TW201408420A - 搬運裝置 - Google Patents

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Abstract

一種搬運裝置包括驅動組件、第一連桿機構、固定座及第二連桿機構。驅動組件包括第一驅動件及第二驅動件,第一驅動件及第二驅動件相對固定裝設於固定座上。第一連桿機構包括相鉸接之第一連桿及第二連桿,第一連桿固定於第一驅動件,第二連桿遠離第一連桿之一端延伸形成有用以連接工件之裝設臂。第二連桿機構包括相樞接之第一軸桿及第二軸桿,第一軸桿固定於第二驅動件,第二軸桿遠離第一連桿一端與第二軸桿遠離第一軸桿之一端轉動連接。第一驅動件及第二驅動件分別驅動第一連桿機構與第二連桿機構能夠沿相向、相反及同向運動,以搬運工件。

Description

搬運裝置
本發明涉及一種搬運裝置,特別涉及一種與機械臂配合使用之搬運裝置。
機械加工過程中經常採用機械臂及與機械臂末端相連接之搬運裝置對工件進行搬運。現有之搬運裝置包括驅動件及連桿,連桿之一端固定裝設於機械臂末端上,另一端固定裝設用以夾取工件之夾具。驅動件固定裝設於連桿靠近機械臂之一端上,並驅動連桿以搬運工件。由於驅動件固定裝設於連桿上並隨同連桿運動,增加了連桿之重量,導致連桿之搬運動作較慢,從而影響了搬運效率。另,由於搬運裝置只採用一連桿,導致連桿強度較弱,且導致搬運裝置之使用壽命較短。
鑒於以上內容,有必要提供一種搬運效率較高,且強度較高之搬運裝置。
一種搬運裝置,其包括驅動組件及第一連桿機構,該驅動組件與該第一連桿機構相固接,並驅動該第一連桿機構。該搬運裝置還包括固定座及第二連桿機構,該驅動組件包括第一驅動件及第二驅動件,該第一驅動件及該第二驅動件相對固定裝設於該固定座上,該第一連桿機構包括相鉸接之第一連桿及第二連桿,該第一連桿固定於該第一驅動件上,該第二連桿遠離該第一連桿之一端延伸形成有用以承載工件之裝設臂。該第二連桿機構包括相樞接之第一軸桿及第二軸桿,該第一軸桿固定於該第二驅動件上,該第二軸桿遠離該第一連桿之一端與該第二軸桿遠離該第一軸桿之一端轉動連接,該第一驅動件及該第二驅動件分別驅動該第一連桿機構與該第二連桿機構沿相向或相反運動以實現該第一連桿機構及該第二連桿機構之伸縮,或驅動該第一連桿機構及該第二連桿機構沿同向相對該固定座轉動,以搬運工件。
本發明之搬運裝置採用之第一驅動件及第二驅動件分別固定裝設於固定座之第一固定部及第二固定部上,並分別與第一連桿機構及第二連桿機構固定連接,第一連桿機構及第二連桿機構藉由樞接組件樞接於一起。由於將第一連桿機構及第二連桿機構固定裝設於驅動組件,驅動組件不會隨同第一連桿機構及第二連桿機構之運動,亦不會阻礙第一連桿機構及第二連桿機構運動,從而第一連桿機構及第二連桿機構之動作敏捷、快速。另,由於將第一連桿機構及第二連桿機構樞接於一起,以提高了搬運裝置之強度,從而提高了搬運裝置之使用壽命。
下面將結合附圖及具體實施方式對本發明之搬運裝置作進一步詳細說明。
請參閱圖1及圖2,本實施方式之搬運裝置100連接於機械臂(圖未示)末端,用以搬運工件(圖未示)。搬運裝置100包括固定座10、驅動組件30、第一連桿機構50、第二連桿機構70及樞接組件90。驅動組件30裝設於固定座10上,第一連桿機構50與第二連桿機構70分別與驅動組件30固定連接,並藉由樞接組件90樞接於一起。
請同時參閱圖3,固定座10大致呈ㄈ形狀,其與機械臂末端固定連接。固定座10包括相對之第一固定部13及第二固定部15。第一固定部13及第二固定部15共同形成一收容空間11,用以收容驅動組件30。第二固定部15遠離第一固定部13之一側上凸設有連接臂151,連接臂151與機械臂末端固定連接,以使固定座10與機械臂固定連接。
請同時參閱圖4,驅動組件30收容於固定座10之收容空間11內,並固定裝設於第一固定部13及第二固定部15之間。驅動組件30包括第一驅動件31及第二驅動件33。第一驅動件31包括驅動本體311及轉動地裝設於驅動本體311之一端驅動端313。第一驅動件31之驅動本體311固定裝設於第一固定部13上,驅動端313於驅動本體311之驅動下能夠相對驅動本體311旋轉。第二驅動件33包括驅動本體331及轉動地裝設於驅動本體331之一端驅動端332。第二驅動件33之驅動本體331固定裝設於第二固定部15上,並與第一驅動件31之驅動本體311同軸設置。驅動端332與第一驅動件31之驅動端313靠近設置,且於驅動本體331之驅動下能夠相對驅動本體331旋轉。
本實施方式中,第一驅動件31及第二驅動件33均為直接驅動電機。請同時參閱圖5,第一連桿機構50與第一驅動件31之驅動端313固定連接,以使第一連桿機構50於第一驅動件31驅動下相對固定座10運動。第一連桿機構50包括第一連桿51及與第一連桿51樞接之第二連桿53。第一連桿51包括固接部511及由固接部511一側延伸形成之推桿部513(請參閱圖2)。固接部511大致呈圓環狀,其固定裝設於第一驅動件31之驅動端313上。推桿部513大致呈矩形板狀,其遠離固接部511一端,並與第二連桿53一端相鉸接。本實施方式中,第一連桿51與第二連桿53藉由鉸接組件80相鉸接,鉸接組件80之結構與樞接組件90之結構相同。第二連桿53大致呈矩形條狀,其遠離第一連桿51之一端設有鉸接端531(請參閱圖2),鉸接端531凹設有收容槽5311,收容槽5311底面上貫通開設有鉸接孔5313。第二連桿53之鉸接端531遠離第一連桿51之一端向外延伸形成有裝設臂533,裝設臂533上裝設有夾具(圖未示),以使搬運裝置100藉由夾具夾取工件。
第二連桿機構70與第一連桿機構50之結構大致相同,其與第二驅動件33之驅動端332固定連接,以使第二連桿機構70被第二驅動件33驅動下相對固定座10運動。第二連桿機構70包括第一軸桿71及與第一軸桿71樞接之第二軸桿73。第一軸桿71一端與驅動組件30之驅動端332固定連接,另一端與第二軸桿73之一端相樞接。本實施方式中,第一軸桿71與第二軸桿73藉由鉸接組件80相鉸接,鉸接組件80之結構與樞接組件90之結構相同。第二軸桿73遠離第一軸桿71之一端設有樞接端731。樞接端731裝設於第一連桿機構50之鉸接端531上,樞接端731上對應於收容槽5311凹設有容納槽7311,容納槽7311與收容槽5311貫通形成一安裝空間730。容納槽7311底面上貫通開設有與鉸接孔5313同軸設置之樞接孔7313。
樞接組件90包括二第一軸承91、第二軸承93、連接件95及鎖緊件97。二第一軸承91分別裝設於鉸接孔5313與樞接孔7313內,第二軸承93裝設於安裝空間730內,且鉸接端531與樞接端731相抵持,以第二軸桿73與第二連桿53能夠相對運動。連接件95包括擋設部951及凸設於擋設部951上之鎖緊部953。擋設部951大致呈圓盤狀,其與第一連桿機構50上之第一軸承91之內圈相抵持。鎖緊部953大致呈圓柱狀,其遠離擋設部951一端依次穿過鉸接端531上之第一軸承91、第二軸承93及樞接端731上之第一軸承91,並部分凸出於樞接端731外。鎖緊件97螺接於連接件95之鎖緊部953之一端,並與樞接端731上之第一軸承91之內圈相抵持,以使連接件95與鎖緊件97能夠調節第二連桿53及第二軸桿73之間之距離。
組裝時,首先將第一驅動件31及第二驅動件33分別固定裝設於第一固定部13及第二固定部15上;然後,將第一連桿機構50之鉸接端531與第二連桿機構70之樞接端731裝設於一起,第二軸承93裝設於安裝空間730內;接著,將二第一軸承91分別裝設於鉸接端531與樞接端731內;再接著,將連接件95之鎖緊部953依次穿過鉸接端531上之第一軸承91、第二軸承93及樞接端731上之第一軸承91,並鎖緊件97相螺接;最後,將第一連桿機構50之第一連桿51及第二連桿機構70之第一軸桿71之一端分別固定裝設於第一驅動件31及第二驅動件33之驅動端332上,將夾具固定裝設於第一連桿機構50之裝設臂533上。
使用時,首先利用夾具夾取工件;然後,第一驅動件31及第二驅動件33分別驅動第一連桿機構50及第二連桿機構70,以使第一連桿機構50及第二連桿機構70能夠相對、相反及相同方向運動。當第一驅動件31之驅動端313沿順時針方向轉動,且第二驅動件33之驅動端332沿逆時針方向轉動時,第一連桿機構50及第二連桿機構70相對運動,第一連桿51及第一軸桿71分別推動第二連桿53及第二軸桿73向前伸出;當第一驅動件31之驅動端313沿逆時針順時針方向轉動,且第二驅動件33之驅動端332沿順時針方向轉動時,第一連桿機構50及第二連桿機構70相反運動時,第一連桿機構50及第二連桿機構70相對運動,第一連桿51及第一軸桿71分別拉動第二連桿53及第二軸桿73縮回,以使被夾具夾緊之工件向後縮回;當第一驅動件31之驅動端313與第二驅動件33之驅動端332沿逆時針順時針或順時針方向轉動時,第一連桿機構50及第二連桿機構70相同方向運動,第一連桿機構50及第二連桿機構70一起左右運動,以搬運工件。
本發明之搬運裝置100採用之第一驅動件31及第二驅動件33分別固定裝設於固定座10之第一固定部13及第二固定部15上,並分別與第一連桿機構50及第二連桿機構70固定連接,第一連桿機構50及第二連桿機構70藉由樞接組件90樞接於一起。由於將第一連桿機構50及第二連桿機構70固定裝設於驅動組件30,驅動組件30不會隨同第一連桿機構50及第二連桿機構70之運動,以消除阻礙第一連桿機構50及第二連桿機構70運動之外部力,從而第一連桿機構50及第二連桿機構70之動作敏捷、快速。另,由於將第一連桿機構50及第二連桿機構70藉由樞接組件90樞接於一起,以使提高了搬運裝置100之強度,從而提高了搬運裝置100之使用壽命。
可理解,無需夾具夾取工件,工件直接掛設於裝設臂533上即可。可理解,第一驅動件31之驅動本體311與第二驅動件33之驅動本體331亦可不同軸線設置,對應地,對第一連桿機構50及第二連桿機構70之長度進行調整即可。可理解,樞接組件90之二第一軸承91與第二軸承93可省略,直接藉由連接件95及鎖緊件97鉸接樞接端731及鉸接端531即可。
另,本領域技術人員還可於本發明精神內做其他變化,當然,這些依據本發明精神所做之變化,都應包含於本發明所要求保護之範圍內。
100...搬運裝置
10...固定座
11...收容空間
13...第一固定部
15...第二固定部
151...連接臂
30...驅動組件
31...第一驅動件
33...第二驅動件
311、331...驅動本體
313、332...驅動端
50...第一連桿機構
51...第一連桿
511...固接部
513...推桿部
53...第二連桿
531...鉸接端
5311...收容槽
5313...鉸接孔
533...裝設臂
70...第二連桿機構
71...第一軸桿
73...第二軸桿
731...樞接端
7311...容納槽
7313...樞接孔
730...安裝空間
80...鉸接組件
90...樞接組件
91...第一軸承
93...第二軸承
95...連接件
951...擋設部
953...鎖緊部
97...鎖緊件
圖1係本發明實施方式之搬運裝置之立體示意圖。
圖2係圖1所示搬運裝置之分解示意圖。
圖3係圖2所示搬運裝置之另一視角之分解示意圖。
圖4係圖1所示搬運裝置之沿IV-IV線之剖視圖。
圖5係圖1所示搬運裝置之沿V-V線之剖視圖。
100...搬運裝置
10...固定座
11...收容空間
13...第一固定部
15...第二固定部
151...連接臂
30...驅動組件
31...第一驅動件
33...第二驅動件
50...第一連桿機構
51...第一連桿
53...第二連桿
533...裝設臂
70...第二連桿機構
71...第一軸桿
73...第二軸桿
731...樞接端
80...鉸接組件
90...樞接組件

Claims (8)

  1. 一種搬運裝置,其包括驅動組件及第一連桿機構,該驅動組件與該第一連桿機構相固接,並驅動該第一連桿機構,其改良在於:該搬運裝置還包括固定座及第二連桿機構,該驅動組件包括第一驅動件及第二驅動件,該第一驅動件及該第二驅動件相對固定裝設於該固定座上,該第一連桿機構包括相鉸接之第一連桿及第二連桿,該第一連桿固定於該第一驅動件上,該第二連桿遠離該第一連桿之一端延伸形成有用以承載工件之裝設臂;該第二連桿機構包括相樞接之第一軸桿及第二軸桿,該第一軸桿固定於該第二驅動件上,該第二軸桿遠離該第一連桿之一端與該第二軸桿遠離該第一軸桿之一端轉動連接,該第一驅動件及該第二驅動件分別驅動該第一連桿機構與該第二連桿機構沿相向或相反運動以實現該第一連桿機構及該第二連桿機構之伸縮,或驅動該第一連桿機構及該第二連桿機構沿同向相對該固定座轉動,以搬運工件。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之搬運裝置,其中該第一連桿機構之第二連桿遠離該第一連桿之一端上設有鉸接端,該第二連桿機構之第二軸桿遠離該第一軸桿之一端上設有樞接端,該搬運裝置還包括樞接組件,該鉸接端與該樞接端藉由該樞接組件相樞接。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之搬運裝置,其中該第一連桿機構之第二連桿之鉸接端上貫通開設有鉸接孔,該第二連桿機構之第二軸桿之樞接端上對應於該鉸接孔貫通開設有樞接孔;該樞接組件包括連接件及與該連接件螺接之鎖緊件,該連接件一端穿過該鉸接孔及該樞接孔,並與該鎖緊件相螺接。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之搬運裝置,其中該第一連桿機構之第二連桿之鉸接端上圍繞該鉸接孔週緣凹設有收容槽,該第二連桿機構之第二軸桿之樞接端上圍繞該樞接孔週緣凹設有容納槽,該收容槽與該容納槽共同形成一安裝空間;該樞接組件還包括二第一軸承及第二軸承,該二第一軸承分別裝設於該鉸接孔及該樞接孔內,該第二軸承裝設於該安裝空間內,並與該樞接端及該鉸接端相抵持,該連接件依次穿過該鉸接端上之第一軸承、該第二軸承及該樞接端上之第一軸承,並與該鎖緊件相螺接。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之搬運裝置,其中該連接件包括擋設部及凸設於該擋設部上之鎖緊部,該擋設部與該第一連桿機構之鉸接端之第一軸承之內圈相抵持,該螺接部一端穿設於該鉸接端上之第一軸承、該第二軸承及該樞接端上之第一軸承,並與該鎖緊件相螺接,該鎖緊件與該樞接端上之第一軸承之內圈相抵持,以調節該樞接端與該鉸接端之間之距離。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之搬運裝置,其中該固定座包括相對之第一固定部及第二固定部,該第一驅動件及該第二驅動件均包括驅動本體及轉動地裝設於該驅動本體一端之驅動端,該第一驅動件之驅動本體固定裝設於該第一固定部上,該第一驅動件之驅動端與該第一連桿機構之第一連桿遠離第二連桿之一端相固接;該第二驅動件之驅動本體固定裝設於該第二固定部上,該第二驅動件之驅動端靠近該第一驅動件之驅動端,並與該第二連桿機構之第一軸桿遠離第二軸桿之一端相固接。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之搬運裝置,其中該第一連桿機構之第一連桿包括固接部及由該固接部一側延伸形成之推桿部,該固接部與該第一驅動件之驅動端固定連接,該推桿部遠離該固接部一端與該第二連桿一端相鉸接。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之搬運裝置,其中該第一驅動件及該第二驅動件相對同軸固定裝設於該固定座上。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI727961B (zh) * 2016-07-22 2021-05-21 易立威機電股份有限公司 五軸門形機械手

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107650117A (zh) * 2016-07-26 2018-02-02 易立威机电股份有限公司 五轴门形机械手及其操作方法
CN109202955A (zh) * 2018-11-07 2019-01-15 引先自动化科技(苏州)有限公司 盒转移用臂及具备其的搬送系统

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5080549A (en) * 1987-05-11 1992-01-14 Epsilon Technology, Inc. Wafer handling system with Bernoulli pick-up
CN2070151U (zh) * 1990-07-06 1991-01-30 张雪雁 擦玻璃机械手
DE4342715A1 (de) * 1993-12-15 1995-06-22 Zasche Foerdertechnik Gmbh Handgeführter Manipulator
CN2221474Y (zh) * 1995-02-28 1996-03-06 中国科学院沈阳自动化研究所 油水管扶正机械手
CN100355539C (zh) * 2005-11-11 2007-12-19 北京航空航天大学 三自由度力觉交互装置
KR101321618B1 (ko) * 2007-09-13 2013-10-23 가부시키가이샤 야스카와덴키 이송 로봇 및 이의 제어 방법
JP5525399B2 (ja) * 2010-09-16 2014-06-18 東京エレクトロン株式会社 搬送装置、基板処理システム及び姿勢制御機構

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI727961B (zh) * 2016-07-22 2021-05-21 易立威機電股份有限公司 五軸門形機械手

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