CN110238816A - 机械手臂、机械手及传送设备 - Google Patents

机械手臂、机械手及传送设备 Download PDF

Info

Publication number
CN110238816A
CN110238816A CN201910384713.5A CN201910384713A CN110238816A CN 110238816 A CN110238816 A CN 110238816A CN 201910384713 A CN201910384713 A CN 201910384713A CN 110238816 A CN110238816 A CN 110238816A
Authority
CN
China
Prior art keywords
support
conductive structure
mechanical arm
support construction
supporting pad
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910384713.5A
Other languages
English (en)
Inventor
陈明伟
李秉谦
刘曦
万美辉
赵代洲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mianyang Beijing Oriental Optoelectronic Technology Co Ltd
BOE Technology Group Co Ltd
Mianyang BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Mianyang Beijing Oriental Optoelectronic Technology Co Ltd
BOE Technology Group Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mianyang Beijing Oriental Optoelectronic Technology Co Ltd, BOE Technology Group Co Ltd filed Critical Mianyang Beijing Oriental Optoelectronic Technology Co Ltd
Priority to CN201910384713.5A priority Critical patent/CN110238816A/zh
Publication of CN110238816A publication Critical patent/CN110238816A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0009—Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05F—STATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00—Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/02—Carrying-off electrostatic charges by means of earthing connections

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本公开提供了一种机械手臂，该机械手臂包括：至少一个支臂，每个支臂上设置有至少一个支撑结构，每个支撑结构对应设置有导电结构，所述支撑结构与对应的所述导电结构连接。本公开还提供了机械手和传送设备。

Description

机械手臂、机械手及传送设备
技术领域
本公开实施例涉及半导体光电显示技术领域，特别涉及一种机械手臂、机械手及传送设备。
背景技术
目前，溅射设备(Sputter)所使用的真空机械手臂(Vacuum Robot)中，支臂(Fork)和支臂(Fork)上安装的支撑结构通常采用陶瓷材质，例如聚醚醚酮(Polyetheretherketone，简称：PEEK)材质或者聚苯并咪唑(PolyBenzImidazole，简称：PBI)材质。
在真空环境中，真空机械手臂的支臂(Fork)上的支撑结构通过摩擦力来实现玻璃基板的吸附。在摩擦吸附的过程中，通常会产生一定的摩擦电荷，但由于陶瓷材质的导电性能较差，使得在传送玻璃基板过程中，摩擦电荷会逐渐积累，积累到一定程度后，会在支撑结构朝向玻璃基板的表面发生静电释放(ESD)，将对玻璃基板造成损伤，从而影响了产品的质量，甚至降低了产品的良率。因此，如何控制并降低摩擦电荷，对产品的良率的提升有着重大的意义。
发明内容
本公开实施例旨在至少解决上述现有技术中存在的技术问题之一，提供一种机械手臂、机械手及传送设备。
第一方面，本公开实施例提供了一种机械手臂，该机械手臂包括至少一个支臂，每个支臂上设置有至少一个支撑结构，每个支撑结构对应设置有导电结构，所述支撑结构与对应的所述导电结构连接。
在一个示例性实施例中，所述支撑结构包括至少一个支撑垫，每个所述支撑垫均与对应的所述导电结构连接。
在一个示例性实施例中，每个支臂朝向所述支撑结构的一侧设置有与所述支撑结构对应的凹槽，所述导电结构对应设置于所述凹槽中。
在一个示例性实施例中，所述导电结构设置于所述支臂朝向所述支撑结构的一侧的表面。
在一个示例性实施例中，所述导电结构位于对应的所述支撑垫和所述支臂之间。
在一个示例性实施例中，所述支撑垫具有支撑部和形成于支撑部朝向所述导电结构设置的固定部，所述导电结构上设置有通孔，所述支撑垫的固定部设置于对应的所述导电结构的通孔中。
在一个示例性实施例中，所述支撑结构包括多个支撑垫，多个支撑垫间隔设置。
在一个示例性实施例中，所述导电结构的材料为铜。
第二方面，本公开实施例提供了一种机械手，该机械手包括上述的机械手臂。
在一个示例性实施例中，该机械手还包括基座，所述基座上设置有接地端，所述机械手臂的每个支臂对应的导电结构均连接至所述接地端。
第三方面，本公开实施例提供了一种传送设备，该传送设备包括上述的机械手。
附图说明
图1为本公开实施例提供的一种机械手臂的结构示意图；
图2为图1中的机械手臂的俯视视图；
图3为本公开实施例提供的机械手臂的一种应用场景示意图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本公开的技术方案，下面结合附图对本公开提供的机械手臂、机械手及传送设备进行详细描述。
图1为本公开实施例提供的一种机械手臂的结构示意图，如图1所示，该机械手臂包括至少一个支臂1，每个支臂1上设置有至少一个支撑结构，每个支撑结构对应设置有导电结构2，支撑结构与对应的导电结构2连接。
其中，如图1所示，支撑结构用于承载玻璃基板3。具体地而言，机械手臂在传送玻璃基板3的过程中，在真空环境中，支撑结构用于通过摩擦力吸附玻璃基板3。
导电结构2用于将支撑结构在承载玻璃基板3时产生的电荷导入导电结构2中。由于支撑结构与导电结构连接，因此，玻璃基板3和支撑结构之间因摩擦产生摩擦电荷时，支撑结构上的摩擦电荷将被导入导电结构2中，从而有效减少支撑结构上的摩擦电荷，进而有效防止支撑结构上发生静电释放(ESD)现象，有效避免ESD对玻璃基板3的造成的损伤，提高了产品的良率。
在一个示例性实施例中，支撑结构和导电结构2一一对应设置，导电结构2位于对应的支撑结构和支臂1之间。
在一个示例性实施例中，如图1所示，支撑结构包括至少一个支撑垫4，每个支撑垫4均与对应的导电结构2连接。不难理解，在承载玻璃基板3时，每个支撑垫(Pad)4上产生的摩擦电荷将被导入对应的导电结构2中。
在一个示例性实施例中，支撑结构包括多个支撑垫4，多个支撑垫4间隔设置。从而有效减少支撑结构与玻璃基板之间的摩擦面积，进而有效减少支撑结构与玻璃基板之间产生的摩擦电荷。在一个示例性实施例中，多个支撑垫4等间隔设置。
当支撑结构包括多个支撑垫4时，多个支撑垫4的高度相同，换言之，多个支撑垫4的上表面(背离支臂1的一面)平齐，从而能够较好的承载玻璃基板。
在一个示例性实施例中，支撑垫4的形状为圆柱形。
在一个示例性实施例中，导电结构2位于对应的支撑垫4和支臂1之间。
图2为图1中的机械手臂的俯视视图，图1为图2的沿AA’方向的截面图，图1和图2均仅示出了机械手臂包括一个支臂1的情况，在一个示例性实施例中，如图2所示，支撑结构的数量为两个，导电结构2的数量为两个，支撑结构和导电结构2一一对应设置。在一个示例性实施例中，如图2所示，每个导电结构2上对应的至少一个(例如三个)支撑垫4构成一个支撑结构。
在一个示例性实施例中，支撑结构包括多个支撑垫4时，如图2所示，每个支撑结构中的多个支撑垫4沿支臂1的长度方向(AA’方向)间隔设置；每个导电结构2沿支臂1的长度方向(AA’方向)设置。
在一个示例性实施例中，如图1所示，每个支臂1朝向支撑结构的一侧设置有与支撑结构对应的凹槽5，导电结构2对应设置于凹槽5中。其中，支撑结构与凹槽5一一对应，凹槽5沿支臂1的长度方向(图2中的AA’方向)设置。
在一个示例性实施例中，如图1所示，凹槽5沿支臂1的宽度方向(图2中与AA’方向垂直的方向)的宽度小于支撑垫4(圆柱形的支撑垫4)的半径；凹槽5的深度H的范围为0.5mm至1.0mm；凹槽5沿支臂1的长度方向(图2中的AA’方向)的长度大于或等于对应的支撑结构沿支臂1的长度方向(图2中的AA’方向)的长度。
在一个示例性实施例中，凹槽5的形状可以为矩形，也可以为圆柱形，可根据导电结构的形状设置。本公开实施例中，凹槽5的形状可以根据实际需要进行设置，本公开实施例对此不作限制。
在一个示例性实施例中，如图1所示，导电结构2的朝向支撑结构的表面与支臂1朝向支撑结构的表面平齐。
在一个示例性实施例中，导电结构2设置于支臂1朝向支撑结构的一侧的表面。具体而言，在支臂1朝向支撑结构的一侧的表面上进行金属喷涂，形成导电结构2。通过在支臂1朝向支撑结构的一侧的表面喷涂金属形成导电结构2，导电结构2的可导电面积大，导电结构2对应的支撑结构上的摩擦电荷的转移效果较优。
在一个示例性实施例中，如图1所示，支撑垫4安装于导电结构2的背离支臂1的一侧，由于导电结构2的朝向支撑结构的表面与支臂1朝向支撑结构的表面平齐，因此能够确保各支撑垫4的高度相同。
在一个示例性实施例中，如图1所示，支撑垫4具有支撑部41和形成于支撑部41朝向对应的导电结构2设置的固定部42，导电结构2上设置有通孔，支撑垫4的固定部42设置于对应的导电结构2的通孔中。在一个示例性实施例中，固定部42和通孔为相互配合的结构，例如固定部42为螺丝，通孔为与螺丝相互配合的螺丝孔。通过将支撑垫4的固定部42设置于对应的导电结构2的通孔中，从而使得导电结构2能够固定在凹槽5中。在一个示例性实施例中，如图1所示，导电结构2的通孔可以延伸至支臂1中，使得支撑垫4能够较好地固定在导电结构2上。
在本公开实施例中，导电结构2的材料为导电材料。在一个示例性实施例中，导电结构2的材料为铜。在一个示例性实施例中，导电结构2为铜片。这是由于铜材料便于获得，成本较低，导电性能较好，可以有效地对支撑结构上产生的摩擦电荷进行导流，避免了摩擦电荷的大量积累，降低了静电释放(ESD)发生的几率，使得产品的良率得到有效提升。
需要说明的是，本公开实施例对于导电结构2的材料不作限制，导电结构2的材料为还可以为银或铝，具体可根据实际需要选定。
在一个示例性实施例中，支撑垫4的材料为陶瓷材料。
在一个示例性实施例中，如图1所示，每个支臂1上还设置有至少一个阻挡结构6，结合图2，阻挡结构6位于支臂1沿AA’方向的一侧上。阻挡结构6用于阻挡支撑结构上承载的玻璃基板3，防止玻璃基板3从机械手臂上滑落。
在一个示例性实施例中，阻挡结构6包括阻挡部61和承载部62。其中，承载部62与支撑垫4间隔设置，承载部62的高度与支撑垫4的高度相同，即承载部62的上表面(背离支臂1的表面)与支撑垫4的上表面(背离支臂1的表面)平齐；承载部62位于玻璃基板3和导电结构2之间，与支撑垫4一起，用于承载玻璃基板3；阻挡部61用于阻挡玻璃基板，防止玻璃基板3滑落。
在一个示例性实施例中，阻挡结构6与支撑垫4同材料形成。
图3为本公开实施例提供的机械手臂的一种应用场景示意图，图3为一种机械手的俯视视图，在一种应用场景中，如图3所示，机械手包括机械手臂，机械手臂包括四个支臂1和基座7，每个支臂1包括两个支撑结构和两个导电结构2，支撑结构和导电结构2一一对应设置，其中，每个支撑结构包括多个(例如三个)支撑垫4，其中，结合图2，各导电结构2沿AA’方向的一端通过金属导线8(例如铜线)连接，并通过金属导线8连接至基座7上的接地端9。在一个示例性实施例中，基座7上的接地端9为接地的螺丝。在一个示例性实施例中，金属导线8缠绕在接地端9上呈螺旋状，从而可提高金属导线8的弹性，有效防止金属导线8发生弹性疲劳而产生断线现象。
在本公开实施例中，机械手臂为真空机械手臂。
本公开实施例所提供的机械手臂的技术方案中，每个支臂上设置有至少一个支撑结构，每个支撑结构对应设置有导电结构，支撑结构与对应的导电结构连接。当支撑结构与其所承载的玻璃基板之间因摩擦产生摩擦电荷时，支撑结构上的摩擦电荷将被导入导电结构中，从而有效减少支撑结构上的摩擦电荷，进而有效防止支撑结构上发生静电释放(ESD)现象，有效避免ESD对玻璃基板的造成的损伤，提高了产品的良率。
相应的，本公开实施例还提供一种机械手，机械手包括至少一个机械手臂，机械手臂包括上述的机械手臂。
在一个示例性实施例中，如图3所示，机械手还包括基座7，基座7上设置有接地端9，机械手臂的每个支臂1对应的导电结构2均连接至接地端9。
在一种应用场景中，如图3所示，机械手包括机械手臂，机械手臂包括四个支臂1和基座7，每个支臂1包括两个支撑结构和两个导电结构2，支撑结构和导电结构2一一对应设置，其中，每个支撑结构包括多个(例如三个)支撑垫4，其中，结合图2，各导电结构2沿AA’方向的一端通过金属导线8(例如铜线)连接，并通过金属导线8连接至基座7上的接地端9。在一个示例性实施例中，基座7上的接地端9为接地的螺丝。在一个示例性实施例中，金属导线8缠绕在接地端9上呈螺旋状，从而可提高金属导线8的弹性，有效防止金属导线8发生弹性疲劳而产生断线现象。
相应的，本公开实施例还提供一种传送设备，该传送设备包括上述的机械手。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本公开的原理而采用的示例性实施方式，然而本公开并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本公开的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本公开的保护范围。

Claims (11)

1.一种机械手臂，其特征在于，包括至少一个支臂，每个支臂上设置有至少一个支撑结构，每个支撑结构对应设置有导电结构，所述支撑结构与对应的所述导电结构连接。
2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述支撑结构包括至少一个支撑垫，每个所述支撑垫均与对应的所述导电结构连接。
3.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，每个支臂朝向所述支撑结构的一侧设置有与所述支撑结构对应的凹槽，所述导电结构对应设置于所述凹槽中。
4.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述导电结构设置于所述支臂朝向所述支撑结构的一侧的表面。
5.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述导电结构位于对应的所述支撑垫和所述支臂之间。
6.根据权利要求5所述的机械手臂，其特征在于，所述支撑垫具有支撑部和形成于支撑部朝向所述导电结构设置的固定部，所述导电结构上设置有通孔，所述支撑垫的固定部设置于对应的所述导电结构的通孔中。
7.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述支撑结构包括多个支撑垫，多个支撑垫间隔设置。
8.根据权利要求1至7任一所述的机械手臂，其特征在于，所述导电结构的材料为铜。
9.一种机械手，其特征在于，包括权利要求1至8任一所述的机械手臂。
10.根据权利要求9所述的机械手，其特征在于，还包括基座，所述基座上设置有接地端，所述机械手臂的每个支臂对应的导电结构均连接至所述接地端。
11.一种传送设备，其特征在于，包括权利要求9或10所述的机械手。
CN201910384713.5A 2019-05-09 2019-05-09 机械手臂、机械手及传送设备 Pending CN110238816A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910384713.5A CN110238816A (zh) 2019-05-09 2019-05-09 机械手臂、机械手及传送设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910384713.5A CN110238816A (zh) 2019-05-09 2019-05-09 机械手臂、机械手及传送设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110238816A true CN110238816A (zh) 2019-09-17

Family

ID=67883843

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910384713.5A Pending CN110238816A (zh) 2019-05-09 2019-05-09 机械手臂、机械手及传送设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110238816A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI816485B (zh) * 2022-07-26 2023-09-21 陳雨達 腕關節機構件及其適用的機械手臂

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW543079B (en) * 1999-06-03 2003-07-21 Applied Materials Inc Robot blade for semiconductor processing equipment
CN1702495A (zh) * 2004-05-24 2005-11-30 统宝光电股份有限公司 静电消除装置及其机台
CN101071785A (zh) * 2006-05-11 2007-11-14 中华映管股份有限公司 可消除静电的基板载具
CN203185356U (zh) * 2013-04-28 2013-09-11 北京京东方光电科技有限公司 一种机械手臂、机械手及传送设备
CN104508814A (zh) * 2012-07-22 2015-04-08 瓦里安半导体设备公司 太阳电池夹具用静电荷移除
CN205704228U (zh) * 2016-06-27 2016-11-23 昆山国显光电有限公司 手臂结构
CN107665841A (zh) * 2016-07-29 2018-02-06 细美事有限公司 基板处理系统
CN108807249A (zh) * 2018-06-12 2018-11-13 武汉华星光电技术有限公司 基板搬运臂

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW543079B (en) * 1999-06-03 2003-07-21 Applied Materials Inc Robot blade for semiconductor processing equipment
CN1702495A (zh) * 2004-05-24 2005-11-30 统宝光电股份有限公司 静电消除装置及其机台
CN101071785A (zh) * 2006-05-11 2007-11-14 中华映管股份有限公司 可消除静电的基板载具
CN104508814A (zh) * 2012-07-22 2015-04-08 瓦里安半导体设备公司 太阳电池夹具用静电荷移除
CN203185356U (zh) * 2013-04-28 2013-09-11 北京京东方光电科技有限公司 一种机械手臂、机械手及传送设备
CN205704228U (zh) * 2016-06-27 2016-11-23 昆山国显光电有限公司 手臂结构
CN107665841A (zh) * 2016-07-29 2018-02-06 细美事有限公司 基板处理系统
CN108807249A (zh) * 2018-06-12 2018-11-13 武汉华星光电技术有限公司 基板搬运臂

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI816485B (zh) * 2022-07-26 2023-09-21 陳雨達 腕關節機構件及其適用的機械手臂

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2360748A3 (en) Light emitting device and light emitting device package
US11502438B2 (en) Power connector and power connector assembly
EP1715529A3 (en) Solar cell with feedthrough via
AR097558A1 (es) Entrepaño con -al menos- dos elementos de conexión eléctrica y un conductor de conexión
CN110238816A (zh) 机械手臂、机械手及传送设备
CN108520870A (zh) 一种功率器件封装结构
CN102790043A (zh) 功率半导体
CN202495565U (zh) 天线中的连接结构及天线
MX2020013462A (es) Cristal que tiene un elemento de conexion electrica y cable de conexion.
SE9900446D0 (sv) Semiconductor device with deep substrate contacts
EP3787034A3 (en) Display device and method for manufacturing the same
CN105469909A (zh) 一种特高压直流线路用五联三挂点耐张串
CN103367020B (zh) 隔离开关及其导电回路结构
US20230335940A1 (en) A quick-connection waterproof and dustproof joint and a quick-connection waterproof and dustproof connecting structure
CN207572886U (zh) 一种耐高温电力保护管
CN202997073U (zh) 一种新型导体接头
CN202530156U (zh) 一种镀膜工艺中使用的基板固定装置
CN204560127U (zh) 一种元器件安装接线转接基板
CN213339915U (zh) 一种大绝缘片单槽陶瓷绝缘子
CN204800610U (zh) 一种可防止电路板损伤的存储架
CN209708928U (zh) 一种方便合闸的抽屉式万能断路器用多触点触头
CN208109896U (zh) 一种锂电池封装夹具
CN203721944U (zh) 一种弹胆插座
CN203734428U (zh) 刷架防转垫片
CN106269454B (zh) 一种超声换能器的压电陶瓷环银层保护装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination