CN108807249A - 基板搬运臂 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板搬运臂，通过在所述基板搬运臂上设置静电导走结构，并使得所述静电导走结构的导电件与所述基板接触，并将所述导电件通过接地件接地。从而使得在通过所述基板搬运臂进行基板搬运时，通过所述静电导走结构将所述基板接地，以将所述基板上的由于摩擦等而产生的静电及时导走，从而避免静电在所述基板上的积累而击伤所述基板，保证基板的品质。

Description

基板搬运臂
技术领域
本发明涉及一种机械设备技术领域，尤其涉及一种基板搬运臂。
背景技术
在玻璃制作或者显示面板制作的过程中，经常需要对玻璃基板进行搬运，而在玻璃基板的搬运过程中，玻璃基板与搬运臂之间由于摩擦作用常会产生摩擦静电，静电积累至一定程度后，容易造成玻璃的击伤，从而影响玻璃基板的良率。
发明内容
本发明提供一种基板搬运臂，将搬运的基板上的积累的静电导出，以避免基板的损伤。
所述基板搬运臂，用于搬运基板，包括承载基板的基板承载臂以及一个或多个间隔设置的静电导走结构；每个所述静电导走结构包括导电件及与所述导电件连接并接地的接地件；所述导电件内嵌于所述基板承载臂，所述导电件包括一接触面，所述接触面与所述基板承载臂上的基板接触。
其中，所述静电导走结构还包括导电弹性件，所述导电弹性件固定于所述基板承载臂上并弹性连接所述导电件，以使所述接触面与所述基板承载臂上的基板接触。
其中，所述基板承载臂包括承载面，及多个间隔设置的摩擦衬垫，所述摩擦衬垫嵌设于所述基板承载臂上，所述摩擦衬垫包括一摩擦表面，所述摩擦表面与所述基板承载臂的承载面共面。
其中，所述静电导走结构的导电件紧邻所述摩擦衬垫设置或内嵌于所述摩擦衬垫内。
其中，所述摩擦衬垫为凹槽结构，所述摩擦表面为所述凹槽的槽口周围的端面；所述静电导走结构内设于所述摩擦衬垫的凹槽内，所述接触面与所述摩擦表面共面。
其中，所述导电弹性件的一端与所述导电件连接，另一端连接于所述凹槽的底壁；所述导电弹性件自然伸长时，所述接触面高于所述摩擦表面。
其中，所述导电弹性件外套设有套筒，所述套筒一端固定于所述凹槽的底壁。
其中，所述导电件的接触面为外凸光滑弧形面。
其中，所述基板承载臂为中空杆，所述基板承载臂的杆壁上设有多个间隔设置的开孔；所述静电导走结构设于所述基板承载臂内，所述静电导走结构的导电件嵌于所述开孔内。
其中，所述基板搬运臂包括固定部，所述基板承载臂为多个，多个所述基板承载臂并排固定于所述固定部上以形成牙叉结构。
本发明提供的基板搬运臂包括所述静电导走结构，将所述基板通过所述基板搬运臂进行搬运时，所述导电件与所述基板接触，以将所述基板上的静电导走至与所述导电件连接的接地件，再通过所述接地件将静电导入大地，从而避免静电在所述基板上的积累，从而避免静电积累击上所述基板。
附图说明
为更清楚地阐述本发明的构造特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。
图1是本发明实施例的基板搬运臂的结构示意图；
图2是本发明实施例的静电导走结构的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，不能理解为对本专利的限制。
请参阅图1及图2，本发明提供基板搬运臂100，用于进行基板30的搬运。本实施例中，所述基板30具体为玻璃基板。可以理解的是，在其它的实施例中，所述基板30还可以为高分子基板或者金属基板等各种类型的基板。所述基板搬运臂100包括基板承载臂10以及一个或多个间隔设置的静电导走结构20。本实施例中，所述静电导走结构20为多个，多个所述静电导走结构20均匀的分布于所述基板承载臂10的各个位置，使得所述基板30设于所述基板承载臂10上时，多个所述静电导走装置20能够将所述基板30各个位置的静电及时的导走，从而避免静电在所述基板30的某个位置进行积累。
所述基板承载臂10包括承载面11，所述承载面11承载所述基板30。即所述基板30设于所述基板承载臂10上时，所述基板30的表面与所述承载面11贴合。
每个所述静电导走结构20包括导电件21及与所述导电件21连接并接地的接地件(图中未示出)。所述导电件21包括一接触面211，所述接触面211与设于所述基板承载臂10上的基板30接触。从而通过所述基板30上的静电导走至所述接地件，再通过所述接地件将静电导入大地，从而实现所述基板30的接地，避免静电在所述基板30上的积累。进一步的，所述导电件21的接触面211为光滑的弧形面，从而避免所述导电件21划伤所述基板30。所述导电件21内嵌于所述基板承载臂10中。所述导电件21可以为金属柱或者金属珠。可以理解的是，所述导电件也可以为导电石墨等其它的导电材料制成的柱状或球状结构。
本实施例中，所述导电件21为金属珠。所述接地件用于将导电件21与大地或者已接地的结构件连接，从而实现与导电件21接触的基板30的接地。本实施例中，所述接地件为线缆。可以理解的是，所述接待件22也可以为导电胶等导电结构。
进一步的，所述静电导走结构20还包括导电弹性件23。所述导电弹性件23与所述导电件21连接并固定于所述基板承载臂10上。所述导电弹性件23位于自然状态下时，所述导电件21的接触面211略突出于所述基板承载臂的承载面11。当所述基板30设于所述基板承载臂10上时，所述基板30压缩所述弹性件23，以保证所述接触面211与所述基板承载臂上的基板30接触。所述导电弹性件23可以为金属弹簧、导电泡棉等各种导电弹性件。本实施例中，所述导电弹性件为金属弹簧。
进一步的，本发明的其它一些实施例中，所述基板搬运臂10上设有多个间隔设置的摩擦衬垫12。所述摩擦衬垫12包括一摩擦表面121，所述摩擦表面121与所述基板承载臂的承载面11共面。所述摩擦表面121的摩擦系数大于所述承载面11的摩擦系数，从而增加所述基板10与所述基板搬运臂10之间的摩擦力。进一步的，本发明中，所述静电导走结构20的导电件21紧邻所述摩擦衬垫12设置或内嵌于所述摩擦衬垫12内。由于所述摩擦衬垫12与所述基板10之间的摩擦力较大，所述基板10上与所述摩擦衬垫12接触的位置较容易产生摩擦静电，因此，本发明中，将所述导电件21紧邻所述摩擦衬垫12设置或内嵌于所述摩擦衬垫12内，从而将所述基板10上与所述摩擦衬垫12接触的位置的静电较快的导走，防止所述基板10的损坏。
本实施例中，所述摩擦衬垫12为凹槽结构。所述摩擦衬垫12内嵌于所述基板搬运臂10内，并且所述摩擦表面121为所述凹槽的槽口一端的端面。所述静电导走结构20内设于所述摩擦衬垫12的凹槽内，所述接触面211与所述摩擦表面121共面。或者，所述导电件21与所述导电弹性件23连接时，所述接触面211可以略突出于所述摩擦表面121。并且，所述导电弹性件23的一端与所述导电件21连接，另一端连接与所述凹槽的底壁122。此时，所述接地件穿过所述凹槽的底壁122与所述导电弹性件23连接，以使所述导电件21接地。具体的，本实施例中，所述接地件包括一螺钉221，所述螺钉221穿过所述凹槽的底壁122与所述导电弹性件23连接，再将所述螺钉通过以电缆接地。
进一步的，所述导电弹性件23外还套设有套筒24。所述套筒24垂直于所述凹槽的底壁122设置，且所述套筒24的一端固定于所述凹槽的底壁122。通过所述套筒24规范所述导电弹性件23的变形方向，从而保证所述接触面11能够与基板30接触。
本实施例中，所述基板承载臂10为中空杆，所述基板承载臂10的杆壁上设有多个间隔设置的开孔13。所述静电导走结构20设于所述基板承载臂10内，所述静电导走结构20的导电件21嵌于所述开孔13内。具体的，所述静电导走结构20收容于所述基板承载臂10的中空结构内，以简化所述基板承载臂的外部结构，从而避免所述静电导出结构设于所述基板承载臂10时可能对所述基板搬运臂100搬运过程的影响。并且，所述静电导走结构20收容于所述基板承载臂10的中空结构内，以对所述静电导走结构20进行保护。进一步的，本发明一些实施例中，所述基板搬运臂10上设有多个间隔设置的凹槽状的摩擦衬垫12，所述静电导走结构20内设于所述摩擦衬垫12的凹槽内时，所述摩擦衬垫12设于嵌于所述开孔13内，从而实现所述静电导走结构20的导电件21嵌于所述开孔13内。可以理解的是，本发明的其它实施例中，所述基板承载臂10可以为平板结构，所述开孔13穿透所述基板承载臂10的厚度方向。可以理解的是，本发明中，所述开孔13可以由凹槽代替，所述凹槽的槽口方向朝向所述基板承载臂10的承载面11方向。
进一步的，所述基板搬运臂100还包括固定部40，所述基板承载臂20固定于所述固定部40上。所述固定部40与所述基板搬运设备的驱动部进行连接，从而驱动所述基板搬运臂100的运动。本发明中，所述基板搬运臂100的基板承载臂20为可以一个或多个，对于不同基板30的大小，所述基板承载臂20的数量不同，以便对于不同大小的基板30进行搬运。当所述基板承载臂20为多个时，多个所述基板承载臂20并排固定于所述固定部40上以形成牙叉结构，使得在所述基板30的运输过程中，不同的牙叉结构之间的牙叉相互叉合，从而方便的从而所述基板承载臂20上取放所述基板30。本实施例中，所述基板承载臂20的数量为三个。
本发明提供一种基板搬运臂100及包括所述基板搬运臂100的基板搬运设备。通过在所述基板搬运臂100的基板承载臂10上设置静电导走结构20，并使得所述静电导走结构20的导电件21与所述基板30接触，并将所述导电件21通过接地件接地。从而使得在通过所述基板搬运臂100进行基板30搬运时，通过所述静电导走结构20将所述基板30接地，以将所述基板30上的由于摩擦等而产生的静电及时导走，从而避免静电在所述基板30上的积累而击伤所述基板，保证基板30的品质。
进一步的，本发明提供一种基板搬运设备，用于搬运基板。所述基板搬运设备包括驱动部及基板搬运臂。所述基板搬运臂与所述驱动部连接，通过所述驱动部驱动所述基板搬运臂的运动，从而通过所述基板搬运臂进行基板运。
以上所述为本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种基板搬运臂，用于搬运基板，其特征在于，包括承载基板的基板承载臂以及一个或多个间隔设置的静电导走结构；每个所述静电导走结构包括导电件及与所述导电件连接并接地的接地件；所述导电件内嵌于所述基板承载臂，所述导电件包括一接触面，所述接触面与所述基板承载臂上的基板接触。
2.如权利要求1所述的基板搬运臂，其特征在于，所述静电导走结构还包括导电弹性件，所述导电弹性件固定于所述基板承载臂上并弹性连接所述导电件，以使所述接触面与所述基板承载臂上的基板接触。
3.如权利要求2所述的基板搬运臂，其特征在于，所述基板承载臂包括承载面，及多个间隔设置的摩擦衬垫，所述摩擦衬垫嵌设于所述基板承载臂上，所述摩擦衬垫包括一摩擦表面，所述摩擦表面与所述基板承载臂的承载面共面。
4.如权利要求3所述的基板搬运臂，其特征在于，所述静电导走结构的导电件紧邻所述摩擦衬垫设置或内嵌于所述摩擦衬垫内。
5.如权利要求4所述的基板搬运臂，其特征在于，所述摩擦衬垫为凹槽结构，所述摩擦表面为所述凹槽的槽口周围的端面；所述静电导走结构内设于所述摩擦衬垫的凹槽内，所述接触面与所述摩擦表面共面。
6.如权利要求5所述的基板搬运臂，其特征在于，所述导电弹性件的一端与所述导电件连接，另一端连接于所述凹槽的底壁；所述导电弹性件自然伸长时，所述接触面高于所述摩擦表面。
7.如权利要求6所述的基板搬运臂，其特征在于，所述导电弹性件外套设有套筒，所述套筒一端固定于所述凹槽的底壁。
8.如权利要求1或2所述的基板搬运臂，其特征在于，所述导电件的接触面为外凸光滑弧形面。
9.如权利要求1或2所述的基板搬运臂，其特征在于，所述基板承载臂为中空杆，所述基板承载臂的杆壁上设有多个间隔设置的开孔；所述静电导走结构设于所述基板承载臂内，所述静电导走结构的导电件嵌于所述开孔内。
10.如权利要求9所述的基板搬运臂，其特征在于，所述基板搬运臂包括固定部，所述基板承载臂为多个，多个所述基板承载臂并排固定于所述固定部上以形成牙叉结构。
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