為朝下,在藉噴霧噴嘴噴射塗佈液而將塗佈液塗佈於基板的表面後,藉加熱器加熱使其變成乾燥,而形成厚膜的噴霧塗佈器,其特徵在於:以藉來自噴霧噴嘴之噴射按照噴霧區域單位依序進行塗佈液的塗佈,在對已進行塗佈之噴霧區域塗佈後馬上藉加熱器進行乾燥的方式,並列地配置噴霧噴嘴與加熱器,並搭載於滑動器。
本發明之噴霧塗佈器的噴嘴部係特徵在於將多段式惰性室安裝於噴霧噴嘴,該室係劃分噴霧區域,而且可調整地設定與基板固定器之間隔。
本發明之噴霧塗佈器的噴霧噴嘴係特徵在於由噴射塗佈液之溶質的溶質用噴霧噴嘴與噴射塗佈液之溶媒的溶 媒用噴霧噴嘴所構成,並以溶質用噴霧噴嘴為中心,包圍該溶質用噴霧噴嘴之方式配置溶媒用噴霧噴嘴。
本發明之噴霧塗佈器的噴霧噴嘴係特徵在於被驅動成交互地進行藉溶質用噴霧噴嘴之溶質的噴射與藉溶媒用噴霧噴嘴之溶媒的噴射既定次數。
本發明之噴霧塗佈器係特徵在於將噴霧噴嘴搭載於滑動器,使其可相對噴射軸轉動。
本發明之噴霧塗佈器的加熱器係特徵在於係由燈光源所構成之點方式加熱器,並具有朝向基板之塗佈面引導來自燈光源之光的導光件。
本發明之噴霧塗佈器的加熱器係特徵在於係由配置成包圍多段式惰性室之周圍的複數個燈光源所構成之環方式加熱器,並具有朝向基板之塗佈面引導來自燈光源之光的導光件。
本發明之噴霧塗佈器係特徵在於更設置防堵塞盒,該盒係進行藉噴霧噴嘴之塗佈液之開始噴射前的沖洗及結束噴射後之噴霧噴嘴的清潔。
若依據本發明,可提供一種將任意的膜厚之平坦的塗佈膜或多層膜形成於大型基板的噴霧塗佈器。
10‧‧‧噴嘴部
12‧‧‧溶質用噴霧噴嘴
14‧‧‧溶媒用噴霧噴嘴
16‧‧‧多段式惰性室
17‧‧‧調整部
20‧‧‧基板固定器
30‧‧‧燈部
35‧‧‧燈
37‧‧‧導光板
40‧‧‧滑動器
50‧‧‧軌道
60‧‧‧基板
70‧‧‧防堵塞盒
95‧‧‧有凹凸之基板
97‧‧‧塗佈膜
100‧‧‧本發明之第1實施例的噴霧塗佈器
200‧‧‧本發明之第2實施例的噴霧塗佈器
第1圖係本發明之第1實施例之噴霧塗佈器的構成圖。
第2圖係本發明之噴霧塗佈器的構成圖。
第3圖係包圍本發明之噴霧塗佈器之室的構造圖。
第4圖係本發明之第2實施例之噴霧塗佈器的構成圖。
第5圖係根據本發明與以往之噴霧塗佈器之塗佈膜的比較圖。
(實施例)
使用圖,說明本發明之實施例的形態。第1圖係本發明之第1實施例之噴霧塗佈器的構成圖。在第1圖,第1實施例之噴霧塗佈器100具有:軌道50;滑動器40,係一面在軌道50上前後地進行往復運動,一面其上部左右地進行往復運動;噴嘴部10,係具備在滑動器40上併列地設置的噴霧噴嘴;及燈部30,係作用為加熱器,並具備對基板60加熱的燈35。
燈部30具有在基板60方向調整燈35之燈光之筒狀的導光板37,基板60係相對向配置成基板固定器20所固持的基板表面相對噴霧噴嘴成為朝下。又,在噴嘴部10與燈部30之上方,具有:基板固定器20,係固持基板60;及防堵塞盒70,係進行藉噴霧噴嘴之塗佈液之開始噴射前的沖洗及結束噴射後之噴霧噴嘴的清潔。
第2圖係本發明之噴霧塗佈器的構成圖。在第2圖,配設於噴嘴部10之噴霧噴嘴係以溶質用噴霧噴嘴12為中心,將溶媒用噴霧噴嘴14配置成包圍溶質用噴霧噴嘴12之方式所構成。第3圖係包圍本發明之噴霧塗佈器之室的構造圖。在第3圖,噴嘴部10係安裝多段式惰性室16。該室16係在噴 霧噴嘴劃分噴霧區域,並具有可調整地設定與基板固定器60之間隔t的調整部17。
接著,根據第1圖~第3圖,說明厚膜的形成。在第1圖,基板60安裝於基板固定器20,而且包圍噴嘴部10之室16的調整部17被設定成與基板60之既定間隔t後,塗佈作業開始。在此時,滑動器40係停在噴嘴部10在防堵塞盒70之正下所停止的位置。從噴嘴部10之溶媒用噴霧噴嘴14及溶質用噴霧噴嘴12,分別將溶媒、溶質朝向防堵塞盒70沖洗後,設定各噴嘴的起始狀態。
然後,滑動器40係使一面在軌道50上前後地進行往復運動,一面其上部左右地進行往復運動的動作開始,首先,從噴嘴部10之溶質用噴霧噴嘴12,接著從溶媒用噴霧噴嘴14朝向基板60之塗佈面交互地重複噴射溶質、溶媒。藉該來自噴霧噴嘴的噴射之塗佈液的塗佈係按照室16所形成之噴霧區域單位依序進行,從以與噴嘴部10並列設置之方式所搭載的燈部30,在對已進行塗佈之噴霧區域塗佈後馬上藉燈35進行乾燥。
依此方式,室16產生調整調整部17並配合塗佈材料的特性之高效率之惰性狀態之空間的噴霧區域單位,而可更安全地發揮塗佈材料的特性。又,將溶媒用噴霧噴嘴12配置於溶質用噴霧噴嘴14的周圍,並交互地重複噴射,藉此,抑制溶媒之蒸發,並形成均勻的塗佈膜,而且對已塗佈之噴霧區域馬上進行乾燥,藉此,將更平坦之塗佈膜形成於塗佈面。
因為燈部30具有朝向基板60方向調整燈35之燈 光之筒狀的導光板37,所以可將強度均勻之燈光照射於所要之範圍,而且因為防止燈光照到噴射中之溶質、溶媒,而防止塗佈膜之密接性降低。又,藉由使各噴嘴相對噴射軸轉動,可消除噴嘴之噴出口的傷痕等所造成之不均勻的噴射。
依此方式,滑動器40在軌道50上往正交之兩方向進行往復移動,而將厚膜形成於基板60之既定面或整個面。作業結束時,滑動器40係回到噴嘴部10在防堵塞盒70之正下所停止的位置並停止,各噴嘴係進行防止堵塞的清潔。
第4圖係本發明之第2實施例之噴霧塗佈器的構成圖。在第4圖a,安裝於第2實施例之噴霧塗佈器200之燈部30的導光板37係構成為更包圍包圍噴嘴部10整體的室16。在第4圖b,以包圍室16之方式所構成的2片導光板37係在其內側具有複數個燈35。關於第2實施例之厚膜的形成過程係與第1實施例之形成過程相同,但是藉由複數個燈35包圍噴嘴部10,可更提高的厚度之乾燥效果。
第5圖b-1係表示在上述所說明之第1、第2實施例的噴霧塗佈器100、200,從有凹凸之基板的下方噴射溶質、溶媒所形成的塗佈膜,塗佈膜97的表面不會受到基底之凹凸形狀或濕潤性的影響,成為表面均勻且平坦之厚膜。又,如第5圖b-2所示,亦可藉由調整溶質、溶媒之濃度,溶質、溶媒不會進入凹部,而將塗佈膜97僅形成於凸部。依此方式,在噴霧塗佈器100、200之任一個,都可將所要之膜厚的塗佈膜形成於基板之整個面或所要之位置。又,藉由從複數個噴嘴噴射相異之溶質、溶媒,可形成任意之多層厚膜。
如以上之說明所示,若依據本發明,可提供將任意之膜厚之平坦的塗佈膜或多層膜形成於大型基板的噴霧塗佈器。
20‧‧‧基板固定器
60‧‧‧基板
70‧‧‧防堵塞盒
37‧‧‧導光板
35‧‧‧燈
30‧‧‧燈部
16‧‧‧室
10‧‧‧噴嘴部
40‧‧‧滑動器
50‧‧‧軌道
100‧‧‧噴霧塗佈器

Claims (8)

  1. 一種噴霧塗佈器,將噴射塗佈液之噴霧噴嘴與加熱器搭載於往正交之兩方向進行往復移動的滑動器,並將基板固定器所固持之基板相對向配置成該基板的表面相對該噴霧噴嘴成為朝下,在藉該噴霧噴嘴噴射該塗佈液而將該塗佈液塗佈於該基板的表面後,藉該加熱器加熱使其變成乾燥,而形成厚膜,其特徵在於:以藉來自該噴霧噴嘴之噴射按照噴霧區域單位依序進行該塗佈液的塗佈,在對已進行塗佈之該噴霧區域塗佈後馬上藉該加熱器進行乾燥的方式,並列地配置該噴霧噴嘴與該加熱器,並搭載於該滑動器。
  2. 如申請專利範圍第1項之噴霧塗佈器,其中將多段式惰性室安裝於該噴霧噴嘴部,該室係劃分該噴霧區域,而且可調整地設定與基板固定器之間隔。
  3. 如申請專利範圍第1項之噴霧塗佈器,其中該噴霧噴嘴係由噴射該塗佈液之溶質的溶質用噴霧噴嘴與噴射該塗佈液之溶媒的溶媒用噴霧噴嘴所構成,並以該溶質用噴霧噴嘴為中心,包圍該溶質用噴霧噴嘴之方式配置該溶媒用噴霧噴嘴。
  4. 如申請專利範圍第3項之噴霧塗佈器,其中該噴霧噴嘴係被驅動成交互地進行藉該溶質用噴霧噴嘴之溶質的噴射與藉該溶媒用噴霧噴嘴之溶媒的噴射既定次數。
  5. 如申請專利範圍第1項之噴霧塗佈器,其中將該噴霧噴嘴 搭載於該滑動器,使其可相對噴射軸轉動。
  6. 如申請專利範圍第1項之噴霧塗佈器,其中該加熱器係由燈光源所構成之點方式加熱器,並具有朝向該基板之塗佈面引導來自該燈光源之光的導光件。
  7. 如申請專利範圍第2項之噴霧塗佈器,其中該加熱器係由配置成包圍該多段式惰性室之周圍的複數個燈光源所構成之環方式加熱器,並具有朝向該基板之塗佈面引導來自該燈光源之光的導光件。
  8. 如申請專利範圍第1項之噴霧塗佈器,其中更設置防堵塞盒,該盒係進行藉該噴霧噴嘴之塗佈液之開始噴射前的沖洗及結束噴射後之該噴霧噴嘴的清潔。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWI776749B (zh) * 2016-07-27 2022-09-01 日商東京威力科創股份有限公司 塗佈膜形成方法、塗佈膜形成裝置及電腦可讀取的記錄媒體

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