TW201323354A - 玻璃板之製造方法及玻璃板製造裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明之玻璃板之製造方法包括：熔解步驟，其熔解玻璃原料而獲得熔融玻璃；成形步驟，其將上述熔融玻璃供給至設置於成形爐內之成形體而成形玻璃帶，製作上述玻璃帶之流體；緩冷步驟，其藉由設置於緩冷爐內之輥牽引上述玻璃帶而於上述緩冷爐內冷卻；玻璃帶切斷步驟，其於玻璃帶切斷空間內切斷經冷卻之上述玻璃帶；及耳部切斷步驟，其於耳部切斷空間內切斷形成於經切斷之上述玻璃帶之寬度方向之兩端部的耳部。且以使上述玻璃帶切斷空間之氣壓相對於上述耳部切斷空間之氣壓變得較高之方式，調整上述玻璃帶切斷空間及上述耳部切斷空間中之至少一者之氣壓。

Description

玻璃板之製造方法及玻璃板製造裝置
本發明係關於一種藉由下拉(down draw)法之玻璃板之製造方法及玻璃板製造裝置。
自先前以來，例如，作為液晶顯示器等平板顯示器所使用之玻璃基板之成形方法，使用下拉法。關於下拉法，例如於下述專利文獻1中有所記載。
又，於下述專利文獻2中，揭示有如下之技術：於藉由下拉法之玻璃板之製造方法中，為了降低玻璃板之平面應變，而對成形爐及/或緩冷爐之爐外部環境(爐外部空間)之氣壓進行加壓，降低於緩冷爐內沿玻璃帶而產生之上升氣流，藉此抑制緩冷爐內之溫度變動。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2009-196879號公報
[專利文獻2]日本專利特開2009-173525號公報
然而，根據液晶顯示器之高精細化之要求而要求提高所製造之玻璃板的表面品質，從而於玻璃板之製造步驟中需要抑制表面品質之劣化。於玻璃板之製造步驟中，由熔融玻璃成形玻璃帶後，將玻璃帶進行緩冷。
緩冷後之玻璃帶係通常藉由在配置於緩冷爐下方之玻璃 帶切斷室中被切斷為所期望之尺寸，而製成玻璃板。又，於玻璃板之寬度方向之兩端部，形成有較玻璃板寬度方向之中央部具有更大厚度之耳部。該耳部係於玻璃板搬送至可通氣地鄰接於玻璃帶切斷室之耳部切斷室中後，於耳部切斷室中被切斷。此時，如專利文獻2所記載般，於產生自切斷室向緩冷爐內上升之空氣流之情形時，於該空氣流中含有自耳部切斷室流入玻璃帶切斷室之玻璃之微粒，因此存在該玻璃之微粒流入緩冷爐內而附著於在緩冷爐內流動之玻璃帶上之情況。於在玻璃之微粒附著於玻璃帶之表面的狀態下緩冷玻璃帶之情形時，於玻璃帶之表面因玻璃之微粒而會形成氣泡或微小突起，因此有緩冷步驟後成形之玻璃板之表面品質劣化之虞。
因此，本發明之目的在於提供一種於藉由下拉法而製造玻璃板時抑制玻璃板之表面品質之劣化的玻璃板之製造方法。
本發明之第1態樣係藉由下拉法之玻璃板之製造方法，其包含：熔解步驟，其熔解玻璃原料而獲得熔融玻璃；成形步驟，其將上述熔融玻璃供給至設置於成形爐內之成形體而成形玻璃帶；緩冷步驟，其藉由設置於緩冷爐內之輥牽引上述玻璃帶而於上述緩冷爐內進行冷卻；玻璃帶切斷步驟，其於玻璃帶切斷空間內切斷經冷卻之 上述玻璃帶；及耳部切斷步驟，其於耳部切斷空間內切斷形成於經切斷之上述玻璃帶之寬度方向之兩端部的耳部。
以使上述玻璃帶切斷空間之氣壓相對於上述耳部切斷空間之氣壓變得較高之方式，調整上述玻璃帶切斷空間及上述耳部切斷空間中之至少一者之氣壓。
此時，作為第1較佳之形態，上述玻璃帶切斷空間及上述耳部切斷空間中之至少一者之氣壓係以使上述玻璃帶切斷空間之氣壓與上述耳部切斷空間之氣壓的差量成為40 Pa以下之方式進行調整。
又，作為第2較佳之形態，當將設置有上述成形體之上述成形爐之內部空間及設置有上述輥之上述緩冷爐之內部空間設為爐內部空間時，以上述玻璃帶切斷空間之氣壓相對於上述爐內部空間之氣壓變得較低之方式，調整上述玻璃帶切斷空間之氣壓。
進而，作為第3較佳之形態，於上述緩冷步驟中，為了使張力在玻璃帶之流動方向上作用於上述玻璃帶之寬度方向之中央部，而至少於上述玻璃帶之寬度方向之中央部的溫度成為自玻璃之緩冷點溫度加上150℃而得之溫度至自玻璃之應變點溫度減去200℃而得之溫度的溫度區域中，以使上述玻璃帶之寬度方向之中央部的冷卻速度變得快於上述寬度方向之兩端部的冷卻速度之方式進行溫度控制。
作為第4較佳之形態，於上述玻璃帶之寬度方向之中央部的溫度為玻璃之軟化點溫度以上之區域中，以使上述玻璃帶之寬度方向之兩端部比夾持於上述兩端部之中央部的溫度低，且使上述中央部之溫度變得均勻之方式控制上述玻璃帶之溫度，為了使玻璃帶之流動方向之張力作用於上述玻璃帶之寬度方向之中央部，而於上述玻璃帶之上述中央部之溫度為未達玻璃之軟化點溫度且玻璃之應變點溫度以上的區域中，以上述玻璃帶之寬度方向之溫度分佈的溫度自上述中央部朝向上述兩端部變低之方式控制上述玻璃帶之溫度，且於上述玻璃帶之上述中央部之溫度成為玻璃之應變點溫度的溫度區域中，以消除上述玻璃帶之寬度方向之上述兩端部與上述中央部之溫度斜率之方式控制上述玻璃帶之溫度。
作為第5較佳之形態，為了使玻璃帶之流動方向之張力作用於上述玻璃帶之寬度方向之中央部，而於上述玻璃帶之上述中央部之溫度為未達玻璃之應變點溫度的區域中，以使上述玻璃帶之溫度分佈之溫度自上述兩端部朝向上述中央部而變低之方式控制上述玻璃帶之溫度。
於上述第1態樣之玻璃板之製造方法中，可應用上述第1~第5較佳之形態之各者，此外，亦可應用組合第1~第5較佳之形態中之至少2個以上的複合形態。
本發明之第2態樣係藉由下拉法之玻璃板之製造裝置， 其包含：熔解槽，其熔解玻璃原料而獲得熔融玻璃；成形爐，其將上述熔融玻璃供給至設置於成形爐內之成形體而成形玻璃帶；緩冷爐，其藉由設置於緩冷爐內之輥牽引上述玻璃帶而於上述緩冷爐內進行冷卻；玻璃帶切斷裝置，其於玻璃帶切斷空間內切斷經冷卻之上述玻璃帶；耳部切斷裝置，其於耳部切斷空間內切斷形成於經切斷之上述玻璃帶之寬度方向之兩端部的耳部；及調整機構，其以使上述玻璃帶切斷空間之氣壓相對於上述耳部切斷空間之氣壓變得較高之方式，調整上述玻璃帶切斷空間及上述耳部切斷空間中之至少一者之氣壓。
作為第6較佳之形態，上述調整機構包含：壓力感測器，其於上述玻璃帶切斷空間及上述耳部切斷空間中測量氣壓之壓力；送風機與集塵裝置中之至少任一機器，該送風機自大氣對上述玻璃帶切斷空間及上述耳部切斷空間內送入空氣，該集塵裝置抽吸上述玻璃帶切斷空間及耳部切斷空間內之空氣而進行集塵；及控制裝置，其根據上述壓力感測器之測量結果而調整上述機器。
作為第7較佳之形態，當將設置有上述成形體之上述成形爐之內部空間及設置有上述輥之上述緩冷爐之內部空間設為爐內部空間時，設置於上述玻璃帶切斷空間之上述送 風機及集塵裝置中之至少任一者藉由調整自大氣之空氣之送入及上述切斷空間之空氣抽吸，而以使上述玻璃帶切斷空間之氣壓相對於上述爐內部空間之氣壓變得較低之方式，調整上述玻璃帶切斷空間之氣壓。
作為第8較佳之形態，於上述緩冷爐之內部空間中，設置有溫度調整單元，其為了使張力在玻璃帶之流動方向上作用於上述玻璃帶之寬度方向之中央部，而至少於上述玻璃帶之寬度方向之中央部的溫度成為自玻璃之緩冷點溫度加上150℃而得之溫度至自玻璃之應變點溫度減去200℃而得之溫度的溫度區域中，以使上述玻璃帶之寬度方向之中央部的冷卻速度變得快於上述寬度方向之兩端部的冷卻速度之方式進行溫度控制。
作為第9較佳之形態，於上述成形爐之內部空間設置有冷卻單元，於上述緩冷爐之內部空間設置有溫度調整單元，上述冷卻單元及上述溫度調整單元中之至少任一者，於上述玻璃帶之寬度方向之中央部的溫度為玻璃之軟化點溫度以上之區域中，以使上述玻璃帶之寬度方向之兩端部比夾持於上述兩端部之中央部的溫度低，且使上述中央部之溫度變得均勻之方式控制上述玻璃帶之溫度，為了使玻璃帶之流動方向之張力作用於上述玻璃帶之寬度方向之中央部，而於上述玻璃帶之上述中央部之溫度為未達玻璃之軟化點溫度且玻璃之應變點溫度以上的區域 中，以上述玻璃帶之寬度方向之溫度分佈的溫度自上述中央部朝向上述兩端部變低之方式控制上述玻璃帶之溫度，且於上述玻璃帶之上述中央部之溫度成為玻璃之應變點溫度的溫度區域中，以消除上述玻璃帶之寬度方向之上述兩端部與上述中央部之溫度斜率之方式控制上述玻璃帶之溫度。
作為第10較佳之形態，於上述緩冷爐之內部空間中，設置有溫度調整單元，上述溫度調整單元
為了使玻璃帶之流動方向之張力作用於上述玻璃帶之寬度方向之中央部，而於上述玻璃帶之上述中央部之溫度為未達玻璃之應變點溫度的區域中，以使上述玻璃帶之溫度分佈之溫度自上述兩端部朝向上述中央部而變低之方式控制上述玻璃帶之溫度。
於上述第2態樣之玻璃板之製造裝置中，可應用上述第6~第10較佳之形態之各者，此外，亦可應用組合第6~第10較佳之形態中之至少2個以上的複合形態。
根據上述態樣之玻璃板之製造方法及玻璃板之製造裝置，可抑制玻璃板之表面品質之劣化。
以下，就本發明之玻璃板之製造方法及玻璃板之製造裝置進行說明。圖1係表示本實施形態即玻璃板之製造方法 之流程之圖。
以下本說明書中所說明之各語句定義如下。
所謂片材玻璃之中央部係指片材玻璃寬度方向之寬度中之片材玻璃寬度方向之中心。
所謂片材玻璃之端部係指自片材玻璃寬度方向之邊緣起100 mm以內之範圍。
所謂應變點溫度係指將玻璃黏度設為η時，logη為14.5之玻璃板之溫度。
所謂緩冷點溫度係指logη為13之玻璃之溫度。
所謂軟化點溫度係指logη為7.6之玻璃之溫度。
玻璃轉移點溫度係指過冷卻液體轉變為玻璃狀態時之玻璃之溫度。
(玻璃板之製造方法之整體概要)
玻璃板之製造方法主要包括熔解步驟(ST1)、澄清步驟(ST2)、均質化步驟(ST3)、供給步驟(ST4)、成形步驟(ST5)、緩冷步驟(ST6)、玻璃帶切斷步驟(ST7)、及耳部切斷步驟(ST8)。除此以外，包括研削步驟、研磨步驟、洗淨步驟、檢查步驟、及捆包步驟等，藉由捆包步驟而積層之複數片玻璃板係搬送至傳送目的地之技術人員。
圖2係模式性地表示進行熔解步驟(ST1)~耳部切斷步驟(ST8)之裝置之圖。該裝置係如圖2所示，主要包含熔解裝置200、成形裝置300、玻璃帶切斷裝置400、及耳部切斷裝置500。熔解裝置200包含熔解槽201、澄清槽202、攪拌槽203、第1配管204、及第2配管205。關於成形裝置300將 於下文敍述。
於熔解步驟(ST1)中，藉由加熱並熔解供給至熔解槽201內之玻璃原料而獲得熔融玻璃。澄清步驟(ST2)係主要於澄清槽202中進行，使熔融玻璃中所含之氣泡減少。於均質化步驟(ST3)中，藉由使用攪拌器攪拌通過第1配管204供給至攪拌槽203內的熔融玻璃，而進行玻璃成分之均質化。於供給步驟(ST4)中，通過第2配管205而將熔融玻璃供給至成形裝置300。
於成形裝置300中，進行成形步驟(ST5)及緩冷步驟(ST6)。
於成形步驟(ST5)中，使熔融玻璃成形為玻璃帶G(參照圖3)，而製作玻璃帶G之流體。於本實施形態中，採用使用下述成形體310之溢流下拉法。於緩冷步驟(ST6)中，以不產生平面應變之方式，進而，不使熱收縮率變大之方式進行冷卻。
於玻璃帶切斷步驟(ST7)中，藉由於玻璃帶切斷裝置400中，以特定長度切斷自成形裝置300供給之玻璃帶G，而獲得板狀之玻璃板G1(參照圖3)。
於耳部切斷步驟(ST8)中，在耳部切斷裝置500中切斷形成於玻璃板G1之寬度方向之兩端的耳部G2(參照圖3)。此處，耳部G2包含如下部分，其於成形步驟(ST5)及緩冷步驟(ST6)中形成於玻璃帶G之寬度方向之兩端部，且與下述冷卻輥330、搬送輥350a~350h相接觸。又，耳部G2之厚度大於玻璃帶G之寬度方向之中央部的厚度。
進而，藉由以特定之尺寸切斷耳部切斷步驟後之玻璃板G1，而製作目標尺寸之玻璃板G1。
(成形裝置之說明)
圖3及圖4係主要表示玻璃板之成形裝置300之構成之圖，圖3主要表示成形裝置300之概略之側視圖，圖4表示成形裝置300之概略之前視圖。
藉由成形裝置300成形之玻璃板係例如較佳用於液晶顯示器用玻璃基板、有機EL(Organic Electro-Luminescence，有機電致發光)顯示器用玻璃基板、及覆蓋玻璃。藉由成形裝置300成形之玻璃板除此以外亦可用作行動終端機器等之顯示器或框體用覆蓋玻璃、觸控面板、太陽電池之玻璃基板或覆蓋玻璃。尤其，較佳用作使用LTPS(Low Temperature Poly Silicon，低溫多晶矽)-TFT(Thin Film Transistor，薄膜電晶體)之液晶顯示器用玻璃基板。
進行成形步驟(ST5)之成形爐40及進行緩冷步驟(ST6)之緩冷爐50係由包含耐火磚、耐火隔熱磚、或纖維系隔熱材等耐火物之爐壁包圍而構成。成形爐40相對於緩冷爐50設置於鉛垂上方。再者，成形爐40及緩冷爐50合稱為爐30。於藉由爐30之爐壁包圍之爐內部空間中，設置有成形體310、環境分隔構件320、冷卻輥330、冷卻單元340、搬送輥350a~350h、及壓力感測器355、360a~360c(參照圖4)。
成形體310係如圖2所示，使通過第2配管205自熔解裝置200流動而來之熔融玻璃(於圖3、4中以符號MG表示)成形為玻璃帶G。藉此，於成形裝置300內，製作鉛垂下方之玻 璃帶G之流體。成形體310係包含耐火磚等之細長構造體，且如圖3所示剖面呈楔形狀。於成形體310之頂部設置有成為導引熔融玻璃之流路之槽312。自槽312溢出之熔融玻璃係沿成形體310之兩側之側壁而向鉛垂下方流下。流過側壁之熔融玻璃係於圖3所示之成形體310之下方端部313合流，從而成形為1條玻璃帶G。藉此，玻璃帶G朝向緩冷爐50而流下。
於成形體310之下方端部313之下方附近，設置有環境分隔構件320。環境分隔構件320係一對板狀之隔熱構件，且以自厚度方向之兩側夾持玻璃帶G之方式構成。即，於環境分隔構件320中，以未與玻璃帶G相接觸之程度開設有間隙。環境分隔構件320藉由分隔成形爐內部空間，而遮斷環境分隔構件320上方之爐內部空間與下方之爐內部空間之間的熱移動。
於環境分隔構件320之下方設置有冷卻輥330。冷卻輥330藉由與玻璃帶G之寬度方向之兩端附近的玻璃帶G表面相接觸，並將玻璃帶G向下方拉下，而形成具有所期望之厚度之玻璃帶G，並且冷卻玻璃帶G之兩端附近。於冷卻輥330之下方設置有冷卻單元340。冷卻單元340對通過冷卻輥330之玻璃帶G進行冷卻。冷卻單元340例如包含空氣量調整部，且藉由下述控制裝置600而可調整用以對玻璃帶之兩端部進行空冷的空氣量。又，冷卻輥330之驅動可經由未圖示之馬達而調整。
於冷卻單元340之下方以特定之間隔設置有搬送輥 350a~350h，將玻璃帶G向下方向牽引。冷卻單元340之下方之空間成為緩冷爐50之爐內部空間。搬送輥350a~350h之任一者均可經由未圖示之馬達而調整驅動。
於成形爐40之爐內部空間設置有測量爐內部空間之氣壓之壓力感測器355。壓力感測器355係設置於與成形體310高度方向(鉛垂上方向)相同之位置。所謂高度方向於圖3中係紙面之左方向，於圖4中係紙面之上方向。由於玻璃帶G係自成形體310向鉛垂下方流動，因此玻璃帶G之流動方向與高度方向係相反之方向。於緩冷爐50之爐內部空間中，設置有壓力感測器360a~360c。
進而，於成形爐40之爐內部空間中，沿玻璃帶G設置有沿玻璃帶G之寬度方向而配置複數個加熱源的溫度調整單元370a~370c。溫度調整單元370a~370c之各加熱源之加熱溫度可調整。
另一方面，於成形爐40之爐壁之外側，藉由間隔壁而設置有相對於大氣壓環境以建築物B之間隔壁分隔之空間、即爐外部空間S1、S2、S3a~S3c。該等空間之各者在高度方向上係藉由板面411、412、413a~413c而分隔。即，成形裝置300係設置於包含複數層地板(floor)之建築物B中，藉由板面而分隔為複數個之爐外部空間(部分空間)S1、S2、S3a~S3c係設置於各地板。進而，於爐外部空間S3c之下方，在地板414上設置有藉由壁而分隔之空間S4(玻璃帶切斷空間)。進而又，於空間S4之側方，在地板414上藉由壁而分隔之空間S5(耳部切斷空間)係與空間S4鄰接地設 置。於空間S4、S5中未設置爐壁。該等空間之氣壓係分別藉由下述送風機421、422、423a、423b、423c、424、425而調整。
爐外部空間S1係位於較成形體310之高度方向之位置更鉛垂上方之空間，於爐外部空間S1中，設置有測量爐外部空間之氣壓之壓力感測器415。
爐外部空間S2係設置於板面412上之空間，於與該空間相對應之爐內部空間配置有成形體310。又，於爐外部空間S2中，設置有測量爐外部空間S2之氣壓之壓力感測器416。於藉由爐壁包圍之爐內部空間中，在與壓力感測器416之高度方向相同之位置上，設置有測量爐內部空間之氣壓之壓力感測器355。
爐外部空間S3a~S3c係於爐外部空間S2之下方，自高度方向之較高處以爐外部空間S3a~3c之順序設置之空間。爐外部空間S3a~3c係設置於板面413a~413c上。又，於爐外部空間S3a~S3c之各者中，設置有測量爐外部空間S3a~S3c之氣壓之壓力感測器417a~417c。於藉由爐壁包圍之爐內部空間中，在與壓力感測器417a~417c之高度方向相同之位置上，設置有測量爐內部空間之氣壓之壓力感測器360a~360c。
再者，於本實施形態中，壓力感測器355、360a~360c係設置於爐內部空間之各位置，但亦可於爐內部空間之各位置插入壓力感測器而進行壓力之測定。又，爐外部空間與爐內部空間之間的差壓之測定方法並無特別限定，但作為 差壓之測定方法之一例，可使用差壓計而進行測定。進而，對於爐外部空間S2、S3a~S3c、S4、S5之各者之間的差壓，亦可使用差壓計而進行測定。
又，於空間S4、S5之各者中，設置有測量空間S4、S5之氣壓之壓力感測器418、419。進而，於分隔空間S4、S5之壁420上，為了將空間S4內之玻璃板G1搬送至空間S5而形成有連通空間S4、S5之連通孔(省略圖示)。即，空間S4、S5可藉由連通孔而通氣。
為了降低於空間S5中切斷耳部G2之時產生之玻璃之微粒(切屑或灰塵等)向空間S4的流入量，較佳為使該連通孔之尺寸儘可能小，例如，形成為如下程度之尺寸：於玻璃板G1之主表面沿自空間S4向空間S5之搬送方向之狀態下可將玻璃板G1搬送至空間S5。
再者，當將玻璃板G1於藉由搬送裝置(省略圖示)固定之狀態下自空間S4搬送至空間S5中時，亦可藉由於玻璃板G1中之製品所不包含之部分保持玻璃板G1之厚度方向之兩側而搬送玻璃板G1，上述製品所不包含之部分例如為玻璃板G1之上端部分、下端部分或主表面之四邊部分等。於該情形時，由於玻璃板G1中之製品中包含之部分、例如玻璃板G1之主表面之中央部分等未保持於搬送裝置，因此於自空間S5向空間S4之空氣流入量較多之情形時，有搬送玻璃板G1時因自空間S5流入空間S4之空氣而使該部分撓曲之虞。與此相對，於本實施形態中，如下所述，由於調整空間S4與空間S5之氣壓，因此可防止空間S5之空氣流入至 空間S4之空氣中。因此，即便於在僅保持玻璃板G1中之製品所不包含之部分的狀態下搬送玻璃板G1之情形時，亦可抑制玻璃板G1之撓曲之產生。又，藉由使用上述之搬送方法，可使搬送裝置之構造變得簡單，並且可提高玻璃板G1之搬送效率。
又，於分別分隔爐外部空間S1、S2、S3a~S3c、空間S4及空間S5之間隔壁之外側，相對於爐外部空間S1、S2、S3a~S3c、空間S4及空間S5之各者，設置有送風機421、422、423a、423b、423c、424、425。藉由各送風機自大氣壓送入之空氣係通過管而供給至爐外部空間S1、S2、S3a~S3c、空間S4及空間S5之各者。各送風機所送入之空氣量係分別根據來自下述驅動單元510之驅動信號而決定。
圖5係控制送風機421、422、423a、423b、423c、424、425送入之空氣量之控制系統之概略圖。
控制系統包含設置於爐內部空間之壓力感測器355、360a~360c、設置於各爐外部空間之壓力感測器415、416、417a~417c、418、419、控制裝置600、驅動單元610、及送風機421、422、423a、423b、423c、424、425。
控制裝置600使用自設置於爐內部空間之各壓力感測器傳送之爐內部空間中的氣壓之測量結果、與自設置於爐外部空間之各壓力感測器傳送之爐外部空間中的氣壓之測量結果，以將爐內部空間及爐外部空間中之高度方向相同之 位置上的氣壓之差量調整為所設定之範圍之方式，生成用以調整各送風機送入之空氣量之控制信號。經生成之控制信號係傳送至驅動單元610。又，藉由各送風機而送入之空氣量亦可例如以針對各爐外部空間之各者預先設定氣壓之基準值之範圍，並使各爐外部空間之氣壓包含於該基準值之範圍內之方式進行調整。
驅動單元610基於控制信號而生成用以單獨地調整藉由送風機而送入之空氣量之驅動信號。驅動單元610將驅動信號傳送至每個送風機。
進而，控制裝置600係經由驅動單元610而與冷卻單元340、溫度調整單元370a~370c、冷卻輥330、及搬送輥350a~350h電性連接。控制裝置600可經由驅動單元610而控制冷卻單元340之加熱溫度，調整溫度調整單元370a~c之加熱源之加熱溫度，調整冷卻輥330之驅動與溫度，進而，調整搬送輥350a~h之驅動。
於本實施形態中，控制裝置600及驅動單元610係自動控制空氣之送入量，但亦可由操作者手動調整空氣之送入量。再者，於本實施形態中，作為氣壓之控制方法之一例而對使用送風機進行氣壓控制之情形進行了說明，但氣壓之控制方法並不僅限定於該方法。例如，亦可使用藉由抽吸切斷玻璃時產生之玻璃之微粒等而集塵的集塵裝置(圖示省略)來進行氣壓控制。集塵裝置係設置於空間S4內之玻璃帶切斷裝置400及空間S5內之耳部切斷裝置500之各者的附近，且可藉由抽吸空間S4及空間S5內之空氣而集塵該 空氣中所含之玻璃之微粒等地構成。此處，藉由控制空間S4及空間S5之各者中藉由集塵裝置之空氣之抽吸量，可控制空間S4及空間S5之氣壓。又，空間S4及空間S5之氣壓控制亦可組合送風機與集塵裝置而進行。
再者，作為使玻璃板之表面品質劣化之重要原因，可列舉於玻璃板之製造步驟中附著於玻璃板的玻璃之微粒(玻璃之切屑或灰塵等)。緩冷步驟後之玻璃帶係藉由在配置於緩冷爐之下方之玻璃帶切斷室中被切斷為所期望之尺寸，而形成玻璃板。又，於玻璃板之寬度方向之兩端部形成有較玻璃板之寬度方向之中央部具有更大厚度的耳部。該耳部係於將玻璃板搬送至與玻璃帶切斷室可通氣地鄰接之耳部切斷室後，於耳部切斷室中被切斷。此處，存在於耳部切斷室內切斷耳部時產生之玻璃之微粒飛散，而該玻璃之微粒流入至鄰接於耳部切斷室的玻璃帶切斷室中之情形。
因此，於本實施形態中，送風機424、425之送入之空氣量係以使空間S4之氣壓相對於空間S5之氣壓變得較高之方式，於各空間中進行調整。若空間S4之氣壓變得低於空間S5之氣壓，則有空氣經由連通孔自空間S5朝向空間S4流入之情形。此時，於流入至空間S4之空氣中包含在空間S5內飛散之玻璃之微粒，因此於空間S4之空氣藉由上升氣流而朝向位於更上方之爐內部空間移動之情形時，有玻璃之微粒附著於玻璃帶G之虞。藉由將空間S4之氣壓相對於空間S5之氣壓設得較高，而可防止包含玻璃之微粒之空間S5的 空氣流入至空間S4之空氣中，因此即便於空間S4之空氣藉由上升氣流而向上方移動之情形時，亦可防止玻璃之微粒附著於玻璃帶G。因此，可抑制玻璃板G1之表面品質之劣化。
空間S4與空間S5之間的氣壓之差量為大於0~40 Pa，較佳為1~35 Pa，更佳為2~30 Pa，進而較佳為3~25 Pa，進而更佳為4~15 Pa。若上述氣壓之差量高於上述範圍，則存在大量空氣經由連通孔自空間S4朝向空間S5流出之情形。於該情形時，於自空間S4向空間S5搬送之玻璃板G1中，會因該空氣而產生振動或撓曲，因此存在玻璃板G1於搬送中破損之虞。藉由將氣壓之差量調整為上述範圍，而可抑制於搬送中之玻璃板G1中產生之振動或撓曲。因此，可降低於搬送中破損之玻璃板G1之數量，因此可提高玻璃板G1之製造效率。
又，各送風機之送入之空氣量係以使爐外部空間S2、S3a~S3c之氣壓相對於高度方向相同之位置上的爐內部空間之氣壓變得較低之方式，調整各爐外部空間之氣壓。
成形爐40之爐內部空間與爐外部空間S2之間的氣壓之差量為大於0~40 Pa，較佳為4~35 Pa，更佳為8~30 Pa，進而較佳為10~27 Pa，進而更佳為10~25 Pa。若上述氣壓之差量高於上述範圍，則存在大量空氣經由爐壁之間隙自爐內部空間朝向爐外部空間S2流出之情形，從而使爐內部空間中之空氣之上升增大。另一方面，若上述氣壓之差量低於上述範圍，則存在空氣經由爐壁之間隙自爐外部空間S2朝 向爐內部空間流入之情形，而有產生爐內部空間之溫度變動之虞。藉由將氣壓之差量調整為上述範圍，而可防止低溫之空氣自爐外部空間S流入至成形爐40之爐內部空間。因此，可抑制爐內部空間之溫度變動。即，可防止僅熔融玻璃或玻璃帶G中之與流入成形爐40之空氣相接觸的部分急冷。例如，於在成形爐40中熔融玻璃或玻璃帶G被局部地急冷之情形時，經急冷之部分之黏度變高，當於搬送路徑之下游側中藉由輥拉伸玻璃帶G時，無法充分地拉伸黏度變高之部分，因此產生引起玻璃板之板厚之偏差的問題。針對該問題，藉由將氣壓之範圍調整為上述之範圍，而可抑制冷卻速度之不均，甚至可抑制玻璃帶G之板厚之不均。
另一方面，緩冷爐50之爐內部空間與爐外部空間S3a~S3c之間的氣壓之差量為大於0~40 Pa，較佳為2~35 Pa，更佳為2~25 Pa，進而較佳為3~23 Pa，進而更佳為5~20 Pa。若上述氣壓之差量高於上述範圍，則存在大量空氣經由爐壁之間隙自爐內部空間朝向爐外部空間S3a~S3c流出之情形，從而使爐內部空間中之空氣之上升增大。另一方面，若上述氣壓之差量低於上述範圍，則存在空氣經由爐壁之間隙自爐外部空間S3a~S3c朝向爐內部空間流入之情形，而使爐內部空間之溫度分佈產生不均。藉由將氣壓之差量調整為上述之範圍，而可防止低溫空氣自爐外部空間S3a~S3c流入至緩冷爐50之爐內部空間，因此可抑制爐內部空間之溫度之不均。藉此，可抑制玻璃帶 G之變形、翹曲及熱收縮之不均。
以下，對因爐內部空間之溫度之不均產生之問題進行詳細說明。於緩冷爐50內，為了抑制玻璃帶G之翹曲等，而控制玻璃帶G之寬度方向之溫度曲線(profile)。具體而言，於玻璃帶G之搬送區域中之玻璃帶G之寬度方向中央部的溫度成為(緩冷點溫度+5℃)以上之搬送區域中，以自玻璃帶G之寬度方向之兩端部朝向寬度方向之中央部而溫度變高之方式控制玻璃帶G之溫度。又，於玻璃帶G之寬度方向中央部之溫度成為(緩冷點溫度+5℃)以上的搬送區域中，以伴隨玻璃帶G向下游搬送，而使玻璃帶G之寬度方向中央部與寬度方向兩端部之溫度差變小之方式控制玻璃帶G之溫度。藉由以此種方式控制溫度曲線，而可使拉伸應力(張力)始終施加於玻璃帶G之寬度方向之中央部，因此可抑制玻璃帶G之翹曲之產生。然而，於玻璃帶G之搬送區域中之玻璃帶G之寬度方向中央部之溫度成為(緩冷點溫度+5℃)以上的搬送區域中，例如若因低溫空氣之流入等而玻璃帶G被局部地急冷，則無法實現上述溫度曲線，而產生於玻璃帶G產生翹曲之問題。
又，於玻璃帶G之搬送區域中之玻璃帶G之溫度成為自(緩冷點溫度+5℃)至(應變點溫度-50℃)的搬送區域中，以溫度在玻璃帶G之寬度方向兩端部與寬度方向中央部之間成為大致均勻之方式控制玻璃帶G之溫度。藉此，可降低玻璃帶G之殘留應力，從而可降低玻璃板之平面應變。又，將玻璃帶G之溫度包含於自(緩冷點溫度+5℃)至(應變 點溫度-50℃)之範圍內之狀態維持得越長，則越可降低玻璃板之熱收縮。然而，於玻璃帶G之溫度成為自(緩冷點溫度+5℃)至(應變點溫度-50℃)之搬送區域中，例如若因低溫空氣之流入等而玻璃帶G被局部地急冷，則被急冷之部分會產生平面應變，或該部分之熱收縮率變大，因此會產生平面應變之增大或熱收縮之不均等問題。
藉由將氣壓之差量調整為上述之範圍，防止低溫空氣自爐外部空間S3a~S3c流入至緩冷爐50之爐內部空間，而抑制爐內部空間之溫度之不均，藉此可減少上述問題。
再者，於本實施形態中，以使所有爐外部空間之氣壓相對於高度方向相同之位置上的爐內部空間之氣壓變得較低之方式，調整爐外部空間之氣壓，但亦能夠以爐外部空間之至少一部分中之氣壓相對於高度方向相同之位置上的爐內部空間之氣壓變得較低之方式，調整爐外部空間之氣壓。於該情形時，較佳為於與玻璃帶G之緩冷點溫度相對應之緩冷爐內之位置、和與玻璃帶G之應變點溫度相對應之緩冷爐內之位置之間的區域中，爐外部空間之氣壓係以相對於高度方向相同之位置上的爐內部空間之氣壓變得較低之方式進行調整。與徐冷點溫度相對應之位置係例如位於爐外部空間S3a之高度方向之位置，又，與應變點溫度相對應之位置係例如位於爐外部空間S3b之高度方向之位置。於上述區域中，為玻璃帶G固化之階段，最易對玻璃之平面應變及熱收縮產生影響，因此較佳為藉由於上述區域中效率良好地調整氣壓，抑制空氣自爐外部空間流入， 從而可抑制爐內部空間中之溫度之不均。
進而，藉由於緩冷爐50之爐內部空間中調整與玻璃帶G之溫度成為未達(應變點溫度-50℃)之區域相對應的高度方向相同之位置上之爐外部空間中之氣壓，而可抑制空氣自爐外部空間流入，並可抑制該區域之溫度之不均，從而藉由該抑制可防止玻璃帶G之翹曲。此處，玻璃帶G自成形爐40起至切斷為止係一片連續之板。因此，於玻璃帶G之溫度成為未達(應變點溫度-50℃)之區域中若玻璃帶G之翹曲形狀變化，則亦會對成為(應變點溫度-50℃)以上之區域之玻璃帶產生影響，而產生熱收縮之不均。如上所述，即，藉由抑制玻璃帶G之溫度未達(應變點溫度-50℃)之區域的溫度之不均，而可抑制翹曲、平面應變及熱收縮之不均。
又，位於不存在爐內部空間之高度方向之位置上的壓力感測器415係為了以使空氣不會自爐外部空間S1流入至爐內部空間之方式藉由送風機421調整爐外部空間S1而測量爐外部空間S1之氣壓。壓力感測器418係為了藉由送風機424調整空間S4之氣壓，而用來測量空間S4中之氣壓。例如，較佳為空間S4係以相對於爐內部空間之最低氣壓而進一步變低之方式，調整空間S4之氣壓。藉由以上述方式調整空間S4之氣壓，而可使自空間S4流入至爐內部空間之空氣減少。
再者，送風機421、422、423a、423b、423c、424、425藉由對爐外部空間S1、S2、S3a~S3c、空間S4及空間S5送 入空氣，而將任一空間之氣壓均相對於大氣壓調整為較高，但將該等空間之氣壓相對於大氣壓設得較高之原因在於，防止大量空氣及該空氣中所含之微粒自建築物B之外部流入至爐外部空間S1、S2、S3a~S3c、空間S4及空間S5內，進而，效率良好地調整爐外部空間S1、S2、S3a~S3c、空間S4、空間S5之氣壓。
又，較佳為爐內部空間中之氣壓係以高度方向之位置越高則氣壓變得越高之方式進行控制。如此，即便爐內部空間產生溫度分佈，且氣壓產生分佈，亦可根據該氣壓分佈而調整爐外部空間中之氣壓。其原因在於：不會因爐外部空間各者之氣壓與爐內部空間之氣壓的差量而使空氣流入至爐內部空間，或使空氣洩漏至爐外部空間而產生空氣之對流。因此，於爐內部空間中，在與分別設置於爐外部空間之壓力感測器高度方向相同之位置上，設置有壓力感測器。如此，於爐內部空間產生壓力分佈之情形時，較佳為以根據高度方向之位置而變化之方式調整爐外部空間之各者之氣壓、與該爐外部空間之高度方向相同之位置上的爐內部空間之氣壓的差量。例如，於在高度方向相同之位置上存在爐內部空間之爐外部空間S2、S3a~S3c中的最上部之爐外部空間S2與最下部之爐外部空間S3c之間進行比較時，較佳為以最上部中之氣壓之差量與最下部中之氣壓之差量相比變得較大之方式進行調整。例如，以使氣壓之上述差量伴隨高度方向之位置變高而變大之方式進行設定即可。其原因在於：於緩冷爐中之爐內部空間中，由於高度 方向之位置越高則溫度越高，因此可防止較冷之空氣流入時玻璃帶G之溫度差變大，或高度方向之位置越高玻璃帶G之溫度之不均變得越大。
又，爐外部空間之氣壓較佳為高度方向之位置越高則變得越高。藉此，於爐外部空間中，可減小沿爐壁而產生之上升氣流之大小，因此可抑制爐內部空間中之爐壁側之溫度因該上升氣流而局部地降低。因此，可抑制爐內部空間之溫度變動。換言之，藉由以使爐外部空間之氣壓越靠玻璃帶G之流動方向之上游側變得越大之方式，控制爐外部空間之氣壓，而可抑制爐內部空間之溫度變動。
進而，較佳為空間S4之氣壓係以相對於爐內部空間之氣壓變得較低之方式進行調整。藉此，可防止包含切斷玻璃帶G時產生之玻璃之微粒的空間S4之空氣藉由上升氣流而向上方移動。即，萬一即便於空氣自空間S5流入至空間S4之情形時，亦可防止流入之空氣中所含之玻璃之微粒藉由上升氣流而向爐內部空間移動。因此，可防止玻璃之微粒附著於玻璃帶G，因此可抑制由玻璃帶G成形之玻璃板G1之表面品質劣化。
於本實施形態中，亦可於圖3所示之成形空間S6及緩冷空間S7中就以下說明之各形態進行玻璃帶G之冷卻之控制。具體而言，可依照控制裝置600之指示而對冷卻單元340、溫度調整單元370a~370c及冷卻輥330進行溫度控制，從而進行如下之玻璃帶G之冷卻。
例如，當使用冷卻輥330或搬送輥350a~350h而使玻璃帶 G在緩冷空間S7內向下游側流動時，藉由使張力有效地作用於玻璃帶G之流動方向，而可抑制玻璃帶G之翹曲。又，亦可抑制玻璃帶G之鄰接於夾持於各輥而流動之部分的鄰接區域產生波形狀之變形。
為了使張力有效地作用於玻璃帶G之流動方向，例如，於成形空間S6及緩冷空間S7內，在玻璃帶S之寬度方向之中央部的溫度為玻璃之軟化點溫度以上之區域中，以使玻璃帶G之寬度方向之兩端部(耳部)比中央部之溫度低，且使中央部之溫度變得均勻之方式控制玻璃帶G之溫度。進而，為了使搬送方向之拉伸應力作用於玻璃帶G之寬度方向之中央部，於玻璃帶G之寬度方向之中央部的溫度為未達軟化點溫度、且應變點溫度以上之區域中，以玻璃帶G之寬度方向之溫度分佈(溫度曲線)的溫度自中央部朝向兩端部而變低之方式控制玻璃帶G之溫度。進而，於玻璃帶G之寬度方向之中央部的溫度成為玻璃之應變點溫度的溫度區域中，以消除玻璃帶G之寬度方向之兩端部(耳部)與中央部的溫度斜率之方式控制玻璃帶G之溫度。藉此，使搬送方向之拉伸應力施加於玻璃帶G之寬度方向之中央部，從而可抑制玻璃帶G之翹曲、或於玻璃帶G之鄰接於夾持於各輥而流動之部分的鄰接區域產生波形狀之變形。
又，於緩冷空間S7內，為了使搬送方向之張力作用於玻璃帶G之寬度方向之中央部，亦可於玻璃帶G之寬度方向之中央部的溫度未達玻璃之應變點溫度之區域中，以玻璃帶G之溫度分佈(溫度曲線)之溫度自寬度方向之兩端部(耳 部)朝向玻璃帶G之寬度方向之中央部而變低之方式控制玻璃帶G之溫度。藉此，於玻璃帶G之寬度方向之中央部之未達應變點溫度附近的區域中，可使拉伸應力始終在搬送方向上作用於玻璃帶G之寬度方向之中央部，從而可抑制玻璃帶G之翹曲。
於本實施形態中，藉由調整經成形之玻璃帶G之冷卻速度，而可抑制玻璃板之變形，抑制翹曲，並進一步降低熱收縮率之絕對值。
具體而言，於緩冷空間S7內，當一面使用搬送輥350a~350h搬送玻璃帶G一面進行緩冷時，規定自玻璃帶G之緩冷點溫度加上150℃而得之溫度至自玻璃帶G之應變點溫度減去200℃而得之溫度為止的溫度區域。此時，較佳為於至少上述溫度區域中，玻璃帶G之寬度方向之中央部之冷卻速度快於玻璃帶G之兩端部之冷卻速度，而使玻璃帶G自玻璃帶G之寬度方向之中央部之溫度高於玻璃帶G之兩端部的狀態變化為中央部之溫度低於兩端部的狀態。藉此，可使拉伸應力在玻璃帶G之流動方向上作用於玻璃帶G之寬度方向之中央部。藉由使拉伸應力作用於玻璃帶G之流動方向上，可進一步抑制玻璃帶G、甚至玻璃板之翹曲。
本實施形態中所使用之玻璃板之玻璃組成例如可列舉以下者。以下所示之組成之含有率係以質量%表示。
較佳為含有如下組成之無鹼玻璃：SiO2：50~70%、 B2O3：5~18%、Al2O3：0~25%、MgO：0~10%、CaO：0~20%、SrO：0~20%、BaO：0~10%、RO：5~20%(其中，R係選自Mg、Ca、Sr及Ba中之至少1種，且係玻璃板中所含有者)。
再者，於本實施形態中雖設為無鹼玻璃，但玻璃板亦可微量含有鹼金屬。於含有鹼金屬之情形時，較佳為包含R'2O之合計超過0.20%且2.0%以下(其中，R'係選自Li、Na及K中之至少1種，且係玻璃板中所含有者)。又，為了使玻璃容易熔解，自降低比電阻之觀點而言，進而較佳為玻璃中之氧化鐵之含量為0.01~0.2%。
此處，由於Li2O、Na2O、K2O係存在自玻璃溶出而使TFT之特性劣化之虞的成分，因此於用作液晶顯示器用玻璃基板或有機EL顯示器用玻璃基板之情形時，較佳為實際上不含有。然而，藉由反而使玻璃中含有特定量上述成分，而可抑制TFT特性之劣化，並且可提高玻璃之鹼性度，使價數變動之金屬之氧化容易，並發揮澄清性。因此，Li2O、Na2O、K2O之合量為0~2.0%，更佳為0.1~1.0%，進而較佳為0.2~0.5%。
再者，較佳為實際上不含有Li2O、Na2O，而含有上述成分中之最不易自玻璃溶出而使TFT特性劣化之K2O。K2O之 含有量為0~2.0%，更佳為0.1~1.0%，進而較佳為0.2~0.5%。
本實施形態係較佳用於玻璃板之厚度為0.05 mm~1.5 mm之玻璃板之製造。此處，由於玻璃板越薄，越容易因由氣壓差產生之空氣之流動而撓曲，因此難以穩定地搬送。因此，厚度0.05~0.5 mm之玻璃板藉由應用在空間S4與空間S5之間將氣壓差設定於特定範圍內之本實施形態之方法，而使降低於搬送中破損之玻璃板之數量的效果較大。
本實施形態之玻璃板之寬度方向之長度例如為500 mm~3500 mm，玻璃板之縱方向之長度亦例如為500 mm~3500 mm。
再者，若玻璃板大型化，則玻璃板容易因由氣壓差產生之空氣之流動而撓曲，因此難以穩定地搬送玻璃板。因此，藉由應用將空間S4與空間S5之間之氣壓差設定於特定範圍內的本實施形態之方法，而使降低於搬送中破損之玻璃板之數量的效果較大。進而，玻璃板之寬度方向之長度越大於2000 mm，本實施形態之效果越顯著。具體而言，本實施形態較佳用於寬度方向之長度為2000 mm~3500 mm、且長度方向之長度為2000 mm~3500 mm之玻璃板之製造。
[實施例]
為了確認本實施形態之效果，對玻璃板之製造方法進行各種變更而製造玻璃板，進而，進行玻璃板之表面品質之劣化評價及搬送玻璃板時之破損評價。
此處，玻璃板之表面品質之劣化評價係求出於玻璃帶切 斷空間中成形之玻璃板中之在表面產生包含氣泡或微小突起之損傷的玻璃板之比率，且將比較例之值設為「1.0」時計算相對於比較例之比率而獲得的數值。評價之玻璃板之樣本數分別為1000片。於評價中進行通常之檢查，於即便僅1個部位存在損傷之情形時，即設為不合格品，對不合格品之玻璃板之數量進行計數，藉此求出產生損傷之玻璃板之比率。即，若玻璃板之表面品質之劣化評價為未達1.0之值，則可知於表面產生損傷之玻璃板之數與比較例相比降低。
又，關於玻璃板之搬送時之破損評價，於自玻璃帶切斷空間搬送至耳部切斷空間之玻璃板中之因由玻璃帶切斷空間與耳部切斷空間之氣壓差而產生之振動或撓曲而破損的玻璃板之比率未達特定值之情形時評價為「良好」，於該特定值以上之情形時評價為「可」。
1.實施例1
將玻璃原料溶解、澄清、攪拌後，使用溢流下拉法成形玻璃帶，並進行緩冷。然後，玻璃帶係於玻璃帶切斷空間中切斷後，於耳部切斷空間中切斷耳部。此時，以玻璃帶切斷空間之氣壓高於耳部切斷空間之氣壓，且該氣壓差成為5 Pa之方式，調整玻璃帶切斷空間及耳部切斷空間之氣壓。
所製造之玻璃板係液晶顯示器用玻璃基板，大小為2200 mm×2500 mm，厚度為0.7 mm。玻璃板之玻璃組成如下所述。
含有率係以質量%表示。
SiO2 60%
Al2O3 19.5%
B2O3 10%
CaO 5.3%
SrO 5%
SnO2 0.2%
2.實施例2
除玻璃帶切斷空間之氣壓高於耳部切斷空間之氣壓，且該氣壓差為25 Pa以外，藉由與實施例1相同之方法進行液晶顯示器用玻璃基板之製造。
3.實施例3
除玻璃帶切斷空間之氣壓高於耳部切斷空間之氣壓，且該氣壓差為35 Pa以外，藉由與實施例1相同之方法進行液晶顯示器用玻璃基板之製造。
4.實施例4
除玻璃帶切斷空間之氣壓高於耳部切斷空間之氣壓，且該氣壓差為40 Pa以外，藉由與實施例1相同之方法進行液晶顯示器用玻璃基板之製造。
5.實施例5
除玻璃帶切斷空間之氣壓高於耳部切斷空間之氣壓，且該氣壓差為45 Pa以外，藉由與實施例1相同之方法進行液晶顯示器用玻璃基板之製造。
6.比較例
除玻璃帶切斷空間與耳部切斷空間之氣壓差為-5 Pa(即，玻璃帶切斷空間之氣壓低於耳部切斷空間之氣壓)以外，藉由與實施例1相同之方法進行液晶顯示器用玻璃基板之製造。
下述表1係對實施例1~5與比較例求出玻璃板之表面品質之劣化評價時之評價結果。再者，於實施例1~5及比較例中，為了防止沿玻璃帶產生自玻璃帶切斷空間朝向爐內部空間之上升氣流，而以使玻璃帶切斷空間與爐內部空間之間的氣壓差成為固定之方式進行控制。
下述表2係關於實施例1~5之搬送玻璃板時之破損評價的結果。
由上述表1顯而易見，於玻璃帶切斷空間之氣壓高於耳部切斷空間之氣壓之情形時，實施例1~5之玻璃板之表面 品質之劣化評價的值較比較例之劣化評價的值降低，因此玻璃板之表面品質提高。進而，由上述表2顯而易見，於切斷空間之氣壓高於耳部切斷空間之氣壓，且該氣壓差為40 Pa以下之情形時，可降低於搬送中破損之玻璃板之數量。由以上可知，本實施形態之方法之效果顯著。
再者，於具有微量含有鹼金屬之下述所示之玻璃組成(以質量%表示)的玻璃板之製造中，亦可獲得與上述相同之結果。
SiO2：61%、Al2O3：19.5%、B2O3：10%、CaO：9%、SnO2：0.3%、R2O(R係Li、Na、K中之玻璃板中含有之總成分)：0.2%。
以上，對本發明之玻璃板之製造方法及玻璃板之製造裝置進行了詳細說明，但本發明並不限定於上述實施形態，當然亦可於不脫離本發明之主旨之範圍內進行各種改良或變更。
30‧‧‧爐
40‧‧‧成形爐
50‧‧‧緩冷爐
200‧‧‧熔解裝置
201‧‧‧熔解槽
202‧‧‧澄清槽
203‧‧‧攪拌槽
204‧‧‧第1配管
205‧‧‧第2配管
300‧‧‧成形裝置
310‧‧‧成形體
311‧‧‧供給口
312‧‧‧槽
313‧‧‧下方端部
320‧‧‧環境分隔構件
330‧‧‧冷卻輥
340‧‧‧冷卻單元
350a~350h‧‧‧搬送輥
355‧‧‧壓力感測器
360a‧‧‧壓力感測器
360b‧‧‧壓力感測器
360c‧‧‧壓力感測器
400‧‧‧切斷裝置
411‧‧‧板面
412‧‧‧板面
413a‧‧‧板面
413b‧‧‧板面
413c‧‧‧板面
414‧‧‧板面
415‧‧‧壓力感測器
416‧‧‧壓力感測器
417a‧‧‧壓力感測器
417b‧‧‧壓力感測器
417c‧‧‧壓力感測器
418‧‧‧壓力感測器
419‧‧‧壓力感測器
420‧‧‧壁
421‧‧‧送風機
422‧‧‧送風機
423a‧‧‧送風機
423b‧‧‧送風機
423c‧‧‧送風機
424‧‧‧送風機
425‧‧‧送風機
500‧‧‧耳部切斷裝置
600‧‧‧控制裝置
610‧‧‧驅動單元
B‧‧‧建築物
G‧‧‧玻璃帶
G1‧‧‧玻璃板
G2‧‧‧耳部
MG‧‧‧熔融玻璃
S1‧‧‧爐外部空間
S2‧‧‧爐外部空間
S3a‧‧‧爐外部空間
S3b‧‧‧爐外部空間
S3c‧‧‧爐外部空間
S4‧‧‧玻璃帶切斷空間
S5‧‧‧耳部切斷空間
S6‧‧‧成形空間
S7‧‧‧緩冷空間
圖1係表示本實施形態即玻璃板之製造方法之流程之圖。
圖2係模式性地表示進行本實施形態之熔解步驟~耳部切斷步驟之裝置之圖。
圖3係本實施形態中之玻璃板之成形裝置之概略之側視 圖。
圖4係本實施形態中之玻璃板之成形裝置之概略之前視圖。
圖5係本實施形態中所使用之控制送風機所送入之空氣量的控制系統之概略圖。
30‧‧‧爐
40‧‧‧成形爐
50‧‧‧緩冷爐
300‧‧‧成形裝置
310‧‧‧成形體
312‧‧‧槽
313‧‧‧下方端部
320‧‧‧環境分隔構件
330‧‧‧冷卻輥
340‧‧‧冷卻單元
350a~350h‧‧‧搬送輥
400‧‧‧切斷裝置
411‧‧‧板面
412‧‧‧板面
413a‧‧‧板面
413b‧‧‧板面
413c‧‧‧板面
414‧‧‧板面
415‧‧‧壓力感測器
416‧‧‧壓力感測器
417a‧‧‧壓力感測器
417b‧‧‧壓力感測器
417c‧‧‧壓力感測器
418‧‧‧壓力感測器
419‧‧‧壓力感測器
420‧‧‧壁
421‧‧‧送風機
422‧‧‧送風機
423a‧‧‧送風機
423b‧‧‧送風機
423c‧‧‧送風機
424‧‧‧送風機
425‧‧‧送風機
500‧‧‧耳部切斷裝置
B‧‧‧建築物
G‧‧‧玻璃帶
G1‧‧‧玻璃板
G2‧‧‧耳部
MG‧‧‧熔融玻璃
S1‧‧‧爐外部空間
S2‧‧‧爐外部空間
S3a‧‧‧爐外部空間
S3b‧‧‧爐外部空間
S3c‧‧‧爐外部空間
S4‧‧‧玻璃帶切斷空間
S5‧‧‧耳部切斷空間
S6‧‧‧成形空間
S7‧‧‧緩冷空間

Claims (5)

  1. 一種玻璃板之製造方法，其特徵在於：其係藉由下拉法之玻璃板之製造方法，且包括：熔解步驟，其熔解玻璃原料而獲得熔融玻璃；成形步驟，其將上述熔融玻璃供給至設置於成形爐內之成形體而成形玻璃帶；緩冷步驟，其藉由設置於緩冷爐內之輥牽引上述玻璃帶，於上述緩冷爐內進行冷卻；玻璃帶切斷步驟，其於玻璃帶切斷空間內切斷經冷卻之上述玻璃帶；及耳部切斷步驟，其於耳部切斷空間內切斷形成於經切斷之上述玻璃帶之寬度方向之兩端部的耳部；且以上述玻璃帶切斷空間之氣壓相對於上述耳部切斷空間之氣壓變得較高之方式，調整上述玻璃帶切斷空間及上述耳部切斷空間中之至少一者的氣壓。
  2. 如請求項1之玻璃板之製造方法，其中上述玻璃帶切斷空間及上述耳部切斷空間中之至少一者的氣壓，係以使上述玻璃帶切斷空間之氣壓與上述耳部切斷空間之氣壓之差量成為40 Pa以下之方式進行調整。
  3. 如請求項1或2之玻璃板之製造方法，其中當將設置有上述成形體之上述成形爐之內部空間及設置有上述輥之上述緩冷爐之內部空間設為爐內部空間時，以使上述玻璃帶切斷空間之氣壓相對於上述爐內部空間之氣壓變得較低之方式，調整上述玻璃帶切斷空間之氣壓。
  4. 一種玻璃板之製造裝置，其特徵在於：其係藉由下拉法之玻璃板之製造裝置，且包含：熔解槽，其熔解玻璃原料而獲得熔融玻璃；成形爐，其將上述熔融玻璃供給至設置於成形爐內之成形體而成形玻璃帶；緩冷爐，其藉由設置於緩冷爐內之輥牽引上述玻璃帶，於上述緩冷爐內進行冷卻；玻璃帶切斷裝置，其於玻璃帶切斷空間內切斷經冷卻之上述玻璃帶；耳部切斷裝置，其於耳部切斷空間內切斷形成於經切斷之上述玻璃帶之寬度方向之兩端部的耳部；及調整機構，其以上述玻璃帶切斷空間之氣壓相對於上述耳部切斷空間之氣壓變得較高之方式，調整上述玻璃帶切斷空間及上述耳部切斷空間中之至少一者的氣壓。
  5. 如請求項4之玻璃板之製造裝置，其中上述調整機構包含：壓力感測器，其於上述玻璃帶切斷空間及上述耳部切斷空間中測量氣壓之壓力；送風機與集塵裝置中之至少任一機器，該送風機係自大氣對上述玻璃帶切斷空間及上述耳部切斷空間內送入空氣，該集塵裝置係抽吸上述玻璃帶切斷空間及耳部切斷空間內之空氣而進行集塵；及控制裝置，其根據上述壓力感測器之測量結果而調整上述機器。
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