TW201033505A - Vacuum valve - Google Patents

Description

201033505 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種被配置於處理室和真空泵之間、 調整處理室的真空壓力用的真空閥。 【先前技術】 例如，在半導體製造裝置的CVD裝置中，對於真空容 器的反應室内的晶圓，從反應室的入口供給由構成薄膜材 料的元素所構成的材斜氣體的同時，藉由從反應室的出口 以真空果排氣’將反應室内保持在真空狀態被進行。材料 氣艘的排氣速度係’例如，藉由㈣式比例閥被控制，蝴 蝶式比例閥係無法完全遮斷配管。以，與蝴蝶式比例閱 連讀的0N-0FF式的真空閥被配置，進行配管内的流體的完 全遮斷。 & 第10圖係，被記載於專利文獻}的真空閥1〇〇的剖面 圖。 例如，被記載於專利文獻i的真空閥100係，活塞 被收納於汽缸110，構成驅動部。活塞1U係經由驅動 轴112而被連結至閥體113。閥體113係，與被設置於閱 室123的内壁的閥座124抵接或分離般，被内設於本體】如 的閥室123。閥體113係，保持構件114藉由固定螺絲 被固定於伸縮囊115的下端部115b，環狀密封構件117可 彈性變形地被裝著於在伸縮囊115的下端部丨丨此和保持構 件114之間被形成的鸠尾溝〗丨6。伸縮囊丨】5係上端部 201033505 115a在汽红Π0的汽缸接頭141和本體120之間被挾持， 下端部115b被連結至驅動軸〗12,對應於閥逋113的移動、 在閥室123内伸縮。

活塞111係’保持無摩擦件118。無摩擦件118係， 將汽缸110的内部空間氣密地區分為一次室119人和二次室 119B。真空閥1〇〇係，藉由被縮設於一次室119A的壓縮彈 簧126,得到將閥體113壓接於閥座j 24、將環狀密封構件 117密著於閥座124的閥閉止力。真空閥係，從未圖 示的操作泵供給操作空氣至二次室119B，藉由對抗壓縮彈 簧126、將活塞111朝上方移動，將閥體113從閥座124 分離，本體120的第一埠121和第二埠122作為流路聯繫。 真空閥100係，將環狀密封構件！ 25和伸縮囊115的 上端部115a和汽缸接頭141在被熔接於本體12〇的連結部 128上重疊，藉由未圖示的螺栓將本體12〇和汽缸接頭ΐ4ι 連結。環狀密封構件125係，在上端部115&和連結部128 之間被壓碎，防止外界氣體侵入至本體i 2〇。 又，將上述真空閥100在CVD裝置使用的情形，作用 氣體固化而在流路内被附著生成物。生成物係，在反應室 將膜形成於晶圓時’作為異物而混入至膜，有使製品的良 率惡化的疑慮。因此，真空閥100係，將加熱器127捲繞 於本體m而使接觸氣體部變溫’抑制生成物的發生。 然而，在真空閥100方面，鸠尾溝116和環狀密封構 件117之間的間隙或伸縮囊115的凹陷部分等，為作用氣 體容易滯留的場所。此類的場所係，即使藉由加熱器127 5 201033505 被加熱’生成物容易附著。因此，真空閥1〇〇係，有頻繁 地進行伸縮囊115的洗淨、或環狀密封構件117的交換' 加熱器127的交換等的保養的必要。 在真空閥100的保養時、活塞ηι在汽缸11〇内迴轉 的話，無摩擦件118被扭轉而有產生皺折的疑慮。緻折進 入無摩擦件118的話，從此部份破損而有產生洩漏的疑 慮。真空閥100係，將迴轉停止銷129向外突出般設置於 活塞111，在被形成於汽缸11〇的窗11〇&將所定的間隙開 啟而配置。設置間隙係，用以防立在真空閥1〇〇的動作: 迴轉停止銷129接觸於汽缸11〇而產生滑動抵抗。然而， 設置間隙的狀態下、進行真空閥i 〇〇的分解、組裝的話， 活塞111在汽缸110内迴轉，有皺折產生於無摩擦件 的疑慮。在此，在真空閥100的分解、組裝時，在迴轉停 止銷129和窗ll〇a之間安裝間隙除去構件14〇，阻止活塞 111的迴轉。 [專利文獻1]日本特開20 00-163136號公報 I發明内容】 [發明所欲解決之問題] 然而，真空閥100係，阻止活塞ln的迴轉、防止無 摩擦件118的扭轉的物件的構造複雜。亦即，活塞ιη的 迴轉停止構造係，將安裝於活塞111的迴轉停止銷129、 、不阻礙迴轉停止銷129的上下動的方式被形成在汽缸 的窗110a以及在真空閥1〇〇的分解時被配置於迴轉 201033505 停止銷129和窗110a之間的間隙除去構件14〇作為必要， 零件數目多。X，真空閥100係，在分解時需要裝卸間陳 除去構件14〇，分解作業的手讀複雜。 本發明係為了解決上述問題點’將提供活塞的迴轉停 止構造簡單化、分解作業容易的真空閥作為目的。 [解決問題之技術手段] 有關本發明的真空閥係，具有下述般的構成。

⑴有關本發明的一樣態’真空閥包括：具備閥座的本 體與上述閥座抵接或分離的閥體、以及賦予驅動力於上 述閥體的驅動部，纟中上述堪動部包括：連結至上述閥體 的驅動軸、連結至上述驅動轴且與上述閥體相反侧的活 塞、具備收納上述活塞的活塞㈣汽紅、以及被保持於上 述活塞雨將上述活塞室區分的無摩擦件；上述活塞係，具 有突出於移動方向的突起部或凹部；上述汽缸係，在與上 述突起部或上述凹部相對的面，在分解時與上述突起部或 上述凹部嵌合而將上述活塞的迴轉停止的迴轉停止部被形 成。 (2) 在記載於（1)的發明中，上述活塞係，在上述真空 閥被使㈣、在上述閥體可移動的範圍、使上述突起部： 上述凹部不被嵌合於上述迴轉停止部般，被固定於上述驅 動軸係較佳地。 (3) 在記載於⑴或⑵的發明中，在上述突起部或上述 凹部嵌合於上述迴轉停止部的方向、具有將上述活塞偏壓 的偏壓構件係較佳地。 201033505 (4)在記載於（3)的發明中，在將上述驅動部和上述本 體的連結解除時，藉由上述偏壓構件的偏壓力上述突起 部或上述凹部嵌合於上述迴轉停止部係較佳地。 [發明的效果] 上述真空閥係，包括：具備閥座的本髏、與闕座抵接 或分離的閥體、以及賦予驅動力於閥鱧的驅動部；其中驅 動部包括：連結至閥體的驅動轴、連結至驅動轴且與閥體 相反侧的活塞、具備收納活塞的活塞室的汽缸、以及被保 持於活塞而將活塞室區分的無摩擦件；活塞係，具有突出 於移動方向的突起部或凹部；汽虹係，在與突起部或凹部 相對的面，在分解時與突起部或凹部嵌合而進行活塞的迴 轉停止的迴轉停止部被形成。此類的真空閥係由於活塞 的突起部或凹㈣合於被形成^汽叙的週轉停正部而被迴 轉停止’沒有僅在迴轉停止被使帛的零件。又，因為在分 解時，不需將其他零件裝却％防止活塞的趣轉，所以真空 閥的分解作業步驟簡單。藉此，根據上述真空闕的話活 塞的迴轉停止構造簡單，可容易地進行分解作業。 在上述真空閥中，活塞係，在真空閥被使用時、在闕 髏可移動的範圍、使突起部或凹部不被嵌合於迴轉停止部 般’被固定於驅動軸。此類的真空閥係'，在使用時、突起 部或凹部從迴轉停止部脫雜，在閥體移動時、不會產生突 起部或凹部與迴轉停止部干涉而作動不良。 在上述真空閥中，因為在突被Αβ# 马在犬起邛或凹部嵌合於迴轉停 向、具有將活塞偏壓的偏壓構件，所以藉由偏壓 201033505 構件的偏壓力 止部。 可將突起部或 凹部被簡單地嵌合於迴轉停 上述真空閥係，在蔣齡备 驅動部和本體的連結解除時，藉 由偏壓構件的偏壓力，突去1如 。卩或凹部嵌合於迴轉停土部-， 所以在分解時、可使突起 卩或凹部被自動地嵌合於迴轉停 止部。 ❹ 參 【實施方式】 以下有關本發明的直 具二閱的較佳實施例，參考圖式詳 細說明。 (第一實施例） 〈真空閥的全體構成〉 第1圖係為真工閥^的下面圖。第2圖係為第^圏的 AA剖面圖。 真空閥1係，具備驅動部2和閥部3。驅動部2和閥 部3係，藉由四根螺栓5被連結，構成真空闕】的外觀。 如第2圖所示般，閥部3係，被内設於本體40。本體 40係，第一埠41和第二埠42經由閥室43連通。在閥室 43的内面，間座44被形成。在閥室心方面，闕體以以 可與閥座44抵接或分離的方式被設置。在本體以的閥室 43方面’作為隔壁的一例子的伸縮囊烈依據間體⑶的動 作可伸縮地被配設。連結部4係，藉由熔接等被固定於本 體4〇的上· 口料周，讀持伸縮囊25的上端部25a 的方式，使本體40被連結至驅動部2的汽鉦1〇。 9 201033505 另一方面’驅動部2係，經由驅動軸17連結至閥髏 19,將驅動力賦予至閥體19。驅動軸17係可滑動地被 保持於被設置於汽缸10的轴承18，在圖中上下方向往復 運動。汽缸10係，活塞室13被形成於蓋u和汽缸接頭 ‘ 12之間，活塞14被收納於此活塞室13。蓋n和汽缸接頭 12係，經由無摩擦件按壓件16將無摩擦件15的外緣部挾 持。無摩擦件按壓件16係，也完成使蓋11和汽缸接頭i 2 同軸的角色。無摩擦件15係，被保持於活塞14，將活塞 室13區分為一次室13A和二次室ΠΒ。一次室m係經❿ 由蓋11的上端開口部Ha被開放至大氣。二次室！3B係， 與被形成於汽缸接頭12的操作埠12b連通，使操作氣體被 供給排氣。 驅動軸17係，上端部被配置於活塞室13内而被連結 至活塞14 ’下端部被配置於閥室43内而被連結至閥體】9。 在汽缸接頭12和閥體19之間，作為偏壓構件的一個例子 的壓縮彈簧2G被縮設，閥體19係經常賦予朝閥座方向的⑩ 力藉此，真空閥1係，對應於二次室1 3B的内壓和壓縮 彈簧20的彈力的平衡而將活塞14移動，使閥體19與閥座 接或刀離。又，真空閥1係，未囷示的加熱器被内設 於驅動轴17的中空部’藉由加熱器的熱、將伸縮囊25或 闊體19'本艘40等的接觸氣體部加熱而抑制生成物的產 生般。 〈活塞的具體構成〉 活塞14係’具備活塞盤21和活塞本體22。活塞盤21 10 201033505 係i具#驅動轴17被插通的圓筒部21b。在面筒部21b的 周面方面，與被形成於驅動轴17的上端部外周的腸螺絲 -螺合的陰螺絲被形成。圓筒部21b係，在無摩擦件15和活 '塞本體22被插通’而被定位。活塞本體22係，利用固定 螺絲23而被固定於活塞盤21，在與活塞盤21之間挟持無 摩擦件15。 第3圖係為表示從閥部3被分離的驅動部2和伸縮囊 ❹ 25的剖面圖。 活塞14係，突起部2ia在壓縮彈簧2〇將閥體19偏壓 的方向上突出而被設置。在本實施例中由於真空閥工係 為經常關閉形式（n〇rmal clQse type)，在活塞盤21的閥 座側端面，將突起部21a突出於閥座方向般設置。又，在 本實施例中，將兩個突起部21a在藉由挾持驅動轴17而相 對的位置設置。 汽缸1 〇係，在與突起部21a相對的活塞室i3的内壁 _ (閥座側内壁)’嵌合於突起部21a而進行活塞14的迴轉停 止的迴轉停止部12a被形成。迴轉停止部丨2&係比突起 部21a的數目多，在汽缸接頭12的圓周方向以等間隔被設 置。迴轉停止部12a的數目比突起部21a的數目多係，為 了容易組裝驅動部2。活塞盤21係，在與突起部21a被設 置的面相反的面，裝著0形環24用的裝著溝被形成^ 0形 環24係，在裝著溝内被壓碎，將活塞盤21和活塞本體22 之間密封。 如第2圖所示般，真空閥1係，閘體19抵接於閥座 11 201033505 ’活塞 44時，使突起部21a不被嵌合於迴轉停止部12&般 14被固定於驅動轴17。 〈閥體的具體構成〉 如第1圖及第2圖所示般，閥體19係，作為保持構件 的一例子的閥盤26被固定在被設置於伸縮囊25的下诚 的伸縮囊盤25b(閥體本體的一例子）’環狀密封構件28被 裝著在被形成於閥盤26和伸縮囊盤25b之間的埃尾溝45。 伸縮囊25係，將金屬作為材質，將上端部25a和伸縮囊盤 25b以蛇腹部25c連結而被構成。 第4圖係，為第1圖的X部擴大剖面圖。 伸縮囊25係，上端部25a沒有間隙地被嵌合於連結部 4的嵌合部4a ’相對於本體40被定位。上端部25&係，在 與嵌合部4a相對的面，裝著環狀密封構件29用的密封溝 30被形成。環狀密封構件29係，與密封溝3〇的内壁和嵌 合部4a的内壁密著而密封。防止外界氣體侵入本體4〇。 在上端部25a的外周緣，在伸縮囊25的軸方向厚度變大的 肉厚部25d被設置。肉厚部25d係、，在將上端部.嵌合 於連結部4時，具有從連結部4突出至汽缸iq側的厚度。 肉厚部合於被設置於仏接頭12料端部的定 位段差部…，使伸縮囊25相對於〉狂接頭12 ^位。因 此’本II 40和汽缸10係’經由連結部4和伸縮囊25被配 合位置。 在肉厚部25d從連結部 ---1 太κ的部份方面，作馬E： 的一個例子的掛溝31祜 破形成。由於藉由被嵌合於掛溝 201033505 的-禾J用槓桿的原理、以小的力將上端部如從連結 部4拉上來'溝31係，在將上端部25a I合於I合部 • 4a時在對應於連結部4的上端部的位置被形成，溝31 係、，沿著肉厚部25d的外周面以環狀被形成。 第2圖所不般，伸縮囊盤25b係，被螺設於驅動轴 的下端邛伸縮囊25係，將壓縮彈簧20以蛇腹部25c 覆蓋般被配置於閥室43，從壓縮彈黃2〇或滑動部份產生 _ 的微粒不會被供給至流路内。 伸縮囊盤25b係’閥座側端面被平坦化，收納閥盤26 用的收納凹邛32以圓形被形成。伸縮囊盤⑽係，圓柱部 25e在閥座相反侧端面被突設’可形成固定my或作為 押出構件的一個例子的押出螺絲37螺合的螺孔教被厚度 加 I收納凹邛3 2的内壁方面，定位凹部3 3以環狀被 形成。固定螺絲27螺合的螺孔係，在圓周方向以等間隔被 形成，環狀密封構件28被均等地壓碎般。又，押出螺絲 _ 37螺合的螺孔係’相對於伸縮囊盤娜偏心而被形成。押 ϋ螺絲37係，相對於伸縮囊盤25b將閥盤26傾斜般抬起， 用以使環狀密封構件28容易剥下。在本實施例中，固定螺 絲27或押出螺絲37螺合的螺孔係，在定位凹部33上被形 成。 闕盤26係’成為具有可收納於收納凹部32的厚度的 圓板形。閥盤26係，嵌合於定位凹部33而將閥盤別對於 伸縮囊盤25b疋位用的凸部34，以環狀被突設於伸縮囊側 端面。 13 201033505 第5围係為第1圖的γ部擴大剖面圖。

閥盘26係，在舆伸縮囊盤25b抵接的面收納押出螺 絲37的頭部的凹部26a被形成，在收納凹部32的底面抵 接、在閥盤26的外周面和收納凹部32的内周面之間形成 鴻尾溝45 »閥盤26係，將賦予迴轉力至押出螺絲π的工 具插入用的貫通孔26b，與凹部26a在同轴上被形成。貫 ^孔別b係’以比凹部2 6 &的内徑尺寸及押出螺絲3 7的頭 4外形尺寸直徑小的方式被形成，押出螺絲Μ可與凹部 26a的内壁抵接般被進行。 、。 〈保養方法〉 其次，說明有關上述真空閥i的保養方法。 首先，壓縮彈簧20的彈簧力不作用於閥座44般， 加操作空氣於操作埠12b，在將閥體19從閥座44離開 狀態下，將螺栓5從真空閥！拆下。之後，將操作空氣 操作空氣12b排出。依據操作空氣的排.出，壓縮彈簧2〇

長’使閥體19被抵接於閥座44。由於螺栓5被拆下， 縮彈簧20係’更持續伸張，將汽缸1〇從本體4〇上壓， 迴轉停止部12a被自動地嵌合於突起部2U。藉此，活 η係對於汽缸10無法迴轉。藉由活塞盤2ι被迴轉停止 螺合於活塞盤21的驅動軸17的迴轉被阻止。將本體4(^ 閥盤26拆下之後，將伸縮囊25對於驅動軸17被迴轉^ 驅動軸17拆下、洗淨。又’環狀密封構件別、29等被! 換0 保養完成後，以與上述相反的步驟，將真空閥〗組裝 14 201033505 直到將驅動部2藉由連結部4安裝於本體4D之前，突起部 於哫轉停止部；12a。因此，無摩擦件15係，在分 解時或^裝時:扭轉力不被施加’難以產生敏折。 真二閥1係，將驅動部2藉由連結部4安裝於本體40 而完成組裝的砵，Μ丄粧 ° 藉由壓縮彈簧20、成為閥體19抵接於 a 閥座j4而成為閥閉狀態。此時，活塞盤21的突起部21 c ' 1〇的迴轉停止部嵌合般、活塞14從活塞室 ❹ 13的内壁被抬起。亦即’活塞μ的迴轉停止被自動 除。 在真二閥1的分解時，由於環狀密封構件29在上 端部5a和連結部4從上下方向被狹入而固著，即使拆下 :栓I連⑺部4附著於上端部25a。在此狀態下’無法將 申縮囊25洗淨而將環狀密封構件29交換。

在此類的場合方面，將爲平頭起子〇ninuS 的工具插入掛溝31，利用槓桿的原理而將上端部25a從連 丄上移。藉此’環狀密封構件29從連結部4或上端部 a剝去，連結部4和伸縮囊25分離。 又’環狀密封構件28固著於閥盤別和伸縮囊盤挪 2話’即使將固定螺絲27拆下，無法使閥盤別從伸縮囊 盤25b被分離而交換環狀密封構件28。 在此情形方面，在間般 杜阀盤26的貫通孔26b，將六. 或起子等的泛用工具插入而被族合於押出螺絲I將押出 ^絲37從伸縮囊盤挪被突出般被趣轉。這樣的話，藉由 出螺絲37的推進力、間盤26從伸縮囊盤挪上浮般被 15 201033505 押出’環狀密封構件28的固著被解除。 〈作用效果〉 上述真空間1係白扭•目冰姑产^ t ΑΛ 包括.具備閥座44的本體4〇、與閥 座44抵接或分離的 興間 19、以及賦予驅動力於閥體19的 顧動部2,其中驅動部 丨2匕括，連結至閥體19的驅動軸17、 連結至驅動軸17且斑閱样 守玄一 與閥體19相反側的活塞14、具備收納 活塞14的活塞室、友 3的汽缸10、以及被保持於活塞14而 ,塞至13區分的無摩擦件15;在真空閥i中，活塞14 :，具有突出於移動方向的突起部2U;汽缸ι〇係在與 突起部21a相對的面，輿穸 兴犬起部.2la嵌合而進行活塞14的 、轉停止的迴轉停止部12a被形成。此類的真空閥1係， 由於活塞14的突起部21a嵌入於被形成於汽紅1G的迴轉 停止部⑵而被迴轉停止，不需要僅在迴轉停止被使用的 零件又’ S為在分解時，將其他零件拆裝來防止活 塞14的迴轉’所以真空閥1的分解作業步驟簡單。藉此， 根據上述真：閥！的話，活塞14的迴轉停止構造簡單，可 容易地進行分解作業。 在上述真空閥1中，活塞14係，在真空閥i被使用時、 在閥體19可移動的範圍、使突起冑21&不被喪合於迴轉停 止邛12a般’被固定於驅動軸17。此類的真空閥^係，在 使用時、犬起部21a從迴轉停止部12a避開，在閥體移動 時不會產生突起部21a與迴轉停止部12a干涉而作動不 良。 在上述真空閥 因為具有在突起部21a嵌合於迴轉 16 201033505 停止部12a的方向、將活塞14偏壓的壓縮彈簧20,所以 藉由Μ縮彈菁20的偏壓力、可將突起部21a簡單地被嵌合 於迴轉停止部12a。 上述真空閥1係’在將驅動部2和本體40的連結解除 時’藉由壓縮彈簧20的偏壓力，突起部21a嵌合於迴轉停 止部12a，所以在分解時、可將突起部21a自動地被嵌合 於迴轉停止部12a。 (第二實施例） 其次，參考圖示說明本發明的第二實施例。第6圖係 為有關本發明的第二實施例的真空閥1A的剖面圖。 第二實施例的真空閥1A係，主要為驅動部2和閥部3 的連結構造與第一實施例不同。藉此，在此，將與第一實 施例不同的點作為中心說明。又，與第一實施例相同的構 成’在圖式中賦予與第一實施例相同的符號，適當地省略 說明。 汽缸10係’閉鎖構件62和蓋63被安裝於圓筒狀的汽 缸本體61 ’使活塞68被裝填而活塞室13B被形成。汽缸 本體61係，與活塞室13B連通般、操作埠61a被形成。在 活塞68方面’驅動轴17藉由螺絲66被固定。驅動轴17 係’在本體64内突出’在閥體19藉由螺絲67被連結，將 驅動部2的獎動力傳達至閥體19。驅動轴I?的滑動部份 係，在伸縮囊65被覆蓋，微粒不被供給至流路般。 本體64係’連結部64a在上端開口部被一體成形。伸 縮囊65係’具備上端部65a(隔壁的一例子）和伸縮囊盤 17 201033505 脱（闕體本體的-例子）和蛇腹部65e。本㈣係 部-經由環狀密封構件29嵌合於連結部 示的螺栓被連結至在上姓邱“直 稭由未蹰 為部65a被重疊的驅動部2。在連 …a和上端部65a之間，藉由環狀密封構件29被密 封，流體不會漏到本體64的内 係，上端部從連結部64a朝驅動上端部心 4a朝驅動部2侧突出，掛溝31在此 犬出的部份的外周面以環狀被形成。 φ 2的真空閥U係，在保養時，環狀密封構件⑼固 著於連作部64a和上端部65a的話，無法分解。此情形， 將未圖不的螺栓拆下而將媒動部2從本想64拆下後，將況 用工具插入掛溝3i，利用槓桿的原理將上端部65a從連结 部⑷上抬，可解除固著。藉此，根據真空閥u的話即 使環狀密封構件29固著於上端部65a和連結部64a，可容 易將上端部65a和連結部64a分離而分解。 :，本發明係，不限定在上述實施例，可有各種應用。 山例如’在上述實施例中，將掛溝31以環狀形成， "縮囊25、65的上端部25a、65a將掛溝_份地形 成於一處或多處也可。 (2)例如，如第8圖所示般，在伸縮囊25的肉厚部25d 從連結部4突出的部份設置環狀凸部响，在汽知接頭i2 的下端#成喪合於環狀凸部25g而對於伸縮囊U將汽缸 接頭12疋位用的定位段差部l2e也可。此情形，形成將工 具掛於環狀凸冑25g的一部份用的凹部25h，與上述實施 例的掛溝31相同，將經由㈣構件29而固著的伸縮囊μ 18 201033505 和本體4G分離般也可。 (3)例如，在上述實施例中，將押出螺絲3了作為押出 構件的-例子。相對地’將押出構件可搖動地設置於伸縮 '冑盤25卜將㈣構件的-端藉由工具的頂端按壓時、按 壓構件的另-端將闊盤26從伸縮囊盤25b突出般也可。在 此情形，在對應於閥盤26的押出構件的—端的部份，形成 插入工具的貫通孔26b也可。 〇 又，在上述實施例令，將收納押出構件的凹部26a 在閥盤26形成，但在伸縮囊盤2託形成凹部也可。 (5) 又，例如’將設置於伸縮囊盤25b側的凸部、與被 設置於閥盤26的凹部嵌合，將閥盤26對於伸縮囊盤25b 定位也可。又’在伸縮囊盤25b和閥盤26的任一個上，均 不形成定位用的凹凸也可。 (6) 例如’在上述實施例中’真空閥1、u為經常關閉 形式’但為經常開啟（open)形式也可。 β (7)例如’在上述實施例中，驅動部2只收衲一個活塞 14、68’但收納兩個以上的活塞14、68也可。 (8) 例如’在上述實施例中，藉由壓縮彈簧2〇的彈力 和二次室13Β的内壓的平衡而將閥體19驅動。相對地，例 如’在第6圖所示的蓋63具有閉鎖功能，將操作空氣供給 排氣的操作埠連通至一次室13Α和二次室13Β般分別設置 於汽缸10’藉由一次室13Α和二次室13Β的壓力平衡而驅 動閥體19般，省略壓縮彈簧20也可。 (9) 例如’在上述實施例中，將伸縮囊25作為隔壁的 19 201033505 s j如第7圖的真空閥1B.，將不具備蛇腹部的 隔壁51在驅動部2和本體4〇(連結部4)之間挾持般也可。 此情形’將隔壁51和躁動軸17之間藉由密封構件以密 封：防止流體在本體4。和藤動部2之間泡漏係所希望的。 閥體本體54螺設於驅動轴17的下端部將闕盤μ 安裝於閥體本體54的收納凹部32，構成閥體Η也可。 鲁

(1〇^列如，在上述實施例中，在活塞14設置突起部 la在八缸1〇設置凹狀的迴轉停止部相對地，如 第7圖：示般，在活塞"A的活塞盤2U設置凹部2H， 成/飞叙10A的汽缸接頭12A的對應於凹部21d的場所 分別將迴轉停切12d突設也可。在此情形將驅動部2 從本艘4〇拆下的話，藉由壓縮彈I 53的偏壓力，活塞14A 移動而將凹部21d自動地嵌合於迴轉停止冑12d，可進行 迴·轉停止。 (11) 例如，在上述實施例中，將壓縮彈簧2〇配置於 一 内，但如第7圖所示般，將壓縮彈簧53(偏壓構件的 個例子）配設於汽缸10的一次室13A也可。 (12) 例如，如第9圖所示般，將推拔部3乜設置於 =34的外周面和内周面而將凸部％頂端變細藉由在定 立凹部33滑動接觸於凸部34的面設置對應於凸部^的推 拔部33a，凸部34從定位凹部33容易拆下也可。此情形， 又到凸部34和定位凹部33的嵌合長度的影響，可將閥 盤26從伸'缩囊盤25b被分離。 (13) 例如’即使將固定螺絲27和押出螺絲37的配置 20 201033505 伸縮囊盤 絲37的 和上述賁施例變化（例如’將押出螺絲37配置於 25b的中心萼），與上述實施例相同，藉由押出螺 推進力可將闕盤26從伸縮囊盤25b抬起而分離。 【圖式簡單說明】 間的 第1圖係為表示有關本發明的第—實施例的真空 下面圖； ^ 第2圖係為第1圖的AA剖面圖； 第3圖係為表示從閥部被分離的驅動部和伸縮囊、 面圖； 的剖 第4圖係為第2圖的X部擴大剖面圖； 第5阖係為第2 .圖的γ部擴大剖面圖； 第6圖係為表示有關本發明的第二實施例 剖面圖； 異疋閱的 第7圖係為真空閥的變形例； 第8圓係為表示凹部的一例的圖示； 第9圖係為凸部和定位凹部的變形例；以及 第ί 0圖係為被記載於專利文獻1的真空閥的剖面圖 【主要元件符號說明】 1、1Β真空閥、 2驅動部、 1 〇汽叙、 12a、12d迴轉停止部、 21 201033505 1 3活塞室、 14活塞、 15無摩擦件、 17閥轴、 20壓縮彈簧（偏壓構件的一個例子）、 21a突起部、 21 d凹部。

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Claims (1)

1. 201033505 七、申請專利範圍： 1.一種真空閥，包括：具備閥座的本體、舆上述閥座 抵接或分離的閥體、以及賦予驅動力於上述閥體的驅動 . 部’其中上述驅動部包括：連結至上述閥體的驅動轴、連 結至上述驅動軸且與上述閥體相反側的活塞、具備收納上 述活塞的活塞室的汽紅、以及被保持於上述活塞而將上述 活塞室區分的無摩擦件； © 其中上述活塞係，具有突出於移動方向的突起部或凹 部； 上述汽鉦係，在與上述突起部或上述凹部相對的面， 在分解時與上述突起部或上述凹部嵌合雨將上述活塞的迴 轉停止的迴轉停止部被形成。 2·如申請專利範圍第1項所述之真空閥，其中上述活 塞係，在上述真空閥被使用時、在上述閥體可移動的範圍 内、使上述突起部或上述凹部不被嵌合於上述迴轉停止部 β 般，被固定於上述驅動轴。 3. 如申請專利範圍第1或.2項所述之真空閥，其中在 上述突起部或上述凹部嵌合於上述迴轉停止部的方向、具 有將上述活塞偏壓的偏壓構件。 4. 如申請專利範圍第3項所述之真空閥，其中在將上 述驅動部和上述本體的連結解除時，藉由上述偏壓構件的 偏壓力，上述突起部或上述凹部嵌合於上述迴轉停止部。 23