201121087 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明，係有關於使太陽電池作激勵發光，並經由該 發光光來檢查太陽電池之缺陷的太陽電池之缺陷檢查裝置 、其之缺陷檢查方法，以及用以在電腦上實行該缺陷檢查 方法之程式。 特別是，本發明，係有關於不需具備有被作了遮光的 暗房，而能夠在通常之明亮度的環境中來藉由太陽電池之 發光光來檢查出太陽電池之缺陷的太陽電池之缺陷檢查裝 置。 【先前技術】 在先前技術中，於太陽電池或太陽電池串亦或是太陽 電池模組之檢查中，係藉由目視來對於太陽電池表面是否 存在有碎裂一事作檢查。 於此，「太陽電池」係指被稱作太陽電池胞之1枚的 太陽電池，「太陽電池串」係指將太陽電池胞作了複數枚 之串聯連接者，而「太陽電池模組」則係指將太陽電池胞 作複數枚之串聯以及並聯性連接以得到所需之電壓與電流 者。然而，不論是在何者的情況中，最終而言檢查均係爲 對於各個的太陽電池胞而進行者。故而，在本說明書中之 所謂的「對太陽電池進行檢查」的情況中，其對象係包含 太陽電池胞、太陽電池串、太陽電池模組之任一者。 在專利文獻1中，係揭示有：藉由在太陽電池中流動 -5- 201121087 順方向之電流使其作激勵發光，並利用此激勵發光之現象 (以下，稱爲「激勵發光現象」），來對於太陽電池之缺 陷作檢查的技術。亦即是，在專利文獻1中，係揭示有一 種技術，其係利用下述之現象，來對於太陽電池之缺陷作 檢查，亦即是：由於在存在有碎裂等之缺陷的部位，電流 係不會流動，因此會成爲較正常之部分而更暗，而在存在 有短路等之缺陷的部位，電流則會流動更多，因此會成爲 較正常之部分而更亮。 具體而言，在專利文獻1中，係揭示有下述一般之技 術：亦即是，在檢查對象之太陽電池中流動順方向之電流 並使太陽電池發光，再藉由CCD( Charge Coupled Device )攝像機來對於發光之該太陽電池的畫像作攝像，而將所 攝像了的畫像導入至電腦中，並且使並不存在有缺陷之基 準太陽電池同樣的作發光，再藉由CCD攝像機來對於發光 之基準太陽電池的基準畫像作攝像，而將所攝像了的基準 畫像導入至電腦中，接著，取得該些之2個的畫像之差分 ，並將相較於一定之臨限値而成爲更暗之部位或者是更亮 之部位，作爲有可能存在有缺陷之部位而進行強調顯示， 再由檢查員來對於缺陷之有無作判定。又，在專利文獻1 中亦揭示有下述之技術：亦即是，代替上述之由檢查員所 進行的缺陷之有無的判定，而使電腦根據存在有缺陷之可 能性的部位之較暗像素數或者是較亮像素數而自動進行判 定。 另一方面，在專利文獻2中，係與專利文獻1相同的， -6- 201121087 而揭示有一種利用在太陽電池中流動有電流的情況時之E L (Electro — Luminescence)光來對於缺陷作檢查的技術。 由於EL光係爲微弱的光，因此爲了檢測出EL光，係成爲 需要將檢查對象之太陽電池以及檢查裝置全體作覆蓋的大 型之暗房，而成爲問題，但是，在專利文獻2中，係對於 解決此一問題點之手法作了提案。 具體而言，在專利文獻2中，係揭示有一種太陽電池 之檢査裝置，其係具備有：於上面而具備有將檢查對象之 太陽電池作載置之透明板的暗房，並在該暗房中收容攝像 機或者是攝像機驅動機構等，而將檢查對象之太陽電池放 置在該暗房之透明版上，並從透明板之下方來藉由攝像機 而對於檢查對象之太陽電池的畫像作攝像。 若依據專利文獻2之技術，則由於係並不需要將檢查 對象之太陽電池收容在暗房中，因此係能夠將暗房小型化 〇 〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕 〔專利文獻1〕日本特開2 0 0 8 - 2 6 1 1 3號公報 〔專利文獻2〕日本專利第4 1 5 3 0 2 1號公報 【發明內容】 〔發明所欲解決之課題〕 如同由上述之說明而亦能夠明白一般，從先前技術起 ’便提案有下述一般之技術：亦即是，對於太陽電池照射 201121087 可視光或者是近紅外線等，或是藉由EL或PL ( Photo Luminescence)等來在PN接合部處激勵電子或者是光子， 再藉由對於激勵子之固體內能量帶遷移輻射光作了攝像之 畫像，來檢測出太陽電池之缺陷。 然而，由EL或PL等所致之激勵發光的輻射光，係爲微 弱。在專利文獻1中，雖然並不存在有關於在使太陽電池 發光並對於太陽電池之畫像作攝像時所使用的暗房之記述 內容，但是，由於在使太陽電池發光時之發光光係爲微弱 ，因此，在對於正在發光之太陽電池的畫像作攝像時，明 顯的會需要將檢查對象之太陽電池以及對於太陽電池之畫 像作攝像的攝像機作包圍之暗房。 上述暗房，由於係需要防止外部之光的進入並成爲能 夠對於微弱之太陽電池的發光光作攝影，因此，構造係必 須要成爲緻密，並且，係必須要將檢查對象之太陽電池斷 續性地作搬入或者是搬出。故而，暗房之搬入搬出口的構 造係無法避免地變得複雜。 因此，在先前記述中，係存在有太陽電池之檢查裝置 全體會成爲大型化且複雜化之問題。 針對此，在專利文獻2中，係提案有一種具備小型之 暗房的太陽電池之檢查裝置。 的確，若是依據專利文獻2之發明，則由於係並不需 要將檢查對象之太陽電池收容在暗房中，因此，相較於先 前記述之不得不將檢查對象之太陽電池作收容的暗房，係 能夠將暗房小型化。 -8 - 201121087 又，若依據專利文獻2之發明，則由於係只需要將檢 查對象之太陽電池載置於被設置在暗房之上面的透明板處 即可，因此，用以將太陽電池對於暗房而作搬入或者是搬 出之複雜的搬入搬出口之構造，係成爲不必要。 然而，在專利文獻2中，由於係存在著外光會從被設 置在暗房之上面的透明板而進入至暗房中之可能性，因此 ，係設置有對於進入至暗房中之外光作遮蔽的遮光手段。 該遮光手段，除了檢查對象之太陽電池係爲大型並且能夠 將透明板之全面無空隙地作覆蓋的特殊情況之外，在通常 之檢查中，係爲必須。 又，雖然專利文獻2之暗房係由於不需要將太陽電池 搬入而能夠相較於先前技術之暗房而更加小型化，但是， 爲了能夠對於檢查對象之太陽電池作掃描，係必須要將攝 像機以及其之驅動機構收容在暗房中。故而，係仍然需要 設置大型之箱狀的暗房。因此，係無法防止太陽電池之檢 查裝置全體的大型化。 另外，在太陽電池之缺陷檢查裝置中，明顯的，若是 能夠使暗房本身消失，則不僅是能夠將太陽電池之缺陷檢 查裝置小型化，並且太陽電池之缺陷檢查裝置的配置亦成 爲自由，而有著能夠使包含皮帶輸送帶等之太陽電池之製 造裝置全體的佈局成爲更加自由之優點。 因此，本發明所欲解決之其中一個課題，係在於提供 一種：並不具備暗房之利用有太陽電池之激勵發光現象的 太陽電池之缺陷檢查裝置以及其之缺陷檢查方法。 -9 - 201121087 又，在先前技術中，由於太陽電池之激勵發光光係爲 微弱，因此，爲了得到充分之曝光量，係會耗費時間，於 該期間中，試料之溫度會上升，在攝像中，該太陽電池之 畫像本身會劣化，而有著缺陷之畫像變得模糊並使缺陷之 檢測率降低的問題。 特別是’當對於包含有複數之太陽電池的太陽電池串 或者是太陽電池模組而攝像EL光的情況時，缺陷之檢測率 的降低係爲顯著。 另一方面，若是將供給至太陽電池之電流增大，則能 夠在短時間內得到強的E L光，但是，亦有著由於電流增大 而成爲會在短時間內使溫度上升的問題。 因此，本發明所欲解決之其中一個課題，係在於提供 一種：能夠將太陽電池之發熱抑制在最小限度，並且將施 加之電流增大而成爲能夠得到鮮明之缺陷部位畫像的太陽 電池之缺陷檢查裝置》 〔用以解決課題之手段〕 本發明之太陽電池之缺陷檢査裝置，其特徵爲，具備 有：電源手段，係爲了使檢查對象之太陽電池作激勵發光 ，而對於前述檢查對象之太陽電池施加順方向之電壓；和 攝像手段，係對於前述檢查對象之太陽電池的畫像作攝像 :和畫像處理手段，係對於經由前述攝像手段所攝像了的 畫像進行處理；和輸出手段，係將經由前述畫像處理手段 而作了處理的畫像輸出，前述攝像手段，係具備有：光學 -10- 201121087 濾波器，係使前述檢查對象之太陽電池的激勵發光光之波 長帶域近旁的光透過；和光電影像變換元件’係將透過了 前述光學濾波器之光變換爲可視光；和攝像元件，係使經 由前述光電影像變換元件所變換了的可視光在攝像面上作 結像，並對於前述檢查對象之太陽電池之作了'激勵發光的 狀態之畫像作攝像。 又，本發明之太陽電池之缺陷檢查方法，其特徵爲， 具備有：將檢查對象之太陽電池作載置之階段；和爲了使 前述檢查對象之太陽電池作激勵發光，而對於前述檢查對 象之太陽電池施加順方向之電壓之階段；和使用光學濾波 器，而使前述檢査對象之太陽電池的激勵發光光之波長帶 域近旁的光透過之階段；和使用光電影像變換元件，而將 透過了前述光學濾波器之光變換爲可視光之階段；和使用 攝像手段，而使經由前述光電影像變換元件所變換了的可 視光在攝像面上作結像，並對於前述檢查對象之太陽電池 的作了激勵發光之狀態下的畫像作攝像之階段；和將經由 前述攝像手段所攝像了的畫像作顯示之階段。 又’本發明之太陽電池之缺陷檢查裝置，其特徵爲， 具備有：電源手段，係爲了使檢査對象之太陽電池作激勵 發光’而對於前述檢查對象之太陽電池施加順方向之電壓 ;和攝像手段，係對於前述檢查對象之太陽電池的畫像作 攝像；和畫像處理手段’係對於經由前述攝像手段所攝像 了的畫像進行處理；和輸出手段，係將經由前述畫像處理 手段而作了處理的畫像輸出’前述畫像處理手段，係藉由 -11 - 201121087 對於並未激勵發光之狀態下的太陽電池之第1畫像和正在 作激勵發光之狀態下的太陽電池之第2畫像而取得兩者間 之差分，來產生差分畫像，並藉由對於所產生了的差分畫 像進行處理，而產生對於並未作激勵發光之缺陷部分作了 強調的監測畫像。 又，本發明之太陽電池之缺陷檢査方法，其特徵爲， 具備有：取得並未作激勵發光之狀態下的太陽電池之第1 畫像之階段；和取得藉由對於前述檢査對象之太陽電池施 加順方向之電壓而正在作激勵發光之狀態下的太陽電池之 第2畫像之階段；和藉由取得前述第1畫像與前述第2畫像 間之差分而產生差分畫像之階段；和藉由對於前述所產生 了的差分畫像進行處理，而產生將並未作激勵發光之缺陷 部份作了強調的監測畫像之階段。 又，本發明之程式，其特徵爲，係使電腦實行下述階 段：取得並未作激勵發光之狀態下的太陽電池之第1畫像 之階段；和取得藉由對於前述檢查對象之太陽電池施加順 方向之電壓而正在作激勵發光之狀態下的太陽電池之第2 畫像之階段；和藉由取得前述第1畫像與前述第2畫像間之 差分而產生差分畫像之階段；和藉由對於前述所產生了的 差分畫像進行處理，而產生將並未作激勵發光之缺陷部份 作了強調的監測畫像之階段。 又，本發明之太陽電池之缺陷檢査裝置’其特徵爲’ 具備有：電源手段，係爲了使檢查對象之太陽電池作激勵 發光，而對於前述檢查對象之太陽電池施加順方向之電壓 -12- 201121087 ;和攝像手段’係對於前述檢查對象之太陽電池的畫像作 攝像；和畫像處理手段’係對於經由前述攝像手段所攝像 了的畫像進行處理；和輸出手段，係將經由前述畫像處理 手段而作了處理的畫像輸出，前述畫像處理手段，係具備 有··傅立葉變換手段，係藉由對於正在激勵發光之狀態下 的太陽電池之畫像施加傅立葉變換處理，而將前述太陽電 池之畫像變換爲作爲頻率區域之資料而作了表現的第1頻 率區域資料；和濾波手段，係藉由對於前述第1頻率區域 資料施加特定之瀘波處理，而產生將在前述第1頻率區域 資料中之具有週期性的頻率成分作了降低的第2頻率區域 資料；和傅立葉逆變換手段，係藉由對於前述第2頻率區 域資料施加傅立葉逆變換處理，而產生前述監測畫像。 本發明之太陽電池之缺陷檢查方法，其特徵爲，具備 有：藉由對於正在作激勵發光之狀態的太陽電池之畫像施 加傅立葉變換處理，而將前述太陽電池之畫像變換爲作爲 頻率區域之資料來作了表現的第1頻率區域資料之階段； 和藉由對於前述第1頻率區域資料施加特定之濾波處理， 而產生將前述第1頻率區域資料中之具有週期性的頻率成 分作了降低之第2頻率區域資料之階段；和藉由對於前述 第2頻率區域資料施加傅立葉逆變換處理，而產生前述監 測畫像之階段。 又，本發明之程式，其特徵爲，係使電腦實行下述階 段：藉由對於正在作激勵發光之狀態的太陽電池之畫像施 加傅立葉變換處理，而將前述太陽電池之畫像變換爲作爲 -13- 201121087 頻率區域之資料來作了表現的第1頻率區域資料之階段； 和藉由對於前述第1頻率區域資料施加特定之濾波處理， 而產生將前述第1頻率區域資料中之具有週期性的頻率成 分作了降低之第2頻率區域資料之階段；和藉由對於前述 第2頻率區域資料施加傅立葉逆變換處理，而產生前述監 測畫像之階段。 〔發明之效果〕 一般而言，太陽電池若是作激勵發光，則其之激勵發 光光之波長係位在近紅外線之狹窄的波長帶域中。 通常之CCD攝像機或者是CMOS ( Complementary Metal Oxide Semiconductor)攝像機，係幾乎無法對於近 紅外線之波長帶域的光作攝影，而主要是對可視光作攝影 。故而，在先前技術中，爲了將通常之環境下的可視光遮 斷並對於太陽電池之微弱的發光光作攝像，通常係在暗房 內進行攝像。 相對於此，由本發明所致之太陽電池之缺陷檢查裝置 ，係設爲在通常之輝度的環境下，在使檢查對象之太陽電 池作激勵發光的狀態下，藉由光學濾波器來使檢査對象之 太陽電池的激勵發光光之波長帶域近旁的近紅外線光透過 ，接著，藉由光電影像變換元件，來將透過了光學濾波器 之近紅外線光變換爲能夠藉由對於通常之可視光波長帶域 的畫像作攝像之攝像機來攝像之光，最後，對於被變換爲 可攝像之光的檢査對象之太陽電池的畫像作攝像。 -14- 201121087 藉由以光學濾波器來僅使在缺陷檢測中所必要之激勵 發光光的波長帶域近旁之近紅外線光透過，並且以光電影 像變換元件來將透過了光學濾波器之近紅外線光變換爲可 攝像之可視光帶域的光，就算是在先前技術中而幾乎不存 在有感度且攝像係爲困難的近紅外線光，亦能夠經由現行 之CCD攝像機或者是CMOS攝像機來對於正在作激勵發光 之檢查對象之太陽電池的畫像作攝像。 如此這般，若依據本發明，則藉由以光學濾波器來將 可視光遮斷，係能夠將暗房省略。藉由此，係能夠將太陽 電池之缺陷檢查裝置設爲小型且簡單的構造。 又，若依據本發明之其中一種形態，則係經由攝像手 段，來對於檢查對象之同一太陽電池，在同一環境下而對 於正在作激勵發光之畫像和並未作激勵發光之畫像作攝像 ，並經由將攝像了的畫像數位化，而產生畫像資料，再從 此檢查對象之太陽電池的正在作激勵發光之畫像的各像素 之明亮度，而減去並未作激勵發光之畫像的各像素之明亮 度，藉由此，來產生將背景光作了除去的檢査對象之太陽 電池的正在作激勵發光之畫像。 於先前技術中，光學濾波器，係能夠將可視光帶域之 光遮斷，並使檢查對象之太陽電池的激勵發光光之波長帶 域近旁的近紅外線光透過，但是，只要是相同波長帶域近 旁之近紅外線光，則會作爲背景光而被攝入至正在作激勵 發光之檢查對象之太陽電池的畫像中。 相對於此’若依據本發明，則由於係將並未作激勵發 -15- 201121087 光之狀態的檢查對象之太陽電池（亦即是，透過了光學濾 波器之從外部而來的近紅外線光）除去，因此，能夠僅將 檢查對象之太陽電池的激勵發光光抽出，並能夠得到將外 部攪亂之影響作了降低並顯現出缺陷等的檢査對象之太陽 電池的畫像。 又，若依據本發明之其中一種形態，則係藉由時序控 制區塊或者是藉由數位控制，來對於檢查對象之太陽電池 流動順方向之電流，並且，配合於檢査對象之太陽電池的 進行激勵發光之特定的時序，來經由攝像手段而對於檢查 對象之太陽電池的畫像作攝像。 若依據本發明，則只要在從攝像前之特定時間起直到 攝像時爲止的期間中來對於檢查對象之太陽電池流動順方 向之電流便已足夠。因此，不需要涵蓋長時間地而對於檢 査對象之太陽電池流動電流，而能夠將起因於發熱所導致 之檢查對象之太陽電池的畫像之劣化抑制在最小限度。 又，由於係在短時間內而流動電流，因此，能夠在檢 査對象之太陽電池中，而流動使強的激勵發光光產生之大 電流，並能夠將具備有缺陷等之資訊的畫像，以更低的雜 訊來產生之。 又，若依據本發明之其中一種形態，則不需使用光學 濾波器，便可藉由以軟體所進行之畫像處理來得到檢査對 象之太陽電池的畫像，因此，係能夠將太陽電池之缺陷檢 查裝置小型化。 又，若依據本發明之其中一種形態，則由於係以電腦 -16- 201121087 來算出缺陷部分之面積，並根據所算出之缺陷部分之面積 來判定太陽電池是否爲不良品，因此，係能夠將是否爲不 良品之判別一事容易化。 又’若依據本發明之其中一種形態，則由於電腦係在 被判定爲不良品之太陽電池具備有特定之條件的情況下， 將被判定爲不良品之太陽電池判定爲準不良品，因此，係 能夠將被判定爲不良品之太陽電池之一部分，作爲並不要 求太高之性能的太陽電池而利用之。又，當被判定爲不良 品之原因，係起因於太陽電池之髒污的情況時，藉由讓使 用者將太陽電池之髒污除去，係成爲能夠將被判定爲不良 品之太陽電池作爲良品來利用。 又，若依據本發明之其中一種形態，則由於電腦係在 實行了傅立葉變換後，產生將具有週期性之成分所集中之 區域除去的濾波器，因此，在濾波處理中所被除去之區域 ，相較於帶通濾波器，係會變小。其結果，能夠將不需要 除去之畫像被作除去的比例抑制在最小限度。 又，若依據本發明之其中一種形態，則由於電腦係從 頻率區域資料之畫像的一半之畫像來產生濾波器，因此， 係能夠將爲了產生濾波器所進行之電腦的處理量降低。 【實施方式】 以下，參考圖面，對本發明之實施形態作詳細說明。 針對本實施形態之太陽電池之缺陷檢查裝置的構成作 說明。圖1，係爲對於本實施形態之太陽電池之缺陷檢查 -17- 201121087 裝置1 00的其中一例作展示之構成圖。圖2，係爲從箭頭A-A方向來對於圖1之太陽電池之缺陷檢查裝置1〇〇作了觀察 的部分性側面圖。圖3，係爲對於圖1之電腦108的內部構 成之其中一例作展示的區塊圖。 如同此些之圖1以及圖2中所示一般，本實施形態之太 陽電池之缺陷檢査裝置100，係具備有電源裝置102、和攝 像裝置104、和記億裝置106、以及電腦108。進而，在此 太陽電池之缺陷檢查裝置1〇〇中，係被設置有用以載置檢 査對象之太陽電池110的載置台120。在此載置台120上， 係被設置有用以使攝像裝置104在水平方向（圖1之X方向 )上作移動之導引軌122。又，此載置台120之頂板，係由 使光透過之透明板126所構成。 電源裝置102，係爲用以對於此太陽電池之缺陷檢査 裝置100的各處供給電源之裝置。例如，電源裝置102，係 對於攝像裝置104和記憶裝置106以及電腦108供給電源， 並且，爲了使檢查對象之太陽電池作激勵發光，而對於檢 查對象之太陽電池110施加順方向之電壓》對於太陽電池 1 10之電壓的施加，係經由電源線112而進行》 攝像裝置104，係爲用以對於檢查對象之太陽電池11〇 之畫像作攝像，並根據所攝像了的畫像來產生畫像資料， 再將所產生了的畫像資料儲存在記憶裝置106中之裝置。 此記憶裝置1 06，係藉由所謂的大容量之外部記憶裝置而 構成。在本實施形態中，此攝像裝置1 04，係藉由不僅是 可攝像可視光且亦可對於近紅外線光作攝像之裝置所構成 -18- 201121087 。如同上述一般’由於載置台120之頂板係藉由透明板126 所構成’因此’攝像裝置〗04，係可從載置台1 2〇之下側來 對於太陽電池Π 〇之畫像作攝像。 如圖1中所示一般’在本實施形態中，檢查對象之太 陽電池110，係將複數之太陽電池胞1 10a作串聯連接所構 成者。在藉由攝像裝置1〇4來對於太陽電池胞ll〇a之畫像 作攝像時’如圖1以及圖2中所示一般，爲了防止碎屑或者 是塵埃附著在攝像裝置1〇4之透鏡上，係將欲進行攝像之 太陽電池胞ll〇a藉由防塵蓋124來作覆蓋。故而，如果是 碎屑或塵埃爲少的作業環境，則此防塵蓋1 24係成爲不必 要。 電腦1 0 8，係爲用以從記憶裝置1 06而取得畫像資料， 並對於所取得之畫像資料施加由軟體所進行之畫像處理， 而產生監測畫像，並且進行畫像解析，以判定所攝像了的 太陽電池胞1 l〇a是否爲良品之裝置。而，此電腦108，係 將判定結果儲存在記憶裝置1 〇6中。亦即是，電腦1 08，係 藉由軟體而實現畫像處理手段。 在結束了 4枚的太陽電池胞1 l〇a之檢查後，此太陽電 池之缺陷檢查裝置100的使用者’係藉由對於電腦進行 操作，而取得檢查對象之太陽電池的各太陽電池胞 1 1 〇a之判定結果’並判斷由複數之太陽電池胞1 1 〇a所構成 的太陽電池1 1 〇是否爲良品。例如’在圖1之例中，當4枚 的太陽電池胞1 1 〇a之判疋結果全部爲良品的情況時’使用 者係能夠將由該4枚之太陽電池胞n0a所構成的太陽電池 -19- 201121087 1 10判斷爲良品。 如圖3中所示一般，本實施形態之電腦1 08 ’主要係具 備有：CPU ( Central Processing Unit) 140、和 RAM ( Random Access Memory ) 142、和 ROM ( Read Only
Memory) 144、和輔助記憶裝置146、和顯示畫面148、以 及使用者介面150。 CPU 1 40，係爲進行在此電腦108中之各種的演算或者 是控制之處理部。在藉由此CPU140所進行之演算或處理 中所需要的程式，係被儲存在ROM 144或者是輔助記憶裝 置146中，並藉由使CPU 140實行程式，來實現各種之演算 或者是控制。又，當CPU140實行程式時，係適宜地使用 有RAM 142，並將資料或演算結果暫時性地儲存在RAM 142 中〇 輔助記億裝置146，係爲所謂的可進行抹寫之非揮發 性記憶裝置，例如，係可藉由硬碟等來構成之。 顯示畫面148，係爲用以將此電腦108之處理結果或者 是對於使用者之指示作顯示的畫面。例如，顯示畫面148 ，係可藉由液晶顯示裝置或者是CRT ( Cathode Ray Tube )顯示裝置等來構成之。 使用者介面150，例如係藉由鍵盤、滑鼠等而構成之 。經由此使用者介面1 50，使用者係對於電腦1〇8而輸入各 種之指示或資料。又’藉由以觸控面板來構成使用者介面 150，亦可將使用者介面150與顯示畫面148作一體化。 另外，圖3之電腦1 08 ’係亦可與將處理結果作輸出之 -20- 201121087 印表機等的任意之輸出裝置或者是經由通訊線路（未圖示 )而作了連接的任意之輸出裝置作連接。 〔第1實施形態〕 針對本發明之第1實施形態作說明。 針對第1實施形態之攝像裝置1 〇4的構成作說明。圖4 ’係爲對於桌1貫施形態之攝像裝置1〇4的內部構成之其中 一例作展示之圖。 如圖4中所示一般，第1實施形態之攝像裝置1 04，係 具備有第1透鏡130A、和第2透鏡130B、和光學濾波器12、 和光電影像變換元件1 3、和攝像元件1 3 2、以及處理單元 134。第1透鏡130A以及第2透鏡130B，係分別爲單一之透 鏡或者是由複數之透鏡所構成的透鏡群。 圖4之第1透鏡130A，係爲將檢查對象之太陽電池11〇 (太陽電池胞ll〇a)之激勵發光光在光學濾波器12上作結 像的透鏡。 光學濾波器1 2，係爲使藉由第1透鏡1 3 0 A所作了結像 的激勵發光光之波長帶域近旁的光作透過之濾波器。例如 ，光學濾波器1 2，係爲被稱作陡峭截止濾波器以及/或者 是寬帶通濾波器的濾波器。陡峭截止濾波器，係爲將特定 波長以下之光遮斷並僅使較特定波長更長之光作透過的濾 波器。所謂寬帶域濾波器，係爲使特定波長帶域之光透過 的濾波器。 現今，太陽電池Π 0之主要的材料，係爲矽（S i )。 -21 - 201121087 由此矽（Si )所製作之太陽電池（以下，稱作「Si太陽電 池」）的激勵發光光之波長，主要係爲l/zm(1 000nm) 以上之長波長。對於1/zm以上之長波長，CCD攝像機或者 是CMOS攝像機之感度係幾乎均未作對應。 在第1實施形態中，係藉由使用上述之陡峭截止濾波 器以及/或者是寬帶通濾波器，而將l#m( lOOOnm )以 下之波長帶域的光（可視光）遮斷，並使Si太陽電池之激 勵發光光的主要波長帶域之lem( lOOOnm )以上的近紅 外線光透過。 藉由此，通常之明亮度之環境下的可視光係被遮斷， 僅有Si太陽電池之激勵發光光的波長帶域近旁之近紅外線 光會通過光學濾波器12。 上述之陡峭截止濾波器或者是寬帶通濾波器，係可配 合於經由檢查對象之太陽電池110的種類所決定之應遮斷 的光之波長帶域，來作選擇交換。 光電影像變換元件13，係爲將透過了光學濾波器12之 光變換爲可藉由攝像元件1 3 2來作攝像之可視光的模組。 在光電影像變換元件13中，當入射光接觸到光陰極時，入 射光係作爲光子而起作用，並放出光電子。此光電子，係 藉由電場而被作加速，並使螢光體發光，而成爲可視光。 例如，光電影像變換元件13，係爲藉由Na2KSb所形成的 S20光陰極。 第2透鏡1 3 0B，係爲使藉由光電影像變換元件1 3所變 換了的可視光在攝像元件132之攝像面上作結像之透鏡。 -22- 201121087 第2透鏡130B，係可被設置在攝像元件132之外部，亦可被 組入至攝像元件1 3 2中。 攝像元件1 32，係爲對於可視光之波長帶域的畫像作 攝像之模組。具體而言，攝像元件1 32，係將藉由第2透鏡 1 30B所作了結像的可視光變換爲電性訊號，並將變換後的 電性訊號輸出至處理單元13 4處。處理單元134，係根據藉 由攝像元件1 3 2所攝像了的畫像（變換後之電性訊號）， 來產生身爲數位資料之畫像資料，並將所產生了的畫像資 料儲存在記億裝置106中。藉由此，而從藉由第2透鏡130B 所作了結像的像來攝像檢查對象之太陽電池1 1 〇之畫像。 例如，攝像元件132，係爲CMOS攝像元件。例如，處理單 元134，係爲畫像處理電路或者是畫像處理用處理器。處 理單元1 3 4，係可被設置在攝像元件1 3 2之外部，亦可被組 入至攝像元件1 3 2中。 針對第1實施形態之太陽電池之缺陷檢査處理作說明 。圖5，係爲對於第1實施形態之太陽電池之缺陷檢查處理 之處理程序作展不之流程圖。 如圖5中所示一般，首先，係將檢查對象之太陽電池 1 ίο載置於特定位置處（sioo)。例如，「特定位置」， 係爲載置台120之透明板126上。 接著，藉由電源裝置102，而對於檢查對象之太陽電 池110施加順方向之電壓，並使檢查對象之太陽電池110作 激勵發光（S102 )。 接著，藉由光學濾波器12，將正在作激勵發光之檢查 -23- 201121087 對象之太陽電池i10的可視光帶域之光遮斷’並僅使激勵 發光光之波長帶域近旁的近紅外線光透過（S104) ° 接著，藉由光電影像變換元件13 ’而將透過了光學濾 波器12之近紅外線光變換爲可視光（亦即是’可藉由對於 通常之可視光帶域的畫像作攝像之攝像元件1 3 2來作攝像 之光）（S106 )。 接著，藉由攝像元件1 3 2 ’來根據可攝像之可視光而 對於檢查對象之太陽電池110之畫像作攝像。接著，藉由 處理單元134，來根據所攝像了的畫像而產生身爲數位資 料之畫像資料（S108 )。 如同上述一般所攝像了的檢查對象之太陽電池110的 畫像，係從電腦108之顯示畫面148而被作輸出（S110)。 另外，此畫像，係亦可輸出至印表機等之任意的輸出裝置 或者是經由通訊線路而作了連接的裝置處。 若依據第1實施形態之太陽電池之缺陷檢查裝置100, 則藉由使攝像裝置104具備有光學濾波器12和光電影像變 換元件13以及攝像元件132，能夠在使檢查對象之太陽電 池110在通常之明亮度的環境中而作激勵發光的狀態下， 而藉由光學濾波器12來將可視光遮斷並使檢查對象之太陽 電池110的激勵發光光之波長帶域近旁的近紅外線光透過 ’接著’藉由光電影像變換元件13來將該近紅外線光變換 爲可視光’接下來，再藉由攝像元件132來對於檢查對象 之太陽電池110的畫像作攝像，接著，藉由處理單元134而 產生畫像資料。 -24- 201121087 藉由此，相對於在先前技術中係爲了將周圍光（亦即 是，周圍之可視光）遮斷而需要暗房，若依據第1實施形 態，則係可將暗房省略。如同由圖1而可明白一般，由於 並沒有大的暗房’因此’係能夠對於檢查對象之太陽電池 110或者是攝像裝置104的位置關係作自由設定，而能夠得 到高效率且緊緻化（compact )的太陽電池之缺陷檢查裝 置 100。 又，由於係將近紅外線光變換爲可視光而對於檢查對 象之太陽電池1 1 0的畫像作攝像，因此，係不需要使用對 於近紅外線光作攝像之高價的InGaAs等之感測器，而可將 對於可視光而具備有感度之CMOS等作爲攝像元件132來作 使用，故能夠得到廉價且信賴性爲高的太陽電池之缺陷檢 查裝置100。 接著，針對第1實施形態之第1變形例作說明。第1實 施形態之第1變形例，係爲從攝像前之一定時間起便對於 檢查對象之太陽電池Π 〇施加電壓，並在攝像後而將所施 加了的電壓作遮斷之例。 圖6，係爲第1實施形態之第1變形例的缺陷檢查處理 之區塊流程圖。 如圖6中所示一般，第1實施形態之第1變形例的太陽 電池之缺陷檢查裝置1〇〇的電腦1〇8，係除了圖3的構成之 外，更具備有時序控制區塊16、和畫像導入介面18。 另外，時序控制區塊1 6，係可藉由硬體（例如同步電 路）來實現之，亦可藉由實行程式之CPU140而實現之。 -25- 201121087 亦即是，電腦1 08係亦可經由軟體來實現時序控制區塊1 6 。以下’爲了易於理解，使用時序控制區塊1 6來作說明。 圖6之畫像導入介面18，係爲將藉由處理單元13 4所產 生了的畫像資料作導入的介面。 針對圖6之時序控制區塊1 6的動作作說明。 時序控制區塊16，係在由攝像裝置104所致的攝像之 特定時間前，對於電源裝置102作控制，並對檢查對象之 太陽電池110施加順方向之電壓。又，時序控制區塊16， 係以配合於檢查對象之太陽電池110會充分地作激勵發光 之特定的時序（亦即是，從對於檢査對象之太陽電池110 施加電壓起而經過了特定之時間時）來輸出攝像指令並對 於檢查對象之太陽電池110之畫像作攝像的方式，來控制 攝像元件1 3 2。 若依據第1實施形態之第1變形例的缺陷檢查裝置1 〇〇 以及其之缺陷檢査方法，則係只要從攝像之特定時間前起 直到攝像時（從對於檢査對象之太陽電池110施加電壓起 而經過了特定時間時）的期間中來對於檢查對象之太陽電 池1 1 0施加順方向之電壓便已足夠。 因此，係不會有涵蓋長時間而對於檢查對象之太陽電 池110施加電壓的情況，並防止由於發熱而使得檢査對象 之太陽電池1 1 〇的畫像改變’而能夠防止缺陷之檢測率的 降低》 又，由於係在短時間內而施加電壓’因此’能夠在檢 查對象之太陽電池110中’而流動使強的激勵發光光產生 -26- 201121087 之大電流，並能夠將具備有缺陷等之資訊的畫像，以更低 的雜訊來產生之。 接著，針對第1實施形態之第2變形例作說明。第1實 施形態之第2變形例，係爲將由於近紅外線光之外光所導 致的外部攪亂除去之例。第1實施形態之第2變形例的缺陷 檢查裝置1 00之構成，係與第1實施形態之第1變形例相同 (參考圖6 )。 圖7，係爲第1實施形態之第2變形例的太陽電池之缺 陷檢查處理的時序表。 於圖7中，縱軸係代表處理或者是動作之種類，橫軸 係代表時間之經過。 如圖7中所示一般，在第1實施形態之第2變形例中， 係設置有：對於並未作激勵發光之狀態的檢查對象之太陽 電池1 1 〇的畫像（以下，稱爲「第1畫像」）作攝像之階段 (圖7之背景光攝像a)、和對於正在作激勵發光之狀態的 檢查對象之太陽電池110之畫像（以下，稱爲「第2畫像」 )作攝像之階段（圖7之發光光攝像b )。 亦即是，在將檢查對象之太陽電池11 〇作載置後，首 先，係攝像第1畫像（圖7之背景光攝像），並根據所攝像 了的第1畫像來產生畫像資料，再將所產生了的相關於第1 畫像之第1畫像資料儲存在輔助記憶裝置1 46中。接著，對 於檢查對象之太陽電池110施加電壓（圖7之電壓施加）’ 並攝像第2畫像（圖7之發光光攝像），並根據所攝像了的 第2畫像來產生畫像資料，再將所產生了的相關於第2畫像 -27- 201121087 之第2畫像資料儲存在輔助記憶裝置146中。 接著，將施加於檢査對象之太陽電池110之電壓作遮 斷（圖7之電壓遮斷）。 接下來，電腦108，係從輔助記憶裝置146而取出上述 之相關於第1畫像之第1畫像資料以及相關於第2畫像之第2 畫像資料，並在每一像素處而檢測出正在作激勵發光之狀 態的畫像（第2畫像）之各像素的明亮度與並未作激勵發 光之狀態的畫像（第1畫像）之各像素的明亮度間的差分 ’藉由此，而產生將外光（背景光）作了除去的檢査對象 之太陽電池1 1 0的正在作激勵發光之狀態的畫像，並將產 生了的畫像輸出（圖7之畫像處理）。例如，被作輸出之 畫像，係作爲監測畫像而被顯示在顯示畫面1 48處。 若依據第1實施形態，則係將外光（背景光）中之近 紅外線光除去，而能夠產生真正的正在作激勵發光之狀態 的檢查對象之太陽電池110的畫像。 亦即是，光學濾波器12係將可視光帶域之光遮斷，並 使太陽電池110之激勵發光光之波長帶域的近紅外線光透 過。也就是說，攝像時之背景光中的近紅外線光，亦會被 攝入至檢査對象之太陽電池110的畫像中。 若依據第1實施形態，則由於係能夠將通過光學濾波 器1 2之外光（背景光）的近紅外線光除去，因此，係能夠 僅將檢查對象之太陽電池110的激勵發光光抽出，並得到 包含有缺陷等之資訊的畫像。 圖8(a)，係對於並不使用光電影像變換元件13而攝 -28- 201121087 像了的太陽電池1 1 0之畫像作展示。圖8 ( b )，係對於將 激勵發光光轉換成了可攝像之光後的太陽電池110之畫像 作展示。由圖8 ( a ) 、 （ b )之比較，可以明顯得知，若 依據第1實施形態，則不需要使用暗房，便能夠得到可將 缺陷鮮明地顯現出來的太陽電池之缺陷檢查裝置1 00以及 其之缺陷檢查方法。 〔第2實施形態〕 針對本發明之第2實施形態作說明。另外，關於與上 述之實施形態相同的內容，係省略其說明。 針對第2實施形態之攝像裝置1 04的構成作說明。圖9 ，係爲對於第2實施形態之攝像裝置1 04的內部構成之其中 一例作展示之圖。 如圖9中所示一般，第2實施形態之攝像裝置1 04，係 具備有透鏡130、和攝像元件132、和處理單元134、以及 外光減輕罩1 3 6。 透鏡1 3 0，係爲將檢查對象之太陽電池1 1 〇 (太陽電池 胞ll〇a)之激勵發光光在攝像元件132上作結像的透鏡。 攝像元件1 3 2，係爲根據藉由透鏡1 3 0所作了結像的激 勵發光光，來攝像檢查對象之太陽電池1 1 0之畫像的模組 。具體而言，攝像元件1 32，係將藉由透鏡1 30所作了結像 的畫像之光變換爲電性訊號，並將變換後的電性訊號輸出 至處理單元134處。例如，攝像元件132，係可藉由CCD影 像感測器或者是CMOS影像感測器等之被配列爲2維之光電 -29- 201121087 變換元件而構成之。 處理單元134，係爲根據藉由攝像元件132所攝像了的 畫像（電性訊號），來產生身爲數位資料之畫像資料，並 將所產生了的畫像資料儲存在記憶裝置1 06中的模組。 外光減輕罩1 3 6，係爲用以將透鏡1 3 0或者是攝像元件 132之周圍作包圍並對於從側方向而來之外光侵入至此攝 像裝置104的內部之情況作防止者。此外光減輕罩136，由 於上方係被作開放，因此，係並非爲將太陽電池胞1 1 Oa之 激勵發光光以外的從外部而來之光全部作遮斷者，但是， 係至少將從側方向而來之外光作遮斷。因此，係能夠將在 進行太陽電池胞1 1 〇a之缺陷檢査時所不必要的會成爲外部 攪亂之外光作某種程度的減輕。 針對第2實施形態之太陽電池之缺陷檢査處理作說明 。圖10〜圖12，係爲對於第2實施形態之太陽電池之缺陷 檢查處理之處理程序作展示之流程圖。 第2實施形態之缺陷檢查處理，係以圖1 0〜圖1 2之順 序而被實行。此些之圖1〇〜圖12的缺陷檢查處理，係爲藉 由使電腦108之CPU140將被儲存在ROM144或者是輔助記 憶裝置1 46中的缺陷檢查處理程式作讀入並實行，所實現 之處理。又，此缺陷檢查處理，係爲藉由讓使用者對於使 用者介面1 50進行操作並將起動指示輸入至電腦1 08中一事 ，所實現之處理。 如圖1 0中所示一般，若是開始此缺陷檢查處理，則首 先，太陽電池之缺陷檢查裝置1〇〇的電腦’係對於使用 -30- 201121087 者而下達令其進行檢查對象之太陽電池110的搬送與定位 之指示（S200 )。此指示，例如，係被顯示在電腦1 〇8之 顯示畫面148處。而後，使用者’係將太陽電池11〇搬送至 載置台120之透明板126上’並進行其之定位。此搬送與定 位，係可讓使用者以手動作業來進行’亦可使用輸送帶等 來作自動化。在結束了搬送和定位的情況時’使用者係從 電腦108之使用者介面150來將結束確認輸入至電腦1〇8中 〇 接著，太陽電池之缺陷檢査裝置100的電腦108 ’係對 於使用者而下達將探針（省略圖示）連接於檢查對象之太 陽電池1 1 0上的指示（s2 0 2 )。此指示，例如，係被顯示 在電腦108之顯示畫面148處。而後，使用者，係將被設置 在電源線1 1 2之前端側的探針與太陽電池1 1 〇作連接，並成 爲在檢查對象之太陽電池的順方向上流動電流。在結 束了探針之連接的情況時，使用者係從電腦1 〇8之使用者 介面150來將結束確認輸入至電腦108中。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置1〇〇的電腦108，係對 於使用者而下達進行攝像裝置104之定位的指示（S204 ) 。此指示，例如，係被顯示在電腦1 〇 8之顯示畫面1 4 8處。 在本實施形態之太陽電池胞1 1 〇的例中，由於係將4枚的太 陽電池胞1 1 〇a作串聯連接，因此，使用者首先係將攝像裝 置104移動至該些中之第1枚的太陽電池胞110a之位置處並 進行定位。此定位，係藉由在導引軌1 22上來使攝像裝置 104在水平方向上作移動，而進行之。此攝像裝置1〇4之定 -31 - 201121087 位’例如’係可藉由讓使用者以手動作業來移動攝像裝置 104而進行之，或者是’當具備有使攝像裝置1〇4在導引軌 1 22來作行走之功能的情況時，亦可設爲使用此行走功能 來使導引軌上之攝像裝置104作移動。在結束了攝像裝置 104之移動的情況時，使用者係從電腦1〇8之使用者介面 150來將結束確認輸入至電腦1〇8中。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置1 00的電腦1 08，係下 達藉由攝像裝置104來對於並未作激勵發光之狀態的太陽 電池胞110a之畫像（第1畫像）作攝像的指示（S206 )。 此指示，例如，係被顯示在電腦108之顯示畫面148處。使 用者，係根據此指示，而操作攝像裝置1 04，並攝像太陽 電池胞ll〇a之第1畫像。相關於此攝像了的第1畫像之第1 畫像資料，係被儲存在記憶裝置106中。在結束了由此攝 像裝置1 04所進行之攝像的情況時，使用者係從電腦1 08之 使用者介面1 50來將結束確認輸入至電腦1 08中。 接著，太陽電池之缺陷檢査裝置1〇〇的電腦108，係對 於太陽電池1 10施加電壓（S208 )。具體而言，從電腦1〇8 而來之供給指示，係被輸入至電源裝置102中，並根據此 供給指示，而從電源裝置1 02來對於檢査對象之太陽電池 110的順方向流動電流，而太陽電池胞110a係作激勵發光 〇 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係對 於使用者而下達藉由攝像裝置104來對於正在作激勵發光 之狀態的太陽電池胞1 10a之畫像（第2畫像）作攝像的指 -32- 201121087 示（S 2 1 0 )。此指示，例如，係被顯示在電腦1 〇 8之顯示 畫面148處。使用者，係根據此指示，而操作攝像裝置1〇4 ’並攝像太陽電池胞110a之第2畫像。相關於此攝像了的 第2畫像之第2畫像資料，亦係被儲存在記億裝置106中。 在結束了由此攝像裝置1 04所進行之攝像的情況時，使用 者係從電腦1 08之使用者介面1 50來將結束確認輸入至電腦 1 〇8中。在此結束確認被作了輸入的情況時，太陽電池之 缺陷檢查裝置100的電腦108，係對於電源裝置102輸出停 止指示，並停止對於太陽電池1 1 0之電壓的施加。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100，係進行差分畫 像之產生（S212)。亦即是，太陽電池之缺陷檢查裝置 1 00的電腦1 08，係對於記憶裝置1 06作存取，並取得相關 於在S206處所攝像了的並未作激勵發光之狀態的太陽電池 胞U 〇a的第1畫像之第1畫像資料、和相關於在S2 10處所攝 像了的並未作激勵發光之狀態的太陽電池胞110a的第2畫 像之第2畫像資料，而產生取得了 2個的畫像（第〗以及第2 畫像）間之差分的差分畫像。由於攝像裝置1 04係對於可 視光與近紅外線光之雙方作攝像，因此，藉由取得正在作 激勵發光之狀態的太陽電池胞1 1 〇a之第1畫像與並未作激 勵發光之狀態的太陽電池胞1 1 Oa之第2畫像，其兩者間的 差分，係能夠取得以藉由太陽電池胞1 1 〇a之激勵發光所產 生的近紅外線光而構成的差分畫像。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係將 在S212處所產生了的差分畫像作顯示（S214)。具體而言 -33- 201121087 ，係在電腦108之顯示畫面148處，顯示所產生了的差分畫 像。 接著，如圖11中所示一般，太陽電池之缺陷檢查裝置 100的電腦108，係對於在S212處所產生了的差分畫像，而 施加旁通濾波處理（s 220 )。此旁通濾波處理，係爲空間 頻率濾波處理的其中一種，並爲用以使畫像之高頻成分通 過且將低頻成分除去的由軟體所進行之畫像處理，一般而 言，係爲爲了對於畫像之邊緣或者是輝度變化爲大之部分 作強調所使用的雜訊除去處理。在第2實施形態中，藉由 施加此一由軟體所進行之畫像處理，係從差分畫像而將陰 暗且不具備有明亮度（輝度）之變化的位在太陽電池胞 1 1 〇a之外側處的背景部分作削除。 圖13，係爲對於在S212中所產生了的差分畫像之直方 圖之其中一例作展示的圖。在此圖13之直方圖中，其之橫 軸係爲明亮度（輝度），其之縱軸則係代表像素數。又， 在此圖13之直方圖中，係對於R (紅）、G (綠）、B (藍 )之各別的明亮度（輝度）之RGB直方圖以及此些之合成 的明亮度（輝度）之直方圖作了展示。明亮度（輝度）， 例如係藉由從最爲陰暗之輝度値〇直到最爲明亮之輝度値 2 5 5爲止的25 6灰階來作表現。 在此圖13之直方圖中，在橫軸之明亮度（輝度）的中 央附近所出現之峰値，係爲構成藉由激勵發光所產生了的 近紅外線光之畫像的像素之集合，出現在橫軸之明亮度（ 輝度）的左側處之峰値，係爲構成太陽電池胞1 1 〇a之外側 -34- 201121087 的陰暗之背景部分的畫像之像素的集合。藉由在S22 0處而 施加旁通濾波處理’由於係從差分畫像而將陰暗且沒有明 亮度（輝度）之變化的位在太陽電池胞1 1 0 a之外側處的背 景部分作削除，因此，其結果，出現在直方圖之左側的陰 暗背景部分之像素的集合，係成爲被削除。 接著，如圖11中所示一般，太陽電池之缺陷檢查裝置 1 〇〇的電腦1 〇8，係對於施加了旁通濾波處理之差分畫像， 而施加直方圖平坦化處理（S222)。此直方圖平坦化處理 ，係爲使畫像之直方圖成爲平坦的由軟體所進行之畫像處 理，一般而言，係爲用以對於畫像之對比度作強調所使用 的對比度強調處理。在第2實施形態中，亦同樣的，係爲 了對於在S220處所得到的施加了旁通濾波處理之差分畫像 的對比度作強調，而進行之。 圖14，係爲對於在從圖13之直方圖而將背景部分之畫 像作了除去後，再施加了 S222之直方圖平坦化處理後的直 方圖之其中一例作展示之圖。若是對於畫像施加直方圖平 坦化處理，則相對於各明亮度（輝度）之像素數係被分散 ，像素數之分布係被全體性地均一化。因此，在圖1 3之直 方圖中而出現在明亮度（輝度）之中央附近處的像素之峰 値，在圖14之直方圖中，係被分散至廣範圍中，並被作平 坦化。故而，在差分畫像中之明亮度（輝度）的差係變大 ，並成爲對於對比度作了強調。另外’作爲直方圖平坦化 處理之特性，存在於圖13之直方圖中的像素數’和存在於 圖14之直方圖中的像素數，係成爲相同。 -35- 201121087 接著，如圖11中所示一般，太陽電池之缺陷檢查裝置 100的電腦108，係對於在S222處而施加了直方圖平坦化處 理之差分畫像，施加由移動平均所進行之RGB平滑化處理 (S224 )。此RGB平滑化處理，係對於各像素之每一者， 而針對R (紅）、G (綠）、B (藍）的個別之明亮度（輝 度）來算出移動平均，並將畫像模糊化的由軟體所進行之 畫像處理，一般而言，係爲用以將雜訊除去所使用的雜訊 除去處理。在第2實施形態中，例如，係藉由對於各像素 之每一者而計算出5x5像素之移動平均，來對於R (紅）、 G (綠）、B (藍）的個別之明亮度（輝度）而進行平滑化 〇 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係對 於在S224處而施加了由移動平均所進行之RGB平滑化處理 的差分畫像，而施加中値濾波處理（S226 )。此中値濾波 處理，亦係爲用以將畫像之雜訊除去所進行的由軟體所進 行之畫像處理。在第2實施形態中，例如，係將3x3像素之 明亮度（輝度），依照其之輝度値的大小順序而作排列， 並將身爲中央値之第5亮的明亮度（輝度），設爲該3x3像 素之中央的像素之輝度値。將此處理，以所有的像素作爲 對象，並對於R (紅）、G (綠）、B (藍）的個別之明亮 度（輝度）而進行之。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦1〇8，係將 在S226處而被施加了中値濾波處理之差分畫像，作爲監測 畫像而顯示在顯示畫面148上（S228)。此一在顯示畫面 -36- 201121087 1 48上而被作顯示之監測畫像，當在所攝像了的太陽電池 胞1 1 0a中存在有缺陷的情況時，係成爲對於該缺陷而作了 強調的畫像，並成爲讓使用者能夠容易地視覺性判斷缺陷 之有無的畫像。亦即是，係攝像了由藉由太陽電池胞1 1 〇a 之激勵發光所放出的近紅外線光所致之畫像，並且，藉由 對此近紅外線光之畫像的對比度作強調並將雜訊除去所產 生了的監測畫像，係被顯示在顯示畫面1 48上。 接著’如圖12中所示一般，太陽電池之缺陷檢查裝置 1 〇〇的電腦1 08，係將在監測畫像中之陰暗部的面積計算出 來（S24〇 )。具體而言，電腦1 〇8，係對於監測畫像之各 像素的明亮度（輝度）爲較特定値更小之像素數作計數。 在此S240中，係根據將RGB之明亮度（輝度）作了合成後 的明亮度（輝度），來進行該判斷。例如，係對於合成後 之明亮度（輝度）的値爲較1 〇〇更小之像素的數量、亦即 是對於明亮度（輝度）之値爲〇〜100之像素的數量作計數 。而後，藉由（計數了的像素數）X ( 1像素之實際的面積 )，來計算出所攝像了的太陽電池胞1 10a之陰暗部的面積 〇 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係判 斷在S240處所算出了的陰暗部之面積是否較第1臨限値更 大（S242)。例如，若是設爲：當太陽電池胞ll〇a之全體 面積係爲lm2，並存在有較其之全體面積的1 %而更大之面 積之陰暗部的情況時’則將該太陽電池胞1 1 〇a判斷爲不良 品，則第1臨限値係成爲0 · 0 1 m 2。因此’在S 2 4 2中，係判 -37- 201121087 斷在S240中所算出了的陰暗部之面積是否較0.01 m2更大。 當陰暗部之面積並未較第1臨限値更大的情況（S242 :NO )、亦即是陰暗部之面積係爲第1臨限値以下的情況 時，係將所攝像了的太陽電池胞1 l〇a判定爲良品（S244 ) ，並將該判定結果儲存在記憶裝置106中（S246 )。 另一方面，在S242中，當判斷陰暗部之面積係較第1 臨限値更大的情況（S242 : YES )時，係將監測畫像中之 臨界部的面積計算出來（S248 )。於此，所謂臨界部，係 指在監測畫像中，在被判定爲陰暗部之部分中而明亮度（ 輝度）仍相對性的較爲明亮之部分。例如，在第2實施形 態中，係將明亮度（輝度）之値爲80〜100之部分，定義 爲臨界部。故而，在S248中，係對於明亮度（輝度）之値 爲80〜100之像素的數量作計數。而後，藉由（計數了的 像素數）x(l像素之實際的面積），來計算出所攝像了的 太陽電池胞ll〇a之臨界部的面積。 定義爲臨界部之明亮度（輝度）的範圍，係可適當作 設定，但是，若是如同上述一般，設定爲被定義成陰暗部 之明亮度（輝度）的値之範圍中的上位2 0%左右之値的範 圍，則可以推測，就算在後述之S252中而將其判定成身爲 可作利用之太陽電池1 1 〇的準良品，亦不會有問題。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置1〇〇的電腦108，係判 斷在S2M處所算出了的臨界部之面積是否較第2臨限値更 大（S25〇 )。於此，S25 0之第2臨限値，係被設定爲較 S 2 42之第1臨限値更小。在第2實施形態中，例如，係將第 -38- 201121087 2臨限値設定爲第1臨限値之8 0 %的〇 . 〇 〇 8 m2。此係因爲’在 被判斷爲陰暗部之面積中，當較80 %而更大之面積係身爲 臨界部的情況時，則可以推測其之缺陷的程度係相對性的 較輕微。故而，在第2實施形態中，係將80%作爲基準値， 而將攝像了的太陽電池胞1 1 0 a在準良品與不良品之間作區 分。 針對被判定爲準良品之太陽電池11 〇，例如，係可作 爲並不被要求有太高之性能的太陽電池1 1 〇來作利用。又 ，在被判定爲準良品之太陽電池1 1 〇中，亦可能包含有僅 單純爲在其之表面上附著有髒污者。對於此種太陽電池 1 1 〇 ’係成爲能夠藉由讓使用者將該髒污除去而作爲良品 來利用之。 在此S 2 5 0中，當判斷臨界部之面積爲較第2臨限値更 大的情況（S 2 5 0 : γ E S )時，太陽電池之缺陷檢查裝置 100的電腦108，係將所攝像了的太陽電池胞UOa判定爲準 良品（S25 2 )，並將該判定結果儲存在記憶裝置106中（ S 246 )。 另一方面，在S250中，當判斷臨界部之面積並未較第 2臨限値更大的情況（s 2 5 0 : N 0 )時、亦即是臨界部之面 積係爲第2臨限値以下的情況時，太陽電池之缺陷檢查裝 置100的電腦108，係將所攝像了的太陽電池胞1 l〇a判定爲 不良品（S 25 4 )，並將該判定結果儲存在記憶裝置1 06中 (S246 )。 在此S246之後，太陽電池之缺陷檢查裝置1〇〇之電腦 -39- 201121087 108，係判斷是否存在有下一個檢查對象的太陽電池胞 1 1 0 a ( S 2 5 6 )。例如，在本實施形態中，太陽電池1 1 〇由 於係藉由4枚的太陽電池胞1 1 0a所構成，因此，係判斷第4 枚之太陽電池胞1 l〇a的檢査是否結束。此太陽電池胞1 l〇a 之枚數，若是事先讓使用者在電腦1 08中作設定，則電腦 1 08係成爲藉由對於攝像枚數作計數而能夠自動地作判斷 。或者是，電腦108，係亦可設爲：在顯示畫面148上，顯 示對於使用者而指示將是否存在有下一個的檢查對象之太 陽電池胞ll〇a—事作輸入的指示畫面，並根據從使用者而 來之指示輸入的結果，來判斷是否存在有下一個的檢查對 象之太陽電池胞1 l〇a。 太陽電池之缺陷檢查裝置1〇〇的電腦108，當並不存在 有下一個的檢查對象之太陽電池胞1 l〇a的情況（S2 56 : NO )的情況時，係結束第2實施形態之缺陷檢查處理。另 一方面，當存在有下一個的檢查對象之太陽電池胞110a的 情況（S25 6 : YES )時，則係回到上述之S204，並對於使 用者而下達進行對於下一個的檢查對象之太陽電池胞110a 的攝像裝置104之定位的指示（S2 04 )，而反覆進行上述 之S206以後的處理。 如同上述一般，若依據第2實施形態之太陽電池之缺 陷檢查裝置100(參考圖9)，則由於係對於差分畫像施加 由軟體所進行之畫像處理，並產生對於缺陷區域作了強調 的監測畫像，因此，係能夠將在第1實施形態之攝像裝置 104 (參考圖4)中所需要的光學濾波器12與光電影像變換 -40- 201121087 元件1 3省略。故而，相較於第1實施形態，係能夠謀求攝 像裝置1 04的小型化。又，相較於第1實施形態，係能夠將 構成攝像裝置1 04之零件數量作削減，並且，藉由此，亦 能夠謀求製造成本之降低。 進而，若依據第2實施形態之太陽電池之缺陷檢查裝 置1 〇〇，則係設爲：將在所得到之監測畫像中的明亮度（ 輝度）爲較第1特定値（例如1 0 0 )更小的部分之面積，作 爲缺陷部分之面積而計算出來，並在S242中，當此缺陷部 分之面積爲較第1臨限値更大的情況時，讓電腦一義性地 將此太陽電池1 1 〇判定爲不良品。故而，係能夠將是否爲 不良品一事之區分容易化。 又，在S 242中’就算是被一義性地判定爲不良品的太 陽電池110，當將在監測畫像中之明亮度（輝度）爲落在 較第1特定値（例如1 〇 〇 )更小之第2特定値（例如8 0 )和 第1特定値（例如1 〇〇 )之間的臨界部之面積計算出來，並 在S 2 5 0中判斷此臨界部之面積爲較第1臨限値更小且較第2 臨限値更大的情況時，係將被一義性地判定爲不良品之太 陽電池判定爲準良品。故而，係成爲能夠將被判定爲準良 品之太陽電池110’作爲並不被要求有太高之性能的太陽 電池1 1 0來作利用。又，當被判定爲準良品之理由，係起 因於太陽電池1 1 0表面之髒污的情況時，藉由讓使用者將 該髒污除去’係成爲能夠將被判定爲準良品之太陽電池 110作爲良品來利用。 另外，在第2實施形態之缺陷檢查處理中的旁通濾波 -41 - 201121087 處理、由移動平均所進行之RGB平滑化處理、以及中値濾 波處理，僅係爲從差分畫像而將雜訊除去之雜訊除去處理 的其中一例，當然，亦可設爲使用其他之處理來將雜訊除 去。同樣的，在上述之第2實施形態之缺陷檢查處理中的 直方圖平坦化處理，僅係爲用以對於差分畫像之對比度作 強調的對比度強調處理之其中一例，亦可設爲使用其他之 處理來對於對比度作強調。 〔第3實施形態〕 針對本發明之第3實施形態作說明。另外，關於與上 述之實施形態相同的內容，係省略其說明。 第3實施形態之攝像裝置1 04之構成，係與第2實施形 態相同（參考圖9 )。 針對第3實施形態之太陽電池之缺陷檢查處理作說明 。圖1 5，係爲對於第3實施形態之太陽電池之缺陷檢査處 理之一部份的處理程序作展示之流程圖。圖15，係爲與上 述之第2實施形態的圖1 1相對應之圖。 第3實施形態之缺陷檢查處理，係以圖1 0、圖1 5以及 圖12之順序而被實行。此些之圖10、圖15以及圖12的缺陷 檢查處理，係爲藉由使電腦108之CPU1 40將被儲存在 ROM1 44或者是輔助記憶裝置146中的缺陷檢査處理程式作 讀入並實行，所實現之處理。又，此缺陷檢查處理，係爲 藉由讓使用者對於使用者介面150進行操作並將起動指示 輸入至電腦108中一事，所實現之處理。 -42- 201121087 如圖1 0中所示一般，若是開始此缺陷檢查處理，則係 實行與第2實施形態相同之處理（S200〜S214)。 若是圖10之S21 4結束，則如圖15中所示一般，太陽電 池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係將在S2 12處所產生了 的差分畫像作爲處理畫像而使用，並施加傅立葉變換處理 (S3 20 )。此傅立葉變換處理，係爲用以從某一波形成分 而將被包含於該波形中之頻率成分抽出的處理，例如，係 爲可藉由高速傅立葉變換（FFT( Fast Fourier Transform ))之演算法來實現的由軟體所進行之畫像處理。藉由此 傅立葉變換處理，係得到將處理畫像作爲頻率區域之資料 來作了表現的頻率區域資料。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係藉 由對於在S 3 20處所得到了的頻率區域資料施加濾波處理， 而將具有週期性之頻率成分降低（S 3 22 )。此濾波處理， 亦係爲藉由電腦1 08所實行之由軟體所進行的畫像處理。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係對 於在S3 22處而將具有週期性之頻率成分作了降低的頻率區 域資料，而施加用以將雜訊降低並對於連續之陰暗部作強 調的濾波處理（S324)。此濾波處理，亦係爲藉由電腦 所實行之由軟體所進行的畫像處理。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦1〇8，係對 於在S3 24處而進行了將雜訊降低並對於連續之陰暗部作強 調的處理後之頻率區域資料，而施加傅立葉逆變換處理（ S 3 26 )。此傅立葉逆變換處理，係爲用以將藉由頻率區域 -43- 201121087 而被作表現之資料回復至藉由時間區域而被作表現之波形 資料的處理，例如，係爲可藉由高速傅立葉逆變換（IF FT (Inverse Fast Fourier Transform))之演算法來實現的由 軟體所進行之畫像處理。藉由此傅立葉逆變換處理，係可 從藉由頻率區域而作了表現的頻率區域資料來得到監測畫 像，但是，此監測畫像，係成爲將在處理畫像中之具有週 期性的畫像（雜訊）成分作了除去。 圖16〜圖22，係爲用以對於圖15之傅立葉變換處理（ S320 )與濾波處理（S322以及S324 )以及傅立葉逆變換處 理（S3 26 )的處理內容作具體性說明之圖。 圖16，係爲用以對於此些之一連串的處理內容作說明 之樣本畫像。若是將此圖16之樣本畫像沿著線A而作探索 並將其之輝度畫成圖表而作展示，則係成爲如同圖17—般 。在此圖1 7之圖表中，縱軸係代表輝度，橫軸係代表時間 、亦即是係對於圖16之樣本畫像中之橫方向的位置作展示 。如同由此圖17而可得知一般，沿著圖16之樣本畫像的縱 方向而並排存在的電極配線，在圖17之圖表中亦係週期性 地出現。 若是對於此圖1 7之輝度圖表的波形成分施加傅立葉變 換處理，則係得到如同圖1 8中所示一般之頻率區域資料的 圖表。在此圖1 8之圖表中，縱軸係代表振幅，橫軸係代表 頻率。如同由此圖18之圖表而可得知一般，在圖18之頻率 區域資料的圖表中，圖17之週期性，係作爲頻率成分而被 抽出，該當於圖17之週期性的頻率成分之振幅，係以大的 -44- 201121087 値而出現。 因此’藉由將圖18之此一大振幅的部分之頻率成分經 由濾波處理來除去，而變換爲圖19中所示一般之圖表。若 是對於此圖1 9中所示之藉由頻率區域而作了表現的頻率區 域資料施加傅立葉逆變換處理，則如同圖20中所示一般， 沿著縱方向而並排存在之電極配線係被除去。 此些之相關於圖17〜圖19之說明，雖係爲對於圖16之 樣本畫像而沿著線A來作掃描的情況所作的說明，但是， 若是將此掃描對於身爲在S212處所產生之差分畫像的處理 畫像之全體來進行，並施加傅立葉變換處理（S320)，則 例如係能夠得到如圖2 1中所示一般之頻率區域資料的畫像 。若是將此圖2 1中所示之頻率區域資料的畫像簡單化，則 係成爲如圖22中所示一般。在樣本畫像中具有週期性之雜 訊，係如同以線B所包圍一般，而出現爲高的振幅。因此 ，藉由將此被線B所包圍之部分經由濾波處理（S322 )來 除去，能夠將存在於處理畫像中之電極配線除去。 在具體性之濾波處理（S322 )中’係存在有各種形態 。例如，係可針對圖2 1之頻率成分的畫像，而取得功率頻 譜PS。此功率頻譜PS，係可藉由PS=/"(實數X實數+虛 數X虛數）而計算出來。藉由對於此功率頻譜”之大小作 調整，並將頻率成分藉由功率頻譜P S來作除算’能夠得到 將週期性之變動除去後的頻率區域資料之畫像。 在此S 3 2 2之後，於S 3 2 4處’係實行用以將雜訊降低並 對於連續之陰暗部作強調的濾波處理。在第3實施形態中 -45- 201121087 ，爲了將高頻成分作爲雜訊而除去，係產生高斯濾波器。 又，爲了將邊緣抽出，係產生微分濾波器。而後，將高斯 濾波器與微分濾波器作乘算，並產生新的濾波器。藉由將 此新產生之濾波器施加於在S 3 22處而將週期性之變動作了 除去的頻率區域資料的畫像上，能夠將高頻成分除去並將 邊緣抽出。另外，所謂高斯濾波器，係爲針對濾波對象之 像素而對於離像素越近者附加越大之權重，並隨著遠離而 施加較小的權重，再將此乘算至濾波對象之畫像上而計算 出來的濾波器。此權重分布，係成爲高斯分布函數。 或者是，代替此種使用有高斯濾波器與微分濾波器之 處理，亦可設爲進行使用有高斯導函數濾波器之處理。亦 即是，藉由將高斯導函數濾波器施加於在S322處而將週期 性之變動作了除去的頻率區域資料的畫像上，能夠將高頻 成分除去並將邊緣抽出。另外，高斯導函數濾波器，係爲 對於上述之高斯分布函數作了微分者，例如，在第3實施 形態中，係設爲藉由對於高斯分布而在水平方向上作微分 ，而得到之。 在對於處理畫像（差分畫像）而施加了此種由軟體所 進行之畫像處理後，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦 108，係將在S3 26處所產生了的監測畫像，顯示在顯示畫 面148上（S328)。此一在顯示畫面148上而被作顯示之監 測畫像，係將電極配線等之具有週期性的畫像成分除去， 又’當在所攝像了的太陽電池胞1 1 0 a中存在有缺陷的情況 時’係成爲對於該缺陷而作了強調的畫像，因此，係成爲 -46- 201121087 讓使用者能夠容易地視覺性判斷缺陷之有無的畫像 若是結束了圖1 5中之S 3 2 8，則係實行與第2實 相同之處理（圖12之S240〜S256)。 如同上述一般，若依據第3實施形態之太陽電 陷檢查裝置1 00，則由於係對於身爲差分畫像之處 施加由軟體所進行之畫像處理，而將具有週期性之 分除去，並將雜訊降低，且產生對於連續之陰暗部 調的監測畫像，因此，係能夠將在第1實施形態之 置104 (參考圖4)中所需要的光學濾波器12與光電 換元件1 3省略。故而，相較於第1實施形態，係能 攝像裝置1 04的小型化。又，相較於第1實施形態， 將構成攝像裝置1 〇4之零件數量作削減，並且，藉 亦能夠謀求製造成本之降低。 進而，若依據第3實施形態之太陽電池之缺陷 置1 0 0，則係設爲：將在所得到之監測畫像中的明 輝度）爲較第1特定値（例如1 00 )更小的部分之面 爲缺陷部分之面積而計算出來，並在S242中，當判 陷部分之面積爲較第1臨限値更大的情況時，讓電月 義性地將此太陽電池1 1 〇判定爲不良品。故而，係 是不良品或者是良品一事之區分容易化。 又’在S242中，就算是被一義性地判定爲不良 陽電池1 1 0，當將在監測畫像中之明亮度（輝度） 較第1特定値（例如1 0 0 )更小之第2特定値（例如 第1特定値（例如1 〇〇 )之間的臨界部之面積計算出 施形態 池之缺 理畫像 畫像成 作了強 攝像裝 影像變 夠謀求 係能夠 由此， 檢查裝 亮度（ 積，作 斷此缺 i 108 — 能夠將 品的太 爲落在 80 )和 來，並 -47- 201121087 在S250中判斷此臨界部之面積爲較第1臨β 臨限値更大的情況時，係將被一義性地判 陽電池判定爲準良品。故而，係成爲能夠 品之太陽電池110，作爲並不被要求有太 電池1 1 0來作利用。又，當被判定爲準良 因於太陽電池1 1 0表面之髒污的情況時， 該髒污除去，係成爲能夠將被判定爲準 110作爲良品來利用。 〔第4實施形態〕 針對本發明之第4實施形態作說明。 述之實施形態相同的內容，係省略其說明 在上述之第3實施形態中，係設爲： 作激勵發光之狀態的太陽電池胞1 l〇a之第 資料、和相關於正在作激勵發光之狀態的 之第2畫像的第2畫像資料，而取得兩者間 差分畫像作爲處理畫像來使用，而進行了 軟體所進行的畫像處理，但是，在第4實 可設爲：並不使用差分畫像，而是將正在 態的太陽電池胞1 1 0a之畫像直接作爲處理 進行S320以後之處理。 第4實施形態之攝像裝置104之構成’ 實施形態相同（參考圖9 ) » 針對第4實施形態之太陽電池之缺陷 艮値更小且較第2 定爲不良品之太 將被判定爲準良 高之性能的太陽 品之理由，係起 藉由讓使用者將 良品之太陽電池 另外，關於與上 〇 對於相關於並未 1畫像的第1畫像 太陽電池胞1 1 〇 a 之差分，並將此 S320〜S328之由 施形態中，係亦 作激勵發光之狀 畫像來使用，並 係與第2以及第3 檢查處理作說明 -48 - 201121087 。圖2 3，係爲對於第4實施形態之太陽電池之缺陷檢查處 理之一部份的處理程序作展示之流程圖。圖23，係爲與上 述之第2實施形態的圖1 0相對應之圖。 如圖23中所示一般，最初，係實行與第2實施形態相 同之處理（S200〜S204)。 當在S204中而使用者結束了攝像裝置之定位後，太陽 電池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係對於太陽電池1 10 施加電壓（S20 8 )。具體而言，從電腦108而來之供給指 示，係被輸入至電源裝置1 02中，並根據此供給指示，而 從電源裝置102來對於檢查對象之太陽電池110施加順方向 的電壓。藉由此，在檢查對象之太陽電池110的順方向上 係流動有電流，太陽電池胞1 1 〇a係作激勵發光。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置1〇〇的電腦108，係對 於使用者而下達藉由攝像裝置104來對於正在作激勵發光 之狀態的太陽電池胞ll〇a之畫像作攝像的指示（S2 10)。 此指示，例如，係被顯示在電腦108之顯示畫面148處。使 用者，係根據此指示，而操作攝像裝置104，並攝像正在 作激勵發光之狀態的太陽電池胞1 1 〇a之畫像。相關於此攝 像了的畫像之畫像資料，係被儲存在記憶裝置1 〇6中。在 結束了由此攝像裝置1 〇4所進行之攝像的情況時’使用者 係從電腦1 〇8之使用者介面1 50來將結束確認輸入至電腦 1 08中。在此結束確認被作了輸入的情況時，太陽電池之 缺陷檢查裝置1〇〇的電腦108，係對於電源裝置1〇2輸出停 止指示，並停止對於太陽電池1 1 0之電源的供給。 -49- 201121087 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦108 ’係對 於記憶裝置106作存取，並取得相關於在S210中所攝像了 的正在作激勵發光之狀態的太陽電池胞110a之畫像的畫像 資料，並將該畫像作爲處理畫像而顯示在電腦108之顯示 畫面148上（S212)。又，在第4實施形態中，係根據此處 理畫像，來進行上述之第3實施形態的圖I5中之S3 20以後 的處理。 如同上述一般，若依據第4實施形態之太陽電池之缺 陷檢查裝置100，則由於係設爲將在S210處所攝像了的正 在作激勵發光之狀態的太陽電池胞ll〇a之畫像直接作爲處 理畫像來使用，並進行S3 20以後之處理，因此’係能夠使 在取得處理畫像時之使用者的攝像次數成爲1次。故而， 能夠減輕在取得處理畫像時之使用者的作業，又，亦能夠 謀求在作業中所需要之時間的縮短。 又，在上述之第3以及第4實施形態中之缺陷檢査處理 S3 22處的使用有功率頻譜PS之處理，係僅爲用以從將處理 畫像作爲頻率區域之資料來作了表現的頻率區域資料而將 具有週期性之頻率成分作降低的處理之其中一例，亦可設 爲使用與此相異之其他處理，來將具有週期性之頻率成分 降低。 又，在第3以及第4實施形態之S3 24處的使用有高斯濾 波器與微分濾波器之處理或者是使用有高斯導函數濾波器 之處理，係亦可作省略。亦即是，如同上述之與圖〗5相對 應的圖24中所示一般，亦可僅設爲在S 3 22處而從頻率區域 -50- 201121087 資料之畫像來將具有週期性之頻率成分降低，便實行S326 之傅立葉逆變換。此事，例如在像是當所得到之處理畫像 中的雜訊爲少，而成爲不需要進行在S324中之用以將雜訊 降低並對於連續之陰暗部作強調之處理的情況時’係爲有 效。 〔第5實施形態〕 針對本發明之第5實施形態作說明。另外，關於與上 述之實施形態相同的內容，係省略其說明。 第5實施形態之攝像裝置104之構成，係與第2〜第4實 施形態相同（參考圖9 )。 針對第5實施形態之太陽電池之缺陷檢查處理作說明 。圖2 5，係爲對於第5實施形態之太陽電池之缺陷檢查處 理之一部份的處理程序作展示之流程圖。圖25，係爲與上 述之第4實施形態的圖24相對應之流程圖。圖26 ’係爲在 圖10之S2 10中所攝像了的正在作激勵發光之狀態的太陽電 池胞110a之畫像。圖27〜圖30，係爲藉由圖25之S320、 S52 1〜S 523所得到的頻率區域資料之畫像。圖31以及圖32 ，係爲藉由圖25之S525、S526所得到的第1濾波器F1以及 第2濾波器F2之槪略圖。圖33，係爲用以對於圖25之S527 作說明的槪略圖。圖34，係爲藉由圖25之S 5 27所得到的頻 率區域資料之畫像。圖35，係爲藉由圖25之S526所得到的 太陽電池胞110a之畫像。 第5實施形態之缺陷檢查處理’係以圖1 〇、圖2 5、圖 -51 - 201121087 12之順序而被實行。此些之圖10、圖25、圖12的缺陷檢查 處理，係爲藉由使電腦108之CPUMO將被儲存在ROM144 或者是輔助記憶裝置146中的缺陷檢查處理程式作讀入並 實行，所實現之處理。又，此缺陷檢查處理，係爲藉由讓 使用者對於使用者介面150進行操作並將起動指示輸入至 電腦108中一事，所實現之處理。 如圖10中所示一般，若是開始此缺陷檢查處理，則係 實行與第2實施形態相同之處理（S200〜S214)。藉由此 ，係得到圖26之正在作激勵發光之狀態的太陽電池胞1 1 〇a 之畫像。在圖26之太陽電池胞110a的畫像中，係攝入有身 爲在太陽電池胞1 l〇a之表面而於X方向上以一定之間隔而 被作了配置的構件之於Y方向上作延伸的指狀電極。由於 攝入有此指狀電極，碎裂之檢測係變得困難。以下，針對 用以將被攝入至圖26之太陽電池胞1 10a之畫像中的指狀電 極作除去之處理作說明。 若是結束了圖10之S214，則係實行圖25之傅立葉變換 (S320)。傅立葉變換（S320)，係與第3實施形態（圖 15之傅立葉變換（S 3 2 0 ))相同。藉由此，係得到將EL畫 像在頻率區域上而作了展開的圖27之頻率區域資料的畫像 。於圖27中，係出現有相對於畫像之中心Ο而相對稱的亮 點A 1以及亮點A2。此亮點A 1、A2，係爲對應於指狀電極 之成分。身爲對應於指狀電極之成分的亮點Al、A2會成 爲相對於圖27之中心Ο而相對稱的原因，係由於指狀電極 爲在圖26之X方向上而以一定之間隔被作配置之故。從中 -52- 201121087 心Ο起直到亮點A 1、A 2之距離’係經由空間頻率而被作決 定。另外，匯電條（busbar )電極，係在圖26之Y方向上 而被以一定間隔作配置，但是’匯電條電極之亮點，係並 不會相對於圖27之中心Ο而成爲對稱。又，在本實施形態 中，由於匯電條電極係在1個的太陽電池胞1 1 〇a而僅配置 有3根，因此，係並不具有週期性。 如此這般，指狀電極之成分，由於係相對於圖27之中 心0而對稱性地出現，因此，係能夠相對於線YY而從左半 邊之畫像或者是右半邊之畫像的其中一者來作抽出。因此 ，太陽電池之缺陷檢查裝置1〇〇的電腦108，係相對於圖27 之畫像的線Y Y而將左半邊的畫像抽出（S 5 2 1 )。藉由此 ，而得到圖2 8之畫像。另外，太陽電池之缺陷檢查裝置 1 00的電腦1 0 8，係亦可設爲相對於在S 3 2 0中所得到的圖2 7 之畫像的線YY而將右半邊的畫像抽出。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係將 藉由S 5 2 1所得到了的圖2 8之畫像的亮點之成分，在與線 YY相平行之方向上而作平均化（S522 )。藉由此，而得 到圖2 9之畫像。在圖2 9中，係出現有與線Y Y平行之線， 該些線，係具備有與在圖2 8之畫像中的和線YY相平行之 方向上的亮點之數量成比例的長度。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係將 在S522處而作了平均化的畫像作二値化（S523)。藉由此 ，而得到圖3 0之畫像。在圖3 0中，係至少殘留有與圖2 8之 亮點A 1的成分相對應之線A 1 ’。 -53- 201121087 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係將 圖3 0之畫像中的具有週期性之成分作集中的區域之位置抽 出。具體而言，電腦1〇8，係對於藉由S523所得到之圖30 的畫像，而與線XX相平行地來作掃描，並取得在圖30之 畫像中之最長的線A 1 ’（亦即是，亮點A 1之成分）之位置 X’（ S524 )。但是，具有週期性之指狀電極，由於係出現 在與中心而相距了藉由空間頻率而被作決定的距離之位置 處，因此，爲了將沿著通過中心〇之線YY的線之位置從取 得對象而除去，電腦1 〇8，係注目於從中心Ο而離開了特定 之距離的區域（包含有線XP之區域），而將與中心〇相距 特定之距離以內的區域（包含有OP之區域）忽略。藉由此 ，在圖27之畫像中的具有週期性之成分作集中的區域之位 置（亦即是，對應於指狀電極之亮點A 1的位置），係被抽 出。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置1〇〇的電腦108，係產 生以在S 5 24中所取得了的位置X’作爲中心並具備有特定之 偏位寬幅α的第1濾波器FI ( S525 )。藉由此，而得到圖 31之第1濾波器F1。偏位寬幅α，係可爲固定之値，亦可 爲透過使用者介面150而經由使用者所賦予的任意之値。 第1濾波器F1，係並非絕對被限定於具備有一定之寬幅者 ’而能夠產生任意之形狀（例如，將位置X’作爲中心並具 備有特定之半徑的圓）的第1濾波器F1。 接著，太陽電池之缺陷檢査裝置100之電腦108，係針 對在S525處所產生了的圖31之第1濾波器F1，而產生相對 -54- 201121087 於中心〇而相對稱的第2濾波器F2 ( S 52 6 )。藉由此，而得 到圖32之第2濾波器F2。 接著，太陽電池之缺陷檢查裝置100的電腦108，係對 於藉由S 3 20所得到了的圖27之畫像，而重疊第1濾波器F1 以及第2濾波器F 2。藉由此，而得到圖3 3之畫像。圖3 3之 畫像的與第1濾波器F1以及第2濾波器F2相重疊了的部分（ 亦即是，以位置X’作爲中心並具備有偏位寬幅α之區域） 之成分係被除去（S 5 2 7 )。藉由此，而得到圖3 4之畫像。 若是結束了 S527，則係對於圖34之畫像而實行圖25之 S 3 2 6以及S 3 2 8。S 3 2 6以及S 3 2 8，係與第3實施形態（圖1 5 之S326以及S328)相同。藉由S326，而得到圖35之畫像。 在圖3 5之畫像中，指狀電極係被除去。 於先前技術中，爲了從頻率區域資料之畫像而將指狀 電極之成分除去，係使用有帶通濾波器。然而，在帶通濾 波器中，由於係將一定之頻率帶的成分全部除去，因此， 會連不需要除去的頻率成分均被作除去。其結果，太陽電 池胞1 1 〇a之畫像係會變得紊亂。 相對於此，若依據第5實施形態之太陽電池之缺陷檢 查裝置1 00，則由於係根據頻率區域資料之畫像，來產生 將具有週期性之成分的位置作爲中心並具有偏位寬幅α的 區域作除去之第1濾波器F 1以及第2濾波器F2，因此，相較 於帶通濾波器，在濾波處理中所被除去之區域係變小。其 結果，能夠將不具有週期性之成分的被作除去之比例抑制 在最小限度。在圖35之太陽電池胞1 10a的畫像中，由於指 -55- 201121087 狀電極係完全地被除去，且其他的部分係幾乎均未被除去 ，因此，相較於圖26之太陽電池胞1 10a的畫像，係能夠得 到鮮明之太陽電池胞1 1 〇a的畫像，碎裂等之不良場所的檢 測係變得容易。 又，若依據第5實施形態，則具有週期性之成分所集 中的區域之位置，係被作抽出。故而，就算是因應於太陽 電池1 1 0之種類而使得指狀電極之位置成爲相異的情況時 ，亦能夠將第5實施形態作適用》 又，若依據第5實施形態，則係在S521中將左半邊之 畫像抽出，並根據所抽出了的畫像而產生第1濾波器F1， 之後，再根據第1濾波器F1而產生第2濾波器F2，因此，能 夠將爲了產生濾波器所需要的電腦1 08之處理量降低。 另外，在第5實施形態中，雖係針對接續於圖10之處 理而實行圖25之處理的例子而作了說明，但是，圖25之處 理，係亦可接續於圖23之處理而實行之。 另外，本發明，係並不被限定於上述之第1〜第5實施 形態，而可作各種之變形。例如，在顯示於顯示畫面1 4 8 上之監測畫像中，亦可設爲將被判斷爲臨界部之部分藉由 紅色或是黃色等之相異的顏色來作強調顯示。如此這般， 藉由對於臨界部份附加紅色或是黃色等之顏色來作顯示， 係成爲能夠讓使用者更容易的對於缺陷部分中之何種程度 的面積是身爲臨界部份一事作判斷。 又，在上述之第2〜第5實施形態中，雖係設爲從在 S 2 5 2中被判定爲不良品之太陽電池1 1 0中來因應於臨界部 -56- 201121087 之面積而區別出準良品’但是’此一用以區別出準良品的 處理，係亦可作省略。亦即是，亦可省略S248〜S252，並 設爲當在S242處而判斷陰暗部之面積爲較第i臨限値更大 的情況時，於S254處將其判定爲不良品，並將該判定結果 儲存在記憶裝置106中。 若依據上述之本實施形態，則不需具備有被作了遮光 的暗房，而能夠在通常之明亮度的環境中來藉由太陽電池 110之發光光來檢查出太陽電池110之缺陷。其結果，係能 夠防止太陽電池之檢查裝置110全體的大型化。 另外，在上述之本實施形態中，雖係針對電腦1 0 8藉 由軟體來實現畫像處理手段的例子而作了說明，但是，畫 像處理手段，係亦可藉由被設置在電腦1 0 8之內部的畫像 處理用之半導體積體電路、被設置在電腦108之外部的由 畫像處理用之處理器所致之軟體、或者是被設置在電腦 108之外部的畫像處理用之積體電路的至少1者，來實現之 〇 本發明之實施形態的缺陷檢查裝置1 00之至少一部份 ，係可藉由硬體來構成，亦可藉由軟體來構成。當藉由軟 體來構成的情況時，係亦可將實現缺陷檢查裝置1 〇〇之至 少一部份之功能的程式，儲存在軟碟或者是CD-ROM等之 記錄媒體中，並將其讀入至電腦中而實行之。記錄媒體， 係並不被限定於磁碟或者是光碟等之可裝卸者，亦可爲硬 碟裝置或者是記憶體等之固定型的記錄媒體。 又，亦可將本發明之實施形態的缺陷檢查裝置1 00之 -57- 201121087 至少一部份之功能的程式，透過網際網路等之通訊線路（ 亦包含無線通訊）來作頒佈。進而，亦可在將該程式作了 加密、調變、壓縮的狀態下，來透過網際網路等之有線線 路或者是無線線路作頒佈、或者是儲存在記錄媒體中而作 頒佈。 另外，本發明，係並不被限定於上述之實施形態，在 不脫離其之要旨的範圍內，係可對於構成要素作變形並具 體化。又，亦可藉由將在上述之實施形態中所揭示之複數 的構成要素作適當之組合，來形成各種之發明。例如，亦 可從在上述之實施形態中所揭示的全部構成要素中，將數 個的構成要素削除。進而，亦可涵蓋相異之實施形態，而 將構成要素適當作組合。 【圖式簡單說明】 〔圖1〕對於本實施形態之太陽電池之缺陷檢查裝置 1〇〇的其中一例作展示之構成圖。 〔圖2〕從箭頭A-A方向來對於圖1之太陽電池之缺陷 檢查裝置1 00作了觀察的部分性側面圖。 〔圖3〕對於圖1之電腦108的內部構成之其中一例作 展不的區塊圖。 〔圖4〕對於第1實施形態之攝像裝置104的內部構成 之其中一例作展示之圖。 〔圖5〕對於第1實施形態之太陽電池的缺陷檢查處理 之處理程序作展示之流程圖。 -58- 201121087 〔圖6〕第1實施形態之第1變形例的缺陷檢查處理之 區塊流程圖。 〔圖7〕第1實施形態之第2變形例的太陽電池之缺陷 檢查處理的時序表。 〔圖8〕並不使用光電影像變換元件1 3所攝像了的太 陽電池1 1 0之畫像、以及將激勵發光光變換成可攝像之光 後的檢查對象之太陽電池110之畫像。 〔圖9〕對於第2實施形態之攝像裝置1 04的內部構成 之其中一例作展示之圖。 〔圖1 0〕對於第2實施形態之太陽電池的缺陷檢查處 理之處理程序作展示之流程圖。 〔圖1 1〕對於第2實施形態之太陽電池的缺陷檢查處 理之處理程序作展示之流程圖。 〔圖1 2〕對於第2實施形態之太陽電池的缺陷檢查處 理之處理程序作展示之流程圖。 〔圖13〕對於在S212中所產生了的差分畫像之直方圖 之其中一例作展不的圖。 〔圖14〕對於在從圖13之直方圖而將背景部分之畫像 作了除去後，再施加了 S222之直方圖平坦化處理後的直方 圖之其中一例作展示之圖。 〔圖1 5〕對於第3實施形態之太陽電池之缺陷檢查處 理的一部份之處理程序作展示之流程圖。 〔圖16〕用以對於圖15之傅立葉變換處理（S320)〜 傅立葉逆變換處理（ 326 )的處理內容作具體說明之圖。 -59- 201121087 〔圖17〕將圖16之樣本畫像沿著線A而作探索並將其 之輝度畫成圖表而作展示之圖。 I：圖18〕在對於圖17之輝度圖表的波形成分施加圖15 之傅立葉變換處理（S3 2〇 )’並將輝度波形以頻率區域來 作了表現的情況時’該頻率區域資料之圖表。 〔圖19〕對於圖18之頻率區域資料施加濾波處理（圖 15之S 3 22以及S 3 24 )，並將振幅爲大之部分作了截除後之 頻率區域資料的圖表。 〔圖20〕對於藉由對圖19之頻率區域資料施加圖15之 傅立葉逆變換處理（S 3 2 6 )所得到的畫像之其中一例作展 示之圖。 〔圖21〕對於在對圖10之S212處所產生了的差分畫像 作了掃描後，藉由施加圖15之傅立葉變換處理（S 3 20 )所 得到的頻率區域資料之畫像之其中一例作展示之圖。 〔圖22〕將圖21之畫像作了簡單化並作展示之圖。 〔圖23〕對於第4實施形態之太陽電池之缺陷檢査處 理的一部份之處理程序作展示之流程圖。 〔圖24〕對於第4實施形態之變形例的太陽電池之缺 陷檢査處理的一部份之處理程序作展示之流程圖。 〔圖2 5〕對於第5實施形態之太陽電池之缺陷檢查處 理的一部份之處理程序作展示之流程圖。 〔圖26〕在圖10之S210中所攝像了的正在作激勵發光 之狀態的太陽電池11 〇之畫像。 〔圖27〕藉由圖25之S 3 20所得到的頻率區域資料之畫 -60- 201121087 像。 〔圖2 8〕藉由圖2 5之S 5 2 1所得到的畫像。 〔圖29〕藉由圖25之S 5 22所得到的畫像。 〔圖30〕藉由圖25之S523所得到的畫像。 〔圖31〕藉由圖25之S525所得到的第1濾波器F1之槪 略圖。 〔圖32〕藉由圖25之S526所得到的第2濾波器F2之槪 略圖。 〔圖33〕用以對於圖25之S 52 7作說明的槪略圖。 〔圖34〕藉由圖25之S527所得到的頻率區域資料之畫 像。 〔圖35〕藉由圖25之S326所得到的太陽電池n〇之畫 像。 【主要元件符號說明】 1 2 :光學濾波器 1 3 :光電影像變換元件 1 6 :時序控制區塊 1 8 :畫像導入介面 100:太陽電池之缺陷檢查裝置 102 :電源裝置 104 :攝像裝置 106 :記憶裝置 1 0 8 :電腦 -61 - 201121087 110:檢查對象之太陽電池 1 1 0 a :太陽電池胞 1 1 2 :電源線 120 :載置台 122 :導引軌 124 :防塵罩 126 :透明板 1 30A :第1透鏡 1 3 0 B :第2透鏡 1 3 2 :攝像元件 1 34 :處理單元 1 3 6 :外光減輕罩
140 ： CPU
1 42 ： RAM
1 44 ： ROM 146 :輔助記憶裝置 1 4 8 :顯不畫面 1 5 0 :使用者介面 -62