KR101900503B1

KR101900503B1 - 액체용 용적형 펌프

Info

Publication number: KR101900503B1
Application number: KR1020120046859A
Authority: KR
Inventors: 마사노리 노베타; 타츠야 후지이; 토모히로 모토무라; 유이치 모리야마
Original assignee: 니폰 필라고교 가부시키가이샤; 가부시키가이샤 사사꾸라
Priority date: 2012-05-03
Filing date: 2012-05-03
Publication date: 2018-09-20
Also published as: KR20130123605A

Abstract

본 발명은 발포성을 갖는 액체나 기포를 포함하는 액체를 취급하는 경우에도, 펌프실의 흡입측 및 토출측의 체크밸브가 가스 로크 현상을 발생하지 않는 액체용 용적형 펌프를 제공하는 것을 과제로 한다.
해결수단으로서, 펌프실(3)의 용적을 확대함으로써, 흡입통로(9)로부터 흡입측 체크밸브(8) 및 흡입구(6)를 거쳐 펌프실(3)에 급액시키는 흡입공정과 펌프실(3)의 용적을 축소함으로써 펌프실(3)로부터 토출구(7) 및 토출측 체크밸브(10)를 거쳐 토출통로(9)에 송액시키는 토출공정을 교대로 연속하여 행하도록 구성된 액체용 용적형 펌프로서, 펌프실(3) 내에서 기포를 발생하는 액체를 취급하는 것에 있어서, 펌프실(3)의 상부 영역과 토출통로(9)를 미세구멍 통로(14)에 의해 직접 연통 접속하여, 토출공정에서 펌프실(3) 내의 액체를 미세구멍 통로(14)로부터 토출통로(9)로 미량 유출시킴으로써 펌프실(3) 내의 기포를 배제하여, 체크밸브(8, 10)가 가스 로크 현상을 생기지 않도록 구성되어 있다.

Description

액체용 용적형 펌프{DISPLACEMENT PUMP FOR LIQUID}

본 발명은 반도체, 액정 시장 등에서 송액(送液) 펌프로서 사용되는 벨로우즈 펌프 등의 용적형(容積型) 펌프로서, 특히 발포성을 갖는 액체(예를 들면, 오존수, 과산화수소수 등의 발포성을 갖는 액체)나 기포를 포함하는 액체(예를 들면, 고온, 고압, 캐비테이션(cavitation) 등에 기인하여 기포가 발생한 액체)를 취급하는 액체용 용적형 펌프에 관한 것이다.

종래의 액체용 용적형 펌프로서, 일반적으로, 신축 가능한 벨로우즈로 둘러싸서 형성하여 용적을 확장·수축 동작 가능하게 구성된 펌프실과, 펌프실 내에 개구(開口)되는 흡입구 및 토출구와, 흡입구에 흡입측 체크밸브를 통하여 연통 접속된 흡입통로와, 토출구에 토출측 체크밸브를 통하여 연통 접속된 토출통로를 구비하여, 펌프실의 용적을 확대함으로써, 흡입통로로부터 흡입측 체크밸브 및 흡입구를 거쳐 펌프실에 급액(給液)시키는 흡입공정과 펌프실의 용적을 축소함으로써 펌프실로부터 토출구 및 토출측 체크밸브를 거쳐 토출통로에 송액(送液)시키는 토출공정을 교대로 연속하여 실시하도록 구성된 벨로우즈 펌프 등이 널리 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1을 참조).

[특허문헌 1] 일본특허공개 2010-196541호 공보

그러나, 벨로우즈 펌프 등의 용적형 펌프에 있어서는, 송액 유체가 오존수, 과산화수소수 등과 같이 발포성을 갖는 액체나 고온, 고압, 캐비테이션 등에 기인하여 기포를 포함하는 액체인 경우에는, 흡입측 체크밸브 내지 토출측 체크밸브가 작동 불량이 되는 소위, 가스 로크(gas lok) 현상이 생겨, 양호한 송액을 할 수 없게 하는 고장이 발생할 우려가 있다.

즉, 발포성을 갖는 액체나 기포를 포함하는 액체의 송액 펌프 내지 순환 펌프로서 벨로우즈 펌프 등의 용적형 펌프를 사용한 경우, 흡입공정시에 펌프실 내에서 발생하고 또는 유입된 기포가 토출공정시에 펌프실로부터 배출되지 않아, 펌프실 내에 체류된다. 이러한 체류 기포는 용적형 펌프에 의한 흡입공정과 토출공정이 반복됨으로써, 다른 체류 기포나 새롭게 펌프실 내에서 발생하는 기포와 합체하여, 큰 기포로 성장한다. 한편, 토출측 체크밸브는 토출공정에서의 펌프실 내의 압력 상승에 의해, 또한 흡입측 체크밸브는 흡입공정에서의 펌프실 내의 압력 강하에 의해, 밸브 본체가 스프링에 저항하여 개방 밸브 위치로 변위되게 할 수 있도록 구성된 것이다. 따라서, 펌프실 내에 큰 기포가 존재하면, 토출공정에 있어서는 그 기포가 압축될 뿐으로 펌프실이 실질적으로 축소되지 않아, 펌프실 내의 압력 상승이 불충분하게 되어 토출측 체크밸브가 적정하게 작동되지 않고(밸브 본체가 개방 밸브 위치로 변위되지 않고), 또한 흡입공정에 있어서는 그 기포가 팽창될 뿐으로 펌프실이 실질적으로 확대되지 않고 펌프실 내의 압력 강하가 불충분하게 되어 흡입측 체크밸브가 적정하게 작동되지 않아(밸브 본체가 개방 밸브 위치로 변위되지 않아), 소위, 가스 로크 현상이 생긴다. 또한, 1회의 공정에 있어서 펌프실 내에 발생 또는 체류하는 기포가 작고 또는 소량이어도, 이러한 공정이 반복됨으로써 기포가 서서히 증가하여, 거대화하므로, 상기와 같은 가스 로크 현상이 생길 우려가 있다.

본 발명은 이러한 점을 감안하여, 발포성을 갖는 액체나 기포를 포함하는 액체를 취급하는 경우에도, 상기한 가스 로크 현상의 발생을 미연에 방지하여, 흡입공정 및 토출공정을 양호하게 행할 수 있는 액체용 용적형 펌프를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

본 발명은 용적을 확장·수축 동작 가능하게 구성된 펌프실과, 펌프실 내에 개구되는 흡입구 및 토출구와, 흡입구에 흡입측 체크밸브를 통하여 연통 접속된 흡입통로와, 토출구에 토출측 체크밸브를 통하여 연통 접속된 토출통로를 구비하여, 펌프실의 용적을 확대함으로써, 흡입통로로부터 흡입측 체크밸브 및 흡입구를 거쳐 펌프실에 급액시키는 흡입공정과 펌프실의 용적을 축소함으로써 펌프실로부터 토출구 및 토출측 체크밸브를 거쳐 토출통로에 송액시키는 토출공정을 교대로 연속하여 행하도록 구성된 것으로서, 펌프실 내에서 기포를 발생하는 액체를 취급하는 액체용 용적형 펌프에 있어서, 상기의 목적을 달성할 수 있도록, 특히, 펌프실의 상부 영역과 토출통로를 미세구멍 통로에 의해 직접 연통 접속하여, 토출공정에서 펌프실 내의 액체를 그 미세구멍 통로로부터 토출통로로 미량(微量) 유출시킴으로써 그 펌프실 내의 기포를 배제하도록 구성하여 두는 것을 제안하는 것이다.

이러한 액체용 용적형 펌프에 있어서는, 미세구멍 통로가 펌프실 내에서, 그 상부 영역을 향하여 개구되는 것인 것이 바람직하다. 또한, 흡입구는 펌프실 내에서 적어도 상부 영역을 향하여 개구되는 것이 바람직하고, 또한 펌프실이 수평 방향으로 확장·수축되는 경우에 있어서, 흡입구가 펌프실의 확장·수축 동작 방향에 직교하는 방향으로 방사상으로 개구되는 복수의 흡입구 부분으로 분기 (分岐)되어 있는 것이 바람직하다.

이러한 액체용 용적형 펌프의 바람직한 실시형태에 있어서는, 미세구멍 통로에, 펌프실로부터 토출통로로의 액체 유동을 허용하고 또한 그 역방향으로의 액체 유동을 저지하는 체크밸브를 배치하여, 흡입행정에서 토출통로와 펌프실과의 상기 미세구멍 통로에 의한 연통을 차단하여 둘 수 있다. 혹은, 이러한 체크밸브를 설하지 않고, 그 미세구멍 통로를 상시 개방상태로 하여, 흡입공정에서 토출통로 내의 액체를 미세구멍 통로로부터 펌프실의 상부 영역으로 미량 유입시키도록 구성하여 둘 수 있다.

또한, 본 발명은 펌프실이 수평 방향으로 신축 가능한 바닥이 있는 실린더의 벨로우즈에 의해 둘러싸여 형성되어 있는 액체용 용적형 펌프에 적합하게 적용할 수 있지만, 미세구멍 통로를 상기한 바와 같이 상시 개방 상태로 하는 경우에 있어서, 벨로우즈의 둘레벽이 단면(斷面) 파형의 자바라(蛇腹) 구조를 이루는 것일 때는, 펌프실 내에서의 미세구멍 통로의 개구부가 흡입공정에 있어서 토출통로로부터 그 미세구멍 통로에 유입된 액체를 벨로즈의 상부측 부분에서의 내주면을 향하여 분출하는 것인 것이 바람직하다. 또한, 미세구멍 통로가 펌프실 내에 복수 개소에서 개구되는 것이고, 이러한 개구부가 흡입공정의 적어도 최종 단계에서 벨로우즈의 둘레벽 내주면에 형성되는 환상(環狀) 오목부를 향하여 액체를 분출하도록, 벨로우즈의 신축 동작 방향으로 소정 간격을 두고 병렬 형태로 배치되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 액체용 용적형 펌프는 펌프실의 상부 영역과 토출통로를 미세구멍통로에 의해 직접 연통 접속하여, 토출공정에서 펌프실 내의 액체를 그 미세구멍 통로로부터 토출통로로 미량 유출시키고, 이것에 펌프실 내의 기포를 동반시켜 배제할 수 있는 것이기 때문에, 공정의 반복에 의해서도 펌프실 내에 큰 기포가 생기는 일이 없어, 첫머리에서 기술한 가스 로크 현상의 발생을 미연에 회피할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 발포성을 갖는 액체(오존수, 과산화수소수 등)이나 기포를 포함하는 액체를 취급하는 경우에서도 양호한 펌프 기능을 발휘할 수 있어, 극히 실용성이 풍부하는 액체용 용적형 펌프를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 액체용 용적형 펌프를 장치하는 송액 펌프의 일례를 나타내는 종단 측면도이다.
도 2는 도 1과 다른 상태를 나타내는 도 1에 상당하는 종단 측면도이다.
도 3은 도 1 및 도 2와 다른 상태를 나타내는 도 1에 상당하는 종단 측면도이다.
도 4는 도 1의 요부를 확대하여 나타내는 상세도이다.
도 5는 도 1의 V-V를 따르는 요부의 종단 정면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 액체용 용적형 펌프를 장치하는 송액 펌프의 변형예를 나타내는 도 1에 상당하는 종단 측면도이다.
도 7은 도 6의 요부를 확대하여 나타내는 상세도이다.
도 8은 도 6의 VIII-VIII선을 따르는 요부의 종단 정면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 액체용 용적형 펌프를 장치하는 송액 펌프의 다른 변형예를 나타내는 도 1에 상당하는 종단 측면도이다.
도 10은 도 9의 주요부를 확대하여 나타내는 상세도이다.
도 11은 도 10의 XI-XI선을 따르는 요부의 종단 배면도이다.
도 12는 도 10의 XII-XII선을 따르는 요부의 종단 배면도이다.
도 13은 본 발명에 따른 액체용 용적형 펌프를 장치하는 송액 펌프의 또 다른 변형예를 나타내는 도 10에 상당하는 종단 측면도이다.

본 발명을 실시하기 위한 형태를, 도면에 의거하여 구체적으로 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 액체용 용적형 펌프를 장치하는 송액 펌프의 일례를 나타내는 종단 측면도이며, 도 2 및 도 3은 각각, 도 1과 다른 작용 상태를 나타내는 도 1에 상당하는 종단 측면도이며, 도 4는 도 1의 요부를 확대하여 나타내는 상세도이며, 도 5는 도 1의 V-V선을 따르는 요부의 종단 정면도이다. 또한, 이하의 설명에서, 상하, 좌우란, 도 1∼도 3에서의 상하, 좌우를 가리키는 것으로 한다.

도 1에 나타내는 송액 펌프는 펌프 내에서 기포가 체류하기 쉬운 액체(예를 들면, 오존수, 과산화수소수 등과 같은 발포성을 갖는 액체나 고온, 고압, 캐비테이션 등에 기인하여 기포를 포함하는 액체 등)를 송액하기 위한 것이고, 좌우 한 쌍의 액체용 용적형 펌프(이하, 좌측의 펌프를 「제1 펌프(1A)」라고 하고, 우측의 펌프를 「제2 펌프(1B)」라고 함)를 병렬 배치하여 되는 다련형(多連型) 펌프이다.

양 펌프(1A, 1B)는 좌우 대칭 구조로 되어 있는 점을 제외하고 동일 구조의 것이며, 각각, 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 펌프 케이스(2)와, 펌프 케이스(2) 내에 배치되어 펌프실(3)을 둘러싸여 형성하는 벨로우즈(4)와, 펌프실(3)의 용적을 확장·수축 동작시키는 동작수단(5)과, 펌프실(3)에 개구되는 흡입구(6) 및 토출구(7)와, 흡입구(6)에 흡입측 체크밸브(8)를 통하여 연통 접속된 흡입통로(9)와 토출구(7)에 토출측 체크밸브(10)를 통하여 연통 접속된 토출통로(11)를 구비하여, 흡입통로(9)로부터 펌프실(3)에 급액하는 흡입공정과 펌프실(3)로부터 토출통로(11)로 송액하는 토출공정을 교대로 행하도록 구성된 벨로우즈 펌프(벨로우즈형 왕복구동펌프)이다.

펌프 케이스(2)는 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 양 펌프(1A, 1B)의 펌프 케이스로서 공통되는 양단(兩端) 폐색의 원통 구조체이며, 그 축선이 수평으로 되는 상태로 설치된다. 펌프 케이스(2)의 내부 공간은 축선 방향(좌우 방향)의 중간부에 배치한 원반형상의 통로 형성벽(2a)으로 2분할되어 있고, 그 내부 공간에서의 좌측의 분할 공간 부분에 제1 펌프(1A)의 구성부재가 배치되어 있고, 우측의 분할 공간 부분에 제2 펌프(1B)의 구성부재가 배치되어 있다.

각 벨로우즈(4)는 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 둘레벽(4a)을 단면 파형의 자바라 구조로 이루어 축선 방향(수평 방향)으로 신축 가능하게 구성된 바닥이 있는 원통체이다. 각 벨로즈(4)의 개구 단부(端部)(4b)는 통로 형성벽(2a)에 고착되어 있고, 그 벨로우즈(4) 내를 통로 형성벽(2a)으로 폐색된 펌프실(3)로 구성되어 있다. 각 펌프실(3)의 용적의 확장·수축은 이를 둘러싸여 형성하는 벨로우즈(4)를 축선 방향으로 신축시킴으로써 행해지지만, 양 벨로우즈(4, 4)는 그 저벽(底壁)(4c, 4c)에 고착한 원반형상의 가동판(12, 12)을 연결간(連結杆)(13)으로 연결함으로써, 동기(同期)하여 역방향으로 신축 동작되도록 되어 있다. 즉, 연결간(13)은 도 1에 예시하는 바와 같이, 한쪽의 벨로우즈(4)가 최축소(最縮小) 상태에 있을 때는 다른 한쪽의 벨로우즈(4)가 최신장(最伸張) 상태가 되도록, 양 벨로우즈(4, 4)를 연동 연결하는 것이고, 한쪽의 벨로우즈(4)가 축소 동작할 때는 이에 연동하여 다른 한쪽의 벨로우즈(4)가 신장 동작되도록 되어 있다.

각 동작수단(5)은 벨로우즈(4)를 신축 동작시키는 것이고, 피스톤·실린더 기구나 크랭크 기구 등으로 구성되지만, 이 예에서는, 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 에어 실린더 기구로 구성되어 있고, 펌프 케이스(2)의 단부벽(2b)에 형성된 급배(給排)기구(5a)로부터 벨로우즈(4) 및 가동판(12)과 펌프 케이스(2)와의 사이에 형성되는 공간에 가압공기(5b)를 급배시킴으로써, 벨로우즈(4)를 신축 동작시키도록 구성되어 있다. 양 급배기구(5a, 5a)로부터의 급배기(給排氣)는 교대로 동기하여 행해져, 한쪽의 급배기구(5a)로부터 급기(給氣)시킴과 함께 다른 한쪽의 급배기구(5a)로부터 배기(排氣)시킴으로써, 양 벨로우즈(4, 4)의 신축 동작 즉, 양 펌프실(3, 3)의 확장·수축 동작을 역방향으로 동기하여 행하도록 되어 있다. 즉, 제1 펌프(1A)의 흡입공정(또는 토출공정)과 제2 펌프(1B)의 토출공정(또는 흡입공정)이 동기하여 행해져, 양 펌프(1A, 1B)에서의 흡입공정과 토출공정의 전환이 동시에 행해지도록 되어 있다. 또한, 도 1은 제1 펌프(1A)의 흡입공정 및 제2 펌프(1B)의 토출공정의 종료 상태를 나타내고 있고, 도 2는 제1 펌프(1A)의 토출공정 및 제2 펌프(1B)의 흡입공정의 시작 상태를 나타내고 있으며, 도 3은 제1 펌프(1A)의 토출공정 및 제2 펌프(1B)의 흡입 토출공정의 진행 도중 상태를 나타내고 있다.

각 흡입측 체크밸브(8)는 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 밸브 상자(8a), 밸브 시트(8b), 밸브 본체(8c) 및 스프링(8d)으로 구성되어 있다. 밸브 상자(8a)는 통로 형성벽(2a)로부터 펌프실(3) 내로 돌출하는 상태로, 또한 벨로우즈(4)에 간섭하지 않는 상태로, 개구 단부를 통로 형성벽(2a)에 고착한 바닥이 있는 원통형의 것이다. 밸브 시트(8b)는 통로 형성벽(2a)의 밸브 상자 장착 부분에 형성되어 있고, 통로 형성벽(2a)에 형성된 흡입통로(9)의 일단부인 하류 단부에 접속되어 있다. 흡입통로(9)의 하류 단부는 분기되어, 양 흡입측 체크밸브(8, 8)의 밸브 시트(8b, 8b)에 연통되어 있다. 밸브 상자(8a)에는, 밸브 시트(8b)에 충합(衝合)되어 이것을 폐색하는 폐쇄 밸브 위치(제1 펌프(1A)에서의 도 2 및 도 3에 나타내는 위치 또는 제2 펌프(1B)에서의 도 1에 나타내는 위치)와 밸브 시트(8b)로부터 이간되어 이것을 개방하는 개방 밸브 위치(제1 펌프(1A)에서의 도 1에 나타내는 위치 또는 제2 펌프(1B)에서의 도 2 및 도 3에 나타내는 위치)에 걸쳐 변위 가능한 밸브 본체(8c)와, 이것을 폐쇄 밸브 위치로 부세(付勢)하는 스프링(8d)이 내장되어 있다. 밸브 몸체(8c)는, 토출공정에 있어서는 배압(펌프실(3)의 압력) 및 스프링(8d)의 부세력에 의해 폐색 위치에 유지되고, 흡입공정에 있어서는 펌프실(3)의 압력 저하에 의해 스프링(8d)의 부세력에 저항하여 개방 밸브 위치로 변위된다.

각 흡입구(6)는 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 밸브 상자(8a)의 저벽에 형성되어 펌프실(3) 내에 개구되어 있고, 흡입측 체크밸브(8)를 통하여 흡입통로(9)의 하류 단부에 연통 접속되어 있다.

각 토출측 체크밸브(10)는 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 밸브 상자(10a), 밸브 시트(10b), 밸브 본체(10c) 및 스프링(10d)으로 구성되어 있다. 밸브 상자(10a)는 통로 형성벽(2a)으로부터 펌프실(3) 내로 돌출하는 상태로, 또한 벨로우즈(4)에 간섭하지 않는 상태로, 개구 단부를 통로 형성벽(2a)에 고착한 바닥이 있는 원통형의 것이다. 밸브 시트(10b)는 밸브 상자(10a)의 저벽에 형성되어 있고, 통로 형성벽(2a)에 형성된 토출통로(11)의 일단부인 상류 단부에 접속되어 있다. 토출통로(11)의 상류 단부는 분기되어, 양 토출측 체크밸브(10, 10)의 밸브 상자(10a, 10a) 내에 개구되어, 밸브 시트(10b, 10b)에 연통되어 있다. 밸브 상자(10a)에는, 밸브 시트(10b)에 충합되어 이것을 폐색하는 폐쇄 밸브 위치(제1 펌프(1A)에서의 도 1에 나타내는 위치 또는 제2 펌프(1B)에서의 도 2 및 도 3에 나타내는 위치)와 밸브 시트(10b)로부터 이간되어 이것을 개방하는 개방 밸브 위치(제1 펌프(1A)에서의 도 2 및 도 3에 나타내는 위치 또는 제2 펌프(1B)에서의 도 1에 나타내는 위치)에 걸쳐 변위 가능한 밸브 본체(10c)와, 이것을 폐쇄 밸브 위치로 부세하는 스프링(10d)이 내장되어 있다. 밸브 본체(10c)는, 흡입공정에 있어서는 배압(토출통로(11)의 압력) 및 스프링(10d)의 부세력에 의해 폐색 위치에 유지되고, 토출공정에 있어서는 펌프실(3)의 압력 상승에 의해 스프링(10d)의 부세력에 저항하여 개방 밸브 위치로 변위된다.

각 토출구(7)는 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 밸브 시트(10b)의 밸브 구멍으로 하여도 기능하는 것으로서 밸브 상자(10a)의 저벽에 형성되어 펌프실(3) 내에 개구되어 있고, 토출측 체크밸브(10)를 통하여 토출통로(11)의 상류 단부에 연통 접속되어 있다.

또한, 벨로우즈(4) 등의 펌프 구성 부재 중 송액 유체와 접촉하는 것에 대하여는, 그 유체의 성질과 상태 등에 따라 적당한 재질이 선정되지만, 이 예에서는, 폴리테트라플루오로에틸렌 등의 불소 수지계의 내식재(耐食材)로 구성되어 있다.

이상의 구성은 주지(周知)의 다련형 왕복구동펌프와 같고, 제1 펌프(1A)에 의한 토출공정과 제2 펌프(1B)에 의한 토출공정이 교대로 연속하여 행해져, 송액 라인의 흡입 부분으로부터 토출 부분으로 연속적으로 송액시킬 수 있지만, 상기한 제 1 및 제2 펌프(1A, 1B)에 있어서는, 본 발명에 따라, 다음과 같이 더 구성하여 둠으로써, 각 흡입측 체크밸브(8) 및 토출측 체크밸브(10)의 작동불량(가스 로크)을 확실히 방지하고, 오존수, 과산화수소수 등의 발포성을 갖는 액체나 고온, 고압, 캐비테이션 등에 기인하여 기포를 포함하는 액체를 양호하게 송액시킬 수 있도록 고안되어 있다.

첫 번째로, 각 펌프실(3)의 상부 영역과 토출통로(11)를, 도 1∼도 5에 도시하는 바와 같이, 단면이 미소(微小) 직경의 원형상을 이루는 미세구멍 통로(14)에 의해 직접 연통 접속하여, 토출공정에서 그 펌프실(3) 내의 액체를 미세구멍 통로(14)로부터 토출통로(11)로 미량 유출시킴과 함께 흡입공정에서 토출통로(11) 내의 액체를 미세구멍 통로(14)로부터 그 펌프실(3)의 상부 영역으로 미량 유입시키도록 구성되어 있다.

즉, 각 미세구멍 통로(14)는 도 4에 도시하는 바와 같이, 통로 형성벽(2a)에 이것을 벨로우즈(4)의 축선 방향(수평 방향)으로 관통하는 바닥이 있는 실린더의 제1 부재(15)를 고착하고, 이 제1 부재(15)의 단부에 바닥이 있는 실린더의 제2 부재(16)를 끼워 맞춰 고착하고, 이 제2 부재(16)에 원기둥 형상의 제3 부재(17)의 기단부(基端部)를 끼워 맞춰 고착하여, 각 부재(15, 16, 17)에 형성한 통로구멍(15a, 16a, 17a)을 수평 방향으로 연통시킴으로써 형성되어 있다. 제1 부재(15)에 형성된 통로구멍(15a)의 일단부는 토출통로(11) 내에 개구되어 있고, 그 통로구멍(15a)과 제3 부재(17)의 통로구멍(17a)은 제2 부재(16)의 통로구멍(16a)를 통하여 연통되어 있다.

제3 부재(17)는 벨로우즈(4)의 상부측 부분에 간섭하는 일 없이 이것에 근접한 상태로 통로 형성벽(2a)으로부터 펌프실(3) 내의 상부 영역으로 수평으로 돌출되어 있다. 이 제3 부재(17)의 돌출량은 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 그 제 3 부재(17)의 선단부(先端部)가 벨로우즈(4)의 신축 동작시에 그 저벽(4c)에 간섭하지 않는 범위에서 가급적으로 길게 설정되어 있다. 또한, 제 1 및 제2 부재(15, 16)의 일단면(一端面)은 통로 형성벽(2a)의 단면(펌프실측의 단면)과 같은 면으로 되어 있고, 토출통로(11)에 노출되는 제 1 부재(15)의 단부와 통로 형성벽(2a)과의 끼워 맞춤 부분은 Ｏ링(15b)으로 실링(sealing)되어 있다.

미세구멍 통로(14)는 도 4에 도시하는 바와 같이, 펌프실(3) 내의 상부 영역을 향하여 개구되는 복수의 개구부(노즐구멍)(14a)를 갖고 있다. 즉, 제3 부재(17)의 상면부로서 펌프실(3) 내에 위치하는 부분에는, 통로구멍(17a)에 연통되는 복수의 노즐구멍(14a)이 축선 방향으로 소정 간격을 두고 천공 설치되어 있다. 노즐구멍(14a)의 상호 간격은 예를 들면 도 1에 도시하는 바와 같이, 각 노즐구멍(14a)의 통로가 흡입공정의 적어도 최종 단계에서 벨로우즈(4)의 둘레벽 내주면에 형성되는 환상 오목부(4d)에 대향하도록 설정되어 있다.

따라서, 흡입공정에 있어서는, 토출구(7)는 토출측 체크밸브(10)에 의해 폐색되어 있지만, 토출통로(11) 내의 액체가 미세구멍 통로(14)로부터 펌프실(3) 내로 유입된다(제1 펌프(1A)에서의 도 1 및 도 4에 나타내는 상태 또는 제2 펌프(1B)에서의 도 2 및 도 3에 나타내는 상태). 이 때, 미세구멍 통로(14)의 개구부 즉, 노즐구멍(14a)이 펌프실(3) 내의 상부 영역을 향하여 개구되므로, 각 노즐구멍(14a)에서는, 그 상부 영역을 향하여 액체가 분출되게 된다. 그런데, 흡입공정에서 펌프실(3) 내에서 발생하는 기포는 펌프실(3) 내의 상부 영역에 부유(浮游)하고, 흡입공정의 진행에 따라 새롭게 발생하는 기포와 합체, 성장하게 된다. 그러나, 펌프실(3) 내의 상부 영역에는, 상기한 바와 같이 각 노즐구멍(14a)으로부터 액체가 분출되므로, 그 분출류에 의해 기포의 성장은 저지되고, 또한 큰 기포는 미세하게 분열되게 된다. 이러한 기포의 성장 저지 내지 분열 작용은 각 노즐구멍(14a)의 배치를 그 개구가 상기한 바와 같이 흡입공정의 적어도 최종 단계에서 벨로우즈(4)의 둘레벽 내주면에 형성되는 환상 오목부(4d)에 대향하도록 설정하여 둠으로써, 보다 효과적으로 행해진다.

그리고, 흡입공정으로부터 토출공정으로 이행하면, 펌프실(3) 내의 액체는 토출구(7)로부터 토출측 체크밸브(10)를 통하여 토출유로(11)로 토출되게 되지만, 동시에, 펌프실(3) 내의 상부 영역의 액체가 각 노즐구멍(14a)으로부터 미세구멍 통로(14)를 통하여 토출통로(11)로 미량 유출되게 된다(제1 펌프(1A)에서의 도 2 및 도 3에 나타내는 상태 또는 제2 펌프(1B)에서의 도 1 및 도 4에 나타내는 상태). 이 때, 펌프실(3) 내의 상부 영역에서의 기포는 상기한 바와 같이 흡입공정에서 각 노즐구멍(14a)으로부터의 분출류에 의해 성장이 저지되어, 미세하게 분열되기 때문에, 미세구멍 통로(14)로부터 토출통로(11)에의 유출액에 동반하여, 토출통로(11)로 배출되게 된다.

따라서, 송액 유체가 발포성을 갖는 액체나 기포를 포함하는 액체인 경우에도, 흡입공정과 토출공정과의 반복에 의해 펌프실(3) 내에서 기포가 크게 성장되도록 하는 일이 없어, 첫머리에서 기술한 바와 같은 가스 로크 현상의 발생은 미연에 회피되어, 양호한 송액 기능을 발휘할 수 있다. 또한, 미세구멍 통로(14)의 내경은 흡입공정에서의 미세구멍 통로(14)로부터 펌프실(3)의 유입량 내지 토출공정에서의 미세구멍 통로(14)로부터 토출유로(11)로의 유출량이 흡입구(6)로부터의 흡입량 내지 토출구(7)로부터의 토출량에 비교하여 극히 미량으로 그 펌프(1A, 1B)에 의한 펌프 기능(정량성 등 )에 영향을 미치지 않는 범위에서, 상기한 기포의 성장 저지, 분열 기능 및 기포의 펌프실 바깥으로의 배출 기능이 양호하게 발휘되도록, 펌프 조건(액체의 성질과 상태 등)에 따라 적당하게 설정된다.

두 번째로, 각 흡입구(6)를, 도 1∼도 3 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 펌프실(3) 내에서 적어도 상부 영역을 향하여 개구되도록 하여, 흡입공정에서의 기포의 성장 저지, 분열 작용이 더 효과적으로 행해지도록 도모하고 있다.

즉, 각 흡입구(6)는 도 5에 도시하는 바와 같이, 펌프실(3)의 확장·수축 방향(벨로우즈(4)의 신축 방향인 수평 방향)에 직교하는 방향으로 방사상으로 개구되는 복수의 흡입구 부분(6a, 6b, 6c, 6d)으로 분기되어 있다. 즉, 각 흡입구(6)의 펌프실(3)에의 개구부는 펌프실(3) 내의 상부 영역을 향하여 개구되는 흡입구 부분(6a)을 포함하고, 밸브 상자(8a)의 둘레 방향으로 등간격(90도 간격)을 둔 4개의 흡입구 부분(6a, 6b, 6c, 6d)으로 분기되어 있다.

따라서, 흡입공정에 있어서는, 흡입구(6)로부터 펌프실(3) 내로 흡입되는 액체가 각 흡입구 부분(6a, 6b, 6c, 6d)으로부터 펌프실(3)의 상부 영역을 포함하여 4방향으로 분출되게 되고(제1 펌프(1A)에서의 도 1 및 도 5에 나타내는 상태 또는 제2 펌프(1B)에서의 도 2 및 도 3에 나타내는 상태), 이에 의해 펌프실(3) 내의 액체가 교반되어, 기포의 성장, 거대화가 저지되고, 혹은 기포가 미세하게 분열된다. 그 결과, 토출공정에서의 미세구멍 통로(14)로부터 토출통로(11)에의 유출액에 동반되는 것에 의한 기포의 배출이 더 효과적으로 행해진다.

또한, 본 발명에 따른 액체용 용적형 펌프의 구성은 상기한 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기본 원리를 벗어나지 않는 범위에서 적당히 개량, 변경할 수 있다.

예를 들면, 미세구멍 통로는 상기한 노즐구멍(14a)을 갖지 않고, 통로 형성벽(2a)을 관통하는 것만으로 하여 두는 것도 가능하다. 즉, 도 6∼도 8에 도시하는 것에서는, 통로 형성벽(2a)에 이것을 수평 방향으로 관통하여 토출통로(11)와 펌프실(3) 내의 상부 영역을 연통하는 미세구멍 통로(18)를 형성하고 있다. 이 미세구멍 통로(18)는 단면을 상기 미세구멍 통로(14)와 동일 직경의 원형상을 이루는 것이다. 도 6∼도 8에 나타내는 펌프는 상기한 미세구멍 통로(18)의 구성을 제외하여 도 1∼도 5에 나타내는 것과 같은 구조를 이루는 것이므로, 미세구멍 통로(18) 이외의 구성에 대하여는 도 1∼도 5와 동일 부호를 붙임으로써, 그 설명은 생략한다.

또한, 상기한 예에서는, 미세구멍 통로(14, 18)를 상시 개방 상태로 하는 구성으로 하였으나, 도 9∼도 12에 도시하는 바와 같이, 미세구멍 통로에 펌프실(3)로부터 토출통로(11)로의 액체 유동을 허용하고 또한 그 역방향으로의 액체 유동을 저지하는 체크밸브를 배치하여 두도록 하여도 좋다. 도 9∼도 12에 나타내는 펌프는 이하에 기술하는 바와 같이, 미세구멍 통로(19)에, 펌프실(3)로부터 토출통로(11)로의 액체 유동을 허용하고 또한 그 역방향으로의 액체 유동을 저지하는 체크밸브(20)를 배치한 것이지만, 이러한 점을 제외하여 도 1∼도 5에 나타내는 것과 동일 구조를 이루는 것이므로, 미세구멍 통로(19) 및 체크밸브(20) 이외의 구성에 대하여는 도 1∼도 5와 동일 부호를 붙임으로써, 그 설명은 생략한다.

즉, 도 9 및 도 10에 나타내는 제 1 및 제2 펌프(1A, 1B)에 있어서는, 통로 형성벽(2a)의 펌프측 단면에 펌프실(3) 내의 상부 영역에 개구되는 오목부(2c)를 형성함과 함께, 통로 형성벽(2a)에서의 오목부(2c)가 형성된 부분에 이것을 수평 방향으로 관통하여 토출통로(11)와 펌프실(3) 내의 상부 영역을 연통하는 미세구멍 통로(19)를 형성하고, 이 미세구멍 통로(19)의 펌프실측 단부를 구성하는 오목부(2c)에 체크밸브(20)를 배치하고 있다. 미세구멍 통로(19)는, 단면이 상기 미세구멍 통로(14, 18)와 동일 직경의 원형상을 이루는 것이다.

체크밸브(20)는 도 10에 도시하는 바와 같이, 통로 형성벽(2a)의 펌프실측 단부에 형성된 오목부(2c)에 매설된 밸브 상자(21, 22)와, 밸브 상자(21, 22)에 내장된 밸브 본체(23)로 이루어진다. 밸브 상자는 선단부 중심에 밸브 구멍(21a)을 형성한 바닥이 있는 원통형의 밸브 상자 본체(21)와, 밸브 상자 본체(21)의 기단(基端) 개구부에 이것을 폐색할 수 있도록 끼워 맞춰 고정된 원판 상의 덮개(22)로 이루어진다. 밸브 상자는, 밸브 구멍(21a)이 펌프실(3) 내의 상부 영역에 개구되고 또한 밸브 상자 본체(21)의 선단면이 통로 형성벽(2a)의 펌프실측 단면과 같은 면으로 되는 형태로, 밸브 상자 본체(21)의 외주면에 형성된 수(雄)나사부(21b)를 오목부(2c)의 내주면에 형성한 암(雌)나사부(2d)에 나사 결합시킴으로써 오목부(2c)에 고정되어 있다. 밸브 상자 본체(21)의 내주면에는, 도 10 및 도 11에 도시하는 바와 같이, 축선 방향(수평 방향)으로 뻗는 복수조(이 예에서는, 4조(條))의 반원형 홈(21c)이 둘레 방향으로 등간격을 두고 형성되어 있다. 덮개(22)의 선단측 부분은 밸브 상자 본체(21)의 기단 개구부에 끼워 맞춰져 있지만, 이 선단측 부분에는, 도 10∼도 12에 도시하는 바와 같이, 각 반원형 홈(21c)에 합치되는 상태로 복수개(이 예에서는, 4개)의 원형구멍(22a)이 형성되어 있다. 또한, 덮개(22)의 기단측 부분에는, 도 10∼도 12에 도시하는 바와 같이, 전체 원형구멍(22a)과 미세구멍 통로(19)를 연통시키기 위한 원형구멍(22b)이 형성되어 있다. 밸브 구멍(21a)은 도 10에 도시하는 바와 같이, 미세구멍 통로(19)와 동일 또는 대략 동일한 미소 직경을 이루는 것이고, 기단측 부분은 밸브 상자 본체(21) 내를 향하여 재두(裁頭) 원추형으로 확경(擴俓)되어 있다. 밸브 본체(23)는 밸브 상자 본체(21) 내에 축선 방향(수평 방향)으로 이동 가능하게 끼워 삽입된 원기둥 형상의 것으로, 선단부는 밸브 구멍(21a)에 끼워 맞춤 가능한 끝이 오므라든 재두 원추형으로 형성되어 있다. 밸브 본체(23)는, 흡입공정에서는 펌프실(3) 내의 감압(減壓) 작용에 의해 밸브 본체(23)가 밸브 구멍(21a)에 끼워 맞춰서 이것을 폐색하는 폐쇄 밸브 위치(제1 펌프(1A)에서의 도 9 및 도 10에 나타내는 위치)로 이동되고, 토출공정에 있어서는 펌프실(3) 내의 가압 작용에 의해 밸브 본체(23)가 밸브 구멍(21a)으로부터 이탈되어 이것을 개방하는 개방 밸브 위치(제2 펌프(1B)에서의 도 9 및 도 10에 나타내는 위치)로 이동된다. 또한, 개방 밸브 위치에 있어서는, 밸브 본체(23)는 덮개(22)에 충합(衝合)된다.

그래서, 토출공정에 있어서는, 밸브 본체(23)이 개방 밸브 위치에 위치되어 밸브 구멍(21a)이 개방되므로, 상기한 경우와 마찬가지로, 펌프실(3) 내의 상부 영역에서의 액체가 밸브 구멍(21a), 각 반원형 홈(21c) 및 각 원형구멍(22a, 22b)으로부터 미세구멍 통로(19)를 통하여 토출통로(11)로 미량 유출되게 된다(제2 펌프(1B)에서의 도 9 및 도 10에 나타내는 상태). 이 때, 펌프실(3) 내의 상부 영역에서의 기포는 미세구멍 통로(19)로부터 토출통로(11)로의 유출액에 동반하여, 토출통로(11)로 배출되게 된다.

그리고, 토출공정으로부터 흡입공정으로 이행하면, 밸브 본체(23)가 폐쇄 밸브 위치에 위치되어 밸브 구멍(21a)이 폐색되어 펌프실(3)과 토출통로(11)와의 미세구멍 통로(19)에 의한 연통은 차단된다. 즉, 미세구멍 통로(19)를 마련하지 않는 경우와 같은 흡입공정이 행해지게 된다.

그래서, 송액 유체가 발포성을 갖는 액체나 기포를 포함하는 액체인 경우에도, 1회의 흡입공정에서 펌프실(3) 내에서 발생 또는 침입하는 기포의 양은 약간이고 또한 그 기포도 작으므로, 흡입공정으로부터 토출공정으로 이행할 때마다, 상기와 같이 미세구멍 통로(19)로부터의 배출액과 함께 기포가 배제됨으로써, 펌프실(3) 내의 기포가 크게 성장하는 일이 없다. 따라서, 도 9∼도 12에 도시하는 펌프에 있어서는, 미세구멍 통로(19)를, 이것에 체크밸브(20)를 설치하고, 토출공정에 있어서만 개방하고, 흡입공정에 있어서는 폐색하도록 구성하고 있지만, 상기한 미세구멍 통로(14, 18)와 같이 상시 개방 상태로 한 펌프와 마찬가지로, 가스 로크 현상의 발생은 미연에 회피되어, 양호한 송액 기능을 발휘할 수 있다. 또한, 각 흡입구(6)를, 상기한 펌프에서의 경우와 마찬가지로, 펌프실(3) 내에서 적어도 상부 영역을 향하여 개구되도록 하여 있으므로, 흡입공정에서 기포의 성장 저지, 분열 작용도 효과적으로 행해진다.

또한, 흡입행정시에 액체가 토출통로(11)로부터 펌프실(3)로 유입되지 않기 때문에, 안정된 토출량을 얻을 수 있어, 가스 로크 현상을 회피하면서 펌프의 정량성을 확실히 얻을 수 있다.

또한, 체크밸브(20)는 도 13에 도시하는 바와 같이, 미세구멍 통로(19)의 펌프실측이 아니라 토출통로측에 배치하도록 하여도 좋다. 즉, 도 13에 도시하는 펌프에서는, 밸브 상자(21, 22)를, 그 덮개(22)가 통로 형성벽(2a)의 토출통로측 단면과 같은 면으로 되도록 배치하고 있다. 이 경우, 밸브 상자 본체(21)의 선단부를 연장하여, 그 연장 부분의 선단면이 통로 형성벽(2a)의 펌프실측 단면과 같은 면으로 되도록 하고, 그 연장 부분에 밸브 구멍(21a)으로부터 펌프실(3) 내의 상부 영역으로 개구되는 미세구멍 통로(19)를 형성하고 있다. 이와 같이 구성한 경우에도, 도 9∼도 12에 도시하는 펌프와 동일한 작용 효과를 발휘할 수 있다.

또한, 상기한 어느 쪽의 펌프에 있어서도, 흡입구(6)를 복수의 흡입구 부분(6a, 6b, 6c, 6d)으로 분기시키도록 하였지만, 송액 유체의 성질과 상태 등에 따라서는, 펌프실(3)의 적어도 상부 영역을 향하여 흡입액을 흡입구(6)로부터 분출시키는 것만으로도, 펌프실(3) 내의 상부 영역에서의 교반작용에 의해 기포의 성장, 거대화를 저지할 수 있다. 즉, 흡입구(6)를 위쪽으로 개구하는 흡입구 부분(6a)만으로 구성하도록 하여 두는 것도 가능하다. 또한, 체크밸브(20)를 설치하지 않는 경우, 송액 유체의 성질과 상태 등에 따라서는, 흡입공정에서의 미세구멍 통로(14)의 노즐구멍(14a)으로부터의 분출류 또는 미세구멍 통로(18)로부터의 분출류만에 의해서도, 기포의 성장, 거대화를 저지하는 것이 가능한 경우가 있고, 이러한 경우에는, 미세구멍 통로(14, 18)만을 마련하여, 흡입구(6)에 대하여는 각별한 고안을 하지 않아도 좋다.

또한, 본 발명은 단일의 액체용 용적형 펌프나, 벨로우즈 펌프 이외의 용적형 펌프(예를 들면, 다이어프램 펌프 등)에도 적합하게 적용할 수 있다. 또한, 상기한 바와 같이 펌프실(3)의 확장·수축 동작 방향이 수평 방향이 아니라 상하 방향으로 각종 액체용 용적형 펌프에도 적합하게 적용할 수 있다.

1A : 제1 펌프(액체용 용적형 펌프)
1B : 제2 펌프(액체용 용적형 펌프)
2 : 펌프 케이스(2)
2a : 통로 형성벽
2b : 단부벽
2c : 오목부
2d : 암나사부
3 : 펌프실
4 : 벨로우즈
4a : 벨로우즈의 둘레벽
4b : 개구 단부
4c : 저벽
4d : 벨로우즈의 둘레벽 내주면에 형성되는 환상 오목부
5 : 동작수단
5a : 급배기구
5b : 가압 공기
6 : 흡입구
6a : 흡입구 부분
6b : 흡입구 부분
6c : 흡입구 부분
6d : 흡입구 부분
7 : 토출구
8 : 흡입측 체크밸브
8a : 밸브 상자
8b : 밸브 시트
8c : 밸브 본체
8d : 스프링
9 : 흡입통로
10 : 토출측 체크밸브
10a : 밸브 상자
10b : 밸브 시트
10c : 밸브 본체
10d : 스프링
11 : 토출통로
12 : 가동판
13 : 연결간
14 : 미세구멍 통로
14a : 노즐구멍(미세구멍 통로의 개구부)
15 : 제1 부재
15a : 통로구멍
15b : Ｏ링
16 : 제2 부재
16a : 통로구멍
17 : 제3 부재
17a : 통로구멍
18 : 미세구멍 통로
19 : 미세구멍 통로
20 : 체크밸브
21 : 밸브 상자 본체(밸브 상자)
21a : 밸브 구멍
21b : 수나사부
21c : 반원형 홈
22 : 덮개(밸브 상자)
22a : 원형구멍
22b : 원형구멍
23 : 밸브 본체

Claims

용적을 확장·수축 동작 가능하게 구성된 펌프실과, 펌프실 내에 개구되는 흡입구 및 토출구와, 흡입구에 흡입측 체크밸브를 통하여 연통 접속된 흡입통로와, 토출구에 토출측 체크밸브를 통하여 연통 접속된 토출통로를 구비하여, 펌프실의 용적을 확대함으로써 흡입통로로부터 흡입측 체크밸브 및 흡입구를 거쳐 펌프실에 급액시키는 흡입공정과, 펌프실의 용적을 축소함으로써 펌프실로부터 토출구 및 토출측 체크밸브를 거쳐 토출통로에 송액시키는 토출공정이 동시에 실시되되 상기 흡입공정과 상기 토출공정이 교대로 연속하여 실시하도록 구성된 것으로서, 펌프실 내에서 기포를 발생하는 액체를 취급하는 액체용 용적형 펌프에 있어서,
펌프실의 상부 영역과 토출통로를 미세구멍 통로에 의해 직접 연통 접속하여, 토출공정에서 펌프실 내의 액체를 상기 미세구멍 통로로부터 토출통로로 미량 (微量) 유출시킴으로써 상기 펌프실 내의 기포를 배제시킴과 함께, 상기 토출공정과 동시에 실시되는 흡입공정에서 토출통로 내의 액체를 미세구멍 통로로부터 펌프실의 상부 영역으로 미량 유입시키도록 구성한 것을 특징으로 하는 액체용 용적형 펌프.
제1항에 있어서,
미세구멍 통로가 펌프실 내에서, 상부 영역을 향하여 개구되는 것인 것을 특징으로 하는 액체용 용적형 펌프.
제1항에 있어서,
흡입구가 펌프실 내에서 적어도 상부 영역을 향하여 개구되는 것인 것을 특징으로 하는 액체용 용적형 펌프.
제1항에 있어서,
미세구멍 통로가 펌프실 내에서, 상부 영역을 향하여 개구되는 것이고,
흡입구가 펌프실 내에서 적어도 상부 영역을 향하여 개구되는 것인 것을 특징으로 하는 액체용 용적형 펌프.
제3항에 있어서,
펌프실이 수평 방향으로 확장·수축되는 것인 경우에 있어서, 흡입구가 펌프실의 확장·수축 방향에 직교하는 방향으로 방사상으로 개구되는 복수의 흡입구 부분으로 분기되어 있는 것을 특징으로 하는 액체용 용적형 펌프.
제4항에 있어서,
펌프실이 수평 방향으로 확장·수축되는 것인 경우에 있어서, 흡입구가 펌프실의 확장·수축 방향에 직교하는 방향으로 방사상으로 개구되는 복수의 흡입구 부분으로 분기되어 있는 것을 특징으로 하는 액체용 용적형 펌프.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
펌프실이 수평 방향으로 신축 가능한 바닥이 있는 실린더의 벨로우즈에 의해 둘러싸여 형성되는 것인 것을 특징으로 하는 액체용 용적형 펌프.
삭제
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
펌프실이 수평 방향으로 신축 가능한 바닥이 있는 실린더의 벨로우즈에 의해 둘러싸여 형성되는 것을 특징으로 하는 액체용 용적형 펌프.
삭제
삭제
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
펌프실이 수평 방향으로 신축 가능한 바닥이 있는 실린더의 벨로우즈에 의해 둘러싸여 형성된 것이고,
벨로우즈의 둘레벽이 단면(斷面) 파형의 자바라(蛇腹) 구조를 이루는 것이고, 펌프실 내에서의 미세구멍 통로의 개구부가 흡입공정에 있어서 토출통로로부터 그 미세구멍 통로에 유입한 액체를 벨로우즈의 상부측 부분에서의 내주면을 향하여 분출하는 것을 특징으로 하는 액체용 용적형 펌프.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
펌프실이 수평 방향으로 신축 가능한 바닥이 있는 실린더의 벨로우즈에 의해 둘러싸여 형성된 것이고,
벨로우즈의 둘레벽이 단면 파형의 자바라 구조를 이루는 것이고, 펌프실 내에서의 미세구멍 통로의 개구부가 흡입공정에 있어서 토출통로로부터 그 미세구멍 통로에 유입한 액체를 벨로우즈의 상부측 부분에서의 내주면을 향하여 분출하는 것이고,
미세구멍 통로가 펌프실 내에 복수개소에서 개구되는 것이고, 이들의 개구부가 흡입공정의 적어도 최종 단계에서 벨로우즈의 둘레벽 내주면에 형성되는 환상(環狀) 오목부를 향하여 액체를 분출하도록, 벨로우즈의 신축 방향으로 소정간격을 두고 병렬 형태로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체용 용적형 펌프.