KR102012745B1 - 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛 - Google Patents

테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR102012745B1
KR102012745B1 KR1020180096042A KR20180096042A KR102012745B1 KR 102012745 B1 KR102012745 B1 KR 102012745B1 KR 1020180096042 A KR1020180096042 A KR 1020180096042A KR 20180096042 A KR20180096042 A KR 20180096042A KR 102012745 B1 KR102012745 B1 KR 102012745B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pusher
head
shaft
support
pushing
Prior art date
Application number
KR1020180096042A
Other languages
English (en)
Inventor
박광준
최원석
유명완
이수진
서정민
Original Assignee
(주) 나노에이스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 나노에이스 filed Critical (주) 나노에이스
Priority to KR1020180096042A priority Critical patent/KR102012745B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102012745B1 publication Critical patent/KR102012745B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0441—Details
    • G01R1/0466—Details concerning contact pieces or mechanical details, e.g. hinges or cams; Shielding
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 테스트 트레이에 안착된 반도체 소자를 테스트 소켓으로 밀어내기 위한 푸싱헤드 및 이를 지지하게 되는 서포트를 갖는 푸셔; 상기 푸셔의 서포트가 안착되는 상방 개구(開口)형 안착홈을 갖는 베이스; 상기 푸셔의 서포트와 상기 베이스를 상호 연결하는 샤프트; 및 상기 푸셔에서 상기 푸싱헤드와 상기 서포트 간의 상호 결합 및 분리를 위한 탈부착수단;을 포함하는 단위체로 이루어지도록 구현함으로써, 푸셔의 헤드에 대한 원스텝 방식의 교체 및 조립이 용이하고, 반도체 소자 별로 적합한 푸셔의 위치를 조절할 수 있는 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛에 관한 것이다.

Description

테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛{HEAD REPLACEMENT AND DISPLACEMENT TYPE PUSHING UNIT}
본 발명은 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 푸싱유닛에 관한 것으로, 특히 검사대상체인 반도체 소자의 푸싱 동작을 위한 푸셔의 헤드 교체 및 조립이 용이하며, 공구를 이용해 샤프트의 정 또는 역회전 동작 시 푸셔의 상하 높낮이 조절이 가능한 푸싱유닛에 관한 기술이다.
테스트 핸들러(test handler)는 제조 공정을 거쳐 제조된 전자부품이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 전자부품들을 등급별로 분류하여 고객 트레이에 적재하는 기기이다.
일반적으로 생산되는 전자부품은 고객 트레이에 적재된 상태에서 테스트 핸들러로 공급된다. 테스트 핸들러로 공급된 전자부품은 로딩 위치에 서 있는 테스트 트레이로 로딩되어 테스트 트레이에 적재된 상태에서 테스트 사이트를 거쳐 언로딩 위치까지 이동된 후 언로딩 위치에서 고객 트레이로 언로딩 된다.
이와 같은 테스트 핸들러 내에서의 전자부품의 이동 과정 중 테스트 트레이가 테스트 사이트 상에 위치하게 되면 전자부품에 도킹된 테스터에 의해 전자부품의 테스트가 이루어진다. 이때 테스터 트레이의 인서트에 안착되어 있는 전자부품을 테스터 소켓 측으로 압력을 전달하기 위한 푸싱 장치가 필요하다. 이를 매치플레이트라 하며, 매치 플레이트는 설치판에 다수의 푸셔들이 결합되어 있는 구조를 가지며, 개개의 푸셔는 테스트 트레이 개개의 인서트에 일대일로 대응됨으로써 인서트에 안착된 전자 부품을 푸싱하여 테스터 소켓에 밀착되도록 하는 역할을 한다.
이와 관련된 기술로는, 대한민국 특허등록 제10-1863559호 (2018.05.28.등록, 이하에서는 '문헌 1'이라고 함) 『테스트 핸들러 매치플레이트용 푸셔 조립체』가 제시되어 있는바,
문헌 1은 푸셔와 상기 푸셔를 몸체에 고정시키기 위한 고정블록과 스프링을 포함하며, 상기 고정블록은 나사부, 연결부, 및 헤드부를 포함하고, 상기 나사부는 상기 푸셔의 하면에 형성된 암나사홀과 결합되며, 상기 헤드부는 축 방향으로 외경이 커지는 접시 형태를 가지며 상기 몸체에 형성된 지지홀에 삽입되어 수용되고, 상기 스프링은 상기 푸셔 하면과 상기 몸체 상면에 각각 마련된 안착홈에 안착되어 양단이 지지되며, 탄성력에 의해 상기 고정블록과 상기 몸체의 밀착 상태를 유지시킴으로써, 반도체 소자를 테스터의 테스터 소켓에 밀착시키기 위한 푸셔와 이를 고정하는 바디 사이의 조립을 쉽고 빠르게 할 수 있도록 구조 개선된 테스트 핸들러의 매치플레이트용 푸셔 조립체에 관한 기술이다.
문헌 1. 대한민국 특허등록 제10-1863559호 (2018.05.28.등록)
본 발명은 푸셔의 헤드 교체 및 조립이 용이하면서 교체 및 조립이 원스텝 동작으로 이루어지고, 검사대상체인 반도체 소자 별로 적합한 푸셔의 상하 위치를 조절할 수 있도록 한 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 해결 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛은,
테스트 트레이에 안착된 반도체 소자를 테스트 소켓으로 밀어내기 위한 푸싱헤드 및 이를 지지하게 되는 서포트를 갖는 푸셔;
상기 푸셔의 서포트가 안착되는 상방 개구(開口)형 안착홈을 갖는 베이스;
상기 푸셔의 서포트와 상기 베이스를 상호 연결하는 샤프트; 및
상기 푸셔에서 상기 푸싱헤드와 상기 서포트 간의 상호 결합 및 분리를 위한 탈부착수단;
을 포함하는 단위체로 이루어진다.
본 발명에 따른 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛은,
푸셔의 헤드에 대한 원스텝 방식의 교체 및 조립이 용이하고, 반도체 소자 별로 적합한 푸셔의 위치를 조절할 수 있는 가장 큰 효과가 있다.
또 푸셔의 위치 설정이 완료된 상태에서 샤프트에 끼워진 탄성스프링의 탄성력에 의한 샤프트의 회전 동작을 방지함으로써, 샤프트 등의 풀림에 의한 푸셔의 변위 동작을 방지하여 설정된 위치에서의 푸셔 움직임을 제한할 수 있도록 한 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛을 나타낸 분해 입체 구성도,
도 2는 도 1의 결합 입체 구성도,
도 3은 도 2의 단면 구성도,
도 4는 한 쌍의 단위체 중 하나의 단위체 및 푸셔의 동작 상태를 보여주기 위한 확대 단면 구성도.
이하 첨부된 도면들을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1을 기준으로 상기 푸셔의 푸싱헤드 측을 상부 또는 상방, 서포트 측을 하부 또는 하방이라고 방향을 특정하기로 한다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛은,
크게 푸셔(10), 베이스(20), 샤프트(30) 및 탈부착수단(40)을 포함하는 단위체(U)로 이루어진다.
각 구성에 대해 살펴보면,
푸셔(10)는
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이,
테스트 트레이에 안착된 반도체 소자를 테스트 소켓으로 밀어내기 위한 것으로,
푸싱헤드(11), 그리고
상기 푸싱헤드(11)를 지지하게 되는 서포트(12)
를 포함하여 이루어진다.
이때 도 1 및 도 2에서와 같이, 상기 푸싱헤드(11)는 반도체 소자와 직접 맞닿게 되는 사각의 블록 구조로 이루어지고, 상기 서포트(12) 또한 사각의 블록 구조이되 상기 푸싱헤드(11) 보다는 크기가 큰 구조이다.
베이스(20)는
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이,
상기 푸셔(10)의 서포트(12)가 안착되는 상방 개구(開口)형 안착홈(21)
을 포함하는 사각의 블록 구조로 이루어진다.
샤프트(30)는
도 1, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이,
상기 푸셔(10)의 서포트(12)와 상기 베이스(20)를 상호 연결하기 위한 것으로,
원통형의 나선부(31), 그리고
상기 나선부(31)의 상단에 형성되는 샤프트헤드(32)
를 포함하여 이루어진다.
이때 상기 나선부(31)는 외주연을 따라 나사산이 형성된 원통 구조이고, 상기 샤프트헤드(32)는 상기 나선부(31) 보다는 큰 직경을 갖는다.
탈부착수단(40)은
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이,
상기 푸셔(10)에서 상기 푸싱헤드(11)와 상기 서포트(12) 간의 상호 결합 및 분리를 위한 것으로,
상기 푸셔(10)의 푸싱헤드(11) 하부에 형성되고 양단부에 날개(411)를 갖는 슬라이더(41), 그리고
상기 푸셔(10)의 서포트(12) 상부에 형성되고 상기 슬라이더(41)의 날개(411)가 수평으로 슬라이딩 되게 삽입되는 공간부(421)를 갖는 가이더(42)
를 포함하여 이루어진다.
이때 상기 탈부착수단(40)은
상기 슬라이더(41)의 양 날개(411) 하부면 각각에 상방으로 움푹 들어간 한 쌍의 함몰부(43)와,
상기 가이더(42)의 공간부(421) 바닥에 은닉되게 배치되되 단부가 상방으로 노출되는 한 쌍의 볼(44)과,
상기 각 볼(44)을 탄성 지지하는 한 쌍의 볼스프링(45)
을 더 포함한다.
여기서 상기 각 함몰부(43)는 상기 각 볼(44) 일부가 삽입되게 반구(半球) 형상의 홈 구조이고, 상기 가이더(42)의 공간부(421)에는 상기 각 볼(44)이 삽입되게 상하로 관통되게 형성되는 한 쌍의 삽입홀(46)이 형성되며, 상기 각 삽입홀(46)의 상단은 상기 각 볼(44) 일부가 외부로 노출되면서 이탈되지 않을 정도의 직경을 갖고, 상기 각 볼스프링(45)은 상기 각 삽입홀(46) 하부 측에서 삽입되어 상기 각 볼(44)을 탄성 지지하게 되며, 상기 각 볼스프링(45)은 후술할 커버(52)에 의해 지지된다.
그리고 상기 각 볼(44)은 상부에서 바라보았을 때 서로 어긋난 위치에 배치되는 것이 바람직하며, 아울러 상기 각 함몰부(43) 또한 상기 각 볼(44)의 위치에 대응되게 서로 어긋난 위치에 배치되는 것이 바람직하다.
따라서 상기 가이더(42)의 공간부(421)로 상기 슬라이더(41)의 날개(411) 일부를 삽입시킨 후 슬라이딩 시 상기 슬라이더(41)의 날개(411)가 상기 각 볼(44)을 가압한 상태로 지나가다가 상기 각 볼(44)이 상기 각 함몰부(43)를 만나게 되면 상기 각 볼(44)의 가압이 해제되면서 상기 각 볼스프링(45)의 복원력에 의해 상기 각 함몰부(43)에 끼워지게 됨으로써, 상기 슬라이더(41)에 대한 정위치 설정이 용이하고 원스텝 방식의 간단 조립이 가능하다.
결국 본 발명은 반도체 소자 별로 적합한 푸셔를 선택하여 교체 사용할 수 있는 특징이 있다.
한편, 본 발명에 따른 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛은 변위(變位)수단(50)을 더 포함하는데,
상기 변위수단(50)은
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이,
상기 푸셔(10)의 서포트(12) 하부면에 상방으로 요입되게 형성되어 상기 샤프트헤드(32)가 자유 회전케 삽입되는 리세스(51),
상기 샤프트(30)의 나선부(31)에 끼워져 상기 샤프트헤드(32)를 지지하면서 상기 푸셔(10)의 서포트(12) 하부 측에 결합되는 커버(52),
상기 베이스(20)의 안착홈(21) 바닥에 상하 관통되게 형성되고 상기 샤프트(30)의 나선부(31)와 상호 체결되는 대응나선부(53), 그리고
상기 샤프트(30)의 나선부(31) 단부에 형성되는 공구삽입홈(54)
을 포함하여 이루어진다.
이때 도 4에서와 같이, 상기 리세스(51)는 상기 샤프트(30)의 샤프트헤드(32)가 은닉되기 위한 깊이를 갖고, 상기 샤프트헤드(32)의 원통 형상과 대응되는 공간 구조를 가짐으로써, 상기 리세스(51) 내에서 상기 샤프트헤드(32)의 자유 회전 동작이 가능하다.
그리고 도 4에서와 같이, 상기 공구삽입홈(54)은 육각홈 구조로서, 육각 렌치 등의 공구가 삽입된다.
따라서 도 4에서와 같이, 상기 공구삽입홈(54)에 삽입된 공구를 이용해 상기 샤프트(30)에 대한 정 또는 역 회전 시 상기 푸셔(10)가 상방 또는 하방으로 승강 동작을 하게 됨으로써, 상기 푸셔(10)에 대한 높낮이 조절이 가능하다.
결국 검사 대상체인 반도체 소자 별로 적합한 위치에 맞게 상기 푸셔(10)의 상하 위치를 조절할 수 있게 되는 것이다.
그리고 도 4에서와 같이, 상기 변위수단(50)은 상기 샤프트(30)의 나선부(31)에 끼워져 상단이 상기 커버(52)에 지지되고 하단이 상기 베이스(20)의 안착홈(21) 바닥에 지지되어 상기 푸셔(10) 측으로 탄성 발휘하게 되는 탄성스프링(55)을 더 포함함으로써, 상기 샤프트(30)의 나선부(31)와 상기 대응나선부(53)가 상호 체결되어 높낮이가 설정된 상태에서 상기 탄성스프링(55)의 탄성력에 통해 체결이 풀리게 되는 것을 방지할 수 있게 된다.
그리고 도 4에서와 같이, 상기 샤프트(30)의 나선부(31)에는 상기 푸셔(10)의 높낮이 조절 시 상기 베이스(20)의 안착홈(21) 내 공기압을 해소시키기 위한 공기유통로(33)가 형성된다.
상기 공기유통로(33)는 상기 나선부(31)의 외주연에 상기 나선부(31)의 상하 길이 방향을 따라 움푹 파인 홀 구조이면서 상기 나선부(31)의 외주연 둘레를 따라 등간격으로 다수개가 배치되는 것이 바람직하다.
한편, 이상의 구성으로 이루어진 푸셔(10), 베이스(20), 샤프트(30), 탈부착수단(40) 및 변위수단(50)으로 이루어진 단위체(U)는 둘 이상이 구비될 수 있는데,
이러한 둘 이상의 단위체(U)는 도 3에서와 같이, 중계부(22)에 의해 각 단위체(U)의 베이스(20)가 상호 일체로 연결되어 하나의 집합체(A)를 이룬다.
결국 상기 집합체(A)는 한 쌍의 반도체 소자 각각에 대한 푸싱 동작을 할 수 있도록 한 쌍의 푸셔(10)가 마련되는 것이다.
이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 "테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛"을 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 푸셔
11 : 푸싱헤드
12 : 서포트
20 : 베이스
21 : 안착홈
22 : 중계부
30 : 샤프트
31 : 나선부
32 : 샤프트헤드
33 : 공기유통로
40 : 탈부착수단
41 : 슬라이더
411 : 날개
42 : 가이더
421 : 공간부
43 : 함몰부
44 : 볼
45 : 볼스프링
46 : 삽입홀
50 : 변위수단
51 : 리세스
52 : 커버
53 : 대응나선부
54 : 공구삽입홈
55 : 탄성스프링
U : 단위체
A : 집합체

Claims (7)

  1. 테스트 트레이에 안착된 반도체 소자를 테스트 소켓으로 밀어내기 위한 푸싱헤드(11) 및 이를 지지하게 되는 서포트(12)를 갖는 푸셔(10);
    상기 푸셔(10)의 서포트(12)가 안착되는 상방 개구(開口)형 안착홈(21)을 갖는 베이스(20);
    상기 푸셔(10)의 서포트(12)와 상기 베이스(20)를 상호 연결하는 샤프트(30); 및
    상기 푸셔(10)에서 상기 푸싱헤드(11)와 상기 서포트(12) 간의 상호 결합 및 분리를 위한 탈부착수단(40);
    을 포함하는 단위체(U)로 이루어지되,
    상기 탈부착수단(40)은 상기 푸셔(10)의 푸싱헤드(11) 하부에 형성되고 양단부에 날개(411)를 갖는 슬라이더(41)와, 상기 푸셔(10)의 서포트(12) 상부에 형성되고 상기 슬라이더(41)의 날개(411)가 수평으로 슬라이딩 되게 삽입되는 공간부(421)를 갖는 가이더(42)로 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 탈부착수단(40)은
    상기 슬라이더(41)의 양 날개(411) 하부면 각각에 상방으로 움푹 들어간 한 쌍의 함몰부(43)와,
    상기 가이더(42)의 공간부(421) 바닥에 은닉되게 배치되되 단부가 상방으로 노출되는 한 쌍의 볼(44) 및 이들 각각을 탄성 지지하는 한 쌍의 볼스프링(45)
    을 더 포함함으로써, 상기 가이더(42)로 상기 슬라이더(41) 슬라이딩 시 상기 각 볼(44)이 상기 각 함몰부(43)에 끼워지게 되어 상기 슬라이더(41)에 대한 정위치 설정 및 조립이 가능한 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 샤프트(30)는 나선부(31)와 이의 상단에 형성되는 샤프트헤드(32)로 이루어지고,
    상기 푸셔(10)의 서포트(12) 하부면에 상방으로 요입되게 형성되어 상기 샤프트헤드(32)가 자유 회전케 삽입되는 리세스(51)와, 상기 샤프트(30)의 나선부(31)에 끼워져 상기 샤프트헤드(32)를 지지하면서 상기 푸셔(10)의 서포트(12) 하부 측에 결합되는 커버(52)와, 상기 베이스(20)의 안착홈(21) 바닥에 상하 관통되게 형성되고 상기 샤프트(30)의 나선부(31)와 상호 체결되는 대응나선부(53)와, 상기 샤프트(30)의 나선부(31) 단부에 형성되는 공구삽입홈(54)으로 이루어져, 상기 공구삽입홈(54)에 삽입된 공구를 이용해 상기 샤프트(30)에 대한 정 또는 역 회전 시 상기 푸셔(10)의 상하 높낮이 조절을 가능케 하는 변위(變位)수단(50)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 변위수단(50)에는 상기 샤프트(30)에 끼워져 상단이 상기 커버(52)에 지지되고 하단이 상기 베이스(20)의 안착홈(21) 바닥에 지지되어 상기 푸셔(10) 측으로 탄성 발휘하게 되는 탄성스프링(55)이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 샤프트(30)의 나선부(31)에는 상기 푸셔(10)의 높낮이 조절 시 상기 베이스(20)의 안착홈(21) 내 공기압을 해소시키기 위한 공기유통로(33)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛.
  7. 제 1 항 또는 제 3 항 또는 제 4 항 또는 제 5 항 또는 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 단위체(U)는 둘 이상이 구비되고, 중계부(22)에 의해 각 단위체(U)의 베이스(20)가 상호 연결되어 하나의 집합체(A)를 이루는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛.
KR1020180096042A 2018-08-17 2018-08-17 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛 KR102012745B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180096042A KR102012745B1 (ko) 2018-08-17 2018-08-17 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180096042A KR102012745B1 (ko) 2018-08-17 2018-08-17 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102012745B1 true KR102012745B1 (ko) 2019-08-21

Family

ID=67808407

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180096042A KR102012745B1 (ko) 2018-08-17 2018-08-17 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102012745B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI744205B (zh) * 2021-03-16 2021-10-21 力成科技股份有限公司 測試分類機的共用型匹配板
KR20220011962A (ko) * 2020-07-22 2022-02-03 신동익 인쇄회로기판 검사기용 핀블록 장치

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100000190U (ko) * 2008-06-25 2010-01-06 (주)테크윙 테스트핸들러의 매치플레이트용 푸셔
KR20100124544A (ko) * 2009-05-19 2010-11-29 미래산업 주식회사 테스트 핸들러용 소자 접속장치 및 이를 이용한 테스트 핸들러
KR20130027664A (ko) * 2011-09-08 2013-03-18 (주)테크윙 테스트핸들러용 매치플레이트의 푸싱유닛 및 매치플레이트와 테스트핸들러
KR20150014357A (ko) * 2013-07-26 2015-02-06 (주)테크윙 테스트핸들러의 매치플레이트용 푸셔조립체
KR101863559B1 (ko) 2016-10-24 2018-06-01 (주) 나노에이스 테스트 핸들러 매치플레이트용 푸셔 조립체

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100000190U (ko) * 2008-06-25 2010-01-06 (주)테크윙 테스트핸들러의 매치플레이트용 푸셔
KR20100124544A (ko) * 2009-05-19 2010-11-29 미래산업 주식회사 테스트 핸들러용 소자 접속장치 및 이를 이용한 테스트 핸들러
KR20130027664A (ko) * 2011-09-08 2013-03-18 (주)테크윙 테스트핸들러용 매치플레이트의 푸싱유닛 및 매치플레이트와 테스트핸들러
KR20150014357A (ko) * 2013-07-26 2015-02-06 (주)테크윙 테스트핸들러의 매치플레이트용 푸셔조립체
KR101863559B1 (ko) 2016-10-24 2018-06-01 (주) 나노에이스 테스트 핸들러 매치플레이트용 푸셔 조립체

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220011962A (ko) * 2020-07-22 2022-02-03 신동익 인쇄회로기판 검사기용 핀블록 장치
KR102377330B1 (ko) 2020-07-22 2022-03-22 신동익 인쇄회로기판 검사기용 핀블록 장치
TWI744205B (zh) * 2021-03-16 2021-10-21 力成科技股份有限公司 測試分類機的共用型匹配板
CN115069606A (zh) * 2021-03-16 2022-09-20 力成科技股份有限公司 测试分类机的共用型匹配板

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102012745B1 (ko) 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 헤드 교체 및 변위형 푸싱유닛
US8689436B2 (en) Two abutting sections of an align fixture together floatingly engaging an electronic component
US7367813B2 (en) Interface apparatus for testing IC package
EP0699913A2 (en) Interface apparatus for automatic test equipment
US10534017B2 (en) Quick change small footprint testing system and method of use
KR20160089162A (ko) 푸셔장치
JP6676340B2 (ja) 位置決め装置
KR20160124199A (ko) 집적 회로 패키지의 정렬 고정구
US7863924B2 (en) Pusher assemblies for use in microfeature device testing, systems with pusher assemblies, and methods for using such pusher assemblies
JP2006523310A (ja) 高速コネクタ
JP7247177B2 (ja) 集積回路パッケージのワークプレス検査システムの平衡適合力機構
US6876213B2 (en) Compliant actuator for IC test fixtures
US20150168451A1 (en) Compressible layer with integrated bridge in ic testing apparatus
KR20170078209A (ko) 반도체소자 테스트용 핸들러
KR101482246B1 (ko) 푸셔장치
US20140103952A1 (en) Ground contact of an integrated circuit testing apparatus
US20140035216A1 (en) Positioning structure and machining device using the same
CN106471614A (zh) 用于操纵衬底的工具、操纵方法及外延反应器
KR101863559B1 (ko) 테스트 핸들러 매치플레이트용 푸셔 조립체
TWI746742B (zh) 具有五個自由度的萬用探針組件
EP3411676A1 (en) Weigh module
EP3411677A1 (en) Weigh module
KR102239477B1 (ko) 리프트 핀 지지 어셈블리
US10320106B2 (en) Electrical component socket
KR102103339B1 (ko) 테스트 핸들러 매치플레이트를 위한 원스텝 탈착형 헤드를 갖는 푸싱유닛

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant