TW201346139A

TW201346139A - 液體用排量泵

Info

Publication number: TW201346139A
Application number: TW101115955A
Authority: TW
Inventors: Masanori Nobeta; Tatsuya Fujii; Tomohiro Motomura; Yuichi Moriyama
Original assignee: Nippon Pillar Packing; Sasakura Eng Co Ltd
Priority date: 2012-05-04
Filing date: 2012-05-04
Publication date: 2013-11-16
Also published as: TWI563173B

Abstract

本發明提供一種液體用排量泵，即便處理具有發泡性之液體或包含氣泡之液體之情形時，泵室之吸入側及吐出側之止回閥亦不會發生氣阻現象。一種液體用排量泵，係對於泵室3內產生氣泡之液體進行處理，且以交互連續進行吸入步驟與吐出步驟之方式構成，該吸入步驟係藉由擴大泵室3之容積而自吸入通路9經過吸入側止回閥8及吸入口6向泵室3供液，該吐出步驟係藉由縮小泵室3之容積而自泵室3經過吐出口7及吐出側止回閥10向吐出通路9送液；且該液體用排量泵係以如下方式構成：將泵室3之上部區域與吐出通路9藉由細孔通路14而直接地連通連接，藉由在吐出步驟中使泵室3內之液體自細孔通路14向吐出通路9微量流出而將泵室3內之氣泡排除，從而止回閥8、10不會發生氣阻現象。

Description

液體用排量泵

本發明係關於一種於半導體、液晶市場等中用作送液泵之蛇腹泵等排量泵，尤其是對具有發泡性之液體(例如臭氧水、過氧化氫水等具有發泡性之液體)或包含氣泡之液體(例如由於高溫、高壓、及空蝕(cavitation)等而產生氣泡之液體)進行處理的液體用排量泵。

作為先前之液體用排量泵，一般而言，眾所周知有如下之伸縮泵等，具備：泵室，由可伸縮之波紋管圍繞形成而可對容積進行擴縮動作、吸入口及吐出口，開口於泵室內、吸入通路，經由吸入側止回閥而連通連接於吸入口、以及吐出通路，經由吐出側止回閥而連通連接於吐出口，且以交互地連續進行藉由擴大泵室之容積而自吸入通路經過吸入側止回閥及吸入口向泵室供液之吸入步驟、與藉由縮小泵室之容積而自泵室經過吐出口及吐出側止回閥向吐出通路送液之吐出步驟的方式構成(例如參照專利文獻1)。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2010-196541號公報

然而，就伸縮泵等排量泵而言，於送液流體為如臭氧水、過氧化氫等般具有發泡性之液體或因高溫、高壓、及空蝕等而含氣泡之液體之情形時，會產生吸入側止回閥或吐出側止回閥成為動作不良之所謂氣阻(gas lock)現象，從而存在產生無法良好地送液之故障之虞。

即，於將伸縮泵等排量泵用作具有發泡性之液體或包含氣泡之液體之送液泵或循環泵之情形時，吸入步驟中於泵室內產生或流入之氣泡於吐出步驟中非自泵室吐出，而是滯留在泵室內。因反覆實施排量泵之吸入步驟及吐出步驟，故此種滯留氣泡與其他滯留氣泡或於泵室內新產生之氣泡合為一體，而成長為大氣泡。另一方面，吐出側止回閥係藉由吐出步驟中泵室內之壓力上升，或吸入側止回閥藉由吸入步驟中泵室內之壓力下降，以使閥體抵抗彈簧而移位至開閥位置之方式構成。因此，若泵室內存在大氣泡，則於吐出步驟中僅壓縮該氣泡而泵室實際上並未縮小，因而泵室內之壓力上升不足而吐出側止回閥無法正確動作(閥體未移位至開閥位置)，又，於吸入步驟中僅使該氣泡膨脹而泵室實際上並未擴大，因而泵室內之壓力降下不足而吸入側止回閥無法正確動作(閥體未移位至開閥位置)，從而產生所謂氣阻現象。再者，即便於1次步驟中泵室內產生或滯留之氣泡較小或較少量，但由於反覆實施該步驟，氣泡會逐漸增加、變大，故有產生上述般氣阻現象之虞。

本發明目的係有鑑於上述情況而提供一種液體用排量泵，即便於處理具有發泡性之液體或包含氣泡之液體之情形時，預先防止上述氣阻現象之產生，因而可良好地進行吸入步驟及吐出步驟。

本發明提出一種液體用排量泵，係對於泵室內產生氣泡之液體進行處理，具備：泵室，以可對容積進行擴縮動作之方式構成；吸入口及吐出口，開口於泵室內；吸入通路，經由吸入側止回閥而連通連接於吸入口；以及吐出通路，經由吐出側止回閥而連通連接於吐出口；以交互地連續進行吸入步驟與吐出步驟之方式構成，該吸入步驟係藉由擴大泵室之容積而自吸入通路經過吸入側止回閥及吸入口向泵室供液，該吐出步驟係藉由縮小泵室之容積而自泵室經過吐出口及吐出側止回閥向吐出通路送液；其特微在於：以如下方式構成：將泵室之上部區域與吐出通路藉由細孔通路直接地連通連接，於吐出步驟使泵室內之液體自該細孔通路向吐出通路微量流出，藉此排除該泵室內之氣泡。

於該液體用排量泵中，較佳為，細孔通路係於泵室內朝向其上部區域開口。又，較佳為，吸入口係於泵室內至少朝向其上部區域開口，進而較佳為，泵室係在水平方向擴縮之情形時，吸入口分叉為於與泵室之擴縮動作方向正交之方向呈放射狀開口之多個吸入口部分。

於該液體用排量泵之較佳之實施形態中，於細孔通路中配設有容許自泵室向吐出通路之液體流動，且阻止向其相反方向之液體流動之止回閥，於吸入步驟中藉由吐出通路與泵室之該細孔通路可連通遮斷。或，以可不設置此種止回閥，而將該細孔通路設為常開放狀態，於吸入步驟中使吐出通路內之液體自細孔通路向泵室之上部區域微量流入之方式構成。

又，本發明，較佳為，可適用於泵室藉由在水平方向自由伸縮之有底筒狀之波紋管圍繞形成的液體用排量泵，但細孔通路如上述所述設為常開放狀態之情形時，較佳為，蛇腹管之周壁係呈剖面為波形之蛇腹構造時，泵室內之細孔通路之開口部，係於吸入步驟將自吐出通路流入至該細孔通路之液體朝向波紋管之上部側部分之內周面噴出。進而較佳為，細孔通路係於泵室內之多個部位開口，該等開口部係以於吸入步驟之至少最終階段朝向形成於波紋管之周壁內周面之環狀凹部噴出液體之方式、於波紋管之伸縮方向相隔既定間隔配置並列狀。

本發明之液體用排量泵可將泵室之上部區域與吐出通路藉由細孔通路而直接地連通連接，於吐出步驟中使泵室內之液體自該細孔通路向吐出通路微量流出，隨之將泵室內之氣泡排除，故即便反覆實施步驟，於泵室內亦不會產生大氣泡，可預防避免開頭所述之氣阻現象之產生。因此，根據本發明，可提供一種即便於處理具有發泡性之液體(臭氧水、過氧化氫等)或包含氣泡之液體之情形時，可發揮良好之泵功能的實用性極高之液體用排量泵。

根據圖式具體說明本發明之實施形態。

圖1係顯示安裝有本發明之液體用排量泵之送液泵一例之縱剖側視圖，圖2及圖3係分別顯示與圖1不同之作用狀態之圖1相當之縱剖側視圖，圖4係放大顯示圖1之主要部分之詳細圖，圖5係沿著圖1之V-V線之主要部分之縱剖前視圖。再者，於以下說明中，上下、左右係顯示圖1~圖3之上下、左右。

圖1所示之送液泵係送出泵內容易滯留氣泡之液體(例如臭氧水、過氧化氫等具有發泡性之液體或由於高溫、高壓、及空蝕等包含氣泡之液體等)，且將左右一對之液體用排量泵(以下，將左側之泵稱為「第1泵1A」，將右側之泵稱為「第2泵1B」)並列配置成多連型泵。

兩個泵A、B係除了成為左右對稱構造外為同一構造，分別如圖1~圖3所示，具備：泵殼體2、波紋管4，配置於泵殼體2內且圍繞形成泵室3、動作機構5，使泵室3之容積進行擴縮動作、吸入口6及吐出口7，開口於泵室3、吸入通路9，經由吸入側止回閥8而連通連接於吸入口6、以及吐出通路11，經由吐出側止回閥10而連通連接於吐出口7；且以交互進行自吸入通路9向泵室3供液之吸入步驟、與自泵室3向吐出通路11送液之吐出步驟之方式而構成之伸縮泵(伸縮型往返移動泵)。

泵殼體2係如圖1~圖3所示，共同作為兩泵1A、1B之泵殼體之兩端閉合之圓筒構造體，其軸線以水平之狀態設置。泵殼體2之內部空間係以配置於軸線方向(左右方向)中間部之圓盤狀通路形成壁2a來分割為兩個部分，於該內部空間左側之分割空間部分配置有第1泵1A之構成構件，於右側之分割空間部分配置有第2泵1B之構成構件。

各波紋管4係如圖1~圖3所示，構成為周壁4a呈剖面波形之蛇腹構造且於軸線方向(水平方向)上可伸縮之有底圓筒體。各波紋管4之開口端部4b係固著於通路形成壁2a上，構成為以通路形成壁2a將該波紋管4內閉合之泵室3。各泵室3之容積之擴縮，係圍繞形成該泵室3之波紋管4於軸線方向伸縮而進行，但兩波紋管4、4係藉由固著於其底壁4c、4c上之圓盤狀可動板12、12連結連結桿13，而可同步地向相反方向進行伸縮動作。即，連結桿13係如圖1例示，以一方之波紋管4處於最大縮小狀態時，另一方之波紋管4成為最大伸展狀態之方式將兩波紋管4、4連動連結，一方之波紋管4進行縮小動作時，另一方之波紋管4與其連動而進行伸展動作。

各動作機構5係使波紋管4進行伸縮動作，由活塞-氣缸機構或曲柄機構等所構成，但於該例中係如圖1~圖3所示，構成為空氣缸機構，且以自形成於泵殼體2之端部壁2b之供排氣口5a向波紋管4及可動板12與泵殼體2之間所形成的空間供排加壓空氣5b、藉此使波紋管4進行伸縮動作之方式構成。自兩個供排氣口5a、5a之供排氣係交互地同步進行，藉由自一方之供排氣口5a供氣的同時自另一方之供排氣口5a排氣，於相反方向同步地進行兩波紋管4、 4之伸縮動作即兩泵室3、3之擴縮動作。即，第1泵1A之吸入步驟(或吐出步驟)與第2泵1B之吐出步驟(或吸入步驟)係同步進行，而兩泵1A、1B之吸入步驟與吐出步驟之轉換係同時進行。再者，圖1係顯示第1泵1A之吸入步驟及第2泵1B之吐出步驟之結束狀態，圖2係顯示第1泵1A之吐出步驟及第2泵1B之吸入步驟之開始狀態，圖3係顯示第1泵1A之吐出步驟及第2泵1B之吸入吐出步驟之進行過程中之狀態。

各吸入側止回閥8係如圖1~圖3所示，由閥箱8a、閥座8b、閥體8c及彈簧8d所構成。閥箱8a係自通路形成壁2a向泵室3內突出且不干擾波紋管4之狀態，將開口端部固著於通路形成壁2a上之有底圓筒狀。閥座8b係形成於通路形成壁2a之閥箱安裝部分，且連接於通路形成壁2a上所形成之吸入通路9之一端部下游端部。吸入通路9之下游端部係分叉且與兩吸入側止回閥8、8之閥座8b、8b相連通。於閥箱8a中設置有：閥體8c，可移位至對接閥座8b並將其閉合之閉閥位置(第1泵1A之圖2及圖3所示之位置或第2泵1B之圖1所示之位置)，與自閥座8b離開並將其開放之開閥位置(第1泵1A之圖1所示之位置或第2泵1B之圖2及圖3所示之位置)、以及彈簧8d，其彈壓至閉閥位置。閥體8c係於吐出步驟中藉由背壓(泵室3之壓力)及彈簧8d之彈壓力而保持於閉合位置，於吸入步驟中藉由泵室3之壓力降低而抵抗彈簧8d之彈壓力移位至開閥位置。

各吸入口6係如圖1~圖3所示，形成於閥箱8a之底壁且開口於泵室3內，經由吸入側止回閥8而連通連接於吸入通路9之下游端部。

各吐出側止回閥10係如圖1~圖3所示，由閥箱10a、閥座10b、閥體10c及彈簧10d所構成。閥箱10a係以自通路形成壁2a突出於泵室3之狀態內，且不干擾波紋管4之狀態，將開口端部固著於通路形成壁2a上之有底圓筒狀。閥座10b係形成於閥箱10a之底壁上，且連接於通路形成壁2a上所形成之吐出通路11之一端部即上游端部。吐出通路11之上游端部係分叉且開口於兩吐出側止回閥10、10之閥箱10a、10a內，並與閥座10b、10b相連通。閥箱10a中設置有：閥體10c，其可移位至對接閥座10b並將其閉合之閉閥位置(第1泵1A之圖1所示之位置或第2泵1B之圖2及圖3所示之位置)，與自閥座10b離開並將其開放之開閥位置(第1泵1A之圖2及圖3所示之位置或第2泵1B之圖1所示之位置)、以及彈簧10d，其彈壓至閉閥位置。閥體10c係於吸入步驟中藉由背壓(吐出通路11之壓力)及彈簧10d之彈壓力而保持於閉合位置，於吐出步驟中藉由泵室3之壓力上昇而抵抗彈簧10d之彈壓力移位至開閥位置。

各吐出口7係如圖1~圖3所示，為發揮閥座10b之閥孔之功能，形成於閥箱10a之底壁且開口於泵室3內，並經由吐出側止回閥10而連通連接於吐出通路11之上游端部。

再者，關於波紋管4等泵構成構件中與送液流體相接觸者，可根據該流體之性狀等而選定適當之材質，但於此例中係由聚四氟乙烯等氟樹脂系耐蝕材所構成。

以上之構成係與眾所周知之多連型往返移動泵同樣，交互地連續進行第1泵1A之吐出步驟與第2泵1B之吐出步驟，可自送液線之吸入部分向吐出部分連續地送液，但就上述之第1及第2泵1A、1B而言，根據本發明，進而藉由以下之方式構成，設法確實防止各吸入側止回閥8及吐出側止回閥10之動作不良(氣阻)，將臭氧水、過氧化氫等具有發泡性之液體或由高溫、高壓、及空蝕等而包含氣泡之液體良好地送出。

第1，將各泵室3之上部區域與吐出通路11如圖1~圖5所示，藉由剖面呈微小直徑之圓形之細孔通路14而直接地連通連接，並以於吐出步驟中使該泵室3內之液體自細孔通路14向吐出通路11微量流出，且於吸入步驟中使吐出通路11內之液體自細孔通路14向該泵室3之上部區域微量流入之方式構成。

即，各細孔通路14係如圖4所示，將有底筒狀之第1構件15固著於通路形成壁2a上，且該有底筒狀之第1構件15沿波紋管4之軸線方向(水平方向)貫通於該通路形成壁2a，於該第1構件15之端部嵌合固著有底筒狀之第2構件16，將圓柱狀之第3構件17之基端部嵌合固著於該第2構件16上，且使形成於各構件15、16、17上之通路孔15a、16a、17a於水平方向連通。形成於第1構件15上之通路孔15a之一端部係開口於吐出通路11內，該通路孔15a與第3 構件17之通路孔17a係經由第2構件16之通路孔16a相連通。

第3構件17係以接近但不干擾波紋管4之上部側部分之狀態自通路形成壁2a向泵室3內之上部區域水平地突出。該第3構件17之突出量係如圖1~圖3所示，於該第3構件17之前端部在波紋管4之伸縮動作時不會干擾其底壁4c之範圍內儘可能的設定較長。再者，第1及第2構件15、16之一端面係設為與通路形成壁2a之端面(泵室側之端面)為同一面，露出於吐出通路11之第1構件15之端部與通路形成壁2a之嵌合部分係由O型環15b密封。

細孔通路14係如圖4所示，具有朝向泵室3內之上部區域開口之多個開口部(噴嘴孔)14a。即，於第3構件17之上表面部且位於泵室3內之部分中，連通於通路孔17a之多個噴嘴孔14a沿軸線方向隔開既定間隔而穿設。噴嘴孔14a之相互間隔係例如圖1所示，以各噴嘴孔14a之開口至少於吸入步驟之最終階段中，形成於波紋管4之周壁內周面之環狀凹部4d相對向之方式設定。

因此，於吸入步驟中，吐出口7係藉由吐出側止回閥10而閉合，但吐出通路11內之液體自細孔通路14流入至泵室3內(第1泵1A之圖1及圖4所示之狀態或第2泵1B之圖2及圖3所示之狀態)。此時，因細孔通路14之開口部即噴嘴孔14a係朝向泵室3內之上部區域開口，故液體自各噴嘴孔14a朝向該上部區域噴出。此處，於吸入步驟中泵室3內產生之氣泡係於泵室3內之上部區域浮動，並伴隨吸入步驟之進行而與新產生之氣泡合體、成長。然而，因於泵室3內之上部區域中，如上所述液體自各噴嘴孔14a噴出，故藉由該噴出流來阻止氣泡之成長，又，將大氣泡分裂為微細氣泡。此種氣泡之成長阻止或分裂作用係藉由各噴嘴孔14a之配置設定成其開口如上所述至少於吸入步驟之最終階段中形成於波紋管4之周壁內周面的環狀凹部4d相對向，而更有效地實現。

並且，當自吸入步驟向吐出步驟轉移時，泵室3內之液體係自吐出口7經由吐出側止回閥10而向吐出通路11吐出，但同時，泵室3內之上部區域之液體係自各噴嘴孔14a經由細孔通路14而向吐出通路11微量流出(第1泵1A之圖2及圖3所示之狀態或第2泵1B之圖1及圖4所示之狀態)。此時，於泵室3內之上部區域之氣泡，係如上所述於吸入步驟中，藉由自各噴嘴孔14a之噴出流來阻止成長，因分裂為微細，故伴隨自細孔通路14流向吐出通路11之流出液，向吐出通路11吐出。

因此，即便送液流體具有發泡性之液體或包含氣泡之液體之情形時，亦不會發生反覆實施吸入步驟與吐出步驟之而導致於泵室3內氣泡之成長變大，從而可預防避免開頭所述之氣阻現象之產生，且發揮良好之送液功能。再者，細孔通路14之內徑係根據泵條件(液體之性狀等)而適當地進行設定，於吸入步驟中自細孔通路14向泵室3之流入量或吐出步驟自細孔通路14向吐出通路11之流出量，與自吸入口6之吸入量或自吐出口7之吐出量相比極其微量，且不對該泵1A、1B之泵功能(定量性等)產生影響之範圍內，能夠良好地發揮上述氣泡之成長阻止、分裂功能及氣泡之向泵室外之吐出功能。

第2，如圖1~圖3及圖5所示，係各吸入口6朝向泵室3內至少其上部區域開口，進而有效地發揮吸入步驟中之氣泡之成長阻止、分裂作用。

即，各吸入口6係如圖5所示，分叉與泵室3之擴縮方向(波紋管4之伸縮方向即水平方向)正交之方向呈放射狀開口之多個吸入口部分6a、6b、6c、6d。即，各吸入口6向泵室3之開口部，係包含朝向泵室3內之上部區域開口之吸入口部分6a，分叉閥箱8a之圓周方向隔開相等間隔(90度間隔)之4個吸入口部分6a、6b、6c、6d。

因此，於吸入步驟中，自吸入口6吸入至泵室3內之液體係自各吸入口部分6a、6b、6c、6d向包含泵室3之上部區域之4個方向噴出(第1泵1A之圖1及圖5所示之狀態或第2泵1B之圖2及圖3所示之狀態)，藉此攪拌泵室3內之液體，阻止氣泡之成長、變大，或使氣泡分裂為微細氣泡。其結果為，進而有效地進行伴隨吐出步驟中之自細孔通路14向吐出通路11之流出液的氣泡之吐出。

再者，本發明之液體用排量泵之構成並非限定於上述形態，可於不脫離本發明之基本原理之範圍內進行適當地改良、變更。

例如，細孔通路可設未具有上述之噴嘴孔14a，僅貫通於通路形成壁2a。即，圖6~圖8所示，係於通路形成壁 2a上形成細孔通路18，該細孔通路18沿水平方向貫通於該通路形成壁2a，且連通吐出通路11與泵室3內之上部區域。該細孔通路18係剖面成為與上述細孔通路14相同直徑之圓形。圖6~圖8所示之泵，除上述細孔通路18之構成以外與圖1~圖5所示之構造相同，故關於細孔通路18以外之構成係標註與圖1~圖5相同符號，故省略其說明。

又，於上述例中，係細孔通路14、18設為以常開放狀態構成，但如圖9~圖12所示，亦可於細孔通路中配設有容許自泵室3向吐出通路11之液體流動，且阻止向其相反方向之液體流動的止回閥。圖9~圖12所示之泵係如下所述，於細孔通路19中配設有容許自泵室3向吐出通路11之液體流動，且阻止向其相反方向之液體流動的止回閥20，但其除該方面以外均與圖1~圖5所示之構造相同，故關於細孔通路19及止回閥20以外之構成係標註與圖1~圖5相同符號，故省略其說明。

即，於圖9及圖10所示之第1及第2泵1A、1B中，於通路形成壁2a之泵側端面形成開口於泵室3內之上部區域之凹部2c，並於通路形成壁2a之形成有凹部2c之部分形成細孔通路19，該細孔通路19沿水平方向貫通於該通路形成壁2a而連通吐出通路11與泵室3內之上部區域，於構成該細孔通路19之泵室側端部之凹部2c配設有止回閥20。細孔通路19之剖面成為與上述細孔通路14、18相同直徑之圓形。

止回閥20係如圖10所示，由埋設於形成在通路形成壁2a之泵室側端部之凹部2c的閥箱21、22、及內設於閥箱21、22的閥體23所構成。閥箱係由在前端部中心形成有閥孔21a的有底圓筒狀之閥箱本體21、及嵌合固定於閥箱本體21之基端開口部，使其閉合的圓板上之蓋體22所構成。閥箱係以閥孔21a開口於泵室3內之上部區域，且閥箱本體21之前端面與通路形成壁2a之泵室側端面成為同一面之形態，使形成於閥箱本體21之外周面之外螺紋部21b螺合於形成在凹部2c之內周面之內螺紋部2d，藉此固定於凹部2c。於閥箱本體21之內周面，如圖10及圖11所示，於圓周方向隔開相等間隔而形成有沿軸線方向(水平方向)延伸之多條(於該例中為4條)半圓形槽21c。蓋體22之前端側部分係嵌合於閥箱本體21之基端開口部，但於該前端側部分，如圖10~圖12所示，於各半圓形槽21c一致之狀態形成有多個(於該例中為4個)圓形孔22a。又，於蓋體22之基端側部分，如圖10~圖12所示，形成用於使所有圓形孔22a與細孔通路19相連通之圓形孔22b。閥孔21a係如圖10所示，成為與細孔通路19相同或大致相同之微小徑，且基端側部分係朝向閥箱本體21內擴徑為截頭圓錐狀。閥體23係沿軸線方向(水平方向)可自由移動地嵌插於閥箱本體21內之圓柱狀，且前端部係形成為可嵌合於閥孔21a之前端較窄之截頭圓錐狀。閥體23係於吸入步驟中藉由泵室3內之減壓作用嵌合於閥孔21a並移動至使其閉合之閉閥位置(第1泵1A之圖9及圖10所示之位置)，於吐出步驟中藉由泵室3內之加壓作用而自閥孔21a脫離並移動至使其開放之開閥位置(第2泵1B之圖9及圖10所示之位置)。再者，於開閥位置中，閥體23對接於蓋體22。

並且，於吐出步驟中，因閥體23位於開閥位置而使閥孔21a開放，故與上述情形同樣地，泵室3內之上部區域之液體自閥孔21a、各半圓形槽21c及各圓形孔22a、22b經由細孔通路19而向吐出通路11微量流出(第2泵1B之圖9及圖10所示之狀態)。此時，泵室3內之上部區域之氣泡係伴隨自細孔通路19流向吐出通路11之流出液，而向吐出通路11吐出。

並且，當自吐出步驟向吸入步驟轉移時，閥體23位於閉閥位置而使閥孔21a閉合，遮斷泵室3與吐出通路11之利用細孔通路19而實現之連通。即，與未設置細孔通路19之情形相同的進行吸入步驟。

並且，即便於送液流體具有發泡性之液體或包含氣泡之液體之情形時，於一次吸入步驟中泵室3內產生或滲入之氣泡之量亦很少且該氣泡亦較小，故每次自吸入步驟向吐出步驟轉移時，氣泡與如上所述來自細孔通路19之吐出液一同被排除，藉此泵室3內之氣泡不會成長變大。因此，於圖9~圖12所示之泵中，使細孔通路19構成為在其上設置止回閥20而僅於吐出步驟中開放於吸入步驟中閉合，但如上述細孔通路14、18設為常開放狀態之泵同樣地，可預先避免氣阻現象之產生，並可發揮良好之送液功能。再者，各吸入口6係於上述泵之情形同樣地，朝向泵室3內之至少其上部區域開口，故於吸入步驟中可有效地發揮氣泡之成長阻止、分裂作用。

又，因於吸入步驟時液體未自吐出通路11流入至泵室3，故可獲得穩定之吐出量，從而可避免氣阻現象並確實地獲得泵之定量性。

再者，如圖13所示，止回閥20亦可不配置於細孔通路19之泵室側而是配置於吐出通路側。即，於圖13所示之泵中，將閥箱21、22以其蓋體22與通路形成壁2a之吐出通路側端面成為同一面之方式配置。於此情形時，延長閥箱本體21之前端部，使其延長部分之前端面與通路形成壁2a之泵室側端面成為同一面，於該延長部分形成自閥孔21a向泵室3內之上部區域開口之細孔通路19。於以此種方式構成之情形時，亦可發揮與圖9~圖12所示之泵相同之作用效果。

又，於上述任一泵中，使吸入口6分叉為多個吸入口部分6a、6b、6c、6d，但根據送液流體之性狀等，即便使吸入液自吸入口6朝向泵室3之至少上部區域噴出，可藉由泵室3內之上部區域之攪拌作用來阻止氣泡之成長、變大。即，可使吸入口6僅於上方開口之吸入口部分6a構成。進而，於未設置止回閥20之情形時，根據送液流體之性狀等，即便於吸入步驟中僅自細孔通路14之噴嘴孔14a之噴出流或自細孔通路18之噴出流，可阻止氣泡之成長、變大，於此情形時，可僅設置細孔通路14、18，而關於吸入口6無需進行特殊設置。

又，本發明可適合應用於單一之液體用排量泵、或伸縮泵以外之排量泵(例如膜片泵等)。又，可適合應用於如上所述之泵室3之擴縮動作方向並非為水平方向而為上下方向的各種液體用排量泵。

1A‧‧‧第1泵(液體用排量泵)

1B‧‧‧第2泵(液體用排量泵)

2‧‧‧泵殼體

2a‧‧‧通路形成壁

2b‧‧‧端部壁

2c‧‧‧凹部

2d‧‧‧內螺紋部

3‧‧‧泵室

4‧‧‧波紋管

4a‧‧‧波紋管之周壁

4b‧‧‧開口端部

4c‧‧‧底壁

4d‧‧‧形成於波紋管之周壁內周面之環狀凹部

5‧‧‧動作機構

5a‧‧‧供排氣口

5b‧‧‧加壓空氣

6‧‧‧吸入口

6a、6b、6c、6d‧‧‧吸入口部分

7‧‧‧吐出口

8‧‧‧吸入側止回閥

8a、10a‧‧‧閥箱

8b、10b‧‧‧閥座

8c、10c、23‧‧‧閥體

8d、10d‧‧‧彈簧

9‧‧‧吸入通路

10‧‧‧吐出側止回閥

11‧‧‧吐出通路

12‧‧‧可動板

13‧‧‧連結桿

14‧‧‧細孔通路

14a‧‧‧噴嘴孔(細孔通路之開口部)

15‧‧‧第1構件

15a、16a、17a‧‧‧通路孔

15b‧‧‧O型環

16‧‧‧第2構件

17‧‧‧第3構件

18、19‧‧‧細孔通路

20‧‧‧止回閥

21‧‧‧閥箱本體(閥箱)

21a‧‧‧閥孔

21b‧‧‧外螺紋部

21c‧‧‧半圓形槽

22‧‧‧蓋體(閥箱)

22a、22b‧‧‧圓形孔

圖1係顯示安裝有本發明之液體用排量泵之送液泵一例之縱剖側視圖。

圖2係顯示與圖1狀態不同之圖1相當之縱剖側視圖。

圖3係顯示與圖1及圖2狀態不同之圖1相當之縱剖側視圖。

圖4係放大顯示圖1之主要部分之詳細圖。

圖5係沿著圖1之V-V線之主要部分之縱剖前視圖。

圖6係顯示安裝有本發明之液體用排量泵之送液泵之變形例之圖1相當之縱剖側視圖。

圖7係放大顯示圖6之主要部分之詳細圖。

圖8係沿著圖6之VIII-VIII線之主要部分之縱剖前視圖。

圖9係顯示安裝有本發明之液體用排量泵之送液泵之另一變形例之圖1相當之縱剖側視圖。

圖10係放大顯示圖9之主要部分之詳細圖。

圖11係沿著圖10之XI-XI線之主要部分之縱剖後視圖。

圖12係沿著圖10之XII-XII線之主要部分之縱剖後視圖。

圖13顯示安裝有本發明之液體用排量泵之送液泵之又一變形例之圖10相當之縱剖面側視圖。