TW201404700A - 太陽電池夾具用靜電荷移除 - Google Patents

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Abstract

一種製造系統包含龍門架模組，具有用於將工件從傳送機系統移動到工作區的末端執行器，例如，交換模組。交換模組從裝載鎖移除已處理的工件的矩陣且將未處理的工件的矩陣放置在其位置。接著通過龍門架模組將已處理的工件移動回到傳送機。歸因於操作速度，末端執行器可能累積過量靜電荷。為了移除此累積電荷，接地導電刷子策略性地定位，以使得當末端執行器在正常操作期間移動時，其與刷子接觸，移除末端執行器上的累積電荷，而不影響產量。在另一實施例中，當交換模組將矩陣移動到裝載鎖且從裝載鎖移動矩陣時，末端執行器在刷子上方移動。

Description

太陽電池夾具用靜電放電移除
本發明涉及工件處置，且更明確地說，涉及在高產量應用中從工件處置設備移除靜電荷。
離子注入為用於將更改導電性的雜質引入到工件中的標準技術。在離子源中使所要雜質材料離子化，使離子加速以形成指定能量的離子束，且將所述離子束對準工件的表面。所述離子束中的高能離子穿透到工件材料的主體中且嵌入到工件材料的晶格中以形成具有所要導電性的區域。
離子注入已證明為用以對太陽電池摻雜的可行方法。太陽電池製造產業的兩個問題為製造產量以及電池效率。電池效率測量轉換為電力的太陽能的量。可能需要較高電池效率以在太陽電池製造產業中保持競爭性。然而，不能為了提高電池效率而犧牲製造產量。
使用離子注入移除現有太陽電池技術所需要的處理步驟(例如，擴散爐)。舉例來說，如果使用離子注入來取代爐擴散， 那麼可移除鐳射邊緣隔離步驟，這是因為離子注入將僅對所要表面摻雜。離子注入還提供執行太陽電池的整個表面的毯覆式注入或僅太陽電池的部分的選擇性(或圖案化)注入的能力。在高產量下使用離子注入的選擇性注入避免用於爐擴散的昂貴且耗時的光刻或圖案化步驟。選擇性注入還實現新太陽電池設計。此外，已使用離子注入來製造具有較高電池效率的太陽電池。
因此，對離子注入器的製造產量或其可靠性的任何改進對於全世界的太陽電池製造商將為有益的。這可加速採用太陽電池作為替代能源。
一種製造系統包含龍門架模組，具有用於將工件從傳送機系統移動到工作區的末端執行器，例如，交換模組。所述交換模組從裝載鎖移除已處理的工件的矩陣且將未處理的工件的矩陣放置在其位置。接著通過所述龍門架模組將所述已處理的工件移動回到所述傳送機。歸因於操作速度，所述末端執行器可能累積過量靜電荷。為了移除此累積電荷，接地導電刷子策略性地定位，以使得當所述末端執行器在正常操作期間移動時，其與這些刷子接觸。這移除所述末端執行器上的此累積電荷，而不影響產量。在另一實施例中，當所述交換模組將矩陣移動到所述裝載鎖且從所述裝載鎖移動矩陣時，所述末端執行器在所述刷子上方移動。
100‧‧‧工件處置系統
101‧‧‧矩陣
102‧‧‧裝載鎖
105‧‧‧末端執行器
106a‧‧‧帶模組
106b‧‧‧帶模組
106c‧‧‧帶模組
107‧‧‧相機
108‧‧‧龍門架模組
109‧‧‧交換模組
110‧‧‧構建站
113‧‧‧工作區
120a‧‧‧Y致動器
120b‧‧‧Y致動器
121‧‧‧X致動器
122‧‧‧伺服電動機
123‧‧‧齒輪箱
124‧‧‧驅動軸杆
125‧‧‧機器人頭部
126‧‧‧Z致動器
128‧‧‧末端執行器
129‧‧‧夾具
136‧‧‧刷子
200‧‧‧龍門架機器人
201‧‧‧已處理的工件
201a‧‧‧第一已處理的工件
201b‧‧‧第二已處理的工件
202‧‧‧未處理的工件
圖1為工件處置系統的第一實施例的透視圖。
圖2為圖1所說明的工件處置系統的第一實施例的俯視透視圖。
圖3為圖1所說明的工件處置系統的第一實施例的側視透視圖。
圖4A到圖4E說明使用圖1到圖3所說明的工件處置系統進行的工件處置的一個實施例。
圖5A到圖5E說明使用圖6所說明的工件處置系統進行的工件處置的實施例。
圖6為如圖1所說明的龍門架模組的實施例。
本文中結合太陽電池工件描述工件處置系統。然而，實施例可與其它工件一起使用，例如，半導體晶片、發光二極體(light emitting diodes；LED)、絕緣體上矽(silicon-on-insulator；SOI)晶片或其它裝置。工件處置系統可與離子注入器或與像沉積、蝕刻或其它工件處理系統等其它處理設備一起使用。因此，本發明不限於下文描述的具體實施例。
圖1到圖3所說明的示範性工件處置系統100可使用4×4工件矩陣處理大於約2000個晶片/小時(wph)。當然，可使用其 它工件矩陣設計且本文中的實施例不僅限於4×4矩陣。還可使用其它大小，例如，2×2或2×4矩陣。這些圖式表示工件處置系統，下文將更詳細地描述所述工件處置系統的個別元件。圖1繪示帶模組、龍門架模組、矩陣、構建站、交換機器人以及裝載鎖的透視圖。圖2和圖3分別繪示這些組件的俯視圖和側視圖。
此工件矩陣101可放置在具有個別狹槽或凹陷部以固持工件的承載器中。在替代實施例中，不存在用於工件的承載器。矩陣101替代地在處理之前和處理期間由機器人或其它構件處置。在此實例中，矩陣可固持在靜電或機械夾鉗上，或通過重力固持。
此工件處置系統100從運輸盒(cassette)或其它介面轉移工件，構建矩陣101，且將矩陣101移動到裝載鎖102中。還可通過工件處置系統100執行逆向過程以將工件轉移回到運輸盒或其它介面。裝載鎖102連接到離子注入器或某一其它處理工具。
在此實施例中，三個帶模組106a、106b、106c可從運輸盒運輸工件。工件的運輸可按指定速度、間隔或間距執行。機器人可用以將工件放置到帶模組106a、106b、106c上。
接地且導電的刷子136(例如，碳纖維刷子)的陣列可位於鄰近帶模組106之間。儘管圖1到圖2中僅說明這些刷子136中的一者，但可使用多個刷子136，且這些刷子136中的一者可位於鄰近帶模組106中的每一者之間。還可使用其它合適的導電材料。這些刷子的厚度可足以確保刷子在持久使用之後不會變形或 斷裂。這些刷子136可足夠高以確保與末端執行器接觸，但不會高到不利地接觸鄰近元件。在一些實施例中，刷子136比末端執行器的長度(沿著其最長尺寸)長，以使得當末端執行器105通過刷子136上方時，夾具的所有表面都被接觸。當然，可使用較短陣列，然而，將需要末端執行器105的額外移動以確保夾具的所有表面都接觸刷子136。在夾具稍微間隔開的情況下，刷子136的陣列可在其中具有對應於夾具之間的間隔的間隙。換句話說，儘管可使用刷子136的連續線性陣列，但其它配置也是可能的。每一刷子136的遠端用以在末端執行器105在刷子136上方移動時接觸末端執行器105。每一刷子136的近端電連接到接地。
可通過將導線從刷子136連接到框架上的接地點而建立接地連接。在一個實施例中，刷子136可捲曲到金屬條中。此金屬條可具有接地導線可連接到的通孔或螺孔。此接地導線可為在每一末端具有合適附件(例如，環形接線片)的任何標準導電線。導線的遠端可連接到工件處置設備100的框架上的合適接地位置，其可系接到接地。
在帶模組106a、106b、106c的末尾，相機107以及控制器用以確定工件中的每一者的位置且用以確定在轉移到矩陣101期間是否需要校正工件的位置或定向。在其它實施例中，可使用超過三個或少於三個帶模組106a、106b、106c。這些帶模組106a、106b、106c中的每一者可被指定用於裝載或卸載工件或可用於裝載和卸載兩者。
龍門架模組108例如通過使用靜電力、機械力或真空力從帶模組106a、106b、106c抓取工件且構建矩陣101。龍門架模組108可在三個維度上移動且還可實現旋轉運動。此龍門架模組108可使用來自相機107以及控制器的資訊來校正工件的位置或定向。龍門架模組108還可將工件從矩陣101移除以放置到帶模組106a、106b、106c上，用於轉移回到運輸盒或其它介面。
龍門架模組108可具有至少一個y軸致動器、一個x軸致動器、一個z軸致動器以及傾斜或旋轉致動器。此提供四個自由度且實現抓放操作。龍門架模組108可在x、y和θ(傾斜)方向上校正工件。龍門架模組108還可將工件從帶模組106a、106b、106c中的任一者運輸到矩陣101中的任何位置。可通過龍門架模組108執行θ方向上的旋轉或傾斜。
龍門架模組108的末端執行器105為多夾具設計，其可為矩陣101的較小版本。因此，儘管矩陣101可為4×4工件，但龍門架模組108可為1×4或某一其它設計。可通過龍門架模組108個別地或作為1×4群組來校正工件。
在操作的一個實施例中，龍門架模組108拿取已處理的四個工件且將其放置在帶模組106a、106b、106c中的一者上。龍門架模組接著從帶模組106a、106b、106c中的不同者取四個未處理的工件且將這些未處理的工件放置在矩陣101中。這減少了行進時間以及龍門架模組108未運輸工件的時間的總量。未處理的工件可放置在矩陣101中先前處理的工件被移除之處。可重複此 過程且通過龍門架模組108進行的矩陣101的組合式裝載和卸載可用於整個矩陣101。當然，龍門架模組108可在將未處理的工件放置在矩陣101上之前完全卸載矩陣101。
在一些實施例中，交換模組109(使用至少一個“交換機器人”)可用以將矩陣101放置到裝載鎖102中。此交換模組109可為線性致動器。交換模組109中可存在一個以上交換機器人。舉例來說，這些交換機器人可固持空承載器以及滿承載器。一個交換機器人在裝載和卸載期間可停放在旁邊。每一交換機器人可具有z軸致動器以及一個以上y軸致動器以用於刀片中的每一者。第一交換機器人可從構建站110抓取矩陣101中的未處理的工件且第二交換機器人可延伸到裝載鎖102中以抓取已處理的工件。將已處理的工件從裝載鎖102移除且將未處理的工件放置在裝載鎖102中。已處理的工件返回到建構站以供卸載，而未處理的工件經受注入或以其它方式處理。
矩陣101的建構可與裝載鎖102的抽氣或通風協調。此可提高附接到裝載鎖102的系統(例如，離子注入器)的產量。
圖6繪示龍門架模組108的擴展圖。龍門架模組108具有兩個軌道或Y致動器120a、120b，橫杆或X致動器121在所述軌道或Y致動器120a、120b上移動。在一些實施例中，伺服電動機122與齒輪箱123以及驅動軸杆124一起定位在Y致動器120a、120b中的一者上。伺服電動機122的旋轉導致驅動軸杆124的對應旋轉，驅動軸杆124的旋轉又導致X致動器121移動。機器人 頭部125位於X致動器121上。通過Y致動器120a、120b以及X致動器121的移動，機器人頭部125可在X和Y方向上移動。機器人頭部125還具有Z致動器126，其允許機器人頭部125在必要時上下移動。
機器人頭部125還具有末端執行器128。在一些實施例中，末端執行器128在其遠端可包含多個夾具129。夾具129可使用任何合適的系統以用於抓取和固持工件，包含，但不限於，基於文丘裡裝置(Venturi device)的吸取系統以及真空系統。在一些實施例中，獨立地控制每一夾具129的吸取，以使得一個夾具可能正在抓取或固持工件，而另一夾具處於非作用中。這些夾具129可按照任何配置(例如，如圖6所繪示的1×4線性陣列)佈置。在一些實施例(例如，圖6所繪示的實施例)中，末端執行器128可具有繞著Z軸旋轉的能力，其中此旋轉在本揭露中描述為傾斜或θ軸旋轉。此旋轉致動器允許末端執行器(以及多個夾具)旋轉，如關於圖5A到圖5E更詳細地描述。
龍門架模組108還具有控制器(未圖示)，其控制各種致動器以及夾具的移動。當然，需要時還可使用多個控制器。控制器包含處理單元、記憶元件以及輸入/輸出模組。記憶元件含有允許龍門架模組108執行本文中所描述的序列以及任何其它所要移動的指令。
末端執行器128以及夾具129各自可具有大表面積，且因此可在末端執行器128從一個位置快速移動到另一位置時易受 到靜電荷累積的影響。在一些實施例中，超過3000伏的靜電荷可聚集在夾具129上。此聚集的電荷傾向於吸引工件且使得工件的釋放較困難，這是因為工件傾向於保持附接到夾具129，即使在不存在將工件固持於適當位置的任何吸取力時也這樣。如先前所描述，接地導電刷子(例如，碳纖維刷子)可併入於系統100中，例如，在鄰近帶模組106a、106b、106c之間。如下文將更詳細地描述，末端執行器128移動以使得夾具129接觸圖1到圖2所說明的刷子136，進而按需要移除聚集的靜電荷。為了保護工件，末端執行器128的運動使得僅當夾具129不承載工件時與刷子136進行接觸。
描述龍門架模組108的結構元件之後，將描述其操作以及與刷子136的交互。圖4A到圖4E說明使用圖1到圖3所說明的工件處置系統進行的工件處置的一個實施例。在圖4A中，可作為圖6的龍門架模組108的部分的末端執行器128位於第一帶模組106c上方。這是通過如上文所描述移動X致動器121以及Y致動器120a、120b而進行。在此實施例中，刷子136的陣列設置在帶模組106b與帶模組106c之間。
在此時，矩陣101可含有按4×4佈置的十六個已處理的工件201。其它佈置也可在本揭露的範圍內。一個帶模組(在此實例中為帶模組106a)含有未處理的工件202(在圖4A的實施例中標為陰影)。
在圖4B中，龍門架機器人頭部，更具體地說，末端執行 器128，從其先前位置移動且定位在矩陣101上方。末端執行器128接著從矩陣101的一行抓取四個已處理的工件。龍門架模組108可在已處理的工件201已被夾取或抓取之後校正已處理的工件201的位置或傾斜。在其它實施例中，龍門架模組108在工件被抓取之前校正工件的位置或傾斜。舉例來說，在一個實施例中，龍門架模組108使用相機107(如圖1中所見)來確定第一已處理的工件201a的傾斜。末端執行器128將接著抓取已處理的工件201a。龍門架模組108將接著利用相機107(如圖1中所見)來確定第二已處理的工件201b的位置和傾斜。龍門架模組108將接著使正固持已處理的工件201a的末端執行器旋轉，以與已處理的工件201b對準。一旦對準，末端執行器將抓取第二已處理的工件201b。龍門架模組108可重複此序列，直到末端執行器128的每一夾具129已抓取已處理的工件201為止。
在圖4C中，龍門架機器人200已將四個已處理的工件201運輸到帶模組中的一者(在此狀況下為帶模組106c)以供卸載。由於末端執行器128正在運輸工件，因此其以足以確保已處理的工件201不會接觸刷子136的垂直高度行進。通過使用Z致動器126，可按需要將末端執行器128維持於各種高度。一旦末端執行器128定位在帶模組106c上方，其便放置已處理的工件201。在已處理的工件201在被抓取時對準的狀況下，末端執行器128簡單地將已處理的工件201放置在帶模組106c上。
在圖4D中，在放置已處理的工件201之後，龍門架模組 108將末端執行器128定位在設置在帶模組106a上的未處理的工件202上方，且抓取這些未處理的工件202。在從帶模組106c移動到帶模組106a時，末端執行器128可維持在允許末端執行器128，明確地說，夾具129，接觸刷子136的垂直高度。由於夾具129未被佔用，因此不存在對工件的損壞的風險。由於這些刷子136接地，因此與夾具129的接觸從夾具129移除聚集的電荷。
在圖4E中，龍門架模組107移動機器人頭部且將四個未處理的工件202放置到矩陣101中。可能已使用帶模組106a、106b、106c中的一者將卸載的已處理的工件201移除到運輸盒或其它介面。可將更多未處理的工件202裝載到帶模組106a、106b、106c中的一者上。重複此轉移過程直到已處理的工件201從矩陣101卸載且未處理的工件202已裝載到矩陣101中為止。
圖5A到圖5E繪示運輸工件的第二實施例。在此實施例中，可作為圖6的龍門架模組108的部分的末端執行器128從矩陣101轉移四個已處理的工件201且將這四個已處理的工件201放置在帶模組106a、106b、106c中的一者上。然而，末端執行器128在從矩陣101抓取已處理的工件201與將那些已處理的工件201放置在帶模組106a、106b、106c上之間旋轉90°(或-90°)，如圖5B到圖5C所繪示。類似地，末端執行器128在將未處理的工件202從帶模組106a、106b、106c轉移到矩陣101時旋轉90°(或-90°)，如圖5D到圖5E所繪示。如前所述，可在正抓取或放置工件時進行對準，且可在帶模組106a、106b、106c、矩陣101或兩 個位置處執行此對準。在此實施例中，末端執行器128在圖5C與圖5D所繪示的位置之間移動時以確保與刷子137接觸的垂直高度行進。在所有其它時間，末端執行器128以足以避免刷子136的垂直高度行進。
應注意，儘管將刷子136說明為設置在帶模組106c與帶模組106b之間，但本發明不限於此實施例。舉例來說，刷子還可放置在帶模組106a與帶模組106b之間。在一些實施例中，導電刷子136可設置在兩個位置。將導電刷子設置在這些位置的一個益處為末端執行器128的移動的效率。在圖4A到圖4E以及圖5A到圖5E所說明的兩個實施例中，在正常操作期間，末端執行器128在不承載任何工件時週期性地通過刷子136的位置上方。因此，不需要特別移動來迫使末端執行器128以及夾具129與刷子136進行接觸。
因此，在這些實施例中，導電刷子136設置於末端執行器128在正常操作期間在上方通過的區域中。在這些實施例中，末端執行器128在承載工件時以第一垂直高度在刷子136上方行進，且在不承載工件時以小於第一垂直高度的第二垂直高度行進。以此方式，末端執行器128不將刷子136與工件接觸，所述接觸原本會損害工件的移去。
當然，刷子136可設置在其它位置。舉例來說，刷子136可設置在帶模組106c的外邊緣(即，遠離帶模組106b)。在此實施例中，末端執行器128必須特定地移動到此區域以便保證夾具 129與刷子136之間的接觸。然而，由於末端執行器128不通過在此位置的刷子136上方，因此末端執行器128不必以不同垂直高度移動，如上文所描述。
應注意，儘管圖式繪示工件處置設備的特定實施例，但本揭露不限於此實施例。末端執行器的運動導致聚集靜電荷的任何機器人系統可經修改以包含本文中描述的刷子。
舉例來說，機器人系統可具有工件來源以及目的地，其中機器人將工件從來源移動到目的地。當機器人朝來源移動以提取工件時，其可接觸刷子。當機器人承載著工件朝目的地返回移動時，其避免刷子。
在另一實施例中，機器人系統可具有來源、目的地以及工作區，以使得機器人將工件從來源移動到工作區，且接著從工作區移動到目的地。在此之後，機器人系統可移動到來源以提取另一工件。因此，當機器人從目的地移動到來源時，其不承載工件且因此可接觸刷子。
因此，在一些實施例中，機器人系統的末端執行器在從目的地移動到來源時接觸刷子。在這些實施例中，末端執行器可移動以在任何其它移動期間避免刷子。可通過改變末端執行器的垂直高度來避免刷子，或通過修改其路徑以避免導電刷子。
在一些實施例(例如，圖4A到圖4E以及圖5A到圖5E所繪示的實施例)中，來源與目的地可為同一區。在此實施例中，末端執行器在從目的地(即，放置已處理的工件的位置)移動到 來源(即，抓取未處理的工件的位置)時仍接觸刷子。另外，在其它移動中，可通過改變末端執行器的垂直高度來避免刷子，或修改末端執行器的路徑以避免刷子。
在另一實施例中，末端執行器在閒置時間期間在刷子136上方移動。舉例來說，返回參看圖1，末端執行器105將工件從帶模組106a、106b、106c移動到矩陣110。一旦矩陣填滿，交換機器人109便將那個矩陣110移動到裝載鎖102且提取先前處理的矩陣。當此動作正在發生時，末端執行器105為閒置的，這是因為其不能將工件移動到矩陣110。閒置時間定義為工件正在工作區113中被處理而使得不能放置工件或從工作區113移除工件的時間。
在末端執行器105已將所有工件移動到工作區113之後，且當工件正被處理而使得工作區113不可使用時，末端執行器105在刷子136上方移動。在一些實施例中，末端執行器105通過刷子上方或掃掠過刷子多次，每一次都與刷子接觸，以移除靜電荷。在其它實施例中，末端執行器105移動到其與刷子接觸且在與刷子136接觸的同時保持固定的位置。
在一些實施例中，移除靜電荷的整個過程完全在閒置時間內發生，以使得產量完全不受影響。換句話說，在將最後一個工件放置在矩陣110上之後，末端執行器105在刷子上方移動。末端執行器105接著在已處理的矩陣已被提取且放置在工作區113之前返回到工作區113。在其它實施例中，移除靜電荷的過程至少 部分在閒置時間期間發生，以使得末端執行器105在已處理的工件已被遞送之後返回到工作區113。
在此實施例中，刷子137可位於末端執行器105可到達的任何位置。換句話說，刷子136可處於帶模組106c的外邊緣上，或定向在垂直於帶模組106的方向上。如關於其它實施例所描述，末端執行器105在不承載任何工件時接觸刷子136。在一些實施例中，末端執行器105在每一足夠長的閒置時間期間在刷子136上方移動。在其它實施例中，末端執行器105不會在每一閒置時間期間在刷子上方移動。可基於電荷在末端執行器105上聚集的速率來確定頻率。
儘管上述實例將交換機器人109的使用說明為用以在工作區113中處理工件的機器人，但本發明不限於此實施例。閒置時間定義為使工作區113對於末端執行器不可用的任何處理步驟。
在其它實施例中，使用用於移除電荷的兩個方案。換句話說，末端執行器105在閒置時間期間移動到刷子136，且在正常操作期間也接觸刷子。
使用接地導電刷子與現有技術做法相比對於靜電聚集具有優點。在現有技術中，系統利用吹除系統，借此通過夾具將正壓力施加到工件以從夾具移除工件。此系統需要額外元件來將氣體管線供應到每一夾具。另外，用以將工件從夾具吹除的壓力負面地影響那些工件的放置的準確性。本系統不需要夾具以及末端執行器系統的複雜性的任何增加，且維持工件放置的較大準確性。
本揭露在範圍上不受本文中描述的具體實施例限制。實際上，除本文中描述的實施例之外，根據上述描述和隨附圖式，本揭露的其它各種實施例和修改對於所屬領域的技術人員而言將為明顯的。希望這些其它實施例和修改落入本揭露的範圍內。此外，儘管本文中已在特定實施方案的上下文中在特定環境中針對特定目的描述了本揭露，但所屬領域的技術人員應認識到，其用處不限於此且本揭露可有益地在任何數目個環境中針對任何數目個目的而實施。因此，本文闡述的權利要求書應鑒於如本文中描述的本揭露的全寬度和精神來解釋。
100‧‧‧工件處置系統
101‧‧‧矩陣
102‧‧‧裝載鎖
105‧‧‧末端執行器
106a‧‧‧帶模組
106b‧‧‧帶模組
106c‧‧‧帶模組
107‧‧‧相機
108‧‧‧龍門架模組
109‧‧‧交換模組
110‧‧‧構建站
113‧‧‧工作區
136‧‧‧刷子

Claims (12)

  1. 一種工件處置系統，包括用於將多個工件從第一位置移動到第二位置的龍門架模組，所述龍門架模組包括：末端執行器，具有用於抓取所述工件的一個以上夾具；致動器，移動所述末端執行器；以及刷子，接地且導電，位於所述末端執行器可到達的位置。
  2. 根據權利要求1所述的工件處置系統，其中所述刷子包括碳纖維。
  3. 根據權利要求1所述的工件處置系統，其中所述第一位置包括一個以上帶模組，且所述刷子鄰近於所述一個以上帶模組。
  4. 一種從工件處置系統的末端執行器移除靜電荷的方法，包括：使用所述末端執行器來從來源抓取工件；將具有所述工件的所述末端執行器移動到工作區；將所述工件放置在所述工作區中；當所述工件正在所述工作區中被處理時，移動所述末端執行器以便使接地且導電的刷子與所述末端執行器接觸。
  5. 根據權利要求4所述的方法，其中所述末端執行器在所述工件完成所述工作區中的處理之前返回到所述工作區。
  6. 根據權利要求4所述的方法，更包括使用機器人將所述工件從所述工作區移動到裝載鎖，以從所述裝載鎖提取已處理的工件，且將所述已處理的工件放置在所述工作區中。
  7. 根據權利要求6所述的方法，其中所述末端執行器返回到所述工作區以抓取所述已處理的工件。
  8. 根據權利要求7所述的方法，其中所述末端執行器在所述已處理的工件放置在所述工作區中之前返回。
  9. 一種從工件處置系統的末端執行器移除靜電荷的方法，包括：使用所述末端執行器來從來源抓取工件；將具有所述工件的所述末端執行器移動到一位置；將所述工件放置在所述位置；返回到所述來源以提取第二工件；以及當正移動到所述來源且在所述末端執行器不承載工件時，使接地且導電的刷子與所述末端執行器接觸。
  10. 根據權利要求9所述的方法，其中所述末端執行器在移動到所述位置時以第一垂直高度行進，且在返回到所述來源時以小於所述第一垂直高度的第二垂直高度行進。
  11. 根據權利要求9所述的方法，其中所述位置為目的地。
  12. 根據權利要求9所述的方法，其中所述位置為工作區，且所述方法更包括在返回到所述來源以提取第二工件之前將工件從所述工作區移動到目的地。
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