TW201109106A - Manufacture of sintered silicon alloy - Google Patents
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Description
201109106 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 八:發明係關於一種使用將石夕作為主成分切合金的石夕 結體之製造方法,特別係關於其製造步驟中之脫 水、乾燥方法。 【先前技術】 先前,作為工業用陶竞製品之製造方法,通常係採用 使用有機溶劑作為黏合劑之方法,不使用有機溶劑而以水 為主要黏合劑之成形加工法則完全不採用。其原因在於, 成形加工後之脫水、乾燥極為困難,無法確保穩定之品質。 發明者等為了將作為廉價金屬之石夕有效用作工業用壯 構材料’而對以下法進行反覆研究:❹、特別是含线 及鐵等金屬元素料雜f的廉價金心料料來合成石夕 合金之方法。結果’成功地利用控制型燃燒合成法將如上 所述之廉價金屬料為原料而合成了含有以重量%計為π 〜70之石夕、1〇〜4S夕备 , ,Λ C之氤、i — w之鋁及之氧的矽合 金’對於該石夕合金、其製造方法及製造裝置,先前已作為 日本專利特願2_-60453 (日本專利特願2隊354835之 分割申請案)而提出了申請。 並且,發明者等發明出了 一種使用濕式複合物法與燒 結法之組合來製造石夕合金燒結體之新的製品加工技術,、上 述濕式複合物之特徵在於:其係由將平均粒徑控制於特定 值以下之上述矽合金之粉末、水及成形用黏合劑所構成。 該發明已登記為日本專利第4339352號。 201109106 製造矽合金製品時,要經過以下步驟:於該矽合金粉 末中添加黏合劑及水,藉由混練機而製作複合物,成形為 與最終製品相對應之形狀後,進行乾燥、燒結。此處,若 對使用水作為主要黏合劑而成形之矽合金製坯土之乾燥體 進行燒結,則會產生圖6、7之照片中所示的内部裂縫。 研究結果判明其原因如下。即,於坯土之成形加工時, 成形體内所包含之水分隨著時間經過而於成形體内之多處 局部凝聚,其形成蒸氣而自粒子間之微小間隙蒸發至成形 體外。而且,空氣自外部進入至水分蒸發後殘留於乾燥成 形體内之空孔中。乾燥成形體之燒結時,該空氣由於加熱 而膨脹,於燒結體内部產生裂縫。 [先前技術文獻] [專利文獻] 專利文獻1 :日本專利特開2008-16285 1號公報 [非專利文獻] 非專利文獻 1 : Automotive Technology 9,92 頁(2〇〇8 年) 非專利文獻2:渡邊敏幸等人,Fc Report 26,68頁(2〇〇 年) 8 非專利文獻3 :末野悌六等人,黏土與其利用,朝人 庙(1962年) 書 非專利文獻4 :日本學術振興會,「先進陶瓷之製作方 法與使用方法」,曰刊工業報社(2〇〇5年) 非專利文獻5 :中村正秋等人,「從初步開始學習之 千w 4 201109106 燥技術」,工業調查會( 2008年) 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 如上所述,本此# & ^ 先刖於陶瓷製品之製造中, 機系之黏合劑進杆忐π ^ 通吊係使用有 處理而製造工孝製S’並經過脫黏合劑步驟、燒結 因在於,藉由Li 有機系之樹脂作為點合劑之原 理。3 後之加熱可容易地進行脫黏合劑處 即’有機系之黏合劑若於高溫下受到加 煤而導致製品之性舻汰 ’、則會开v成 我口口之性m ’因此必須預先去除 藉由在黏合劑形成焊之,、w声 、矛、可 行。 煤之/皿度以下之低溫下,緩緩加熱而進 然而,有機系之點合劑於對環境之負擔方面有問題, 而正在研究各種以水為主體之無機黏合劑’但尚未解決如 上所述之由脫水、乾燥步驟之問題引起的燒結後產 缺陷之課題。 因此,本發明之目的在於提供一種使用水作為主要點 合劑w合金㈣土的有效之脫水、乾燥法,而有效率地 獲得無内部裂縫之矽合金製工業製品。 [解決問題之手段] 即,本發明藉由以下的石夕合金燒結體之製造方法來解 決上述課題,該矽合金燒結體之製造方法之特徵在於·· 將以含有以重量%計為30〜70之矽、1〇〜45之氮、i 〜40之銘及卜40之氧為特徵的石夕合金粉末作為原料; 201109106 經由添加以重量%計為10〜40之水作為黏合劑而進_ 混練之步驟、及 订 將經由上述混練步驟而獲得之矽合金製柱土成形為_ 維形狀之步驟,而形成成形體; 將上述成形體於成形後5分鐘以内投入至冷卻介質 中’於上述冷卻介質中保持至少5分鐘以上,使上 a* ^ ^成形 遐円之水分以微細分散狀態而急速冷凍; 保持於設定為未滿水之三相點之壓力的容器内 行燒結^ 。’進 又’本發明提供以下的矽合金燒結體之製造方法, 特徵在於: / ’其 將以含有以重量%計為30〜7〇之矽' 1〇〜 〜〜义氮、1 〜〇之鋁及1〜40之氧為特徵的矽合金粉末作為原料; 經由添加以重量%計為10〜40之水作為黏合劑而 混練之步驟、及 订 將經由上述混練步驟而獲得之矽合金製坯土成形為= 維形狀之步驟,而製作成形體; — 將上述成形體於成形後5分鐘以内投入至設定為, 大氣壓之減壓環境下的容器中; ‘、,,滿1 對上述成形體持續照射2·450 GHz微波至少5分鐘以 後,進行燒結。 里上 進而,本發明提供以下的矽合金燒結體之製造方 其特徵在於: 將以含有以重量%計為3〇〜7〇之矽、1〇〜45之氮、1 201109106 〜40之紹及1〜40之氧作為特徵的矽合金粉末作為原料; ,’至由添加以重量°/〇計為1 0〜40之水作為黏合劑而進行 混練之步驟、及 將經由上述混練步驟而獲得之矽合金製坯土成形為三 維形狀之步驟,而製作成形體; 將上述成形體於成形後5分鐘以内投入至冷卻介質 中’於上述冷卻介質中保持至少5分鐘以上,使上述成形 體内之水以微細分散狀態而急速冷凍後; 將上述成形體投入至設定為未滿丨大氣壓之減壓環境 的容器中; 對上述成形體持續照射2 45〇 GHz微波至少5分鐘以上 後進行燒結。 [發明之效果] 藉由本發明’可將成形體 散之狀態而去除,從而可防止 行陶瓷製品之高速成形,生產 可實現工業用陶瓷製品之廉價 之範圍。 内之水分以凝聚前之微細分 燒結後之裂縫。藉此,可進 性與先前相比極為提昇,故 化,可進一步擴大有效應用 劑’民據本發明之方法,可不使用-切有害之有機溶 獲;一 Π為主要黏合劑來對石夕合金進行成形加工,穩定 之陶竟製品。藉由應用該技術,於㈣業界中 於 〇劑之成形加工技術廣泛地展開, …呆全之方面亦發揮極有利之效果。 【實施方式】 201109106 如上所述,燒結體内部產生裂縫之原因在於··石夕合金 製场土之成形體内之水分隨著時間經過而於成形體内之多 處局部凝聚,其成為蒸氣而釋放至成形體外後,空氣自外 部進入至乾燥成形體内部所殘留之空孔中。 因此,為了防止裂縫之產生,極力防止成形體内所存 在之水分之凝聚係必需且有效的。作為其方法,已發現(㈠ 急速冷康法(以下稱為「FD法」)、(2)微波照射法(以 下稱為「MW法」)較為有效。以下,就各方法加以詳述。 FD法係將矽合金製坯土成形為與最終製品相對應之形 狀後,杈入至冷部介質中而急速冷凍,藉此使微細分散狀 態之水分形成微細之冰粒’而封入在成形體内。作為具體 之冷卻介質,最適為以液態氮、乾冰作為冷卻介質加以冷 卻或經冷凍機冷卻之水溶性醇,或者冷凍機。 繼而,使微細分散之冰粒不回到水之狀態而直接蒸發 飛散至成形體外部。為了可進行該操作,而有效應用了圖2 所示之水之壓力溫度(ρ_τ)狀態圖。藉由溫度及壓力之 變化’而分別生成固相(冰)、液相(水)、氣相(水蒸 氣),交界線上表示處於2相混合存在之狀態,三相點τ 表示處於3相混合存在之狀態。 以下,根據圖2’對使水瞬間成為冰粒、且使該冰粒不 成為水而自陶瓷直接蒸發的本發明之方法加以詳述。 於圖2中,將矽合金製坯土剛成形之後含有於成形體 中的水分之溫度設為τι。由於對水施加有丨大氣壓、約1〇13 hPa之壓力,故經成形之狀態下的内部之水分之狀態係以& 8 201109106 點表示。 岡J成形後之狀態下’内部所含有之水分以微細粒之狀 態而力政。右將該狀態之成形體瞬間冷卻至液態氮等冷卻 介質之溫度(T2),則成形體内部之水分保持微細分散狀 態而冷减’轉移至b點所表示之狀態。 繼而,將經冷凍之成形體投入至未滿P—T狀態圖中的 —相點T之壓力、約6· 1 hPa之低壓狀態之容器中。成形體 内之水分保持結冰狀態而轉移至c點所表示之狀態。 若將真空度保持於未滿三相點τ之壓力且同時使溫度 上升,則於溫度Τ3 ( d點),冰直接形成水蒸氣,自成形 體急速昇華。若將真空度保持於未滿三相點τ之壓力,則 無响怎樣升溫,均產生冰—水蒸氣之昇華現象。藉由併用 適當之加熱機構使成形體升溫,可使其後之乾燥步驟更有 效率。 藉由在未滿三相點Τ之壓力的減壓容器内中,以不自 外部進行加熱之狀態下保持3〇小時,可使成形體之含水率 自最初之23%下降至1%以下。 完全脫水後,於容器内投入氮氣,結束乾燥。即,由 於谷器内處於減壓狀態,故為了取出成形體,必須向容器 内導入空氣等氣體而回到大氣壓。此處,若導入空氣,則 氧會進入至乾燥後之成形體内,而於後續之燒結步驟中與 爐内壁材之碳反應而產生二氧化碳,使内壁損耗,故較佳 為使用氮氣。 圖3為表示乾燥後燒結前之球體之内部的剖面照片。 201109106 突顯出冰粒形成水蒸氣並通 成形體逸出後之貼^ 文粒子之微細粒界間隙自 間,其大小為〇 i 逸出痕跡形成於陶瓷粒子
νν·1 θΓΠ 以下,於 4 lL 毫無利用先前之方法' 而乾燥之成形體内部, 圓4係表示:行==燥之情形― 態之剖面照片。 3中可η處理後的球體内部之狀 體内部變緻密,毫無'之#細間隙已完全燒結,球 叉现在毫無内部裂縫。 :表示先前可看到之内部裂縫狀 比較付知’本發明所發揮之效果極為顯著。之'、'、片相 繼而,一邊參照圓5之壓力、,w ㈣並“ m 您刀皿度(p- T)狀態圖,一 邊對藉由使用微波使成形體 ^ ^ A 八刀蒸發飛散而防止燒έ士 後之内部裂縫的MW法進行說明。 恿、… 若將矽合金製坯土剛成形诒 卢内部之水分之溫 度…T1,則由於對水施加有1大氣壓之壓力,故與圖 2之情形同樣’經成形之狀態下的陶£内之水分之狀態係以 a點所表示。 广此處’若將保持成形體之容器内之壓力減小至低於1 大氣壓之P卜則可使水之氣化溫度自1〇〇t下降至丁4,可 進行有效率之脫水,故其係本發明之推薦條件。 減壓狀態下之成形體内部之水分之狀態係以£點表示。 於e點之狀態下,對水分開始凝聚前、即處於微細分散 狀態之成形體照射2.450 GHz之微波。2.45〇 GHZ之微波被 將水分加熱 水充分吸收’而可容易地將水加熱。藉此,自成形體内部 ,於溫度T4(f點),水形成水蒸氣而氣化。微 10 201109106 波照射中,若將容器内保持於減壓狀態則有效。 可確認,藉由該方法,可與利用FC法之情形同樣地有 效防止燒結體之内部裂縫(參照圖4、6、7)。 [實施例1 ] 以下,一邊參照圖1 ’ 一邊對具體之實施例加以說明。 作為樣品,使用具有表1所示之組成的兩種矽合金。 再者,樣品A係以商標名「Meramix」si而商業銷售之矽 合金粉末,樣品B係能以相較於a更低之溫度燒結之矽人 金粉末。 [表1] 樣品 Si N A1 0 A 47.2 33.0 10.3 7.0 B 50.2 29.8 7.2 12.8 黏合劑主要使用普通水或離子交換水,又,視需要亦 可添加無機黏合劑及燒結助劑,較佳為添加以重量%計為 10 4〇之水、〇.5〜1〇之以二氧化石夕或氧化铭作為主成分之 1種或2種以上之無機黏合劑、及5重量%以下之燒結助劑。 將混練該等材料而獲得之矽合金製坯土對應於最終品 之升)狀而進行成形。 此處,藉由在常壓以下之減壓環境下進行混練步驟及/ 或成形步驟,可使坯土或成形體内不可避免地包含之微孔 減小至臨限值。所謂「微孔」,是指顯微鏡水準下發現之 微細空孔。 因此’於常壓以下之減壓環境下進行之混練步驛及/或 11 201109106 成形步驟’係於特別需要強度之用途 結體之製造中推薦的必需步驟。 冑用的發合金燒 對利用FD法之脫水、乾燥之最適條 f證,對如下各條件進行各種變更來㈣ (1 )自圖2所示之剛成形後之狀仃貫驗’ 入到液態氮或其他冷卻介質中 /點)起直至投 ⑺冷卻介質及其溫度(:c )為止的時間(分) ⑺保持經冷;東之成形體 $ 力(hPa) 又坚各k内(e點)之壓 (4)直至成形體之含水率達 止的減壓容器内“點)之保持溫度(:=1以下為 時)^ L )及保持時間(小 繼而,於成形體之乾燥後, V輸出之詈吝用、奎玆μΑ 、㊉壓虱軋環境下利用400 料…。c二燒結爐實施燒結。關於燒結溫度,八材 枓為1750 C ,Β材料為16〇〇t 材 燒結後將成形體於中央切斷均設^為2小時。 1二Γ:Γ:係藉由中央切斷研磨…測觀察、 及倍车為100倍之顯微鏡觀察進行驗# 獻 劑及燒結助劑之影響亦進行驗全登。DS•又’ ·,無機黏合 其結果示於表2中。 12 201109106 【(Ν4〕 SH 56寸1 I 0S §1 SI 0S SI ςιςι §1
S
PS (哲,f、)竑维 oooooooooo 卜卜卜卜卜卜卜卜v〇v〇 Τ—^ Ο Ο 〇 cs cn m ο ο ΠΊ ΓΟ Φ漤cu rtdq 3。 (φ)5£岔 OOOCSOOOOOO Jvovovor^^^d'O'ovo Ό^ΟΌ — Ό\〇ν〇ν〇\〇\〇 〇ν Ον 〇λ On CK 〇ν τ-Η . τ^ ι—^ ^ Ο f#s龙邀
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<N(S(NfN<N<NCNrS(NCN ο 201109106 由表2表明,於將自剛成形後之狀態起直至投入到液 。氮或其他冷卻介質中為止(a點—b點)之時間設定為1 〇 刀鐘的實驗例6、及將減壓保持成形體之容器内之壓力設定 為7·〇 hPa的實驗例5中,產生了内部裂縫。 由此表明,藉由將矽合金製坯土之成形後直至投入到 液態氮或其他冷卻介質為止之時間為5分鐘以内,且將其 後減壓保持成形體之容器内之壓力設定為未滿圖2所示之 二相點之壓力,則不產生燒結體之内部裂縫。 上述情況#明,若確保該FD條件,則不受無機黏合劑 添加之有無、燒結助劑添加之有無、燒結溫度之高低差之 影響,可解決燒結體之内部裂縫之問題。 亦可驗na,樣πο B與A材料相比可降低燒結溫度, 及於不使用燒結助劑之情況下可燒結而不產生裂縫。 再者’減1容器内之最適保持時間係根據減M容器之 大小、真空泉之排氣量、所投入之成形體之大小或量等而 不同。於本實施例之各條件下,最短保持時間必需為5小 時(參照表2)。 [實施例2] 、乾燥之最適條件及其效 下各條件進行各種變更來 接著’對利用MW法之脫水 果進行驗證’關於該驗證,對如 進行實驗: 圖5所示之剛成形後之狀態U點)起直至投 入到照射微波之減壓容器内( (2 )保持成形體之減壓容 e點)為止的時間(分) 器内(c點)之壓力(pihpa) 14 内之氣化溫度 分)。 3 相 200 V , 201109106 (3) 由pi所決定 (4) T4(ff〇 各益 保持時間( 冉者,微波之發送裝置為交流 kW ’ 頻率為 2.540 GHz。 關於乾燥後之燒結溫度,A材料為1乃代 1600°C ’燒結時間均設定為2小時。 剖面硬度及内部裂縫之驗證方法與實施例1 其結果示於表3中。 (T4°C ) 微波輸出 B材料為 相同0 15 201109106 激踩命Μ (ΛΗ) ¥哿 #.瑞 Wf Wf 06寸一 56寸I05§105OSδ I0寸SI0151 δ l s oooooooooo 卜卜卜卜卜卜卜卜 ΌΌ r—Η ι—^ ι—^ (令)竑雄3。 OOOOOOOOOO 〇\〇\〇\〇\〇\〇\〇〇〇〇〇\〇\ 耸漤Ms s-d 1¾¾
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OS —(ΝΓΛ 寸 卜 OOOsO y-^ Γ\1 201109106 由表3表明,於將自剛成形後之狀態起直至投入到照 射微波之減壓容器内(a點—e點)的時間設定為1 0分鐘的 實驗例1 5、1 6,及將T4 ( f點)之保持時間設定為2分鐘、 3分鐘的實驗例13、17、1 8中,產生了内部裂縫。 由此判明,若矽合金製坯土之成形後直至投入到減壓 容器中而照射微波為止的時間為5分鐘以内,且T4 ( f點) 之保持時間為5分鐘以上,則毫無内部裂縫。 [產業上之可利用性] 藉由本發明之方法而製造之矽合金製品具有表4所示 之各種特性。 [表4] 項目 ί 矽合金(金屬陶瓷) ί 特殊鋼(鐵合金) 重量(比重) ;3.2 (特殊鋼之1/3之重量) 丨8 硬度 :HV1500 :HV700 剛性 i與特殊鋼為同等程度 ;210GPa 疲勞壽命 |L10 壽命 24.0E+07 丨(與特殊鋼為同等以上程度) |l10 壽命 21.0E+07 潤滑性 i無需潤滑劑 ί需要潤滑劑 耐熱溫度 jl250°C 以上 |800°C 而于化學品性 i特別是對酸最強 丨弱 磁性 ί非磁性 i順磁性 導電性 ί非導電性 ί導電性佳 導熱性 ί導熱率低(鐵之1/10) k 呆溫效果大 導熱性佳 熱膨脹 i低膨脹(鐵之1/10) i大 對電磁波 :20 GHz以下不吸收 丨吸收 與樹脂之混合i親和性大 丨難 再利用性 i不生成金屬氧化物 ί生成金屬氧化物(對人體有害) 如此,本發明之陶瓷製品由於具有重量輕、高強度、 高疲勞強度特性、非磁性特性、耐熱性、耐化學品性等優 17 201109106 異特性’ &可應用於如下各種用途。 即,軸承滾珠、轴承用軌、直線運動轴承用 ★ 車之傳動零件/傳動用轴零件/渦輪增㈣ ^ 零件/共軌等燃料喷射系零件、飛機用之渴輪零 件、人工骨架之構成零件、半導體製造裝置零件等。… 又,石夕合金由於為完全非磁性,故於用作反相… 之發電裝置、電動馬達之軸承構件時發揮有利之效果。並 原因在於’可省略為了防止由交流磁場引起之電 二 而用於鐵系軸承構件的非磁性材料之皮膜處理。 ^而言,可用於在交流磁場環境下使用的風力發電 置用軸承料、❹、錐㈣軸、料㈣ 流磁場環境下使用㈣動力車/電氣汽車用電 各種内外輪。 ❹、錐形滾軸、保持該等之 進而如表4所不,可反射2〇 〇Ηζ以下之電磁波,故 用該特性’作為防紫來自混合動力車或電氣汽車 電動馬達的電磁波之各種零件,而發揮優異之功能。 又將於利用刮刀法或泥毁燒鑄法等由不使 :之水衆料來成形成形體時,藉由有效應用本發明之脫 水、乾燥方法’可製造良好之成形體。 進而,本發明之脫水、乾燥法亦可應用於大量添加有 ^容劑、㈣作為黏合劑而進行射出成形之cm(ceramic 古啊1〇11_叫,陶曼射出成形)。即,藉由代替先前之 機溶劑 '蠛等而僅將水作為黏合劑,並於射出成形後使 18 201109106 用本發明之方法進 仃脫尺可不進行脫黏合劑步驟巾冑、& CIM成形燒結體。 领而製造 士上所述’藉由本發明,當製造陶瓷製品時 使用水作為主要逢^人才丨> & 卩便於 3 |黏合劑之情形時,亦可將成形體内八 有效去除而防止燒妹後之裂@ 刀 見、、。後之裂縫。藉此,可進行陶免製品之 同迷成形’生產性接且 & ,μ叫 ^昇故可貫現工業用陶瓷製品之廉價 化’從而可進-步擴大有效應用之範圍。 “ 又,根據本發明之方法, m , yk J不使用切有害之有機溶 … 為要黏合劑對石夕合金進行成形力口工,穩定蔣 :I:質之陶瓷製品。#由應用該技術,可期待將不使用 ,、办劑之成形加技術於陶£業界中廣泛展開,就重要 :與曰俱増之環境問題之觀點而t,亦可發揮極有利之效 果,可應對產業界之需求。 【圖式簡單說明】 圖1係本發明之矽合金燒結體之製造步驟圖。 二表示本發明之急速冷床法之作用的水之 度狀態圖。 力 圖3係表示本發明之方法的乾燥後燒結前之矽合金 球體之内部的剖面照片。 圖4係本發明之方法的燒結處理後之矽合金製球體之 剖面照片。 圖5係表示本發明之微波照射法之作用的水之壓力溫 度狀態圓。 係表示由以往之脫水、乾燥法導致的矽合金燒結 19 201109106 體之内部裂縫狀況的照片。 圖7係表示由以往之脫水、乾燥法導致的石夕合金燒結 體之内部裂縫狀況的放大照片。 【主要元件符號說明】 無 20
Claims (1)
- 201109106 七、申請專利範圍: 1. -種矽合金燒結體之製造方法,其特徵在於: 將以含有以重量%計為30〜7〇之石夕、1〇〜45之氮、i 〜40之銘及1〜40之氢A 虱為特徵的矽合金粉末作為原料; 經由添加以重量%計為1〇〜 刊之水作為黏合劑並進行 混練之步驟、及 將經由該混練步驟而獲得之石夕合金製枉土,經由成形 為三維形狀的步驟,而形成成形體; 將該成形體於成形後5分鐘以内投入至冷卻介質中 於該冷卻介質中保持至,、5分鐘以上,使該成形體内之水 分以微細分散狀態而急速冷;東; 保持於設定為未滿水之三相點之壓力的容器内後 行燒結。 2. —種矽合金燒結體之製造方法,其特徵在於: 將以含有以重量%計為30〜7〇之矽、1〇〜45之氮、1 〜40之鋁及1〜40之氧為特徵的矽合金粉末作為原料 經由添加以重量%計為10〜4〇之水作為黏合劑並针 混練之步驟、及 订 將經由該混練步驟而獲得之矽合金製坯土,經由成, 為三維形狀之步驟,而製造成形體; 形 將該成形體於成形後5分鐘以内投入至設定為未禹 大氣壓之減壓環境的容器中; '1 對該成形體持續照射2.450 GHz微波至少5分鐘ρ 後,進行燒結。 上 21 201109106 3 . —種矽合金燒結體之製造方法,其特徵在於: 將以含有以重量%計為30〜70之矽、1〇〜45之氣、1 〜40之鋁及1〜40之氧為特徵的矽合金粉末作為原料; 經由添加以重量%計為10〜40之水作為黏合劑並進行 混練之步驟、及 將經由該混練步驟而獲得之矽合金製坯土,經由成來 為三維形狀之步驟,而製造成形體; 將該成形體於成形後5分鐘以内投入至冷卻介質中, 於該冷卻介質中保持至少5分鐘以上,使該成形體内之水 分以微細分散狀態而急速冷凍後; 將該成形體投入至設定為未滿丨大氣壓之減壓環境的 容器中; 對上述成形體持續照射2.450 GHz微波至少5分鐘以上 後,進行燒結。 4·如申請專利範圍第丨項至第3項中任_項之碎合金燒 結體之製造方法,其中,於該石夕合金粉末中,與水一起而 添加0.5〜H)重量%之以二氧化矽或氧化鋁為主成分的Μ 或2種以上之無機黏合劑、及,或5重量%以下之燒結助劑。 5·如申請專利範圍第1項至第4項中任_項之#金燒 結體之製造方法,其中,於當厭,、,Τ 吊壓以下之減壓環境下進行該 虎練步驟及/或成形步驟。 八、圖式. (如次頁) 22
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