201042725 六、發明說明： ' 【發明所屬之技術領域】 - 本發明係關於一種測試搬運機，並且特別地，本發明關於用 於測4抵I運機之半導體裝置接觸設備及具有該設備之測試椒運 機’當變換-制試之轉體裝置時，本發明可簡化半導體裝置 接觸設備之替換。 x 【先前技術】 ) 通常’-製造之記舰或非記憶體裝置在通過—測試搬運機 之不同製程之後進行分配，其中此測試搬運機肋測 的半導體裝置。 <測試搬運機係為—麵_試之半導财置與—附加之測試 、接觸’並且根據測試結果之級別，將在附加測試設備之中 〇 、二' 半導體裳置分賴設備。此測試搬運機在高溫及低溫以及 正常溫度之環境下測試半導難置之性能。 程 測試搬運機通過使用測試盤可執行1载製程、一卸載製 •體裝置之 、以及1 機製程’其巾麟盤具有複數_定半導： 載運模組。 壯在裝置製程期間，制試之半導體裝置透過一使用托盤傳送 且衣載至1試盤之中。同時，半導體裝置透過複數個檢選器傳 送。 在卸载製軸間，已測試之轉财置自測試盤之上分離 5 201042725 根翻試結果按_級分類，並且卸載域軌盤。與裝載製程 相通似#载製程使用複數個檢選器以便卸載半導體裝置。 在測式餘躺，裝餅峨盤之巾的轉财置與測試設 π相接觸’亚且紐在此制試。_製程在高溫、低溫以及常 纖之％境下執行。為此，測試搬運機具有一腔室。
古此腔室具有-第—腔室，_將半導體裝置之溫度調整至一 円或低測試溫度；—職腔室，㈣將具有調整溫度之半導體裝 二與二測試機相接觸；以及—第二腔室，用以將測試之半導體裝 =溫度恢復至原始溫度。為了測試半導體裝置，測試盤沿第一 腔至、測試腔室、以及第二腔室移動。 而且測減腔至具有一半導體裝置接觸設備·，其中此半導體 裝置接觸設備將透過測試錄載於一測試之中的半導體裂置與一 測言式板相接觸。 第1圖」係為習知技術之一測試搬運機之測試腔室之橫戴
圖並且*2圖」係為「第1圖」之一半導體裝置之橫戴面CJ 圖〇 、月’閱第1圖」及「第2圖」，習知技術之測試腔室包含有 1試盤1〇、-測試板20、以及一半導體裂置接觸設備3〇。 般、]式k 10將固疋之半導體裳置傳送至測試搬運機之中。測試 盤1〇包含有複數個載運模級u以便將半導體基板固定於此，或 釋放半導體基板，其中載運模址12以蚊之間隔形成於-矩形金 6 201042725 屬框架之中。 載運模組12具有一載運體i2a、一空腔i2b、以及一半導體 ' 裝置接收件12c。 . 載運體12a配設於每一孔之中，其中這些孔以固定之間隔形 成於測試盤10之上；並且載運體12a透過一彈性件14及複數個 支撐銷16可移動地支撐。同時，彈性件14位於測試盤1〇與支撐 銷16之間。穿過彈性件14及測試盤1〇的支撐銷16與載運體 〇 的對歸方向之兩肖部相連接，肋由此支撐載運體12a。 而且，定位孔（圖未示）可位於載運體12a之另外兩角部， 定位孔用以確定半導體裝置接觸設備3〇之位置。 空腔12b透過載運體i2a之中心開口形成。 位於空腔1¾之底表面上的半導體裝置接收件仏，支撐透過 才双選is (圖未不）移動之半導體裝置s。 測試板20包含有複數個測試插槽22，其中測試插槽22以固 定間隔形成且透過料體裝置接觸設備3〇與半導體裝置相接觸。 母-測試插槽22與-外部測試機電連接，透過接收及傳送用 於測試半導體裝置之電訊號測試半導體裝置s。 • 轉雜置翻設備3G具有—㈣板32韻複數個推送單 元34。 作業板32係為-矩形金屬板，其支撐複數個推送單元％，並 且透過-作業设備（圖未不）按壓複數個推送單元％。 7 201042725 每-推送單元34具有-推魏Μ、—推魏切件6〇、以 及一位置確定銷70。 推送塊50透過一推送塊支樓件6〇彈性支擇於作業板％之 上。也就是說，推送塊50可移動地支撐於作業板32之上。 推送塊支撐件6G具有—結合銷62、—連接齡&、以及一 螺旋彈簧66。 結合銷62安裝於作業板32之上。 穿過推送塊50之側面部份的連接螺釘64與結合銷幻相結 合，由此推送塊50透過結合鎖62支樓。 圍繞結合銷62的螺旋彈簧66定位於結合銷幻之頭部與推送 塊50之間，由此推送塊5〇能夠彈性地移動。 位置確定鎖70安裝於推送塊5〇之對角線的兩角部之每— 每一推送單元34魏健設叙作業，根獅業板32 壓推达測試盤K)之半導體裝置接收件仏之上放置的半導體 s，由此半導體裝置8與測試板2〇之測試插槽22相接觸。衣 製程以下將解_知技狀麵試岭之㈣試轉财置S之 首先，其上放置有半導體裝置s的測試盤iq 20與半導體裝置接觸設備3〇之間。 於暮式板 201042725 然後’作業板32操作以便按壓每—推送單元％之推送塊兄， 以使得推送塊50之位置確定銷70插入至測試盤1〇之载運體❿ • 之位置確定孔之内，由此確定推送塊50之位置。 • 贿’祕概制’推送塊50之位置透猶餘％之作 業確定’以使得推送塊50推送測試盤1〇之載運模幻2上放置的 半導體裝置s。因此，半導體裝置8與職插槽22電連接。 當半導體裝置S與測試插槽22相接觸之時，測試插槽η通 〇 過使用測試板20，接收且傳送測試半導體裝置s的電吨號，用以 由此測試半導體裝置S。 當完成測試盤1G之上放置的半導體裝置s之測試時，作業板 32透過作業設備之作紐復至其絲㈣，蛾完_試製程。 然而’習知技術之測試腔室之半導體裝置接觸設備具有以下 之缺點。
首先，當待測試之半導體裝置改變其類型、厚度、或尺寸時， 半導體裝置接觸設備30之推送單元34必須根據待測試之半導體 裴置之變化而改變。也就是說，由於應替換作業板32之中的所有 複數個推送單元34，因此不可避免要增加替換複數個推送單元％ 之時間及強度。由於複數個推送單元34之替換，測試製程必須停 止使得降低效率。 由於應該替換作業板32之中的所有複數個推送單元％，因此 應該另外製造適合於待測試之半導體裝置之推送單元34， 田此產 9 201042725 生增加維護成本之問題。 【發明内容】 料===上述問題’本發明係關於—種用於職搬運機之 +導體裝置接觸設備及具有該設備之峨搬運機， 習知技術之限制及缺陷所產生之一個或多個問題/克服由於 本發明之伽之-在於提供—種轉辟置接辦備及 該設備之測試搬運機，當一待測試之半導體裝置改變其類型^ 度、或尺寸之時，本發明能夠簡化半導體裝置之替換。 子 本發明其他的優點、目的、以及特徵將在如下的 分地加以闡述，並且本發明其 曰口 的普通技術人員來說，可以透目的和特徵對於本領域 〖了_過本發明如下的說明得以部分地理 解或者可峨本發㈣實踐巾得出。本發 =本發明所記載的說明書和申請專利範圍中特J指= 並結合圖式部份，得以實現和獲得。 2獲縣_之目_這些目的及其他優點，輯本發明 作』化和讓_，秘_，峨麵機之半導 備包含有複數個推送單元，推送單元以固定間隔配 itr 每—_元她恤權透過推送一 彻裝ί，料耻物嫩觸，其中. 包含有:一推送塊，其具有_頭插入部份;一推送 早U綱插入雜秦之巾；爾數個推送塊 10 201042725 .支撐件，⑽支撐_塊，這錄送敏飾安裝於作業板之中。 推送頭料透過―圈或更少之轉動而旋轉，以便插入至頭插 入部份或自頭插入部份分離。 其巾麟塊包含有-斜塊，財平塊魏這錄送塊支擇 件支樓；以及-突出部份，其自水平塊延伸出，突出部份具有頭 插入部份。 、 ο 推送頭單元包含有—推_，推送峰送半導體裝置. 以及-推送頭支禮件，其與推送頭之—後表面垂直相連接，、並且 可拆分地插入至頭插入部份之中。 此外’此半導體裝置翻設備更包含有—頭部簡件，用以 可分離地保持插入至頭插入部份之中的推送頭支撐件。 頭部保持件包含有-保持銷’保持銷插入至水平塊之中，、， 且穿過頭插人部份；—保持孔，其具有—垂直形成於推送頭支^ 〇 件之底部上_纽，奴—水平形纽無纽相聯繫之水: 孔，其中插人至簡叙中_直孔在·銷之導向下保持推送 頭支撐件；—簡槽’其與保持孔相紅形成於推送頭支擇件； 以及&齡止件，其能夠插人至保持槽之中且位於突出部份之 内，以便防止推送頭支撐件之旋轉。 頭部保持件包含有—保制，保持_人至水平塊之中，並 且穿過頭插入部份；一保持孔，具有一垂直形成於推送頭支擇件 之底社的垂直孔，以及一水平形成且與垂直孔相聯繫之水平 11 201042725 孔，其中插人至雜銷之中_直孔在賴敎導向下保持推送 頭支撐件’·-健槽’係與保持孔_且形姐推辆支撐件； 以及-旋轉防止件，係能夠插入至鱗槽之中且位於突出部份之 内，以便防止推送頭支擇件之旋轉。 。頭部雜件包対魏個簡槽，這鍊賴錄推送頭支 '°牛之内’以及複數個㈣防止件，這些旋轉防止件位於突出部 f) 份之每一·面’補防止件分職人至騎槽之内，以便 防止推送頭支撐件之旋轉。 凝轉防止件包含有—容納孔，此容納孔位於突出部份之一側 面’容納孔與頭插入部份相聯繫；—球，當容納於該容納孔之中 …此球部份地插人至保持槽之内；—彈性體，其容納於容納孔 之内，彈性體透過彈性將此球插入至保持槽之中；以及一覆莫件， 係位於如部份之—側面，此覆蓋件覆蓋容納孔。- 1. 試二種測試搬運機具有一用於測試半導體裝置之測 / 式腔室包含有-測試盤，測試盤之上放置有複數 置翻n賴板，= 嗖備，測2測°式插槽，這些測試鋪透過推送半導體裝置接觸 2搬運機==試插槽相接觸之各半導體裳置。其中此種用於測 ，板之備包含有複數個以固定間隔配設於 推送-半導體裝置；=元：業板之作業透過 ¥體U與-測式板之測試插槽相接 12 201042725 :觸推推送單元包含有:-推送塊，其具有-頭插入部份; 推錢支^ ’其可拆分地插人至輸人部份之中；以及複數個 A f肖以支揮推送塊，這些推送塊支擇件安裝於作業 扳之中。 可紐解岐’如场述的本發社池說日_後所述的 、發月之抽_均是具有代表性和轉性的說明，並且是為了 進一步揭示本發明之申請專利範圍。 Ο 【實施方式】 以下將結合圖式部份詳細描述本發明之健實關，圖式中 之相同標號表示相同或類似元件。 以下將結合圖式部份描述本發明之用於測試搬運機之半導 體裳置接觸設缺具有該設備之測試搬運機。 第圖」係為本發明之實施例之用於測試搬運機之半導體 裝置接觸設備之透視圖。 明 > 閱第3圖」’本發明之實施例之用於測試搬運機之半導 體裝置接觸設備具有—作業板132、⑽複數個推送單元134。 作業板132形成於一矩形金屬板之…作業板132支撐複數 X口疋間u之推达單元134;並且作業板⑽f透過作業設 備（圖未示）按壓複數個推送單元134。作業板132可透過作業設 備（圖未示）水平或垂直移動。 每一推送單幻34透過作業設備之作業，根據作業板132之 13 201042725 之上的~半導體裝置（圖未 按壓推送放置於一測試盤（圖未示） 不），由此半導體衆置可與一測試_卩j _、 j$體（圖未不）之測試插槽（圖未 示）相接觸。 」所示之本發明第一實施例之推送 圖」係為「第4圖」所示之推送單 「第4圖」係為「第3圖 單元之橫截面圖；並且「第5 元之透視圖。 本發明第一實施例之推送單 請參閱「第4圖」及「第5圖」， '、有推ϋ塊2〇〇、一推送頭單元21〇、一頭部保持件⑽、複 數個推送塊支撐件Β0、以及—位置確定銷24〇。 推达塊200透過推送塊支撑件23〇彈性配設且可移動地支樓 於作業板！32之上。推送塊具有一水平塊观及一突出部份 204。 水平塊202通過推送塊支撐件230支稽於作業板m之上。 卜具有—頭插入部份206的突出部份綱自水平塊2〇2之中心 部份垂直突出。同時，頭插入部份施形成之方式使得頭插入部 份206穿透水平塊202。 推送碩單疋210可插入至頭插入部份2〇6之中，並且可通過 使用頭部保持件22Q與職人部份·相隔離。為此，推送頭單 π 210具有一推送頭212及一推送頭支撐件a#。 、推明212具有與推送之半導體裝置之尺寸相對應之預定尺 寸的四面體形狀。根據推送塊200之移動，推送頭212推送半導 14 201042725 : 體裝置。 ^ 推送頭支樓件214與推送頭加之-後表面垂直連接，並且 可拆刀地插入至推达塊2〇〇之頭插入部份2〇6之中。也就是說， .推送頭支擇件2H可固定插入至推送塊之頭插入部份施之 中’或可與推送塊·之頭插入部份206相分離開。 推送頭212與推送頭支撐件214之中心部份之内具有一孔 215，其中孔215能夠均勻推送半導體裝置。 〇 頭部保持件220可具有一保持銷300、-保持孔310、一保持 槽320、以及一旋轉防止件330。 士第6圖」所不’插入至水平塊2〇2之中的保持鎖穿 過頭插入部份施。為此，水平塊搬包含有-與頭插入部份施 相聯繫之銷插入孔302。 如「第6圖」所示’插入至保持銷3〇〇之中的保持孔31〇在 保持鎖300之導向下保持推送頭支撐件⑽，以使得推送頭單元 21〇獻保持於頭插入部份规之中而不與頭插入部份寫相分 離。為此，保持孔310形成為具有一垂直孔312及—水平孔似 的Ί大，其中垂直孔犯垂直形成於推送頭支撐件叫之底 部上’並且水平孔3i4水平形成且與垂直孔312相聯繫。 _槽32G配設於推送頭支撐# 2M之-側面，並且更特別 地’保持槽320相鄰於保持孔31〇，以使得旋轉防止件伽插入至 保持槽320之中。同時，當保持槽32〇形成於推送頭支撐件別 15 201042725 之-側面時’保持槽320定位於保持孔31〇之垂直孔3i2之上。， 旋轉防止件330安裝於突出部份2〇4之内，其中旋轉防止件k 330能夠插入至保持槽32〇之中，用以防止推送頭支樓件2i4之旋 轉。為此，旋轉防止件330具有一容納孔331、一球333、—彈性 體335、以及一覆蓋件337。 容納孔331透過穿透突出部份204之-側面形成，並且與頭 插入部份206相聯繫。 球333之預定部份插入至保持槽32〇之中。 彈性體335保留於容納孔331之内，其中彈性體335透過彈〇 性將球333插入至保持槽320之中。因此，球333由於彈性體班 之彈性，球333插入至保持槽320之中。 覆蓋件337錄推送塊2〇〇之突出部份2〇4之一側面，覆蓋 用於容納球333之容納孔331及彈性體说。覆蓋件奶透過一: 釘（圖未示）配設於突出部份2〇4之内，其中該螺釘與突出部份 204之内的一螺釘孔339相結合。 如「第6圖」所示’旋轉防止件3料過將球333插入至推— 送頭單元210之保持槽32G之中，可防止推送頭_加之旋轉， 其中球333透過彈性體335之彈性插入至推送頭單元21〇之保持 槽320之中。 在第4圖」及「第5圖」之中，每—推送塊支撐件⑽具. 有-結合鎖232、-連接斷234、以及一螺旋彈普说。、 16 201042725 結合銷232垂直安裝於作業板132之上。 連接螺釘234透過穿過推送塊200之水平塊202與結合銷232 相結合，由此推送塊2〇〇透過結合銷232支撐。 • 螺旋彈簧230覆蓋結合銷232之時，螺旋彈簧236位於結合 銷232之頭部與推送塊2〇〇之間’由此推送塊綱能夠彈性地移 動。 位置確疋銷240安裝於推送塊200之對角線方向的兩個角部 〇 之每-個，並且插人至測試盤（圖未示）之—載運體（圖未示） 之一位置確定孔之中，用以由此確定推送塊200之位置。 第7A圖」至「第7C圖」係為本發明之推送頭單元之安裝 方法之示意圖。 …以下，將結合「第7A圖」至「第7C圖」描述本發明之推送 頭單元之安裝方法。 〇 “百先，如「第7A圖」所示’在推送頭單元210之保持孔310 ^垂直孔312配設於與保持鎖相對應之-位置之後，推送頭 :兀210插入至頭插入部份挪之中，由此垂直孔犯插入至保 持銷300之内。 ’、 /灸如第7B圖」所示，推送頭單元210在-預定方向， •圹順時針方向上旋轉（1圈旋轉或更少）。同時，推送頭單元21〇 声疋轉讀插入至保持銷_之中的保持孔则之水平孔训之長 X目應的程度。因此，保持銷·纽於與垂直孔312相對之 17 201042725 水平孔314之-端，由此推送頭單元2i〇固定保持於頭插入部份 ㈨之中’並不通過頭插入部份规之頂部相分離。 件:「第7㈣獅元與狀時，旋轉防正 件330之球333透過彈性體335之彈性插入至推送頭單元加之 保持槽320之中，由此防絲送頭單元加在頭插人部份施之 中的旋轉。如果，-作細力旋轉推送頭單，則旋轉防止 件330之球333透過彈性體335之彈性與保持槽32〇分離，以使 得推送碩單元21〇能夠自頭插入部份高上分離。 、町將轉料導體裝置改變其麵、厚度、或尺寸之時， 推送頭單元21〇自推送塊200分離之方法。 首先’作業者在-預定方向，例如逆時針方向用力旋轉固定 保躲頭插入部份施之中的推送頭單元21〇。同時，插入至推送 頭單元2K)之保持槽32〇中的球知透過彈性體说之彈性與保 持槽32G分離；並且推送頭單元沿保持孔之水平孔314 I, 旋轉。 當保持銷300根據推送頭單元_之旋轉，定位於保持孔· 之垂直㈣之時，作業者向上提升推送頭單元2㈣以自頭插 入部份206分離推送頭單元21〇。 然後，如上所述，作業者將改變之推送頭單元21Q插入至頭 插入部份206之中，用以替換推送頭單元21〇。 、 每一推送單元134透過作章今借, 備之作業，根據作業板132之 18 201042725 按壓推送放置於測試盤之上的半導體裝置，由此半導體裝置與測 試體相接觸。同時’如果待測試之半導體裝置改變其翻、厚度、 或尺寸’則S要改變半導體裝置接觸設備13〇之推送單元134。因 此’在自推送塊200分離且去除每一推送單a 134之推送頭單元 210之後’根據改變的铸體裝置之推送解涵裝於推送塊2〇〇 之上。因此，當改變待測試之半導體裝置之時，由於方便替換推 送單元134，因此能夠節省時間及強度。 Ο 「第8圖」係為「第3圖」所示之本發明第二實施例之推送 早兀之檢截面圖。 請參閱「第8圖」，本發明第二實施例之推送單元134具有-推达塊200、-推达頭單元21〇、一頭保持件、複數個推送塊支擇 件230、以及一位置確定銷240。 保持件之外，本發明第二實施例之推送單it 134與本發 ) 帛Λ赠彳之推送單元之結構相同，由此將省去除頭保持件的 其他部件之詳細解釋。 頭保持件可具有複數個保持槽62〇、以及複數個 630。 丁 轉槽62G以固^之間隔形成於一推送頭支撐件214之上。 複數個㈣防止件_配設於一突出部份綱之側面之上， 其中複數個旋轉防止件63() _____ _ 中’用以由此防止推送頭支撺件214之旋轉。除複數個旋轉防止 19 201042725 件630配„又於犬出部份2〇4之側面上之外，本發明第二實施例之 旋轉防止件630之結構與本發明第一實施例之旋轉防止件现之 結構相同，由此將省去其詳細解釋。 透過使用每-旋轉防止件63〇之彈性體335之彈性，頭保持 件分別將球333插入至複數個保持槽62〇，由此固定保持一推送頭 單元210，這樣能夠防止推送頭單元別之旋轉且防止推送頭單元 210通過頭插入部份206之頂部自麵入部份2〇6分離。如果在需 要替換之情況下，作業相力旋轉或拖姉送頭單元训，推送頭 單元210能夠自頭插入部份2〇6分離開。 「第9圖」係為本發明之實施例之一測試搬運機之一測試腔 室之橫截面圖。 4參閱「第9圖」’本發明之實施例之測試腔室包含有一測試 盤110、一測試板120、以及半導體裝置接觸設備13〇。 測試盤110將固定之半導體裝置傳送至測試搬運機之中。測 試盤110具有複數個載運模組112，載運模組112以固定之間隔安 裝於一矩形金屬框架之中，以便將半導體基板固定於此，或者自 此處釋放半導體基板。 載運模組112具有一載運體H2a、一空腔112b、以及一半導 體裝置接收件112c。 載運體112a配設於每一孔之内，其中這些孔以固定之間隔形 成於測a式盤110之上，並且載運體112a透過一彈性件114及支樓 20 201042725 —銷116可移動地支撐。同時，彈性件m位於測試盤110盘支擇 •鎖116之間。穿過彈性件m及測試盤110的支擇鎖116與_ .體112a的對角線方向之兩角部相連接，用以由此支撐载運體收。 • 而且’用以確定半導體裝置接觸設備130之位置的位置確定 孔（圖未示）可位於載運體n2a之另外兩個角部。 空腔112b透過載運體】12a之中心開口形成。 半導體襄置接收件mc位於空腔mb之底表面之上。因此， 〇半導«置s透過-檢翻⑽未示）移動，並且紐接收且放 置於空腔112b之底表面之上。 測試板U0具有複數個測試插槽122，其中複數個測試插槽 I22以固㈣隔形成且透過半導體裝置_設備⑽與半導體裝 置相接觸。 < 、、每一測試插槽122與-外部測試機電連接，由此透過接收及 傳送測試半導體褒置之電訊號測試該半導體裝置。 根據第3圖」至「第8圖」之解釋，半導體裝置接觸設備 130具有作業板132、以及複數個推送單元134。透過上述之說明 將代替半導體裝置接觸設備130之詳細解釋。 卩下將解釋在本發明之測試腔室之内測試半導體裳置$之制 程。 衣 首先’測試盤110定位於測試板12〇與半導體裝置接觸設備 130之間’其中測試盤110具有其上放置有半導體裝置s的载運模 21 201042725 組 112。 =餘送塊’其中推送㈣。之位置透過作業板 …使得推送塊· _彳試請之载運模組 ιΓ 導财置S。耻,伟财以與峨插槽122 、、當半導體裝置S與測試插槽122相接觸之時，測試插槽⑵ U使用Κ板12G接收且傳送肋測試半導體裝置s的電额 號，由此測試半導體裝置§。 。
，當完成職盤Η)之上放置料導體裝置s之測鱗透過作 業設備之健’作她132恢復至始位置。 、、如果待戦之半導體裝置s改種類、厚度、或尺寸，推 达塊200與母-推送單& 134之推送頭單元2叫目分離；根據改 變之待測試的轉體裝置S _當推送解賴設於推送塊200 之上，並且然後執行上述之測試製程。 本發明之用於測試搬運機之半導體裝置接觸設備及具有該設◎ 備之測試搬運機具有以下優點。 首先’當待測試之半導體裝置改變其種類、厚度、或尺寸之 時’透過雜推送塊之巾的推送頭單元能龄易使料導體裝置 接觸設備。 而且，推送頭單元能夠透過僅僅一次或更少錢轉容易被替 換，以使得可目b大量減少替換之時間及強度，由此提高測試率。 22 201042725 * 戈替王。卩推送單70，僅替換待測試的對應半導體裝置之推送 頭單元，由此糾妓制試之對射導财置之減頭單元， 由此產生減少之維護成本。 —雖財發明以前述之較佳實施觸露如上，然其並非用以限 本U本邊域之技術人員應當意識到在不脫離本發明所附之 申請專利_所揭示之本侧之精神和朗的情況下，所作之更 動與潤均屬本發明之專利保護範圍之内。關於本發明所界定 Ο 之保護範圍請參照所附之申請專利範圍。 【圖式簡單說明】 •第1圖係為習知技術之_測試搬運機之測試腔室之橫截面 :2圖係為第！圖之—半導體裝置之橫截面圖； 〇 第3 _林侧之#關之祕戦贿叙轉體裳置 接觸έ又備之透視圖； 截面圖第4 _為第3騎示之本發明第—實施例之推送單元之橫 —第5圖係為第4 _示之推送單元之分解透視圖； 第6圖係為第3圖所示之一推送頭 中之透視圖； 、以插人至—截入部份 第7Α圖至第7C圖係為本發明之推送頭單 列透視ϋ ; 料万法之系 23 201042725 第8圖係為第3圖所示之本發明第二實施例之推送單元之橫 截面圖；以及 第9圖係為本發明之實施例之一測試搬運機之測試腔室之橫 ， 截面圖。 【主要元件符號說明】 10 測試盤 12 載運模組 12a 載運體 12b 空腔 12c 半導體裝置接收件 14 彈性件 16 支撐鎖 20 測試板 22 測試插槽 30 半導體裝置接觸設備 32 作業板 34 推送單元 50 推送塊 60 推送塊支撐件 62 結合銷 64 連接螺釘 24 201042725 66 70 110 • 112 112a 112b 112c O 114 116 120 122 130 132 134 ❹ 200 202 204 206 210 212 214 螺旋彈簧 位置確定銷 測試盤 載運模組 載運體 空腔 半導體裝置接收件 彈性件 支撐銷 測試板 測試插槽 半導體裝置接觸設備 作業板 推送單元 推送塊 水平塊 突出部份 頭插入部份 推送頭單元 推送頭 推送頭支撐件 25 201042725 215 子L 220 頭部保持件 230 推送塊支撐件 232 結合銷 234 連接螺釘 236 螺旋彈簧 240 位置確定銷 300 保持鎖 302 銷插入孔 310 保持孔 312 垂直孔 314 水平孔 320 保持槽 330 旋轉防止件 331 容納孔 333 球 335 彈性體 337 覆蓋件 339 螺釘孔 620 保持槽 630 旋轉防止件 26 201042725 s 半導體裝置
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