JP5912842B2 - 横型ベローズポンプ - Google Patents

Description

本発明は、半導体製造プロセスで使用される薬液や固形成分等のスラリ成分を含有するスラリ液（例えば、ＣＭＰ装置（ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ ＭｅｃｈａｎｉｃａｌＰｏｌｉｓｈｉｎｇ）法による半導体ウエハの表面研摩処理装置）で使用される研摩液等）等の液体を送液させるための横型ベローズポンプに関するものである。

この種の横型ベローズポンプとして、従来からも、吐出通路及び吸込通路を形成したポンプヘッドと、ポンプヘッドの両側に設けられた一対のシリンダケースと、各シリンダケース内に配してポンプヘッドに軸線方向に伸縮自在に取り付けられた一対のベローズと、各ベローズによって囲繞形成されたポンプ室に突出する状態で当該ポンプ室の上部に配してポンプヘッドに取り付けられた一対の吐出側逆止弁と、各ポンプ室に突出する状態で当該ポンプ室の下部に配してポンプヘッドに取り付けられた一対の吸込側逆止弁とを具備して、両ベローズを交互に伸縮動作させることにより一方のポンプ室から吐出側逆止弁を介して吐出通路へと送液させる吐出工程と吸込通路から吸込側逆止弁を介して他方のポンプ室へと給液させる吸込工程とを同時に行うように構成された複動型のものが公知である（例えば、特許文献１の図１又は特許文献２の図２を参照）。

かかる従来の横型ベローズポンプ（以下「従来ポンプ」という）にあっては、各吐出側逆止弁が、ポンプ室に突出する状態でポンプヘッドに取り付けられて吐出通路の上流端に連通する円筒状の弁ケースと、弁ケースの先端部を軸線方向に貫通する弁入口通路と、弁ケースに内装されて弁入口通路を閉塞する閉弁位置とこれを開放する開弁位置とに亘って軸線方向に進退自在な弁体と、弁ケースに内装されて弁体を閉弁位置に附勢保持するスプリングとを具備して、ベローズの縮小動作によりポンプ室の容積が縮小する吐出工程においてポンプ室の圧力上昇により弁体がスプリングの附勢力に抗して開弁位置へと変位してポンプ室と吐出通路とを連通させるように構成されており、各吸込側逆止弁が、ポンプ室に突出する状態でポンプヘッドに取り付けられて吸込通路の下流端に連通する円筒状の弁ケースと、弁ケースの先端部を軸線方向に貫通する弁出口通路と、弁ケースに内装されて吸込通路の下流端を閉塞する閉弁位置とこれを開放する開弁位置とに亘って軸線方向に進退自在な弁体と、弁ケースに内装されて弁体を閉弁位置に附勢保持するスプリングとを具備して、ベローズの伸長動作によりポンプ室の容積が拡大する吸込工程においてポンプ室の圧力降下により弁体がスプリングの附勢力に抗して開弁位置へと変位してポンプ室と吸込通路とを連通させるように構成されている。

したがって、両ベローズを交互に伸縮動作させることにより、ポンプ室から吐出側逆止弁を介して吐出通路へと送液される吐出工程と吸込通路から吸込側逆止弁を介してポンプへと給液される吸込工程とが両ポンプ室において同時に行われて、連続的に送液させることができるのである。

特開２００４−０８４４８６公報 特開２０００−２０５１３８公報 特開２００９−１０８６７８公報

しかし、従来ポンプは、吐出側逆止弁及び吸込側逆止弁を独立部品としてポンプヘッドに取り付けていることから、これらの逆止弁をポンプヘッド内に組み込むようにした横型ベローズポンプ（例えば、特許文献３を参照）に比して、ポンプヘッド構造の簡素化、ポンプヘッドの薄肉化によるポンプ軸長の小型化やメンテナンスの容易化等を図りうるものであるが、逆止弁がポンプ室に突出して配置されているために次のような問題があった。

ポンプ室における吐出側逆止弁の直上領域つまり当該逆止弁の弁ケースとベローズの上側部分との上下対向周面間領域（以下「上側ポンプ室部分」という）においては、液体が流動することなく滞留する虞れがある。

すなわち、弁入口通路及び弁出口通路が当該各弁ケースの先端部を軸線方向に貫通して形成されていて、吐出工程において吐出側逆止弁の弁ケースの先端面に開口する弁入口通路からの液体の吸込方向及び吸込工程において吸込側逆止弁の弁ケースの先端面に開口する弁出口通路からの液体の噴出方向と当該各弁ケースのポンプ室への突出方向とが平行するため、吐出工程においては、上側ポンプ室部分の液体は弁入口通路から吸込まれる液流による流動が弁ケースによって妨げられることになる。また、吸込工程においても、上側ポンプ室部分の液体は弁出口通路から噴出される液流による流動が弁ケースによって妨げられることになる。その結果、上側ポンプ室部分においては液体が滞留し易い。このような液体の滞留は、ベローズの周壁が断面波形の蛇腹形状をなすものであり、上側ポンプ室部分においては弁ケースの外周面に直対向するベローズの内周面に軸線方向に並列する多くの谷部が存在することにより、より顕著に発生することになる。液体が粘度の高いものである場合にも、当該液体の滞留は生じ易い。

このような上側ポンプ室部分における滞留液体は吐出工程と吸込工程とが幾度となく繰り返された後にポンプ室から吐出通路へと排出されるが、上側ポンプ室部分の滞留液体の吐出通路への排出は吐出工程と吸込工程とが定まった回数繰り返されることにより行われるものではなく、当該滞留液体の上側ポンプ室部分からの排出時期は不定である。したがって、吐出通路から連続的に吐出される液体には、上側ポンプ室部分での滞留時間が異なる液体が断続的且つ不規則に混入することになり、その結果、当該横型ベローズポンプにより送液される液体の性状が安定せず、変化する虞れがある。例えば、液体が厳格に温調管理する必要のある薬液等である場合には、上側ポンプ室部分に長時間滞留していたために温度変化した滞留液体が断続的且つ不規則に混入することにより吐出通路から吐出される液体の温度が変化してしまう虞れがあったり、また液体がスラリ成分等の配合比率を厳格に管理する必要のあるスラリ液等である場合には、滞留液体が断続的且つ不規則に混入することにより吐出通路から吐出される液体の成分，濃度等が変化してしまう虞れがある。なお、吐出側逆止弁をベローズの上側部分に接近させることにより上側ポンプ室部分の容積を可及的に小さくする、つまり滞留液体量を可及的に少なくすることも考えられるが、このようにすると、却って上側ポンプ室部分（特に、ベローズの谷部内）での液置換が困難となり、液体がより滞留し易くなる。

このように、従来ポンプでは、上側ポンプ室部分において液体が滞留し易い、つまり上側ポンプ室部分における液置換性が悪いといった問題があるため、厳格な性状管理を必要とする液体の送液ポンプとしては一般的に実用することができず、その用途が大幅に制限されているのが実情である。

なお、以上のような上側ポンプ室部分の液体滞留並びにこれに起因する上記の問題は、従来ポンプのような複動型の横型ベローズポンプに限らず、１つのポンプ室において吐出側逆止弁及びその下位の吸込側逆止弁をポンプヘッドから突出させて吐出工程と吸込工程とを交互に行うように構成された単動型の横型ベローズポンプにおいても同様に生じる。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、上側ポンプ室部分における液体滞留を可及的に防止して、厳格な性状管理を必要とする液体をも良好に送液することができる複動型ないし単動型の横型ベローズポンプを提供することを目的とするものである。

本発明は、吐出通路及び吸込通路を形成したポンプヘッドと、ポンプヘッドに設けられたシリンダケースと、シリンダケース内に配してポンプヘッドに軸線方向に伸縮自在に取り付けられたベローズと、ベローズによって囲繞形成されたポンプ室に突出する状態でポンプ室の上部に配してポンプヘッドに取り付けられた吐出側逆止弁と、ポンプ室に突出する状態でポンプ室の下部に配してポンプヘッドに取り付けられた吸込側逆止弁とを具備して、ベローズを伸縮動作させることによりポンプ室から吐出側逆止弁を介して吐出通路へと送液させる吐出工程と吸込通路から吸込側逆止弁を介してポンプ室へと給液させる吸込工程とを交互に行うように構成された横型ベローズポンプにおいて、上記の目的を達成すべく、特に、吐出側逆止弁を、基端部が吐出通路の上流端に連通する状態でポンプヘッドに取り付けられた筒状の弁ケースと、弁ケースの先端部に形成された貫通孔であって、一端が弁ケース内に開口すると共に他端がポンプ室に開口する弁入口通路と、弁ケース内に進退自在に配して弁入口通路の一端で構成される弁座口を開閉する弁体と、弁ケース内に配して弁体を弁座口を閉塞する閉弁位置に附勢するスプリングと、弁ケースに形成されており、一端を弁ケースとベローズの上側部分との上下対向周面間領域である上側ポンプ室部分に開口すると共に他端を弁ケース内に開口する一個又は複数個の吸引孔とを具備してなるものに構成し、吸引孔をその内径が弁入口通路の断面径より小さい小径孔としておくことを提案する。

かかる横型ベローズポンプの好ましい実施の形態にあって、当該ポンプは複動型又は単動型のものに構成される。すなわち、複動型のベローズポンプは、吐出通路及び吸込通路を形成したポンプヘッドと、ポンプヘッドの両側に設けられた一対のシリンダケースと、各シリンダケース内に配してポンプヘッドに軸線方向に伸縮自在に取り付けられた一対のベローズと、各ベローズによって囲繞形成されたポンプ室に突出する状態で当該ポンプ室の上部に配してポンプヘッドに取り付けられた一対の吐出側逆止弁と、各ポンプ室に突出する状態で当該ポンプ室の下部に配してポンプヘッドに取り付けられた一対の吸込側逆止弁とを具備して、両ベローズを交互に伸縮動作させることにより一方のポンプ室から吐出側逆止弁を介して吐出通路へと送液させる吐出工程と吸込通路から吸込側逆止弁を介して他方のポンプ室へと給液させる吸込工程とを同時に行うように構成される。また、単複動型のベローズポンプは、吐出通路及び吸込通路を形成したポンプヘッドと、ポンプヘッドの片側に設けられたシリンダケースと、シリンダケース内に配してポンプヘッドに軸線方向に伸縮自在に取り付けられたベローズと、ベローズによって囲繞形成されたポンプ室に突出する状態で当該ポンプ室の上部に配してポンプヘッドに取り付けられた吐出側逆止弁と、ポンプ室に突出する状態でポンプ室の下部に配してポンプヘッドに取り付けられた吸込側逆止弁とを具備して、ベローズを伸縮動作させることによりポンプ室から吐出側逆止弁を介して吐出通路へと送液させる吐出工程と吸込通路から吸込側逆止弁を介してポンプ室へと給液させる吸込工程とを交互に行うように構成される。

かかる複動型又は単動型の横型ベローズポンプにあっては、ポンプ室において、吐出側逆止弁がベローズの上側部分に近接していることが好ましい。また、吐出側逆止弁の弁ケースに複数個の吸引孔が形成される場合においては、これらの吸引孔の一端が当該弁ケースの周方向における複数個所及び／又は当該弁ケースの軸線方向における複数個所において上側ポンプ室部分に開口されていることが好ましい。

本発明の横型ベローズポンプは、吐出工程にあるポンプ室において上側ポンプ室部分の液体を吐出側逆止弁の吸引孔から弁ケース内へと継続的に吸引させるように構成したものであるから、上側ポンプ室部分において液体が強制的に流動せしめられて、当該ポンプ室部分における液体滞留を可及的に防止でき、液置換性を大幅に向上させ得るものである。したがって、本発明によれば、前述したような性状変化等の問題を生じることなく安定した状態で送液することができ、厳格な性状管理を必要とする液体を扱う場合においても良好なポンプ機能を発揮することができる、極めて実用性に富む複動型ないし単動型の横型ベローズポンプを提供することができる。

図１は本発明に係る複動型の横型ベローズポンプの一例を示す縦断側面図である。 図２は図１と異なる状態を示す図１相当の縦断側面図である。 図３は図１及び図２と異なる状態を示す図１相当の縦断側面図である。 図４は図３の要部を拡大して示す縦断側面図である。 図５は図４のＶ−Ｖ線に沿う縦断背面図である。 図６は本発明に係る複動型の横型ベローズポンプの変形例を示す図５相当の要部の縦断背面図である。 図７は本発明に係る複動型の横型ベローズポンプの他の変形例を示す図４相当の要部の縦断側面図である。 図８は本発明に係る複動型の横型ベローズポンプの更に他の変形例を示す図４相当の要部の縦断側面図である。 図９は本発明に係る複動型の横型ベローズポンプの更に他の変形例を示す図４相当の要部の縦断側面図である。 図１０は本発明に係る複動型の横型ベローズポンプの更に他の変形例を示す図４相当の要部の縦断側面図である。 図１１は図１０のＸＩ−ＸＩに沿う縦断背面図である。 図１２は本発明に係る単動型の横型ベローズポンプの一例を示す縦断側面図である。 図１３は図１２と異なる状態を示す図１２相当の縦断側面図である。 図１４は図１２の要部を拡大して示す縦断側面図である。 図１５は図１４のＸＶ−ＸＶ線に沿う縦断正面図である。 図１６は本発明に係る単動型の横型ベローズポンプの変形例を示す図１５相当の要部の縦断正面図である。 図１７は本発明に係る単動型の横型ベローズポンプの他の変形例を示す図１４相当の要部の縦断側面図である。 図１８は本発明に係る単動型の横型ベローズポンプの更に他の変形例を示す図１４相当の要部の縦断側面図である。 図１９は本発明に係る単動型の横型ベローズポンプの更に他の変形例を示す図１４相当の要部の縦断側面図である。 図２０は本発明に係る複動型の横型ベローズポンプの更に他の変形例を示す図１４相当の要部の縦断側面図である。 図２１は図２０のＸＸＩ−ＸＸＩに沿う縦断正面図である。

本発明を実施するための形態を、図面に基づいて、具体的に説明する。

図１は本発明に係る複動型の横型ベローズポンプの一例を示す縦断側面図であり、図２は図１と異なる状態を示す図１相当の縦断側面図であり、図３は図１及び図２と異なる状態を示す図１相当の縦断側面図であり、図４は図３の要部を拡大して示す縦断側面図であり、図５は図４のＶ−Ｖ線に沿う縦断背面図である。なお、以下の説明において、上下，左右とは、図１〜図４における上下，左右をいうものとする。

図１〜図３に示す横型ベローズポンプは、厳格な性状管理を必要とする液体（前記した薬液やスラリ液等）Ａを連続的に送液するために使用される複動型のもの（以下「第１複動型ベローズポンプ」という）であって、吐出通路１及び吸込通路２を形成したポンプヘッド３と、ポンプヘッド３の両側に設けられた左右一対のシリンダケース４，４と、各シリンダケース４内に配して、ポンプヘッド３に軸線方向（水平方向）に伸縮自在に取り付けられた左右一対の円筒状のベローズ５，５と、各ベローズ５によって囲繞形成された左右一対のポンプ室６，６と、各ポンプ室６に突出する状態で当該ポンプ室６の上部に配してポンプヘッド３に取り付けられた左右一対の吐出側逆止弁７，７と、各ポンプ室６に突出する状態で当該ポンプ室６の下部に配してポンプヘッド３に取り付けられた左右一対の吸込側逆止弁８，８とを具備して、両ベローズ５，５を交互に伸縮動作させることにより、液体Ａを一方のポンプ室６から吐出側逆止弁７を介して吐出通路１へと送液させる吐出工程と吸込通路２から吸込側逆止弁８を介して他方のポンプ室６へと給液させる吸込工程とを同時に行うように構成されたものである。なお、第１複動型ベローズポンプを構成する両シリンダケース４，４、両ベローズ５，５、両ポンプ室６、６、両吐出側逆止弁７，７及び両吸込側逆止弁８，８は、夫々、左右対称構造となっている点を除いて同一構造をなすものである。

ポンプヘッド３は、送液ラインに接続された吐出通路１及び給液ラインに接続された吸込通路２を形成した円板形状をなすもので、図１〜図４に示す如く、その左右両面には吐出通路１の上流端及び吸込通路２の下流端が夫々分岐して開口されている。

各シリンダケース４は、図１〜図４に示す如く、ポンプヘッド３に取り付けられた有底円筒形状のものであり、両シリンダケース４，４とポンプヘッド３とで内部をポンプヘッド３で左右に２分割したポンプ本体を構成している。

各ベローズ５は、図１〜図３に示す如く、周壁５１を断面波型の蛇腹構造となす有底円筒体であり、軸線方向（左右水平方向）に伸縮することによりポンプ室６の容積を拡縮させるものである。各ベローズ５は、その開口端部５２をポンプヘッド３に密着固定したものであって、当該ベローズ５内をポンプヘッド３で閉塞されたポンプ室６に構成する。両ベローズ５，５は、その底壁５３，５３に固定した円盤状の可動板９，９を連結杆１０で連結することによって、同期して逆方向に伸縮動作されるようになっている。すなわち、連結杆１０は、図１に例示する如く、一方のベローズ５が最縮小状態にあるときは他方のベローズ５が最伸長状態となるように、両ベローズ５，５を連動連結するものであり、一方のベローズ５が縮小動作するときは、これに連動して他方のベローズ５が伸長動作されるようになっている。

なお、ベローズ５を伸縮動作させる動作手段は、一般にピストン・シリンダ機構、クランク機構やエアシリンダ機構等で構成されるが、この例ではエアシリンダ機構で構成してある。すなわち、動作手段は、シリンダケース４の端部壁に形成した給排気口４１からベローズ５及び可動板９とシリンダケース４との間に形成される空間に加圧空気４２を給排させることにより、ベローズ５を軸線方向に伸縮動作させるように構成されている。両給排気口４１，４１からの給排気は交互に同期して行われ、一方の給排気口４１から給気させると同時に他方の給排気口４１から排気させることにより、両ベローズ５，５の伸縮動作つまり両ポンプ室６，６の拡縮動作を逆方向に同期して行うようになっている。すなわち、一方のポンプ室６における吸込工程（又は吐出工程）と他方のポンプ室６における吐出工程（又は吸込工程）とが同期して行われ、両ポンプ室６，６における吐出工程（液体Ａがポンプ室６から吐出側逆止弁７を介して吐出通路１へ送液される工程）と吸込工程（液体Ａが吸込通路２から吸込側逆止弁８を介してポンプ室６へ給液される工程）との切換が同時に行われるようになっている。なお、図１は左側のポンプ室６における吸込工程及び右側のポンプ室６における吐出工程の終了状態を示しており、図２は左側のポンプ室６における吐出工程及び右側のポンプ室６における吸込工程の開始状態を示しており、図３は左側のポンプ室６における吐出工程及び右側のポンプ室６における吸込工程の進行途中の状態を示している。

各吐出側逆止弁７は、図４に示す如く、ポンプヘッド３に取り付けられた弁ケース７１と、弁ケース７１に形成された弁入口通路７２と、弁ケース７１に内装された弁体７３及びスプリング７４とを具備してなる。

各弁ケース７１は、図４及び図５に示す如く、ポンプ室６にその軸線と平行をなして突出させた状態で基端部をポンプヘッド３に取り付けた有底円筒体であり、基端開口部は吐出通路１の上流端に連通接続されている。両弁ケース７１，７１は、軸線が一致する水平状態でポンプ室６，６の上部に配置されている。この例では、各弁ケース７１は、その軸線がポンプ室６の軸線を通過する鉛直線（直径線）上に位置し且つその外周面がベローズ５の上側内周面に近接した状態で、ポンプヘッド３に取り付けられている。

各弁入口通路７２は、図１〜図４に示す如く、弁ケース７１の先端部に形成された貫通孔であって、一端が弁ケース７１内に開口する弁座口７５に構成されると共に他端がポンプ室６に開口されている。この例では、弁入口通路７２が、図４及び図５に示す如く、弁ケース７１の先端部の中心を軸線方向に貫通する貫通孔で構成されている。

各弁体７３は、図１〜図４に示す如く、弁座口７５に衝合してこれを閉塞する閉弁位置（図１に示す左側の吐出側逆止弁７における弁体７３の位置又は図２〜図４に示す右側の吐出側逆止弁７における弁体７３の位置）と弁座口７５から離間してこれを開放する開弁位置（図２〜図４に示す左側の吐出側逆止弁７における弁体７３の位置又は図１に示す右側の吐出側逆止弁７における弁体７３の位置）とに亘って軸線方向に進退自在に弁ケース７１に内装されている。各スプリング７４は、図１〜図４に示す如く、弁体７３を閉弁位置へと押圧附勢するコイルスプリングである。而して、各弁体７３は、ベローズ５が伸長動作する（ポンプ室６の容積が拡大変化する）吸込工程においてはスプリング７４の附勢力により閉弁位置に保持され、ベローズ５が縮小動作する（ポンプ室６の容積が縮小変化する）吐出工程においてはポンプ室６の圧力上昇によりスプリング７４の附勢力に抗して開弁位置に変位される。

各吸込側逆止弁８は、図４に示す如く、ポンプヘッド３に取り付けられた弁ケース８１と、弁ケース８１に形成された弁出口通路８２と、弁ケース８１に内装された弁体８３及びスプリング８４とを具備してなり、この例では吐出側逆止弁７の直下位置に配置されている。

各弁ケース８１は、図４及び図５に示す如く、ポンプ室６にその軸線と平行をなして突出させた状態で基端部をポンプヘッド３に取り付けた有底円筒体であり、基端開口部は吸込通路２の上流端に弁座口８５を介して連通接続されている。この例では、弁座口８５は、図４に示す如く、ポンプヘッド３の端面における吸込通路２の開口部で構成されている。両弁ケース８１，８１は、軸線が一致する水平状態でポンプ室６の下部であって吐出側逆止弁７の弁ケース７１の直下位置に配置されている。この例では、各弁ケース８１は、その軸線がポンプ室６の軸線を通過する鉛直線（直径線）上に位置し且つその外周面がベローズ５の下側部分に近接した状態で、ポンプヘッド３に取り付けられている。

各弁出口通路８２は、図１〜図４に示す如く、弁ケース８１の先端部に形成された貫通孔であって、一端が弁ケース８１内に開口すると共に他端がポンプ室６に開口されている。この例では、弁出口通路８２が、図４及び図５に示す如く、弁ケース８１の先端部の中心を軸線方向に貫通する貫通孔で構成されている。

各弁体８３は、図１〜図４に示す如く、弁座口８５に衝合してこれを閉塞する閉弁位置（図２〜図４に示す左側の吸込側逆止弁８における弁体８３の位置又は図１に示す右側の吸込側逆止弁８における弁体８３の位置）と弁座口８５から離間してこれを開放する開弁位置（図１に示す左側の吸込側逆止弁８における弁体８３の位置又は図２〜図４に示す右側の吸込側逆止弁８における弁体８３の位置）とに亘って軸線方向に進退自在に弁ケース８１に内装されている。各スプリング８４は、図１〜図４に示す如く、弁体８３を閉弁位置へと押圧附勢するコイルスプリングである。而して、各弁体８３は、ベローズ５が縮小動作する（ポンプ室６の容積が縮小変化する）吐出工程においては背圧（ポンプ室６の圧力）及びスプリング８４の附勢力により閉弁位置に保持され、ベローズ５が伸長動作する（ポンプ室６の容積が拡大変化する）吸込工程においてはポンプ室６の圧力降下によりスプリング８４の附勢力に抗して開弁位置に変位される。

なお、ポンプヘッド及びベローズ５等のポンプ構成部材のうち液体Ａと接触するものについては、液体Ａの性状等に応じて適宜の材質が選定されるが、この例では、耐食性及び耐薬品性に優れたポリテトラフルオロエチレン等のフッソ樹脂系プラスチックで構成してある。

以上のように構成された第１複動型ベローズポンプにあっては、冒頭で述べた従来ポンプと同様に、一方のポンプ室６における吐出工程と他方のポンプ室６における吸込工程とが同時に行われ、これらの工程が両ポンプ室６，６において交互に連続して行われることにより、液体Ａを吸込通路２から吐出通路１へと連続的に送液させることができるものであるが、本発明に従って、更に次のように構成しておくことによって、吐出側逆止弁７の弁ケース７１とベローズ５の上側部分（周壁５１の上側部分）との上下対向周面間領域である上側ポンプ室部分６１における液体滞留を可及的に防止するように工夫してある。なお、以下の説明において吐出工程にあるポンプ室６及びこれに内装された逆止弁７，８等と吸込工程にあるポンプ室６及びこれに内装された逆止弁７，８等とを区別する必要がある場合には、便宜上、前者に「第１」の頭語を付し、後者に「第２」の頭語を付することとする。

すなわち、各吐出側逆止弁７の弁ケース７１に、図１〜図４に示す如く、弁ケース７１を貫通する小径孔であって、一端を上側ポンプ室部分６１に開口すると共に他端を弁ケース７１内又は弁入口通路７２内に開口する一個又は複数個の吸引孔７６を形成してある。この例では、弁ケース７１に、図４及び図５に示す如く、弁体７３によって開閉される弁座口７５とポンプヘッド３との間に配して、１個の吸引孔７６を形成してある。この吸引孔７６は、図５に示す如く、弁ケース７１の断面中心を通過する直径線上において当該弁ケース７１の上側周壁部分を上下方向に貫通する断面円形の真直孔であり、その内径は弁入口通路７２の断面径ないし弁ケース７１の内径に比してはるかに小さく設定されている。

而して、吐出工程にある第１ポンプ室６（例えば、図１における右側のポンプ室６又は図２〜図４における左側のポンプ室６）においては、液体Ａが第１ポンプ室６から第１弁入口通路７２及び第１弁ケース７１内を経て吐出通路１に流動されるが、このとき、第１弁ケース７１内ないし第１弁入口通路７２内における流路断面積が第１ポンプ室６の断面積に比して小さいことから、ベンチュリ効果により第１ポンプ室６から第１弁入口通路７２ないし第１弁ケース７１に流入した液体Ａの圧力は第１ポンプ室６における液体Ａの圧力より低下することになる。このように第１弁ケース７１内において圧力降下が生じるため、第１上側ポンプ室部分６１の液体Ａが第１吸引孔７６から第１弁ケース７１内に吸引されることになる。

したがって、吐出工程においては、第１上側ポンプ室部分６１の液体Ａが第１吸引孔７６から第１弁ケース７１内に流入し続けることになり、つまり第１上側ポンプ室部分６１の液体Ａが第２ベローズ５の内周面の谷部５４内の液体Ａも含めて第１弁ケース７１内へと継続的に流動することになり、第１上側ポンプ室部分６１における液体Ａの滞留はこれが可及的に防止される。

なお、第１吸引孔７６から第１弁ケース７１内への液体流入による第１上側ポンプ室部分６１における液体滞留の防止効果は、各弁ケース７１を前述した如くベローズ５の上側部分に接近させておくことにより、より良好に発揮されるが、弁ケース７１をこのようにベローズ５に接近させておくことにより上側ポンプ室部分６１の容積が小さくなることから、つまり滞留する虞れのある液体量が少なくなることから、第１上側ポンプ室部分６１における液体滞留が極めて効果的に防止されることになる。

また、吸込工程にある第２ポンプ室６（例えば、図１における左側のポンプ室６又は図２〜図４における右側のポンプ室）においては、第１ポンプ室６から第１吐出側逆止弁７を介して吐出通路１へと流動する液体Ａの一部が第２吸引孔７６から第２上側ポンプ室部分６１へと噴出されることになる。したがって、第２吸引孔７からの噴流は上側ポンプ室部分６１における上部ベローズ５の谷部５４に向けて噴出し、当該谷部５４に滞留する液体Ａが流動されると同時に第２上側ポンプ室部分６１の液体Ａは吸込通路２から第２吸込側逆止弁８を介して第２ポンプ室６に流入した液体Ａと混合されることになり、第２ポンプ室６においても上側ポンプ室部分６１での液体滞留が可及的に防止されることになる。なお、吸引孔７６の断面径は、第２吸引孔７６からの流出量が当該第１複動型ベローズポンプによるポンプ機能（定量性等）に影響を及ぼさない範囲において、第１吸引孔７６から第１弁ケース７１への流入量が第１上側ポンプ室部分６１の液体滞留を効果的に解消しうる量となるように、ポンプ条件（液体Ａの性状等）に応じて適宜に設定される。

このように吐出工程において上側ポンプ室部分６１における液体Ａの滞留が可及的に防止されることから、各ポンプ室６においては吐出工程から吸込工程に或いは吸込工程から吐出工程に切り替わることによる液置換が良好に行われることになり、その結果、上側ポンプ室部分６１に滞留する液体Ａが吐出通路１から吐出される液体Ａに断続的且つ不規則に混入することがなく、液体Ａをその性状を一定に保持しつつ安定した状態で送液させることができる。第１複動型ベローズポンプは、このように液置換性に優れたものであるから、厳格な性状管理を必要とする液体を扱う送液ポンプとしても好適に実用することができる。

ところで、本発明に係る複動型ベローズポンプの構成は上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲において適宜に改良，変更することができる。

例えば、上記した第１複動型ベローズポンプにあっては、各弁ケース７１に１個の吸引孔７６を形成したが、図６に示す如く、弁ケース７１の周方向における複数箇所において上側ポンプ室部分６１に向けて開口する複数個の吸引孔７６を形成しても、或いは図７に示す如く、弁ケース７１の軸線方向における複数箇所において上側ポンプ室部分６１に向けて開口する複数個の吸引孔７６を形成してもよく、更には弁ケース７１の周方向における複数個所及び軸線方向における複数個所に上側ポンプ室部分６１に向けて開口する複数の吸引孔７６を形成するようにすることも可能である。吸引孔７６の個数及び配置はポンプ条件等に応じて適宜に設定することができるが、複数の吸引孔７６を形成する場合には、前述した如く、全第２吸引孔７６からの流出量が当該ポンプによるポンプ機能（定量性等）に影響を及ぼさない範囲において、全第１吸引孔７６から第１弁ケース７１への流入量が第１上側ポンプ室部分６１の液体滞留を効果的に解消しうる量となるように、ポンプ条件に応じて設定しておく必要がある。また、吸引孔７６は、弁ケース７１の軸線に直交する方向に当該弁ケース７１を貫通するものでなく、当該軸線に対して傾斜するものでもよい。例えば、吸引孔７６を、図８に示す如く、ベローズ５の伸張方向に向けて（又は逆の縮小方向に向けて）傾斜する状態で上側ポンプ室部分６１に開口するものとしてもよい。

また、吸引孔７６は、図９に示す如く、一端を上側ポンプ室部分６１に開口すると共に他端を弁座口７５から離れた位置において弁入口通路７２内に開口する小径孔としてもよい。この場合にも、ベンチュリ効果により、第１上側ポンプ室部分６１の液体Ａが第１吸引孔７６から第１弁ケース７１内に吸引されることになる。また、このように吸引孔７６を弁入口通路７２内に開口させた場合には、吸込工程にある第２ポンプ室６への第２吸引孔７６からの液体流出がないため、つまり第１ポンプ室６から吐出通路１への送液量が損失しないため、前述した如く吸引孔７６の断面径を第２吸引孔７６からの流出量が当該横型ベローズポンプによるポンプ機能（定量性等）に影響を及ぼさない範囲において決定するような配慮はこれを必要としない。

また、液体Ａの性状によっては或いは上下弁ケース７１，８１の形状や位置関係によっては、両逆止弁７，８の弁ケース７１，８１の上下対向周面間領域である中間ポンプ室部分６３においても液体滞留が生じる可能性があるが、このような液体滞留は、次のように構成することで効果的に防止することができる。すなわち、吸引孔７６を上記した如く弁入口通路７２内に開口するように構成した場合にあって、弁ケース７１に、図１０及び図１１に示す如く、一端を中間ポンプ室部分６３に開口すると共に他端を弁座口７５から離れた位置において弁入口通路７２内に開口する小径孔である下側吸引孔７７を形成しておくのである。このように構成しておけば、吐出工程にある第１ポンプ室６において、第１中間ポンプ室部分６３の液体Ａが第１下側吸引孔７７から第１弁入口通路７２を経て第１弁ケース７１内へと継続的に流動することから、第１吸引孔７６による場合と同様に、中間ポンプ室部分６３における液体滞留も可及的に防止される。なお、下側吸引孔７７の形成数は、吸引孔７６と同様に適宜に設定することができ、複数個の下側吸引孔７７を設ける場合には、弁ケース７１の周方向及び／又は軸線方向における複数個所において中間ポンプ室部分６３に開口させておくことができる。また、両逆止弁７，８（弁ケース７１，８１）の長さ（軸線方向におけるポンプヘッド３からの突出長さ）は、液体滞留防止を行う上で、同一としておくこと（例えば、図４を参照）又は吐出側逆止弁７を吸込側逆止弁８より長くしておくこと（例えば、図９を参照）が好ましい。

なお、図６〜図１１に示す各複動型ベローズポンプは、図１〜図５に示す第１複動型ベローズポンプについて上述した作用効果を当然に奏しうるものであり、上記した点を除いて第１複動型ベローズポンプと同一構成をなすものである。図６〜図１１に示す各複動型ベローズポンプにおいて第１複動型ベローズポンプと同一構成をなす部分については、図６〜図１１に図１〜図５と同一の符号を付することによって、その詳細な説明は省略することとする。

また、本発明は、図１〜図１１に示す複動型ベローズポンプの他、図１２〜図１５に示す如き単動型の横型ベローズポンプにも好適に適用することができる。

すなわち、図１２は本発明に係る単動型の横型ベローズポンプの一例を示す縦断側面図であり、図１３は図１２と異なる状態を示す図１２相当の縦断側面図であり、図１４は図１２の要部を拡大して示す縦断側面図であり、図１５は図１４のＸＶ−ＸＶ線に沿う縦断正面図である。なお、以下の説明において、上下，左右とは、図１２〜図１４における上下，左右をいうものとする。

図１２及び図１３に示す横型ベローズポンプは、厳格な性状管理を必要とする液体（前記した薬液やスラリ液等）Ａを送液するために使用される単動型のもの（以下「第１単動型ベローズポンプ」という）であって、吐出通路１及び吸込通路２を形成したポンプヘッド３と、ポンプヘッド３の片側（図１２及び図１３における右側）に設けられたシリンダケース４と、シリンダケース４内に配して、ポンプヘッド３に軸線方向（水平方向）に伸縮自在に取り付けられた円筒状のベローズ５と、ベローズ５によって囲繞形成されたポンプ室６と、ポンプ室６に突出する状態でポンプ室６の上部に配してポンプヘッド３に取り付けられた吐出側逆止弁７と、各ポンプ室６に突出する状態でポンプ室６の下部に配してポンプヘッド３に取り付けられた吸込側逆止弁８とを具備して、ベローズ５を伸縮動作させることにより、液体Ａをポンプ室６から吐出側逆止弁７を介して吐出通路１へと送液させる吐出工程（図１２参照）と吸込通路２から吸込側逆止弁８を介して他方のポンプ室６へと給液させる吸込工程（図１３参照）とを交互に行うように構成されたものである。

ポンプヘッド３は、送液ラインに接続された吐出通路１及び給液ラインに接続された吸込通路２を形成した円板形状をなすもので、図１２〜図１４に示す如く、その右側面には吐出通路１の上流端及び吸込通路２の下流端が開口されている。

各シリンダケース４は、図１２〜図１４に示す如く、ポンプヘッド３に取り付けられた有底円筒形状のものであり、ポンプヘッド３と共にポンプ本体を構成している。

ベローズ５は、図１２及び図１３に示す如く、周壁５１を断面波型の蛇腹構造となす有底円筒体であり、軸線方向（左右水平方向）に伸縮することによりポンプ室６の容積を拡縮させるものである。ベローズ５は、その開口端部５２をポンプヘッド３に密着固定したものであって、ベローズ５内をポンプヘッド３で閉塞されたポンプ室６に構成する。ベローズ５は、その底壁５３に固定した円盤状の可動板９を適宜の動作手段によりベローズ５の軸線方向に進退させることにより、伸縮動作されるようになっている。この動作手段は、一般にピストン・シリンダ機構、クランク機構やエアシリンダ機構等で構成されるが、この例では、図１２及び図１３に示す如く、先端部を可動板９に連結した作動軸１１を、図示しない周知の駆動手段によりベローズ５の軸線方向に進退させるように構成されている。すなわち、作動軸１１の進退によりベローズ５が軸線方向に伸縮動作され、ベローズ５の縮小動作によって吐出工程が行われ、ベローズ５の伸長動作によって吸込工程が行われる。なお、図１２は吐出工程の終了状態（つまり吸込工程への切り替え直前の状態）を示しており、図２は吸込工程の終了状態（つまり吐出工程への切り替え直前の状態）を示している。

吐出側逆止弁７は、図１４に示す如く、ポンプヘッド３に取り付けられた弁ケース７１と、弁ケース７１に形成された弁入口通路７２と、弁ケース７１に内装された弁体７３及びスプリング７４とを具備してなる。

弁ケース７１は、図１４及び図１５に示す如く、ポンプ室６にその軸線と平行をなして突出させた状態で基端部をポンプヘッド３に取り付けた有底円筒体であり、基端開口部は吐出通路１の上流端に連通接続されている。弁ケース７１は、その軸線を水平とした状態でポンプ室６の上部に配置されているが、この例では、弁ケース７１は、その軸線がポンプ室６の軸線を通過する鉛直線（直径線）上に位置し且つその外周面がベローズ５の上側内周面に近接した状態で、ポンプヘッド３に取り付けられている。

弁入口通路７２は、図１２〜図１４に示す如く、弁ケース７１の先端部に形成された貫通孔であって、一端が弁ケース７１内に開口する弁座口７５に構成されると共に他端がポンプ室６に開口されている。この例では、弁入口通路７２が、図１４及び図１５に示す如く、弁ケース７１の先端部の中心を軸線方向に貫通する貫通孔で構成されている。

弁体７３は、図１２〜図１４に示す如く、弁座口７５に衝合してこれを閉塞する閉弁位置（図１３に示す位置）と弁座口７５から離間してこれを開放する開弁位置（図１２及び図１４に示す位置）とに亘って軸線方向に進退自在に弁ケース７１に内装されている。各スプリング７４は、図１２〜図１４に示す如く、弁体７３を閉弁位置へと押圧附勢するコイルスプリングである。而して、弁体７３は、ベローズ５が伸長動作する（ポンプ室６の容積が拡大変化する）吸込工程においてはスプリング７４の附勢力により閉弁位置に保持され、ベローズ５が縮小動作する（ポンプ室６の容積が縮小変化する）吐出工程においてはポンプ室６の圧力上昇によりスプリング７４の附勢力に抗して開弁位置に変位される。

吸込側逆止弁８は、図１４に示す如く、ポンプヘッド３に取り付けられた弁ケース８１と、弁ケース８１に形成された弁出口通路８２と、弁ケース８１に内装された弁体８３及びスプリング８４とを具備してなり、この例では吐出側逆止弁７の直下位置に配置されている。

弁ケース８１は、図１４及び図１５に示す如く、ポンプ室６にその軸線と平行をなして突出させた状態で基端部をポンプヘッド３に取り付けた有底円筒体であり、基端開口部は吸込通路２の上流端に弁座口８５を介して連通接続されている。この例では、弁座口８５は、図１４に示す如く、ポンプヘッド３の端面（右側端面）における吸込通路２の開口部で構成されている。弁ケース８１は、吐出側逆止弁７の弁ケース７１に軸線が平行する水平状態でポンプ室６の下部であって当該弁ケース７１の直下位置に配置されている。この例では、弁ケース８１は、その軸線がポンプ室６の軸線を通過する鉛直線（直径線）上に位置し且つその外周面がベローズ５の下側部分に近接した状態で、ポンプヘッド３に取り付けられている。

弁出口通路８２は、図１２〜図１４に示す如く、弁ケース８１の先端部に形成された貫通孔であって、一端が弁ケース８１内に開口すると共に他端がポンプ室６に開口されている。この例では、弁出口通路８２が、図１４及び図１５に示す如く、弁ケース８１の先端部の中心を軸線方向に貫通する貫通孔で構成されている。

弁体８３は、図１２〜図１４に示す如く、弁座口８５に衝合してこれを閉塞する閉弁位置（図１２及び図１４に示す位置）と弁座口８５から離間してこれを開放する開弁位置（図１３に示す位置）とに亘って軸線方向に進退自在に弁ケース８１に内装されている。各スプリング８４は、図１２〜図１４に示す如く、弁体８３を閉弁位置へと押圧附勢するコイルスプリングである。而して、弁体８３は、ベローズ５が縮小動作する（ポンプ室６の容積が縮小変化する）吐出工程においては背圧（ポンプ室６の圧力）及びスプリング８４の附勢力により閉弁位置に保持され、ベローズ５が伸長動作する（ポンプ室６の容積が拡大変化する）吸込工程においてはポンプ室６の圧力降下によりスプリング８４の附勢力に抗して開弁位置に変位される。

なお、ポンプヘッド及びベローズ５等のポンプ構成部材のうち液体Ａと接触するものについては、液体Ａの性状等に応じて適宜の材質が選定されるが、この例では、耐食性及び耐薬品性に優れたポリテトラフルオロエチレン等のフッソ樹脂系プラスチックで構成してある。

以上のように構成された第１単動型ベローズポンプにあっては、周知の単動型ベローズポンプと同様に、ポンプ室６における吐出工程と吸込工程とが交互に行われることにより、液体Ａを吸込通路２から吐出通路１へと送液させることができるものであるが、本発明に従って、更に次のように構成しておくことによって、吐出側逆止弁７の弁ケース７１とベローズ５の上側部分（周壁５１の上側部分）との上下対向周面間領域である上側ポンプ室部分６１における液体滞留を可及的に防止するように工夫してある。

すなわち、各吐出側逆止弁７の弁ケース７１に、図１２〜図１４に示す如く、弁ケース７１を貫通する小径孔であって、一端を上側ポンプ室部分６１に開口すると共に他端を弁ケース７１内又は弁入口通路７２内に開口する一個又は複数個の吸引孔７６を形成してある。この例では、弁ケース７１に、図１４及び図１５に示す如く、弁体７３によって開閉される弁座口７５とポンプヘッド３との間に配して、１個の吸引孔７６を形成してある。この吸引孔７６は、図１５に示す如く、弁ケース７１の断面中心を通過する直径線上において当該弁ケース７１の上側周壁部分を上下方向に貫通する断面円形の真直孔であり、その内径は弁入口通路７２の断面径ないし弁ケース７１の内径に比してはるかに小さく設定されている。

而して、吐出工程（図１２参照）においては、液体Ａがポンプ室６から弁入口通路７２及び弁ケース７１内を経て吐出通路１に流動されるが、このとき、弁ケース７１内ないし弁入口通路７２内における流路断面積がポンプ室６の断面積に比して小さいことから、ベンチュリ効果によりポンプ室６から弁入口通路７２ないし弁ケース７１に流入した液体Ａの圧力はポンプ室６における液体Ａの圧力より低下することになる。このように弁ケース７１内において圧力降下が生じるため、上側ポンプ室部分６１の液体Ａが吸引孔７６から弁ケース７１内に吸引されることになる。

したがって、吐出工程においては、上側ポンプ室部分６１の液体Ａが吸引孔７６から弁ケース７１内に流入し続けることになり、つまり上側ポンプ室部分６１の液体Ａがベローズ５の内周面の谷部５４内の液体Ａも含めて第１弁ケース７１内へと継続的に流動することになり、上側ポンプ室部分６１における液体Ａの滞留はこれが可及的に防止される。

なお、吸引孔７６から弁ケース７１内への液体流入による上側ポンプ室部分６１における液体滞留の防止効果は、弁ケース７１を前述した如くベローズ５の上側部分に接近させておくことにより、より良好に発揮されるが、弁ケース７１をこのようにベローズ５に接近させておくことにより上側ポンプ室部分６１の容積が小さくなることから、つまり滞留する虞れのある液体量が少なくなることから、上側ポンプ室部分６１における液体滞留が極めて効果的に防止されることになる。

このように吐出工程において上側ポンプ室部分６１における液体Ａの滞留が可及的に防止されることから、ポンプ室６においては吐出工程から吸込工程に或いは吸込工程から吐出工程に切り替わることによる液置換が良好に行われることになり、その結果、上側ポンプ室部分６１に滞留する液体Ａが吐出通路１から吐出される液体Ａに断続的且つ不規則に混入することがなく、液体Ａをその性状を一定に保持しつつ安定した状態で送液させることができる。第１単動型ベローズポンプは、このように液置換性に優れたものであるから、厳格な性状管理を必要とする液体を扱う送液ポンプとしても好適に実用することができる。

ところで、本発明に係る単動型ベローズポンプの構成は上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲において適宜に改良，変更することができる。

例えば、上記した第１単動型ベローズポンプにあっては、弁ケース７１に１個の吸引孔７６を形成したが、図１６に示す如く、弁ケース７１の周方向における複数箇所において上側ポンプ室部分６１に向けて開口する複数個の吸引孔７６を形成しても、或いは図１７に示す如く、弁ケース７１の軸線方向における複数箇所において上側ポンプ室部分６１に向けて開口する複数個の吸引孔７６を形成してもよく、更には弁ケース７１の周方向における複数個所及び軸線方向における複数個所に上側ポンプ室部分６１に向けて開口する複数の吸引孔７６を形成するようにすることも可能であり、吸引孔７６の個数及び配置はポンプ条件等に応じて適宜に設定することができる。また、吸引孔７６は、弁ケース７１の軸線に直交する方向に当該弁ケース７１を貫通するものでなく、当該軸線に対して傾斜するものでもよい。例えば、吸引孔７６を、図１８に示す如く、ベローズ５の伸張方向に向けて（又は逆の縮小方向に向けて）傾斜する状態で上側ポンプ室部分６１に開口するものとしてもよい。

また、吸引孔７６は、図１９に示す如く、一端を上側ポンプ室部分６１に開口すると共に他端を弁座口７５から離れた位置において弁入口通路７２内に開口する小径孔としてもよい。この場合にも、ベンチュリ効果により、第１上側ポンプ室部分６１の液体Ａが第１吸引孔７６から第１弁ケース７１内に吸引されることになる。

また、液体Ａの性状によっては或いは上下弁ケース７１，８１の形状や位置関係によっては、両逆止弁７，８の弁ケース７１，８１の上下対向周面間領域である中間ポンプ室部分６３においても液体滞留が生じる可能性があるが、このような液体滞留は、次のように構成することで効果的に防止することができる。すなわち、弁ケース７１に、図２０及び図２１に示す如く、一端を中間ポンプ室部分６３に開口すると共に他端を弁ケース７１内（又は弁座口７５から離れた位置において弁入口通路７２内）に開口する小径孔である下側吸引孔７７を形成しておくのである。このように構成しておけば、吐出工程において、中間ポンプ室部分６３の液体Ａが下側吸引孔７７から弁ケース７１内へと継続的に流動することから、吸引孔７６による場合と同様に、中間ポンプ室部分６３における液体滞留も可及的に防止される。なお、下側吸引孔７７の形成数は、吸引孔７６と同様に適宜に設定することができ、複数個の下側吸引孔７７を設ける場合には、弁ケース７１の周方向及び／又は軸線方向における複数個所において中間ポンプ室部分６３に開口させておくことができる。また、両逆止弁７，８（弁ケース７１，８１）の長さ（軸線方向におけるポンプヘッド３からの突出長さ）は、液体滞留防止を行う上で、同一としておくこと（例えば、図１４を参照）又は吐出側逆止弁７を吸込側逆止弁８より長くしておくこと（例えば、図１９を参照）が好ましい。

なお、図１６〜図２１に示す各単動型ベローズポンプは、図１２〜図１５に示す第１単動型ベローズポンプについて上述した作用効果を当然に奏しうるものであり、上記した点を除いて第１単動型ベローズポンプと同一構成をなすものである。図１６〜図２１に示す各複動型ベローズポンプにおいて第１単動型ベローズポンプと同一構成をなす部分については、図１６〜図２１に図１２〜図１５と同一の符号を付することによって、その詳細な説明は省略することとする。

１ 吐出通路
２ 吸込通路
３ ポンプヘッド
４ シリンダケース
５ ベローズ
６ ポンプ室
７ 吐出側逆止弁
８ 吸込側逆止弁
９ 可動板
１０ 連結杆
４１ 給排気口
４２ 加圧空気
５１ ベローズの周壁
５２ ベローズの開口端部
５３ ベローズの底壁
５４ ベローズの谷部
６１ 上側ポンプ室部分
６３ 中間ポンプ室部分
７１ 弁ケース
７２ 弁入口通路
７３ 弁体
７４ スプリング
７５ 弁座口
７６ 吸引孔
７７ 下側吸引孔
８１ 弁ケース
８２ 弁出口通路
８３ 弁体
８４ スプリング
８５ 弁座口
Ａ 液体

Claims (5)

1. 吐出通路及び吸込通路を形成したポンプヘッドと、ポンプヘッドに設けられたシリンダケースと、シリンダケース内に配してポンプヘッドに軸線方向に伸縮自在に取り付けられたベローズと、ベローズによって囲繞形成されたポンプ室に突出する状態でポンプ室の上部に配してポンプヘッドに取り付けられた吐出側逆止弁と、ポンプ室に突出する状態でポンプ室の下部に配してポンプヘッドに取り付けられた吸込側逆止弁とを具備して、ベローズを伸縮動作させることによりポンプ室から吐出側逆止弁を介して吐出通路へと送液させる吐出工程と吸込通路から吸込側逆止弁を介してポンプ室へと給液させる吸込工程とを交互に行うように構成された横型ベローズポンプにおいて、
   吐出側逆止弁が、基端部が吐出通路の上流端に連通する状態でポンプヘッドに取り付けられた筒状の弁ケースと、弁ケースの先端部に形成された貫通孔であって、一端が弁ケース内に開口すると共に他端がポンプ室に開口する弁入口通路と、弁ケース内に進退自在に配して弁入口通路の一端で構成される弁座口を開閉する弁体と、弁ケース内に配して弁体を弁座口を閉塞する閉弁位置に附勢するスプリングと、弁ケースに形成されており、一端を弁ケースとベローズの上側部分との上下対向周面間領域である上側ポンプ室部分に開口すると共に他端を弁ケース内に開口する一個又は複数個の吸引孔とを具備してなり、吸引孔はその内径が弁入口通路の断面径より小さい小径孔であることを特徴とする横型ベローズポンプ。
2. 吐出通路及び吸込通路を形成したポンプヘッドと、ポンプヘッドの両側に設けられた一対のシリンダケースと、各シリンダケース内に配してポンプヘッドに軸線方向に伸縮自在に取り付けられた一対のベローズと、各ベローズによって囲繞形成されたポンプ室に突出する状態で当該ポンプ室の上部に配してポンプヘッドに取り付けられた一対の吐出側逆止弁と、各ポンプ室に突出する状態で当該ポンプ室の下部に配してポンプヘッドに取り付けられた一対の吸込側逆止弁とを具備して、両ベローズを交互に伸縮動作させることにより一方のポンプ室から吐出側逆止弁を介して吐出通路へと送液させる吐出工程と吸込通路から吸込側逆止弁を介して他方のポンプ室へと給液させる吸込工程とを同時に行うように構成された複動型のベローズポンプであることを特徴とする、請求項１に記載する横型ベローズポンプ。
3. 吐出通路及び吸込通路を形成したポンプヘッドと、ポンプヘッドの片側に設けられたシリンダケースと、シリンダケース内に配してポンプヘッドに軸線方向に伸縮自在に取り付けられたベローズと、ベローズによって囲繞形成されたポンプ室に突出する状態で当該ポンプ室の上部に配してポンプヘッドに取り付けられた吐出側逆止弁と、ポンプ室に突出する状態でポンプ室の下部に配してポンプヘッドに取り付けられた吸込側逆止弁とを具備して、ベローズを伸縮動作させることによりポンプ室から吐出側逆止弁を介して吐出通路へと送液させる吐出工程と吸込通路から吸込側逆止弁を介してポンプ室へと給液させる吸込工程とを交互に行うように構成された単動型のベローズポンプであることを特徴とする、請求項１に記載する横型ベローズポンプ。
4. ポンプ室において、吐出側逆止弁がベローズの上側部分に近接していることを特徴とする、請求項１〜３の何れかに記載する横型ベローズポンプ。
5. 吐出側逆止弁の弁ケースに複数個の吸引孔が形成されており、これらの吸引孔の一端が当該弁ケースの周方向における複数個所及び／又は当該弁ケースの軸線方向における複数個所において上側ポンプ室部分に開口されていることを特徴とする、請求項１〜４の何れかに記載する横型ベローズポンプ。

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