TW201335952A - 導電性反射膜及其製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明的目的在於提供一種無需實施真空成膜法，通過濕式塗布法維持銀奈米顆粒燒結膜的高反射率、高導電性的同時，提高與基材的黏附性的導電性反射膜及其製造方法。一種導電性反射膜，其特徵在於，通過使用濕式塗布法在銀奈米顆粒燒結膜上塗布含有金屬醇鹽的水解物的表面包覆用組合物之後，燒成具有塗膜的銀奈米顆粒燒結膜來形成。另外，一種導電性反射膜的製造方法，其特徵在於，通過濕式塗布法在銀奈米顆粒燒結膜上塗布含有金屬醇鹽的水解物的表面包覆用組合物之後，對具有塗膜的銀奈米顆粒燒結膜進行燒成。

Description

導電性反射膜及其製造方法
本發明涉及一種導電性反射膜及其製造方法。更詳細而言，涉及一種特別適合於薄膜太陽能電池用背面電極的導電性反射膜及其製造方法。
目前，從環保的立場出發，正在推進綠色能源的研究開發、實用化，太陽能電池從作為能源的太陽光取之不盡且無公害等方面備受注目。以往，太陽能電池一直使用單晶矽或多晶矽的塊狀太陽能電池，但塊狀太陽能電池在結晶的生長中需要較多的能源和時間，且在後續製造步驟中，也需要複雜的步驟，因此製造成本較高，生產率也較低，所以迫切需要開發儘量節約矽量的太陽能電池。
因此，使用厚度例如為0.3~2μm的非晶矽等的半導體的薄膜太陽能電池的開發正在如火如荼地進行。由於該薄膜太陽能電池是在玻璃基板或耐熱性塑膠基板上形成光電轉換所需的量的半導體層的結構，因此具有薄型且輕量、成本低、容易大面積化等優點。
薄膜太陽能電池中，有超直(super straight)型結構和次直(sub straight)型結構，由於超直型結構從透光性基板側使太陽光入射，因此通常採用以基板-透明電極-光電轉換層-背面電極的順序形成的多層結構。在此，光電轉換層由非晶Si膜、薄膜多晶Si膜等Si系材料構成時，由於光電轉換層的吸光係數較小，因此一般使用的數微米的膜厚中，入射光的一部分透射光電轉換層，並不有助於發電。因此，一般進行如下操作：在背面電極使用導電性反射膜來反射未被吸收盡的光，使其再度返回到光電轉換層來提高發電效率。
以往，在該薄膜太陽能電池中，透明電極或導電性反射膜通過濺射等真空成膜法形成，但是大型真空成膜裝置的導入、維持、運行一般需要巨大成本。為改善這一點，太陽能電池的用途中，作為通過濕式制膜法形成的導電性反射膜的一例，可以舉出實施無電解電鍍的方法(專利文獻1)。
但是，無電解電鍍法，採用在表面側形成電鍍保護膜之後，用HF溶液對將要電鍍處理的一側進行前處理之後，進行浸泡於無電解電鍍液等步驟，除步驟繁雜，還需處理廢液。
接著，作為比無電解電鍍法更簡便的方法，提出有將銀等反射率較高的金屬作為奈米顆粒並塗布該奈米顆粒的方法(專利文獻2)，但一般存在從背面側的反射率與從表面側的反射率相比降低的傾向。
還提出有克服上述缺點的通過燒成金屬奈米顆粒來形成於基材上的導電性反射膜，該導電性反射膜中，出現在所述膜的基材側的接觸表面的氣孔的平均直徑為100nm以下，所述氣孔所在的平均深度為100nm以下，所述氣孔的數密度為30個/μm2以下(專利文獻3)。
但是，上述的控制出現於基材側的接觸表面的氣孔的平均直徑等的導電性反射膜，雖然從裏面側的反射率較高，但由於在奈米顆粒燒成時產生膜應力，因此得知單獨以金屬奈米顆粒燒結膜在與基材的黏附性方面沒有改良的餘地。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利公開平05-95127號公報
專利文獻2：日本專利公開平09-246577號公報
專利文獻3：日本專利公開2008-288568號公報
本發明解決了以往的上述缺點、改良點，其目的在於提供一種無需真空成膜法，通過濕式塗布法維持銀奈米顆粒燒結膜的高反射率、高導電性的同時，提高與基材的黏附性的導電性反射膜及其製造方法。
本發明人等對將薄膜太陽能電池作為主要用 途的導電性反射膜進行深入研究的結果，發現通過對多孔結構的銀奈米顆粒燒結膜進行特定的表面包覆，能夠得到維持銀奈米顆粒燒結膜的高反射率與高導電性的同時，提高黏附性的導電性反射膜。
本發明涉及一種通過以下所示的結構解決上述課題的導電性反射膜及其製造方法。
(1)一種導電性反射膜，其特徵在於，通過使用濕式塗布法在銀奈米顆粒燒結膜上塗布含有金屬醇鹽的水解物的表面包覆用組合物之後，燒成具有塗膜的銀奈米顆粒燒結膜來形成。
(2)一種導電性反射膜的製造方法，其特徵在於，通過濕式塗布法在銀奈米顆粒燒結膜上塗布含有金屬醇鹽的水解物的表面包覆用組合物之後，對具有塗膜的銀奈米顆粒燒結膜進行燒成。
(3)由上述(1)的導電性反射膜構成的薄膜太陽能電池用背面電極。
(4)包括上述(3)的薄膜太陽能電池用背面電極的薄膜太陽能電池。
根據本發明(1)，在以表面包覆用組合物包覆銀奈米顆粒燒結膜之後進行燒成，由此表面包覆用組合物浸透於銀奈米顆粒燒結膜的空孔和/或導電性反射膜與形成有導電性反射膜的基材的介面之後硬化，由此能夠提供維持銀奈米顆粒燒結膜的高反射率和高導電性的同時，提高與基材的黏附性的導電性反射膜。根據本發明(2) ，能夠通過簡便且成本低的濕式塗布法製造高反射率、高導電性且高黏附性的導電性反射膜。並且，根據本發明(3)，能夠提供光電轉換效率良好且可靠性高的薄膜太陽能電池。
1‧‧‧薄膜太陽能電池
10‧‧‧基板
11‧‧‧透明電極層
12‧‧‧光電轉換層
13‧‧‧透明導電膜
14‧‧‧導電性反射膜
圖1是使用本發明的導電性反射膜的薄膜太陽能電池的截面示意圖。
[發明實施之最佳形狀]
以下，根據實施方式對本發明進行具體說明。另外，只要沒有特別示出並且除了數值固有的情況以外，%為質量%。
[表面包覆用組合物]
表面包覆用組合物在浸透於銀奈米顆粒燒結膜的空孔和/或導電性反射膜與形成有導電性反射膜的基材的介面之後硬化，因此提高導電性反射膜與基材的黏附性。表面包覆用組合物含有金屬醇鹽的水解物，作為金屬醇鹽的金屬可以舉出矽、鈦、鋁、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銀、銅、鋅、鉬、錫、銦、銻等，較佳為矽或鈦。並且，作為金屬 醇鹽的醇鹽，可以舉出甲醇鹽、乙醇鹽、丙醇鹽、丁醇鹽等，從黏性、水解的速度的觀點考慮，較佳為甲醇鹽、乙醇鹽、丙醇鹽。作為金屬醇鹽可以舉出四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷、四異丙氧基鈦等，較佳為四乙氧基矽烷。在此，關於金屬醇鹽的水解物，對於金屬醇鹽為四乙氧基矽烷的情況進行說明。四乙氧基矽烷的水解物為例如通過反應式(1)生成的Si(OH)4等。另外，該水解物在燒成後，例如通過反應式(2)反應成為SiO2。
Si (OC2H5)4+4H2O →Si(OH)4+4C2H5OH (1)
Si(OH)4 → SiO2+2H2O (2)
並且，表面包覆用組合物包含分散介質，分散介質較佳為相對於所有分散介質100質量%，含有1質量%以上的水和2質量%以上的與水相溶的溶劑，例如醇類。例如，分散介質僅由水及醇類構成時，含有2質量%水時含有醇類98質量%，含有2質量%醇類時含有水98質量%。這是因為，若水的含量低於1質量%或醇類的含量低於2質量%，則難以在低溫下燒結通過濕式塗布法塗布表面包覆用組合物而得到的膜，並且，導致燒成後的導電性反射膜的導電性與反射率下降。作為醇類可以舉出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇、二乙二醇、甘油、赤蘚醇等，也可將這些混合使用。
在不損害本發明的目的的範圍內，表面包覆用組合物能夠根據需要進一步摻合偶合劑、抗氧化劑、整平劑、觸變劑、填充劑、應力緩和劑、其他添加劑等。
[導電性反射膜]
本發明的導電性反射膜，其特徵在於，通過濕式塗布法在銀奈米顆粒燒結膜上塗布含有金屬醇鹽的水解物的表面包覆用組合物之後，燒成具有塗膜的銀奈米顆粒燒結膜來形成。在此，銀奈米顆粒燒結膜形成於基材上，基材沒有特別限定，但是可以舉出玻璃基板、太陽能電池的透明導電膜等。
該導電性反射膜特別較佳為形成於太陽能電池的透明導電膜上。圖1中示出使用本發明的導電性反射膜的薄膜太陽能電池的截面示意圖。圖1為超直型薄膜太陽能電池的一例。薄膜太陽能電池1依次具備基板10、透明電極層11、光電轉換層12、透明導電膜13和導電性反射膜14，太陽光從基板10側入射。入射的太陽光大部分被導電性反射膜14反射，返回到光電轉換層12，提高轉換效率。如此，若在作為基材的薄膜太陽能電池的透明導電膜13上形成導電性反射膜14，則能夠提高薄膜太陽能電池的轉換效率，因此較佳為。另外，還能夠在光電轉換層上直接形成導電性反射膜。
[銀奈米顆粒燒結膜]
銀奈米顆粒燒結膜對導電性反射膜賦予反射性和導電 性。銀奈米顆粒燒結膜，除了使用銀以外，從導電性反射膜的耐久性、功函數的觀點考慮，較佳為進一步共同使用鎂、錫。銀奈米顆粒燒結膜若相對於100質量份的銀奈米顆粒燒結膜含有75質量份以上的銀，則從導電性反射膜的反射性、導電性的觀點考慮是較佳的。並且，銀奈米顆粒的平均粒徑較佳為10~50nm，若銀奈米顆粒含有數均70%以上的粒徑在10~50nm範圍內的銀奈米顆粒，則更佳。在此，利用基於堀場製作所(堀場製作所)製造的LB-550的動態光散射法測定平均粒徑和粒徑在10~50nm範圍內的金屬奈米顆粒的數平均含有量。若銀奈米顆粒的形狀為球狀、板狀，則從分散性、反射性的觀點考慮是較佳的。
銀奈米顆粒燒結膜較佳為包含添加物。添加物在燒結後仍存在於導電性反射膜，通過添加物存在於銀奈米顆粒間能夠抑制銀奈米顆粒的晶粒生長，並且通過添加物存在於銀奈米顆粒燒結膜的空孔中來提高導電性反射膜的反射特性，且薄膜太陽能電池的光電轉換效率變高，還提高導電性反射膜的耐熱性、耐光性和耐腐蝕性。並且，通過添加劑提高導電性反射膜的黏附性。因此，薄膜太陽能電池的耐久性變高。
作為添加物可以舉出有機高分子、金屬氧化物、金屬氫氧化物、有機金屬化合物及矽酮油，較佳為有機高分子，更佳為共同使用有機高分子和金屬氫氧化物或有機金屬化合物。
作為用作添加物的有機高分子，從導電性反射膜的反射特性及導電性的觀點考慮，較佳為選自由聚乙烯吡咯烷酮(PVP)、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物及水溶性纖維素構成的組中的至少1種。作為聚乙烯吡咯烷酮的共聚物，可以舉出PVP-甲基丙烯酸酯共聚物、PVP-苯乙烯共聚物、PVP-醋酸乙烯酯共聚物等。並且，作為水溶性纖維素，可以舉出羥丙基甲基纖維素、甲基纖維素、羥乙基甲基纖維素等纖維素醚。從導電性反射膜的反射特性、導電性及黏附性的觀點考慮更佳為PVP。
作為用作添加物的金屬氧化物可以舉出包含選自由錫、銦、鋅及銻構成的組中的至少1種的氧化物或複合氧化物，較佳為錫摻雜氧化銦或氧化鋅。
作為用作添加物的金屬氫氧化物可以舉出鎂、鋰、鋁、鐵、鈷、鎳等的氫氧化物，較佳為氫氧化鎂、氫氧化鋰。
作為用作添加物的有機金屬化合物可以舉出矽、鈦、鋯、鋅、錫等的金屬皂、金屬錯合物。例如，作為金屬皂可以舉出醋酸鋅、草酸鋅、醋酸錫等，作為金屬錯合物可以舉出乙醯丙酮鋅絡合物等。從導電性反射膜的黏附性的觀點考慮，較佳為醋酸鋅。
作為用作添加物的矽酮油可以舉出直鏈矽酮油或改性矽酮油，較佳為改性矽酮油。
較佳為地，添加物的含有比例相對於100質量份的銀奈米顆粒燒結膜為0.1~25質量份。若為0.1質 量份以上，則與基材的黏結力良好，若為25質量份以下，則成膜時不易產生膜不均。
[導電性反射膜]
通過濕式塗布法在上述的銀奈米顆粒燒結膜上塗布上述表面包覆用組合物之後，燒成具有塗膜的銀奈米顆粒燒結膜，由此形成導電性反射膜。
首先，通過濕式塗布法在銀奈米顆粒燒結膜上塗布上述的表面包覆用組合物。其中的塗布較佳為燒成後的表面包覆層的厚度為0.005~0.2μm，更佳為0.01~0.05μm。若燒成後的厚度為0.005μm以上，則導電性反射膜的黏附性上升，且若燒成後的厚度為0.2μm以下，則易於維持銀奈米顆粒燒結膜的高反射率、高導電性。
濕式塗布法較佳為噴塗法、分塗法、旋塗法、刮塗法、狹縫塗布法、噴墨塗布法、網版印刷法、膠版印刷法或鑄模塗布法中的任一種，但並非限定於此，能夠利用所有方法。
接著，將具有表面包覆用組合物的塗膜的銀奈米顆粒燒結膜在空氣中或者氮或氬等惰性氣體氣氛中，較佳為在130~350℃，更佳為在150~200℃的溫度下，較佳為保持5~60分鐘進行燒成。
具有塗膜的銀奈米顆粒燒結膜的較佳為燒成溫度在130~350℃的範圍內，這是因為若低於130℃，則 在導電性反射膜中產生固化不足的不良情況。並且，若超過350℃，則無法使其發揮低溫工藝這樣的生產上的優點，即導致製造成本增大，生產率下降。
具有塗膜的銀奈米顆粒燒結膜的較佳為燒成時間在5~60分鐘的範圍內，這是因為若燒成時間低於5分鐘，則在導電性反射膜中容易產生燒成不充分的不良情況。若燒成時間超過60分鐘，則導致產生製造成本過分增大而生產率下降的不良情況。
從反射性、導電性的觀點考慮，較佳為導電性反射膜的厚度為0.005~0.2μm。
並且，存在於導電性反射膜的發光層側的表面的氣孔，若平均直徑為100nm以下，平均深度為100nm以下，數密度為30個/μm2，則在波長：380~780nm的範圍內，能夠實現理論反射率的80%以上的較高的擴散反射率，因此較佳為。
由此得到的導電性反射膜具有高反射率、高導電性，且與形成有導電性反射膜的基材的黏附性也較高。並且，當基材具有導電性時，能夠維持與基材的歐姆電結合。
[銀奈米顆粒燒結膜的形成方法]
以下示出銀奈米顆粒燒結膜的形成方法以供參考。通過濕式塗布法在基材上塗布銀奈米顆粒燒結膜用組合物之 後，燒成具有塗膜的基材，由此能夠形成銀奈米顆粒燒結膜。
銀奈米顆粒燒結膜用組合物含有銀奈米顆粒和分散介質，較佳為含有添加物。銀奈米顆粒與添加物如上述。
分散介質也如同上述，但若分散介質進一步包含含有化學修飾金屬奈米顆粒表面的羥基(-OH)或羰基(-C=O)中的任一種或兩種的保護劑，則銀奈米顆粒燒結膜用組合物的分散穩定性優異，對塗膜的低溫燒結也起到有效的作用，因此較佳為。作為保護劑可以舉出檸檬酸鈉、蘋果酸鈉等。
首先，通過濕式塗布法在基材上塗布銀奈米顆粒燒結膜用組合物。在此的塗布較佳為燒成後的銀奈米顆粒燒結膜的厚度為0.005~0.2μm。關於濕式塗布法如上述。
接著，燒成具有銀奈米顆粒燒結膜用組合物的塗膜的基材。燒成條件與具有表面包覆用組合物的塗膜的銀奈米顆粒燒結膜的燒成條件相同。如此，能夠形成銀奈米顆粒燒結膜。
[實施例]
以下，根據實施例對本發明進行詳細說明，但本發明並不限定於這些。
《銀奈米顆粒燒結膜用組合物的製作》
將硝酸銀溶解於去離子水中來製備金屬鹽水溶液。並且，將檸檬酸鈉溶解於去離子水中，製備濃度為26質量%的檸檬酸鈉水溶液。在保持為35℃的氮氣氣流中，在該檸檬酸鈉水溶液中直接加入粒狀的硫酸亞鐵並使其溶解，從而製備以3：2的莫耳比含有檸檬酸離子和亞鐵離子的還原劑水溶液。
接著，將上述氮氣氣流保持為35℃的同時，在還原劑水溶液中放入磁力攪拌器的攪拌子，以100rpm的攪拌子轉速進行攪拌的同時，在該還原劑水溶液中滴入上述金屬鹽水溶液進行混合。在此，以金屬鹽水溶液向還原劑水溶液的添加量為還原劑水溶液量的1/10以下的方式調整各溶液的濃度，即使滴入室溫的金屬鹽水溶液也使反應溫度保持為40℃。並且，將還原劑水溶液與金屬鹽水溶液的混合比設為還原劑水溶液的檸檬酸離子和亞鐵離子相對於金屬鹽水溶液中的金屬離子的總原子價數的莫耳比均成為3倍莫耳。在金屬鹽水溶液向還原劑水溶液的滴入結束後，進一步繼續攪拌混合液15分鐘，由此使混合液內部出現銀奈米顆粒，得到分散有銀奈米顆粒的銀奈米顆粒分散液。銀奈米顆粒分散液的pH為5.5，分散液中的銀奈米顆粒的化學計量生成量為5g/升。
在室溫下放置所得到的銀奈米顆粒分散液，從而使分散液中的銀奈米顆粒沉降，並通過傾析法分離出 沉降的銀奈米顆粒的凝聚物。在分離的銀奈米顆粒凝聚物中加入去離子水作為分散體，通過超濾進行脫鹽處理後，用甲醇進一步置換洗滌，從而將金屬(銀)的含量設為50質量%。之後，通過利用離心分離機，並調整該離心分離機的離心力來分離粒徑超出100nm的比較大的銀顆粒，由此調為以數均71%的含量包含粒徑在10~50nm範圍內的銀奈米顆粒，獲得銀奈米顆粒分散液。所得到的銀奈米顆粒的平均粒徑為35nm。在此，通過利用堀場製作所製造的LB-550的動態光散射法測定銀奈米顆粒的平均粒徑及粒徑在10~50nm範圍內的金屬奈米顆粒的數平均含有量。所得到的銀奈米顆粒被檸檬酸鈉保護劑化學修飾。
通過將15質量份的所得到的銀奈米顆粒添加並混合至包含乙醇及甲醇的85質量份的混合溶液並使所述銀奈米顆粒分散來製作Ag奈米顆粒分散液。
並且，通過在該Ag奈米顆粒分散液中，作為添加物加入4質量份的聚乙烯吡咯烷酮，使銀奈米顆粒的比率成為96質量份來得到銀奈米顆粒燒結膜用組合物1。並且，通過在Ag奈米顆粒分散液中，作為添加物加入3質量份的聚乙烯吡咯烷酮和1質量份的氫氧化錫，使銀奈米顆粒的比率成為96質量份來得到銀奈米顆粒燒結膜用組合物2。通過在Ag奈米顆粒分散液中，作為添加物加入3質量份的聚乙烯吡咯烷酮和1質量份的醋酸銀，使銀奈米顆粒的比率成為96質量份來得到銀奈米顆粒燒結 膜用組合物3。
《銀奈米顆粒燒結膜的製作》
在玻璃基板上，通過旋塗法將製作的銀奈米顆粒燒結膜用組合物1以1000rpm×60秒進行多次成膜，之後在200℃下進行30分鐘燒成，由此形成膜厚為約300nm的銀奈米顆粒燒結膜1。同樣地，使用銀奈米顆粒燒結膜用組合物2形成銀奈米顆粒燒結膜2，使用銀奈米顆粒燒結膜用組合物3形成銀奈米顆粒燒結膜3。在此，關於膜厚的測定，通過使用Hitachi High Technologies Corporation製造的掃描型電子顯微鏡(SEM，裝置名：S-4300、SU-8000)進行截面觀察來測定。在其他實施例及比較例中也同樣地測定膜厚。
與銀奈米顆粒燒結膜1相同地，形成含有1質量%的Mg的銀奈米顆粒燒結膜4，含有1.5質量%的Sn的銀奈米顆粒燒結膜5。此時，作為Mg的原料使用氫氧化鎂，作為Sn的原料使用氯化錫。
[實施例1] 《導電性反射膜的製造》
使用500cm3的玻璃制四口燒瓶，加入四乙氧基矽烷和乙醇共計4g，其中四乙氧基矽烷的含量為10質量%， 進行攪拌的同時，一次性加入將0.05g的60%硝酸溶解於純水中的溶液12.03g。之後使其在50℃下反應3小時來製作表面包覆用組合物用原料。並且，加入乙醇，將表面包覆用組合物用原料稀釋至預定的濃度來製作400.4g的表面包覆用組合物。在已製作的銀奈米顆粒燒結膜1上，通過旋塗法濕式塗布該表面包覆用組合物，成膜表面包覆用塗膜之後，通過將表面包覆用塗膜在氮氣氛中以200℃燒成20分鐘，來形成厚度200nm的表面包覆層，由此製造導電性反射膜。
《反射率的測定》
關於導電性反射膜的反射率的評價，通過紫外可見分光光度計和積分球的組合測定波長450nm的導電性反射膜的反射率(擴散反射率)。在表1中示出結果。
《表面電阻值的測定》
使用測定了反射率的試料通過Mitsubishi Chemical Analytech製造的Loresta測定導電性反射膜的表面電阻值(單位：Ω/□)。在表1中示出結果。
《黏附性評價》
關於黏附性評價，通過參照膠帶測試(JIS K-5600)的方法，使用測定表面電阻值後的試料，將膠帶黏附於導電性反射膜，以“○”、“×”這2個等級進行評價。導電性反射膜未黏貼於膠帶側，只有黏結膠帶剝落的情況為“○”，黏結膠帶剝落或基材露出的情況為“×”。在表1中示出結果。
[實施例2~11]
設為表1示出的組成，除此以外與實施例1相同地製作表面包覆用組合物來形成表面包覆層，由此製造導電性反射膜。與實施例1相同地，對所得到的導電性反射膜進行評價。在表1中示出結果。
[比較例1]
未以表面包覆用組合物包覆銀奈米顆粒燒結膜就直接製作導電性反射膜，與實施例1相同地對所得到的導電性反射膜進行評價。在表1中示出結果。
[比較例2]
混合5g的銀奈米顆粒燒結膜用組合物和0.1g的實施例1的表面包覆用組合物。在玻璃基板上，通過旋塗法將 該混合物以1000rpm×60秒進行多次成膜，之後在200℃下進行30分鐘燒成，由此形成膜厚為約300nm的導電性反射膜。與實施例1同樣地對所得到的導電性反射膜進行評價。在表1中示出結果。
從表1明確可知，在實施例1~11中，反射率較高，表面電阻值較低，黏附性也良好。與此相對，未以表面包覆用組合物進行包覆的比較例1中，黏附性較差，將銀奈米顆粒燒結膜用組合物與表面包覆用組合物混合之後形成導電性反射膜的比較例2中，表面電阻值較高，反射率也較低。
本發明的導電性反射膜能夠通過以表面包覆用組合物包覆銀奈米顆粒燒結膜來提供一種維持銀奈米顆粒燒結膜的高反射率和高導電性的同時，提高與基材的黏附性的導電性反射膜。該導電性反射膜特別適於薄膜太陽能電池。

Claims (4)

  1. 一種導電性反射膜，其特徵在於，通過使用濕式塗布法在銀奈米顆粒燒結膜上塗布含有金屬醇鹽的水解物的表面包覆用組合物之後，燒成具有塗膜的銀奈米顆粒燒結膜來形成。
  2. 一種導電性反射膜的製造方法，其特徵在於，通過濕式塗布法在銀奈米顆粒燒結膜上塗布含有金屬醇鹽的水解物的表面包覆用組合物之後，對具有塗膜的銀奈米顆粒燒結膜進行燒成。
  3. 一種由請求項1的導電性反射膜構成的薄膜太陽能電池用背面電極。
  4. 一種包括請求項3的薄膜太陽能電池用背面電極的薄膜太陽能電池。
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