TW200946982A - Mother substrate, film formation region arrangement method, and color filter manufacturing method - Google Patents

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200946982 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於具備數個膜形成區域之母基材，在母基材 中之膜形成區域的配設方法，及具備其具有濾光器獏之遽 光器區域的彩色濾光器之製造方法。 【先前技術】 先前形成彩色液晶裝置之彩色濾光器膜等的功能膜之技 術，習知有藉由使用具有將液狀體作為液滴而喷出之液滴 ® 喷出頭的液滴喷出裝置，喷出包含功能膜之材料的液狀體 之液滴’使其喷灑於基板上之任意位置，在該位置上配置 液狀體，使配置之液狀體乾燥而形成功能膜的技術。用於 形成此種膜之液滴喷出裝置的液滴喷出頭，因為可從其喷 出喷嘴選擇性地喷出微小之液滴’而位置精度良好地喷 濃’所以可形成具有精密之平面形狀及膜厚的膜。 記載於專利文獻1之喷墨頭列，藉由將噴出頭並列配置於 參主掃描方向，而提高副掃描方向之喷出喷嘴的密度。亦即， 藉由縮小在副掃描方向之喷出喷嘴的間隔，並縮小噴出之 液狀體的間隔，而實現副掃描方向之描繪分解能力高的頭 列（line head)。 主掃描方向之描繪分解能力係藉由以主掃描方向之喷出 喷嘴與描繪對象物之相對移動速度，與噴出液狀體之喷出 頻率而決定之喷出間隔（以後，註記為「噴出分解能力」） 而決定。專利文獻2中揭示有藉由調節噴出分解能力，可對 描繪對象物之被描繪區域實現適切之描繪分解能力的液滴 137620.doc 200946982 噴出方法。 [專利文獻1]曰本特開平1〇_166574號公報 [專利文獻2]日本特開2006-130469號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] ❸

但疋’使用記載於上述專利文獻之裝置及方法，為了在 基板上同精度地配置液狀體，於實施喷出之前，需要對液 滴喷出裝置精確定位而設定基板。 疋位時’係在特定設定於液滴噴出裝置之喷出噴嘴及基 板之位置用的座標系統中進行方向調整，使檢測基板之基 準點的位置及規定基板中被喷出區域之位置用的座標系統 之座標轴的方向’與液滴喷出裝置之座標系統的座標軸方 向-致。方向調整時，使用可使基板回旋於垂直於液滴喷 出裝置及基板之座標系統的轴之軸周圍方向的回旋裝置。 使所設定之基板移動於與液滴喷出頭對向之位置，配置液 狀體時，使液滴嘴出頭與基板相對移動。 -般而言’可移動裝置為了可移動，微觀上不能成為完 全固疋狀態。因為回旋裝置亦不能成為完全固定狀態，所 以藉由⑽裝置而調整了座標軸方向之基板，於調整結束 後，座標軸方向仍可能產生微小之偏差1基板之垂直於 座標系統的轴之轴周圍方向偏差，而有噴出之液狀體在基 ，上之喷麗位置可能從指定之位置產生微小之偏差的問 題。近年製造出之高精細的顯示裝置於製造中，可能因微 小之位置偏差影響形成之臈的形狀精度，而影響製品之性 I37620.doc 200946982 能。此外’因為為了製造之效率化而使用大型化之基板， 以致基板對液滴喷出裝置之方向偏差大為影響喷灑位置之 位置偏差。 [解決問題之技術手段] 本發明係為了解決上述問題之至少一部分而形成者，且 可作為以下之形態或適用例而實現。 [適用例1]關於本適用例之母基材的特徵為：其係具備數 個膜形成區域，該等膜形成區域具有1個以上之膜形成分 區，且母基材具有：第一膜形成區域，其係具備第一膜形 成分區；及第二膜形成區域，其係具備膜之形成面積比第 一膜形成分區小的第二膜形成分區；在設定於配置膜材料 時使用之配置裝置的狀態下，對包含於前述配置裝置之回 方疋裝置的回旋中心，在比前述第一膜形成區域近之位置配 設有前述第二膜形成區域。 採用該母基材時，具有膜之形成面積比第一膜形成分區 小之第二膜形成分區的第二膜形成區域，在配置裝置中設 定了母基材之狀態下’配設於比具有第一膜形成分區之第 一膜形成區域接近回旋裝置之回旋中心的位置。 回旋裝置中發生回旋方向之偏差時，在藉由回旋裝置而 回旋之母基材中，愈遠離回旋中心之位置，位置偏差量愈 大。即使是相同位置偏差量，膜形成分區之大小愈小，配 置之膜材料的一部分超出膜形成分區等，膜材料之配置狀 態受到影響之可能性愈大。藉由將具有膜之形成面積比第 一膜形成分區小之第二膜形成分區的第二膜形成區域配設 137620.doc -6 - 200946982 於接近回旋中心之位置，可抑制因回旋裝置中在回旋方向 之偏差造成的位置偏差，而臈材料之配置狀態受到影響。 [適用例2]關於上述適用例之母基材中，前述配置裝置具 備.配置頭，其係配置前述膜材料；及相對移動裝置，其 係使前述配置頭與前述母基材相對移動於主掃描方向；前 述第一膜形成分區在前述主掃描方向之寬度係第一寬度， 前述第二膜形成分區在前述主掃描方向之寬度係比前述第 一寬度小之第二寬度，在前述配置裝置中設定了前述母基 材之狀態下，在與前述主掃描方向概略正交的副掃描方向 上，前述第二膜形成區域宜配設於比前述第一膜形成區域 接近前述回旋中心之位置。 採用該母基材時，膜形成分區在主掃描方向之寬度係第 二寬度的第二膜形成區域，在配置裝置中設定了母基材之 狀態下，比膜形成分區在主掃描方向之寬度係比第二寬度 大之第一寬度的第一臈形成區域，在副掃描方向上配設於 接近回旋裝置之回旋中心的位置。 回旋裝置中I生回旋方向之偏差_，在藉由回旋裝置而 回旋之母基材中，於副掃描方向上愈遠離回旋中心之位 置，主掃描方向之位置偏差量愈大。 即使是相同位置偏差量，膜形成分區之寬度愈小，所配 置之膜材料的一部分超出膜形成分區彡’媒#料之配置狀 態受到影響的可能性愈大。藉由將膜形成分區在主掃描方 向之寬度比第一膜形成區域小的第二膜形成區域配設於在 副掃描方向接近回旋中心之位置，可抑制因回旋裝置中在 137620.doc 200946982 回旋方向之偏差造成的位置偏差，而膜材料之配置狀態受 到影響。 [適用例3 ]關於上述適用例之母基材中，前述配置裝置具 備··配置頭，其係配置前述膜材料；及相對移動裝置，其 係使前述配置頭與前述母基材相對移動於主掃描方向；前 述第一膜形成分區在與前述主掃描方向概略正交之副掃摇 方向的寬度係第三寬度，前述第二膜形成分區在前述副掃 描方向之寬度係比前述第三寬度小之第四寬度，在前述配 置裝置中設定了前述母基材之狀態下，在前述主掃描方向 上，前述第二膜形成區域宜配設於比前述第一膜形成區域 接近前述回旋中心之位置。 採用該母基材時，膜形成分區在副掃描方向之寬度係第 四寬度的第二膜形成區域，在配置裝置中設定了母基材之 狀態下，比膜形成分區在副掃描方向之寬度係比第四寬度 大之第二寬度的第一膜形成區域，在主掃描方向上配設於 接近回旋裝置之回旋中心的位置。 回旋裝置中發生回旋方向之偏差時，在藉由回旋裝置而 回旋之母基材中，於主掃描方向上愈遠離回旋中心之位 置’副掃描方向之位置偏差量愈大。 即使是相同位置偏差量，膜形成分區之寬度愈小，所配 置之膜材料的一部分超出膜形成分區等，膜材料之配置狀 態受到影響的可能性愈大。藉由將媒形成分區在副掃描方 向之寬度比第-膜形成區域小的第二膜形成區域配設於在 主掃描方向接近回旋中心之位置可抑制因回旋裝置中在 137620.doc 200946982 回旋方向之偏差造成的位置偏差，而膜材料之配置狀態受 到影響。 [適用例4]關於上述適用例之母基材中，前述第二膜形成 區域宜配設於比前述第一膜形成區域接近前述母基材之中 央的位置。 採用該母基材時，藉由將第二膜形成區域配設於比第一 膜形成區域接近母基材之中央的位置，在母基材之中央概 略重疊於回旋中心的狀態下，藉由將母基材裝設於配置裝 置’可使第二膜形成區域位於比第一膜形成區域接近回旋 中心之位置。藉由形成母基材之中央概略重疊於回旋中心 的狀態’可使從回旋中心至母基材之各部分的距離之最大 值形成最小。發生回旋方向之偏差時，因為藉由回旋裝置 而回旋之母基材中，愈遠離回旋中心之位置，位置偏差量 愈大’所以’藉由將從回旋中心至母基材之各部分的距離 之最大值形成最小，可縮小因回旋方向之偏差造成的位置 偏差量之最大值的大小。 [適用例5]關於上述適用例之母基材，前述母基材具備： 第一區域行，其係在前述主掃描方向上排列了數個前述第 一膜形成區域；及第二區域行，其係在前述主掃描方向上 排列了數個前述第二膜形成區域；在前述配置裝置中設定 了前述母基材之狀態下，前述第二區域行在前述副掃描方 向上，宜配設於比前述第一區域行接近前述回旋中心之位 置。 採用該母基材時，第一區域行及第二區域行之相同第一 137620.doc 200946982 膜形成區域或第二膜形成區域在主掃描方向上相連。因 而’藉由在一次主掃描方向之相對移動之間，在對應於在 相同第一膜形成區域或第二膜形成區域配置膜材料的一定 驅動條件下驅動各個配置頭，可實施膜材料之配置。 [適用例6]關於上述適用例之母基材中，前述第二區域行 宜配設於比前述第一區域行接近前述母基材之中央的位 置。 採用該母基材時，藉由將第二區域行配設於比第一區域 行接近母基材之中央的位置，可將第二膜形成區域配設於 比第一臈形成區域接近母基材中央之位置。藉此，在母基 材之中央概略重疊於回旋中心的狀態下，藉由將母基材裝 設於配置裝置，可使第二膜形成區域位於比第一膜形成區 域接近回旋中心之位置。藉由形成母基材之中央概略重疊 於回旋中心的狀態，可使從回旋中心至母基材之各部分的 距離之最大值形成最小。發生回旋方向之偏差時，因為藉 由回旋裝置而回旋之母基材中，愈遠離回旋中心之位置， 位置偏差量愈大，所以，藉由將從回旋中心至母棊材之各 部分的距離之最大值形成最小，可縮小因回旋方向之偏差 造成的位置偏差量之最大值的大小。 [適用例7]關於上述適用例之母基材，前述母基材具備： 第一區域行，其係在前述副掃描方向上排列了數個前述第 一膜形成區域；及第四區域行，其係在前述副掃描方向上 排列了數個前述第二膜形成區域；在前述配置裝置中設定 了前述母基材4狀態T，宜將前述第四區域行在前述主掃 137620.doc •10· 200946982 描方向上，配設於比前述第三區域行接近前述回旋中心之 位置。 採用該母基材時，第三區域行及第四區域行之相同第一 膜形成區域或第二膜形成區域在副掃描方向上相連。因 而，藉由在對應於在相同第一膜形成區域或第二膜形成區 域配置膜材料的同一驅動條件下驅動在副掃描方向並列之 數個配置頭，可實施臈材料之配置。因為驅動條件均一， 且主掃描方向之相對移動速度亦在並列於副掃描方向之數 #^置帛中共通’戶斤以可抑制因配合相對移動速度緩慢之 配置頭而造成作業時間增加。 [適用例8]關於上述適用例之母基材中，前述第四區域行 宜配设於比前述第三區域行接近前述母基材之中央的位 置。 ' 採用該母基材時，藉由將第四區域行配設於比第三區域 行接近母基材之中央的位置，可將第二膜形成區域配設於 φ 比第—膜形成區域接近母基材t央之位置。藉此，在母基 材之中央概略重昼於回旋中心的狀態下，藉由將母基材裝 設於配置裝置，可使第二膜形成區域位於比第一膜形成區 . 域接近回旋中〜之位置。藉由形成母基材之中央概略重疊 力回旋中心的狀態，可使從回旋中心至母基材之各部分的 距離之最大值形成最小。發生回旋方向之偏差時因為藉 由回旋裝置而回旋之母基材中，愈遠離回旋中心之位置， 位置偏差量愈大，所以’藉由將從回旋中心至母基材之各 部分的距離之最大值形成最小，可縮小因回旋方向之偏差 137620.doc 200946982 造成的位置偏差量之最大值的大小。 [適用例9]關於本適用例之膜形成區域之配設方法的特 徵為：其係用於具備數個膜形成區域之母基材，該等膜形 成區域具有1個以上之膜形成分區，且前述母基材具備：第 一膜形成區域，其係具有第一膜形成分區；及第二膜形成 區域，其係具有膜之形成面積比前述第一臈形成分區小的 第二膜形成分區；在配置膜材料時使用之配置裝置中設定 了刖述母基材的狀態下，對包含於前述配置裝置之回旋裝 置的回旋中心，在比前述第一膜形成區域近之位置配設前 述第二膜形成區域。 採用該膜形成區域之配設方法時，具備膜之形成面積比 第一膜形成分區小之第二膜形成分區的第二膜形成區域， 在配置裝置中設定了母基材之狀態下，配設於比具有第一 膜形成分區之第一膜形成區域接近回旋裝置之回旋中心的 位置。 回旋裝置中發生回旋方向之偏差時，在藉由回旋裝置而 回旋之母基材中，愈遠離回旋中心之位置其位置偏差量愈 大。即使是相同位置偏差量，膜形成分區之大小愈小所 配置之膜材料的一部分超出膜形成分區等，膜材料之配置 狀態受到影響的可能性愈大。藉由將具有膜之形成面積比 第一膜形成分區小的第二膜形成分區之第二膜形成區域配 置於接近回旋中心的位置，可抑制因回旋裝置中在回旋方 向之偏差造成的位置偏差，而膜材料之配置狀態受到影響。 [適用例10]關於上述適用例之膜形成區域之配設方法 137620.doc -12- 200946982 中，前述配置裝置係使配置前述膜材料之配置頭與前述母 基材在主掃描方向上相對移動並配置前述膜材料，前述第 一膜形成分區在前述主掃描方向之寬度係第一寬度，前述 第二膜形成分區在前述主掃描方向之寬度係比前述第一寬 度小之第二寬度，在前述配置裝置中設定了前述母基材之 狀態下，在與前述主掃描方向概略正交的副掃描方向上， 宜將前述第二膜形成區域配設於比前述第一膜形成區域接 近前述回旋中心之位置。 採用該膜形成區域之配設方法時，膜形成分區在主掃描 方向之寬度係第二寬度的第二膜形成區域，在配置裝置中 設定了母基材之狀態下，比膜形成分區在主掃描方向之寬 度係比第二寬度大之第一寬度的第一膜形成區域，在副掃 描方向上配設於接近回旋裝置之回旋中心的位置。 回旋裝置中發生回旋方向之偏差時，在藉由回旋裝置而 回旋之母基材中，於副掃描方向上愈遠離回旋中心之位 置’主掃描方向之位置偏差量愈大。 即使是相同位置偏差量，膜形成分區之寬度愈小，所配 置之膜材料的一部分超出膜形成分區等，膜材料之配置狀 態受到影響的可能性愈大。藉由將膜形成分區在主掃描方 向之寬度比第一膜形成區域小的第二膜形成區域配設於在 副掃描方向接近回旋中心之位置，可抑制因回旋裝置中在 回旋方向之偏差造成的位置偏差，而膜材料之配置狀態受 到影響。 [適用例11]關於上述適用例之膜形成區域之配設方法 137620.doc •13· 200946982 中’前述配置裝置係使配置前述膜材料之配置頭與前述母 基材在主掃描方向上相對移動並配置前述膜材料，前述第 一膜形成分區在與前述主掃描方向概略正交之副掃描方向 的寬度係第三寬度，前述第二膜形成分區在前述副掃描方 向之寬度係比前述第三寬度小之第四寬度，在前述配置裝 置中設定了前述母基材之狀態下，在前述主掃描方向上， 宜將前述第二膜形成區域配設於比前述第一臈形成區域接 近前述回旋中心之位置。 採用該膜形成區域之配設方法時，膜形成分區在副掃描 方向之寬度係第四寬度的第二膜形成區域，在配置裝置中 設定了母基材之狀態下，比膜形成分區在副掃描方向之寬 度係比第四寬度大之第三寬度的第一膜形成區域，在主掃 描方向上配設於接近回旋裝置之回旋中心的位置。 回旋裝置中發生回旋方向之偏差時，在藉由回旋裝置而 回旋之母基材中，於主掃描方向上愈遠離回旋中心之位 置，副掃描方向之位置偏差量愈大。 即使是相同位置偏差量，膜形成分區之寬度愈小，所配 置之膜材料的一部分超出膜形成分區等，膜材料之配置狀 態受到影響的可能性愈大。藉由將膜形成分區在副掃描方 向之寬度比第一膜形成區域小的第二膜形成區域配設於在 主掃描方向接近回旋中心之位置，可抑制因回旋裝置中在 回旋方向之偏差造成的位置偏差，而膜材料之配置狀態受 到影響。 [適用例12]關於上述適用例之膜形成區域之配設方法 137620.doc 200946982 中，宜將前述第二膜形成區域配設於比前述第一膜形成區 域接近前述母基材之中央的位置β 採用該膜形成區域之配設方法時，藉由將第二膜形成區 域配設於比第一膜形成區域接近母基材之中央的位置，在 母基材之中央概略重疊於回旋中心的狀態下，藉由將母基 材裝設於配置裝置，可使第二膜形成區域位於比第一膜形 成區域接近回旋中心之位置。藉由形成母基材之中央概略 重疊於回旋中心的狀態，可使從回旋中心至母基材之各部 分的距離之最大值形成最小。發生回旋方向之偏差時因 為藉由回旋裝置而回旋之母基材中，愈遠離回旋中心之位 置，位置偏差量愈大，所以，藉由將從回旋中心至母基材 之各部分的距離之最大值形成最小，可縮小因回旋方向之 偏差造成的位置偏差量之最大值的大小。 [適用例13]關於上述適用例之臈形成區域之配設方法 中，前述母基材具備：第一區域行，其係在前述主掃描方 向上排列了數個前述第一膜形成區域；及第二區域行，其 係在前述主掃描方向上排列了數個前述第二膜形成區域； 在前述配置裝置中設定了前述母基材之狀態下，宜將前述 第二區域行在前述副掃描方向上，配設於比前述第一區域 行接近前述回旋中心之位置。 採用該膜形成區域之配設方法時，第一區域行及第二區 域行之相同第一膜形成區域或第二膜形成區域在主掃描方 向上相連。因而，藉由在一次主掃描方向之相對移動之間， 在對應於在相同第一膜形成區域或第二膜形成區域配置膜 137620.doc •15- 200946982 材料的一定驅動條件下堪動各個配置頭，可實施膜材料之 配置。 [適用例14]關於上述適用例之膜形成區域之配設方法 中’前述第二區域行宜配設於比前述第一區域行接近前述 母基材之中央的位置。 採用該膜形成區域之配設方法時，藉由將第二區域行配 設於比第一區域行接近母基材之中央的位置，可將第二膜 形成區域配設於比第一膜形成區域接近母基材中央之位 置。藉此’在母基材之中央概略重疊於回旋中心的狀態下， 藉由將母基材裝設於配置裝置，可使第二膜形成區域位於 比第一膜形成區域接近回旋中心之位置。藉由形成母基材 之中央概略重疊於回旋中心的狀態，可使從回旋中心至母 基材之各部分的距離之最大值形成最小。發生回旋方向之 偏差時，因為藉由回旋裝置而回旋之母基材中，愈遠離回 旋中心之位置，位置偏差量愈大，所以，藉由將從回旋中 心至母基材之各部分的距離之最大值形成最小可縮小因 回旋方向之偏差造成的位置偏差量之最大值的大小。 [適用例15]關於上述適用例之膜形成區域之配設方法， 前述母基材具備：第三區域行，其係在前述副掃描方向上 排列了數個前述第一膜形成區域；及第四區域行，其係在 前述副掃描方向上排列了數個前述第二膜形成區域；在前 述配置裝置中設定了前述母基材之狀態下，宜將前述第四 區域行在則述主掃描方向上，配設於比前述第三區域行接 近前述回旋中心之位置。 137620.doc -16 - 200946982 採用該膜形成區域之配設方法時，第三區域行及第四區 域行之相同第一膜形成區域或第二膜形成區域在副掃描方 向上相連。因而，藉由在對應於在相同第一膜形成區域或 第二膜形成區域配置膜材料的同一驅動條件下驅動在副掃 描方向並列之數個配置頭，可實施膜材料之配置。因為驅 動條件均一，且主掃描方向之相對移動速度亦在並列於副 掃描方向之數個配置頭中共通，所以可抑制因配合相對移 動速度緩慢之配置頭而造成作業時間增加。 [適用例16]關於上述適用例之膜形成區域之配設方法 中’前述第四區域行宜配設於比前述第三區域行接近前述 母基材之中央的位置。 採用該膜形成區域之配設方法時，藉由將第四區域行配 設於比第三區域行接近母基材之中央的位置，可將第二膜 形成區域配設於比第一膜形成區域接近母基材中央之位 置。藉此’在母基材之中央概略重疊於回旋中心的狀態下， 藉由將母基材裝設於配置裝置，可使第二膜形成區域位於 比第一膜形成區域接近回旋中心之位置。藉由形成母基材 之中央概略重叠於回旋中心的狀態，可使從回旋中心至母 基材之各部分的距離之最大值形成最小。發生回旋方向之 偏差時，因為藉由回旋裝置而回旋之母基材中，愈遠離回 旋中心之位置’位置偏差量愈大，所以，藉由將從回旋中 心至母基材之各部分的距離之最大值形成最小，可縮小因 回旋方向之偏差造成的位置偏差量之最大值的大小。 [適用例1 7]關於本適用例之彩色濾光器之製造方法，其 137620.doc -17· 200946982 ❹

特徵為：其係對母基板在色要素區域中形成色要素膜，該 母基板用以形成具備具有1個以上之前述色要素區域的濾 光器區域之數個彩色濾光器，且前述母基板具備：第一濾 光器區域’其係具有第一色要素區域；及第二濾光器區域， 其係具有前述色要素膜之形成面積比前述第一色要素區域 小之第二色要素區域；在配置色要素膜材料時使用之配置 裝置中設定了前述母基板的狀態下，對包含於前述配置裝 置中之回旋裝置的回旋中心’在比前述第一濾光器區域近 之位置配設前述第二濾光器區域，並在該第一濾光器區域 及第二濾光器區域中之各個前述色要素區域中，使用前述 配置裝置而配置色要素膜材料。 採用該彩色濾光器之製造方法時，具有色要素膜之形成 面積比第一色要素區域小之第二色要素區域的第二濾光器 區域，在配置裝置中設定了母基板之狀態下，配置於比具 有第一色要素區域之第一濾光器區域接近回旋裝置之回旋 中心的位置》 回旋裝置中發生回旋方向之偏差時，在藉由回旋裝置而 回旋之母基板中，愈遠離回旋中心之位置其位置偏差量愈 大。即使是相同位置偏差量，色要素區域之大小愈小所 配置之色要素膜材料的一部分超出色要素區域等，色要素 膜材料之配置狀態受到影響的可能性愈大。藉由將具有色 要素膜之形成面積比第一色要素區域小的第二色要素區域 之第二濾光器區域配設於比具有第一色要素區*域之第一濾 光器區域接近回旋中心的位置，可抑制因回旋裝置中在回 137620.doc • 18 - 200946982 旋方向之偏差造成的位置偏差，而色要素膜材料之配置狀 態受到影響。 [適用例18]關於上述適用例之彩色濾光器之製造方法 中，前述配置裝置係使配置前述色要素膜材料用之配置頭 與前述母基板在主掃描方向上相對移動並配置前述色要素 臈材料，前述第一色要素區域在前述主掃描方向之寬度係 第一寬度，前述第二色要素區域在前述主掃描方向之寬度 係比前述第一寬度小之第二寬度，在前述配置裝置中設定 了前述母基板之狀態下，在與前述主掃描方向概略正交的 副掃描方向上，宜將前述第二濾光器區域配設於比前述第 一渡光器區域接近前述回旋中心之位置。 採用該彩色濾光器之製造方法時，色要素區域在主掃描 方向之寬度係第二寬度的第二濾光器區域，在配置裝置中 設疋了母基板之狀態下，比色要素區域在主掃描方向之宽 度係比第二寬度大之第一寬度的第一濾光器區域，在副掃 描方向上配設於接近回旋裝置之回旋中心的位置。 回旋裝置中發生回旋方向之偏差時，在藉由回旋裝置而 回旋之母基板中，於副掃描方向上愈遠離回旋中心之位 置’主掃描方向之位置偏差量愈大。 即使是相同位置偏差量，色要素區域之寬度愈小，所配 置之色要素膜材料的一部分超出色要素區域等，色要素膜 材料之配置狀態受到影響的可能性愈大。藉由將色要素區 域在主掃描方向之寬度比第一濾光器區域小的第二濾光器 區域配設於在副掃描方向接近回旋中心之位置可抑制因 137620.doc •19· 200946982 回旋裝置中在回旋方向之偏差造成的位置偏差，而色要素 膜材料之配置狀態受到影響。 [適用例19]關於上述適用例之彩色濾光器之製造方法 中，前述配置裝置係使配置前述色要素膜材料用之配置頭 與前述母基板在主掃描方向上相對移動並配置前述色要素 膜材料，前述第一色要素區域在前述色要素區域之與前述 主掃描方向概略正交的副掃描方向之寬度係第三寬度，前 述第二色要素區域在前述副掃描方向之寬度係比前述第三 寬度小之第四寬度，在前述配置裝置中設定了前述母基板 之狀態下，在前述主掃描方向上，宜將前述第二濾光器區 域配設於比前述第一濾光器區域接近前述回旋中心之位 置。 採用該彩色濾光器之製造方法時，色要素區域在副掃描 方向之寬度係第四寬度的第二濾光器區域，在配置裝置中 6又定了母基板之狀態下，比色要素區域在副掃描方向之寬 度係比第四寬度大之第三寬度的第一濾光器區域，在主掃 描方向上配設於接近回旋裝置之回旋中心的位置。 回旋裝置中發生回旋方向之偏差時，在藉由回旋裝置而 回旋之母基板中，於主掃描方向上愈遠離回旋中心之位 置’副掃描方向之位置偏差量愈大。 即使是相同位置偏差量，色要素區域之寬度愈小，所配 置之色要素膜材料的一部分超出色要素區域等，色要素膜 材料之配置狀態受到影響的可能性愈大。藉由將色要素區 域在副掃财向之寬度比第一淚力器區域小的第二滤光器 137620.doc -20· 200946982 £域配設於在主掃描方向接近回旋中心之位置，可抑制因 回旋裝置中在回旋方向之偏差造成的位置偏差，而色要素 膜材料之配置狀態受到影響。 [適用例20]關於上述適用例之彩色濾光器之製造方法 中’宜將前述第二濾光器區域配設於比前述第一濾光器區 域接近前述母基板之中央的位置。 採用該彩色濾光器之製造方法時，藉由將第二濾光器區 域配設於比第一濾光器區域接近母基板之中央的位置，在 母基板之中央概略重疊於回旋中心的狀態下，藉由將母基 板裝設於配置裝置，可使第二濾光器區域位於比第一濾光 器區域接近回旋中心之位置。藉由形成母基板之中央概略 重疊於回旋中心的狀態，可使從回旋中心至母基板之各部 分的距離之最大值形成最小。發生回旋方向之偏差時因 為藉由回旋裝置而回旋之母基板中，愈遠離回旋中心之位 置，位置偏差量愈大，所以，藉由將從回旋中心至母基板 之各部分的距離之最大值形成最小，可縮小因回旋方向之 偏差造成的位置偏差量之最大值的大小。 [適用例21]關於上述適用例之彩色濾光器之製造方法 中，則述母基板具備：第一濾光器區域行，其係在前述主 掃描方向上排列了數個前述第一濾光器區域；及第二濾光 器區域行，其係在前述主掃描方向上排列了數個前述第二 渡光器區域；在前述配置裝置中設定了前述母基板之狀態 下，在前述副掃描方向上，宜將前述第二濾光器區域行配 «又於比則述第一濾光器區域行接近前述回旋中心之位置。 137620.doc •21 - 200946982 採用該彩色濾光器之製造方法時，第一濾光器區域行及 第二濾光器區域行之相同第一濾光器區域或第二濾光器區 域在主掃描方向上相連。因而，藉由在一次主掃描方向之 相對移動乏間，在對應於在相同第一滤光器區域或第二濾 光器區域配置色要素膜材料的一定驅動條件下驅動各個配 置頭，可實施膜材料之配置。 [適用例22]關於上述適用例之彩色濾光器之製造方法 中’宜將前述第二濾光器區域行配設於比前述第一濾光器 區域行接近前述母基板之中央的位置。 採用該彩色濾光器之製造方法時，藉由將第二濾光器區 域行配設於比第一濾光器區域行接近母基板之中央的位 置’可將第二濾光器區域配設於比第一濾光器區域接近母 基板中央之位置。藉此，在母基板之中央概略重疊於回旋 中心的狀態下，藉由將母基板裝設於配置裝置，可使第二 遽光器區域位於比第一遽光器區域接近回旋中心之位置。 藉由形成母基板之中央概略重疊於回旋中心的狀態，可使 從回旋中心至母基板之各部分的距離之最大值形成最小。 發生回旋方向之偏差時’因為藉由回旋裝置而回旋之母基 板中，愈遠離回旋中心之位置，位置偏差量愈大，所以， 可縮小因回旋方向之偏差造成的位置偏差量之大小。 [適用例23]關於上述適用例之彩色濾光器之製造方法 中’前述母基板具備：第三濾光器區域行，其係在前述副 掃描方向上排列了數個前述第一濾光器區域；及第四濾光 器區域行，其係在前述副掃描方向上排列了數個前述第二 137620.doc -22- 200946982 濾光器區域·，在前述配置裝置中設定了前述母基板之狀態 下，在則述主掃描方向上，宜將前述第四濾光器區域行配 权於比刖述第二據光器區域行接近前述回旋中心之位置。 採用該彩色濾光器之製造方法時，第三濾光器區域行及 第四濾光器區域行之相同第一濾光器區域或第二濾光器區 域在副掃描方向上相連。因而，藉由在對應於在相同第一 濾光器區域或第二濾光器區域配置色要素膜材料的同一驅 動條件下驅動在副掃描方向並列之數個配置頭可實施色 要素膜材料之配置。因為驅動條件均一，且主掃描方向之 相對移動速度亦在並列於副掃描方向之數個配置頭中共 通，所以可抑制因配合相對移動速度緩慢之配置頭而造成 作業時間增加。 [適用例24]關於上述適用例之彩色濾光器之製造方法 中’且將則述第四據光器區域行配設於比前述第三渡光器 區域行接近前述母基板之中央的位置。 採用該彩色濾光器之製造方法時，藉由將第四濾光器區 域行配設於比第三濾光器區域行接近母基板之中央的位 置’可將第二濾光器區域配設於比第一濾光器區域接近母 基板中央之位置。藉此，在母基板之中央概略重疊於回旋 中心的狀態下’藉由將母基板裝設於配置裝置，可使第二 渡光器區域位於比第一濾光器區域接近回旋中心之位置。 藉由形成母基板之中央概略重疊於回旋中心的狀態，可使 從回旋中心至母基板之各部分的距離之最大值形成最小。 發生回旋方向之偏差時’因為藉由回旋裝置而回旋之母基 137620.doc •23· 200946982 板中’愈遠離回旋中心之位置，位置偏差量愈大，所以， 可縮小因回旋方向之偏差造成的位置偏差量之大小。 【實施方式】 以下，就母基材、膜形成區域之配設方法及彩色濾光器 之製造方法的適合實施形態，參照圖式作說明。實施形態 係母基材之一例’且係以使用劃分形成具有構成液晶顯示 裝置之彩色濾光器的基板之母基板及作為配置裝置的液滴 喷出裝置，並形成構成彩色濾光器之色要素膜（濾光器膜） 等的工序為例作說明。另外，以下之說明中參照的圖式， 就圖示在權宜上有時將構件或部分之縱橫比例尺與實際不 同而顯示。 <液滴喷出法> 首先，就用於形成濾光器膜等之功能膜的液滴喷出法作 說明。液滴喷出法具有材料之使用較不浪費，且可在希望 之位置正確地配置希望量之材料的優點。液滴喷出法之喷 出技術如有：帶電控制方式、加壓振動方式、機電轉換方 式、電熱轉換方式、靜電吸引方式等。 其中之機電轉換方式係利用壓電元件（piezo元件）接收脈 衝性之電訊號而變形的性質，藉由壓電元件變形，而在貯 留材料之空間，經由撓曲物質賦予壓力，從該空間擠出材 料，而從噴出喷嘴噴出。因為壓電方式不施加熱於液狀材 料，所以具有不影響材料之組合等，並藉由調整驅動電壓 可輕易地調整液滴之大小等的優點。本實施形態係基於因 為不影響材料之組合等，所以液狀材料選擇之自由度高， 137620.doc -24· 200946982 以及因為可輕易地調整液滴之大小，所以液滴之控制性 佳’因而使用上述壓電方式。 <液滴噴出裝置> 其次，就液滴喷出裝置1之全體結構，參照圖丨及圖2作說 . 明。圖1係顯示液滴喷出裝置之概略結構的平面圖。圖2係 顯示液滴噴出裝置之概略結構的側面圖。 如圖1或圖2所示，液滴喷出裝£1具備：具有液滴喷出頭 17(參照圖3(a))之喷出單元2、工件單元3、供液單元的(參 照圖4)、檢查單元4、維修單元5及喷出裝置控制部6(參照 4)。 ' 口喷出單元2具備12個液滴喷出頭17,其係將相當於膜材料 或色要素材料之液狀體的功能液作為液滴而喷出，並具備Υ 軸台12,其係用於使該液滴喷出頭17移動於γ軸方向，並且 ’、夺於移動之位置。工件單元3具有放置從液滴喷出頭17 喷出之液滴的喷出對象之工件W的工件放置台21。供液單 Ο 兀60具有貯留功能液之貯留槽(省略圖示)，進行對液滴喷出 頌17供給功能液。檢査單元4具有檢查來自液滴喷出頭17 =出狀態用的喷出檢查單元18及重量測定單元19，重量 單元19中併設有沖洗單元14。維修單元$具有進行液滴 出頭17之保養的吸引單元15及擦拭單元16。 噴出裝置控制部6統籌控制此等各單元等。使用重量測定 施疋19、㈣單元2、喷出檢査單元18或維修單元5等而實 重量測疋處理、描繪處理、喷出檢查處理及維修處理 係由喷出裝置控制部6控制各單元等以實施。 137620. d〇c •25· 200946982 液滴喷出裝置!具備支撐於石平台之x軸支撐座以，各單 元等配設於X轴支撐座以之上βχ軸台u延伸於成為主掃描 方向之X軸方向，而配設於x軸支撐座丨八之上，使工件放置 台21移動於X軸方向（主掃描方向）。 嗔出單元2之Y軸台12經由數支支柱7A ’而設於以跨過 X軸台11之方式而跨越的一對γ軸支撐座7, 7之上並延伸 於成為副掃描方向之γ軸方向。喷出單元2具備其具有^個 液滴噴出頭17之承載單元51。承載單元51吊設於橋接板 52。橋接板52經由γ軸滑塊（省略圖示），而在γ軸方向隨意 /月動地支撐於γ軸台。γ軸台12使橋接板52(承載單元51) 移動於γ軸方向（副掃描方向）。 藉由與X軸台11及γ軸台12之驅動同步，使噴出單元2之 液滴喷出頭17喷出驅動，而使功能液滴喷出，對放置於工 件放置台21上之工件W描繪任意之描繪圖案。 喷出檢查單元18具有：檢查描繪單元161與攝像單元 藝 162。檢查描繪單元161固定於χ軸第二滑塊23，而構成與同 樣固定於X軸第二滑塊23之重量測定單元19及沖洗單元Μ 一體地移動《攝像單元162具有：2個檢查相機163，及在γ 軸方向隨意滑動地支撐檢查相機163之相機移動機構“斗。 維修單元5具備之吸引單元15及擦拭單元16配設於從X軸 〇 11離開，且藉由Υ軸台12而配設於承載單元51可移動之位 置的架台8上。吸引單元15具有數個分割吸引單元141，並 吸引液滴噴出頭17，而從液滴喷出頭17之喷出喷嘴78(參照 圖3(a))強制性排出功能液。擦拭單元16係具有喷霧洗淨液 137620.doc -26 - 200946982 之擦栻片151 ’並清除（進行擦拭）吸引後之液滴噴出頭η的 噴嘴形成面76a(參照圖3(a)) 〇如此’吸引單元15及擦拭單 實施謀求喷出單元2之液滴喷出頭口的功能維持或功 能恢復用的保養作業。 X軸台11具備：X轴第一滑塊22、X軸第二滑塊23、左右 一對X軸線性馬達26, 20、及一對X軸共通支撐座24, 24。 X轴第一滑塊22中安裝有工件放置台21。χ軸第一滑塊22 在X軸方向隨意滑動地支撐於延伸於X軸方向的X軸共通支 樓座24。X軸第二滑塊23中安裝有：檢查描繪單元161、重 量測定單元19、及沖洗單元14 ^ χ軸第二滑塊23在X軸方向 隨意滑動地支撐於延伸於χ軸方向的χ軸共通支撐座24。χ 軸線性馬達26併設於X軸共通支撐座24,藉由使χ軸第一滑 塊22或X軸第二滑塊23沿著χ軸共通支撐座24而移動，使工 件放置台21(放置於工件放置台21之工件w)或重量測定單 元19等移動於X軸方向。X軸第一滑塊22與χ軸第二滑塊23 可藉由X軸線性馬達26而個別地驅動。χ軸方向相當於主掃 描方向’ Y軸方向相當於副掃描方向。 工件放置台21具有：吸附工件.W之吸附台3 1 ;及支撐吸 附台3 1 ’而將設定於吸附台3丨之工件w的位置在θ轴方向作 Θ修正用的θ台32等。θ台32具有Θ驅動馬達532，並藉由該θ 驅動馬達532而驅動。吸附台31藉由θ台32回旋於通過作為 二點鍵線之交點而顯示於圖1的θ台32之回旋中心32a的Z軸 方向之軸周圍（Θ方向）。9台32相當於回旋裝置，回旋中心32a 相當於回旋中心。 137620.doc -27* 200946982 圖1及圖2中之工件放置台21的位置為.進行工件w之供終 排除用的供給排除位置，在將未處理之工件w導入（供給） 吸附台3 1時，或是回收（排除）處理完成之工件琛時，使吸附 台31移動至該位置。在該供給排除位置上，藉由機器手臂 (省略圖示）進行對吸附台31搬入•搬出（更換裝載）工件w。 供給於吸附台31之未處理的工件貿之對準，係使用㊀台“在 供給排除位置實施。 ❹

圖像認識單元80具有：2台對準相機81與相機移動機構 82。相機移動機構82在父軸支撐座丨八之上以延伸於γ軸方 向，並跨過X軸台U之方式配設。對準相機81經由相機保持 器（省略®式）’在¥軸方向隨意滑動地支樓於相機移動機構 82。支撐於相機移動機構82之對準相機81從上側臨近X軸台 η，可認識放置於x軸台u上之工件放置台21的工件w之各 基準標記（對準標記）(參照圖7)的圖像。2台對準相機81藉由 相機移動馬達（省略圖式）分別獨立而移動於γ轴方向。 各對準相機81配合工件放置台21向X軸方向之移動’藉由 相機移動機構82移動於γ轴方向，並拍攝由上述機器手臂供 之各種工件W的對準標記，並實施各種卫件W之位置認 識。而後，依據該對準相機81之攝像結果，藉由^台 工件W之Θ修正（對準）。 軸具備對γ袖滑塊（省略圖式）與一對丫軸線性馬 達(省略圖式”一對γ轴線性馬達分別設定於上述一對Υ軸 二上’並延伸於¥轴方向。—對γ軸滑塊係各1個隨 〜W月 #於—對支撐座7, 7之各個。由支撑於一對 137620.doc -28· 200946982 Y軸支撐座7’ 7之各個的各HgY輪滑塊構成之m輛滑塊 以雙支承而支撐固定了構成噴出單元2之承載單元51的橋 接板52。_構成喷出單元2之承栽單元51的橋接⑽，經 由以雙支承而支樓橋接板52的—對γ軸滑塊，而設定於一對 Υ軸支撐座7, 7上。 (同步）驅動一對丫軸線性馬達時，各Υ轴滑塊引導一對Υ 轴支撐座7, 7’同時在γ轴方向平行移動。藉此，橋接㈣ 移動於γ軸方向，予設於橋接板52之承載單元51移動於 Ρ 方向。 承載單元51具備頭單元54(參照圖3(b))，其係具有·· 12 個液滴喷出頭17,及將12個液滴噴出頭17各6個分成2群而 支撐的承載板53(參照圖3(b))。頭單元池由頭升降機構 (省略圖式）而隨意升降地支撐於2軸方向。 <液滴噴出頭及頭單元> 其次，就液滴噴出頭17及頭單元54，參照圖3作說明。圖 一 3係顯示液滴噴出頭及頭單元之概要圖。圖3⑷係顯示液滴 喷出頭之概要的外觀斜視圖，圖3(b)係顯示頭單元之概略結 構的平面圖。 <液滴喷出頭之結構> 如圖3(a)所示，該液滴喷出頭17係所謂2排裝的，且具備： 具有2排之連接針72, 72的液體導入部71，連結於液體導入 部71之方形的頭本體74，及從液體導入部71與頭本體74之 間突出於側方的頭基板73。 頭本體74具有連結於液體導入部71之泵部75，及連結於 137620.doc •29· 200946982 泵部75之噴嘴形成板76。喷嘴形成板76中形成有開口於喷 嘴形成面76a的喷出喷嘴78。液滴喷出頭17中形成有2行噴 嘴行78b，每一行由181個喷出噴嘴78而構成。泵部75中設 有壓電元件（省略圖式），藉由驅動該壓電元件，而從喷出喷 嘴78喷出從液體導入部71供給之功能液。對應於“固喷出噴 嘴78而設有i個壓電元件，各個喷出喷嘴”可各自獨立而噴 出功能液。 頭基板73中設有一對連接器77, 77。該連接器77藉由軟性 扁平電纜（FFC電纜）等與中繼基板連接，該中繼基板係與喷 出裝置控制部6連接，而液滴喷出頭丨7與喷出裝置控制部6 連接。 在液滴噴出裝置1中安裝了液滴喷出頭17之狀態下，噴嘴 行78b延伸於γ軸方向。分別構成2行之喷嘴行78b的各噴出 喷嘴78,在γ軸方向上相互各位置偏差半個喷嘴間距。上個 喷嘴間距如係140 μπι。在X軸方向之相同位置上，從構成各 個喷嘴行78b的喷出喷嘴78喷出之液滴，在設計上等間隔並 列於γ軸方向，而在一直線上喷灑。喷出喷嘴78之噴嘴間距 係140 μιη時，從2行喷嘴行78b之液滴喷出頭17喷出的液滴 在γ軸方向之喷灑位置的中心間距離，在設計上係7〇 μιη。 <頭單元> 其次，就喷出單元2之頭單元54的概略結構，參照圖3(b) 作說明。圖3(b)所示之X轴及γ轴在液滴喷出裝置安裝了 頭單元54之狀態下，與圖1所示之X軸及γ轴一致。 如圖3(b)所示，頭單元54具有：承載板53,及搭載於承 137620.doc -30- 200946982 載板53之12個液滴喷出頭17。液滴噴出頭i7固定於承載板 53,頭本體74遊嵌於形成於承載板53的孔（省略圖幻，喷嘴 形成板76(頭本體74)從承餘53之面突出。圖抑)係從喷嘴 形成板76(喷嘴形成面76a)側觀看之圖。12個液滴噴出頭η 分散於Y轴方向，而形成2群分別具有各6個液滴喷出頭17 之頭組55。各個液滴喷出頭17之噴嘴行爲延伸於γ抽方向。 一個頭組55具有之6個液滴喷出頭Π係以在Y抽方向，彼 此相鄰之液滴喷出頭17巾，丨v 以對—方液滴喷出頭17之端的 喷出喷嘴78’而另一方液滴噴出頭以端的喷出喷嘴π偏 差半個喷嘴間距而設定之方式而定位。假設頭組55具有之6 個液滴噴㈣17中’全部噴出喷嘴78衫轴方向之位置相同 時’噴出喷嘴78係以半個噴嘴間距之等間隔而並列於γ軸方 向亦即，在X轴方向之相同位置上，從各個液滴喷出頭η 具有之構成各個喷嘴行78b的喷出噴嘴78喷出之液滴，在設 計上係等間隔並列於Y轴方向而在·直線上喷I因為液滴

喷出頭17在丫軸方向上彼此重疊，所以在X軸方向階段狀地 並列而構成頭组55。 <液滴噴出裝置之電性結構> 其次，就驅動具有上述結構之液滴噴出裝置丨用的電性結 構參照圖4作說明。圖4係顯示液滴噴出裝置之電性結構 的電性結構區塊圖。液滴噴出裝置1藉由經由圖4所示之控 =置65進行資料之輸入，卩及運轉開始及冑止等之㈣ 指令的輸入而控制。控制裝置65具有：料運算處理之主 電腦66,及將輸入輸出於液滴喷出裝置丨之資訊輸入輸出用 137620.doc 200946982 的輸入輸出裝置68,並經由介面（I/F)67而與喷出裝置控制 6連接。輸入輸出裝置68係可輸入資訊之鍵盤、經由記錄 媒體而輸入輪出資訊之外部輸入輸出裝置、預先保存經由 外部輸入輸出裝置所輸入之資訊的記錄部、及螢幕裝置等。 液滴喷出裝置1之噴出裝置控制部6具有：介面（I/F)47、 CPU(中央處理單元）44、r〇m(唯讀記憶體）45、raM(隨機 存取記憶體）46及硬碟48。此外還具有：頭驅動器17d、驅 動機構驅動器40d、供液驅動器60d、維修驅動器5d、檢查 媒動器4d及檢測部介面（i/F)43。此等經由資料匯流排49而 彼此電性連接。 介面47與控制裝置65進行資料之授受，CPU44依據來自 控制裝置65之指令進行各種運算處理，並輸出控制液滴噴 出裝置1之各部動作的控制訊號。RAM46按照來自CPU44之 指令，暫時保存從控制裝置65取得之控制命令或印刷資 料。ROM45記憶CPU44進行各種運算處理用之常式等。硬 碟48保存從控制裝置65取得之控制命令或印刷資料，或是 記憶CPU44進行各種運算處理用之常式等。 頭驅動器17d上連接有構成嗔出單元2之頭單元54的液滴 噴出頭17。頭驅動器17d按照來自CPU44之控制訊號驅動液 滴噴出頭17 ’使功能液之液滴喷出。 驅動機構驅動器40d上連接有：Y軸台12之頭移動馬達、 X軸台11之X轴線性馬達26、Θ台32之Θ驅動馬達532、及包 含具有各種驅動源之各種驅動機構的驅動機構41。各種驅 動機構係上述之相機移動機構164的相機移動馬達、移動_ 137620.doc •32· 200946982 準相機81用之相機移動馬達、吊掛機構之回旋馬達、及升 降機構之升降馬達等。驅動機構驅動器4〇d按照來自cpu44 之控制訊號驅動上述馬達等，使液滴噴出頭17與工件评相 對移動，使工件W之任意位置與液滴噴出頭i 7對向並與 頭驅動器17d配合，而使功能液之液滴喷灑於工件w上之任 意位置。 維修驅動器5d上連接有維修單元5之吸引單元15、擦拭單 元16及沖洗單元14。維修驅動器5d按照來自cpu44之控制 ❹ 訊號驅動吸引單元Μ、擦拭單元16或沖洗單元14，而實施 液滴喷出頭17之保養作業。 檢查驅動器4d上連接有檢查單元4之喷出檢查單元18及 重量測定單元19 ^檢査驅動器4d按照來自cpu44之控制訊 號驅動喷出檢查單元18或重量測定單元19，而實施喷出重 量、可否喷出及喷灑位置精度等的液滴噴出頭17之喷出狀 態的檢查。 參供液驅動器60d上連接有供液單元6〇β供液驅動器6〇d按 照來自CPU44之控制訊號驅動供液單元6〇，而供給功能液 至液滴喷出頭17。 檢測部介面43上連接有包含各種感測器之檢測部42。藉 由檢測部42之各感測器所檢測之檢測資訊，係經由檢測部 介面43而傳達至CPU44。 <功能液之喷出> 其次，就液滴喷出裝置〗令之喷出控制方法，參照圖5作 說明。圖5係顯示液滴喷出頭之電性結構與訊號流路的說明 137620.doc -33· 200946982 过液滴噴出袭置1具備：輸出控制液滴噴出裝置】 之各部動作的控制訊號之CPU44，及進行液滴噴出頭17之 電性驅動控制的頭驅動器17d。 如圖5所不，頭驅動器17d經由FFC電纜而與各液滴喷出 頭17電性連接。此外，液滴喷出頭17對應於設於各喷出喷 嘴78(參照圖3)之壓電元件79,而具備：移位暫存器（sl)85、 問鎖電路（LAT)86、位準移位器（LS)87及開關（sw)88。 液滴噴出裝置1中之喷出控制進行如下。首先，將 工件W等之描繪對象物中的功能液之配置圖案予以資料化 的點圖案資料傳送至頭驅動器17de而後，頭驅動器i7d將 點圖案資料予以解碼，產生各喷出喷嘴782〇n，〇ff(喷出/ 不喷出）資訊的喷嘴資料。喷嘴資料予以串行訊號（SI)化， 與時脈訊號（CK)同步而傳送至各移位暫存器85。 傳送至移位暫存器85之喷嘴資料，係以輸入閂鎖電路86 之時序閂鎖閂鎖訊號（LAT) ’進一步以位準移位器87轉換成 開關88用之閘極訊號。亦即，喷嘴資料為「〇N」情況下， 打開開關88，供給驅動訊號（C〇M)至壓電元件79，噴嘴資 料為〇FF」情況下，關閉開關88 ,不供給驅動訊號（com) 至壓電元件79。而後，從對應於「〇N」之喷出喷嘴78，將 功能液予以液滴化而喷出，噴出之功能液配置於工件霤等 之描緣對象物上。 <液晶顯示面板之結構> 其次’就液晶顯示面板作說明，液晶顯示面板2〇〇係一種 137620.doc -34· 200946982 液晶裝置，且係具備一種彩色濾光器之液晶顯示面板用之 彩色滤光器的液晶顯示面板。 首先，就液晶顯示面板200之結構，參照圖6作說明。圖6 係顯示液晶顯示面板之概略結構的分解斜視圖。圖6所示之 液晶顯示面板200係驅動元件為使用薄膜電晶體（TFT(Thin Film Transistor)元件）的主動矩陣方式之液晶裝置，且係使 用省略了圖式之背光源的透過型液晶裝置》 如圖6所示，液晶顯示面板200具備：具有TFT元件215之 元件基板210、具有對向電極207之對向基板220、及填充於 藉由密封材料（省略圖式）而接合之元件基板210與對向基板 220的間隙之液晶230(參照圖ll(k))。在貼合之元件基板210 與對向基板220上，於彼此貼合之面的相反側之面上分別配 設有偏光板231與偏光板23 2» 元件基板210在玻璃基板211與對向基板220對向之面上 形成有：TFT元件215、像素電極217或掃描線212及訊號線 214。並以埋入此等元件及導電膜之間的方式形成有絕緣層 216’掃描線212及訊號線214以夾著絕緣層216之部分而彼 此交叉的狀態形成。掃描線212與訊號線214藉由將絕緣層 216之部分夾於其間而彼此絕緣。在被此等掃描線212與訊 號線214包圍之區域内形成有像素電極217。像素電極217 形成方形狀之一部分角部分欠缺方形狀的形狀。在被像素 電極217之缺口部、掃描線212與訊號線214包圍之部分，插 入具備源極電極、汲極電極、半導體部及閘極電極的TFT 元件215而構成。藉由在掃描線212與訊號線214上施加訊 137620.doc •35· 200946982 號，而接通、斷開TFT元件215，對像素電極217實施通電控 制。 在元件基板210與液晶230接觸之面上，設有覆蓋形成了 上述掃描線212、訊號線214及像素電極217之區域全體的配 向膜218。 對向基板220在玻璃基板201與元件基板210對向之面上 形成有彩色濾光器（以後註記為「CF」）層208。CF層208具 有：隔壁204、紅色濾光器膜205R、綠色濾光器膜205G及 藍色慮光膜205B。在玻璃基板201上格子狀地形成有構成 隔壁204之黑矩陣202，並在黑矩陣202上形成有岸堤203。 藉由黑矩陣202與岸堤203而構成之隔壁204,形成有方形之 濾光器膜區域225。濾光器膜區域225中形成有紅色遽光器 膜205R、綠色濾光器膜205G或藍色濾光器膜2〇5B。紅色渡 光器膜205R、綠色濾光器膜205G及藍色濾光器膜2〇5B分別 形成於與上述像素電極217之各個對向的位置及形狀。 在CF層208之上（元件基板210側）設有平坦化膜2〇6β在平 坦化膜206之上設有以ΙΤΟ等透明之導電性材料所形成的對 向電極207。藉由設定平坦化膜206,而將形成對向電極2〇7 之面成為概略平坦之面。對向電極207係覆蓋形成了上述之 像素電極217之區域全體的大小而連續之骐。對向電極2〇7 經由省略圖式之導通部而與形成於元件基板21〇之配線連 接。 在對向基板2 2 0之與液aa 230接觸之面上設有覆蓋像素電 極21 7之全面的配向膜228。液晶230在貼合了元件基板21〇 137620.doc • 36 - 200946982 與對向基板220之狀態下，填充於被對向基板220之配向膜 228、元件基板21〇之配向膜218以及貼合對向基板220與元 件基板210之密封材料包圍的空間。 另外’液晶顯示面板200為透過型之結構，不過亦可設定 反射層或是半透過反射層，而為反射型之液晶裝置或是半 透過反射型之液晶裝置。 <母對向基板> 其次，就母對向基板201A，參照圖7作說明。對向基板220 在被分割而成為玻璃基板201之母對向基板201A上形成了 上述之CF層208等後，將母對向基板201A分割成個別之對 向基板220(玻璃基板201)而形成。圖7(a)係模式顯示對向基 板之平面構造的平面圖，圖7(b)係模式顯示母對向基板之平 面構造的平面圖。另外，本實施形態中，亦將在母對向基 板201A上形成了 CF層208等，及在形成CF層208等之中途的 狀態註記為母對向基板201A。 對向基板220使用厚度約為ι·〇 mm之透明石英玻璃構成 的玻璃基板201而形成。如圖7(a)所示，對向基板220在除了 玻璃基板201周圍少許邊緣區域之部分形成有cf層208 ^ CF 層208在方形狀之玻璃基板2〇1的表面，將數個濾光器膜區 域225形成點圖案狀’本實施形態係形成點矩陣狀，並藉由 在該濾光器膜區域225中形成濾光器膜205而形成。 如圖7(b)所示，在母對向基板2〇1A上形成有對向基板22〇 之CF層208 ’並且將構成對向基板42〇之CF層408形成於成 為玻璃基板401的部分。對向基板42〇形成與對向基板22〇 137620.doc 37· 200946982 實質地相同構造，且係構成顯示部之面積比液晶顯示面板 200小的液晶顯示面板之對向基板。在母對向基板2〇丨a上適 宜配置玻璃基板201時，因為並無可形成玻璃基板2〇1程度 的面積，所以產生無法活用之部分。因此，藉由形成比玻 璃基板201小之玻璃基板40 1的CF層408，而有效利用該部分 作為玻璃基板401，不致浪費地利用母對向基板2〇1A。 將CF層208排列成一行之行註記為(：1?層行2〇8A，並將cF 層408排列成一行之行註記為CF層行4〇8A。在母對向基板 201A中，CF層行408A比CF層行208A配置於母對向基板 201A之中央側。 在母對向基板201A中之形成CF層2〇8或（^層4〇8之區域 以外的位置，形成有一對對準標記28丨，28丨。對準標記28 1 係為了執行形成CF層208等之各工序，而將玻璃基板2〇1安 裝於製造裝置時等用作定位用之基準標記。形成CF層2〇8 及CF層408之濾光器膜205前的狀態之母對向基板2〇1八相 當於母基材或母基板。 另外，圖7中為了容易瞭解圖式，而放大形成(：1?層2〇8及 CF層408之區域相互間的間隔，不過，為了效率佳地使用母 對向基板201A ’該間隔宜儘量小。此外，藉由找出有效配 置尺寸不同之玻璃基板的配置方法，母對向基板2〇lA之適 切的尺寸設定明確，亦可改善從原材料取出母對向基板 201A的效率。 <彩色濾光器> 其次，就形成於對向基板220之（^層2〇8及CF層2〇8中之 I37620.doc -38- 200946982 濾光器膜205(紅色濾光器膜205R、綠色濾光器膜205G及藍 色濾光器膜205B)的排列，參照圖8作說明《圖8係顯示3色 彩色濾光器之濾光器膜的排列例之模式平面圖。 如圖8所示，濾光器膜205係藉由無透光性之樹脂材料形 成了格子狀圖案的隔壁204劃分，並以色材料埋入點矩陣狀 地並列之數個如為方形狀的濾光器膜區域225而形成。如藉 由將包含構成濾光器膜205之色材料的功能液填充於濾光 器膜區域225，使該功能液之溶劑蒸發，而使功能液乾燥， 而形成埋入濾光器膜區域225之膜狀的濾光器膜205。 習知3色彩色濾光器中之紅色濾光器膜205R、綠色濾光器 膜205G及藍色濾光器膜205B的排列，如有帶狀排列、馬賽 克排列、三角狀排列等。帶狀排列如圖8(a)所示，係形成矩 陣之縱行全部為同色之紅色濾光器膜205R、綠色濾光器膜 205G或藍色濾光器膜205B的排列。馬赛克排列如圖8(b)所 示，係各橫方向之各行上將濾光器膜205的一個部分之色錯 開而排列’ 3色濾光器之情況，並列於縱橫之直線上的任意 之3個濾光器膜205成為3色的排列。三角狀排列如圖8(c)所 示，係不同段配置濾光器膜205，3色濾光器之情況，係任 意鄰接之3個濾光器膜205成為不同色之配色。 圖8(a)、（b)或（c)所示之3色濾光器中，濾光器膜205分別 藉由R(紅色）、G(綠色）、B(藍色）中之任何1色的色材料而形 成°並以各1個包含相鄰而形成之紅色濾光器膜205R、綠色 濾光器膜205G及藍色濾光器膜205B的濾光器膜205之組， 形成構成圖像之最小單位的像點的濾光器（以後註記為「像 137620.doc •39- 200946982 點濾光器254」）。藉由使光選擇性通過一個像點濾光器254 内之紅色濾光器膜205R、綠色濾光器膜2〇5(3及藍色濾光器 膜205B之任何一個或此等組合，進一步藉由調整通過之光 的光量’而進行全彩顯示。 <液晶顯示面板之形成> 其次’就形成液晶顯示面板2〇〇之工序，參照圖9、圖1〇 及圖11作說明。圖9係顯示形成液晶顯示面板之過程的流程 圖。圖10係顯示在形成液晶顯示面板之過程中形成濾光器 膜之工序等的剖面圖，圖11係顯示在形成液晶顯示面板之 過程中形成配向膜之工序等的剖面圖。液晶顯示面板2〇0 係貼合分別各個所形成之元件基板21〇與對向基板22〇而形 成。 藉由執行圖9所示之步驟S1至步驟S5而形成對向基板 220 > 圖9之步驟S1係在玻璃基板201之上形成分區形成濾光器 膜區域225用的隔壁部。隔壁部係藉由格子狀地形成黑矩陣 202 ’並在其上形成岸堤203，而格子狀地配置由黑矩陣202 與岸堤203構成之隔壁204而形成。藉此，如圖i〇(a)所示， 在玻璃基板201之表面形成藉由隔壁204所劃分之方形的渡 光器膜區域225。 其次，圖9之步驟S2係在濾光器膜區域225中分別填充構 成紅色濾光器膜205R、綠色濾光器膜205G或藍色渡光器膜 205B之材料，形成紅色濾光器膜205R、綠色濾光器膜2〇5G 及藍色濾光器膜205B，而形成CF層208。 137620.doc -40- 200946982

更詳細而言，如圖10(b)所示，使紅色喷出頭17R對向於 形成了藉由隔壁204所劃分之濾光器膜區域225的玻璃基板 201表面。藉由從該紅色喷出頭17R具有之喷出噴嘴78，朝 向須形成紅色濾光器膜205R之濾光器膜區域225R噴出紅 色功能液252R，而在濾光器膜區域225R中配置紅色功能液 252R。同時，藉由對玻璃基板201，使紅色喷出頭17R以箭 頭a所示地相對移動，而在形成於玻璃基板201之全部濾光 器膜區域225R中配置紅色功能液252R。藉由使配置之紅色 ® 功能液252R乾燥，而如圖10(c)所示地在濾光器膜區域225R 中形成紅色濾光器膜205R。 同樣地，在圖10(b)所示之須形成綠色濾光器膜205G或藍 色濾光器膜205B之濾光器膜區域225G或濾光器膜區域 225B中，如圖10(c)所示地配置綠色功能液252G或藍色功能 液252B。藉由使綠色功能液252G及藍色功能液252B乾燥， 而如圖10(d)所示地，在濾光器膜區域225G及濾光器膜區域 225B中形成綠色濾光器膜205G或藍色濾光器膜205B。與紅 色濾光器膜205R配合，而形成由紅色濾光器膜205R、綠色 濾光器膜205G及藍色濾光器膜205B構成之3色彩色濾光 器。 < 其次，圖9之步驟S3係形成平坦化層。如圖10(e)所示， 在構成CF層208之紅色濾光器膜205R、綠色濾光器膜 205G、藍色濾光器膜205B及隔壁204上形成平坦化膜206作 為平坦化層。平坦化膜206至少形成於覆蓋CF層208之全面 的區域。藉由設定平坦化膜206，而將形成對向電極207之 137620.doc -41 200946982 面形成概略平坦之面。 其次，圖9之步驟S4係形成對向電極2〇7。如圖i〇(f)所示， 在平坦化膜206上之覆蓋至少形成了 €1?層2〇8之濾光器膜 205的區域全面的區域中，使用透明之導電材料而形成薄 膜。該薄膜係上述之對向電極207。 其次，圖9之步驟S5係在對向電極207上形成對向基板22〇 之配向膜228〇配向膜228至少形成於覆蓋CF層2〇8全面之區 域。 如圖11(g)所示，使液滴喷出頭17對向於形成了對向電極 207之玻璃基板2〇1的表面，從液滴噴出頭17朝向玻璃基板 201之表面喷出配向膜液242 »同時，藉由對玻璃基板201 使液滴噴出頭17以箭頭a所示地相對移動，而在形成玻璃基 板201之配向膜22 8的區域全面配置配向膜液242。藉由使配 置之配向膜液242乾燥，如圖11(h)所示地形成配向膜228。 實施步驟S5而形成對向基板220。 藉由執行圖9所示之步驟S6至步驟S8，而形成元件基板 210。 圖9之步驟S6係藉由在玻璃基板211之上形成導電層、絕 緣層及半導體層，而形成TFT元件215等之元件、掃描線 212、訊號線214及絕緣層216等》掃描線212及訊號線214 係在貼合了元件基板210與對向基板220之狀態下，形成於 與隔壁204對向之位置，亦即形成於像素周邊之位置。TFT 元件215以位於像素之端的方式而形成，1個像素中至少形 成1個TFT元件215。 137620.doc 200946982

其次，步驟S7係形成像素電極217。像素電極217係在貼 合了元件基板210與對向基板220之狀態下，形成於與紅色 濾光器膜205R、綠色濾光器臈205G、或藍色濾光器膜2〇5B 對向之位置。並使像素電極21 7與TFT元件215之汲極電極電 性連接。 其次’步驟S8係在像素電極217等之上形成元件基板210 的配向膜218。配向膜21 8至少形成於覆蓋全部之像素電極 217的全面之區域。 如圖ll(i)所示’使液滴喷出頭17對向於形成了像素電極 217之玻璃基板211的表面，而從液滴喷出頭17朝向玻璃基 板211之表面喷出配向膜液242。同時，藉由對玻璃基板 211，使液滴喷出頭17以箭頭a所示地相對移動，而在形成 玻璃基板211之配向膜218的區域全面配置配向膜液242。藉 由使配置之配向膜液242乾燥，而如囷11⑴所示地形成配向 膜218。實施步驟S8而形成元件基板210。 其次，圖9之步驟S9係貼合所形成之對向基板220與元件 基板210，並如圖ii(k)所示地在其間填充液晶230。進一步 黏貼偏光板231與偏光板232等而組裝液晶顯示面板200。在 由數個玻璃基板201或玻璃基板211構成之母基板上，形成 數個對向基板220或元件基板210情況下，將形成了數個液 晶顯示面板200之母基板分割成個別的液晶顯示面板200。 或是，在實施將母對向基板201A或母元件基板分割成對向 基板220或元件基板210之工序後，實施步驟9。實施步驟S9 而結束形成液晶顯示面板200之工序。 137620.doc -43- 200946982 <噴灑對象區域> 其次’就描繪對象中之須配置功能液的區域之配置區域 的形狀’與為了在配置區域中配置功能液而須噴灑液滴之 區域的噴灑對象區域之關係，參照圖i 2作說明。 功能液之液滴係以使其喷灑於描繪對象中之指定位置的 方式而噴出，不過對指定之喷灑位置，有可能噴灑於因各 種誤差因素而產生之誤差部分程度偏差的位置。為了使液 滴確實地喷灑於須配置功能液之區域的配置區域内，係以 即使產生因誤差因素產生之誤差’仍使液滴喷灑於配置區 域内之方式，而朝向考慮了誤差之範圍喷出功能液。將考 慮了該誤差之範圍註記為喷灑對象區域。圖12係顯示濾光 器膜區域之形狀與喷灑對象區域之關係的說明圖。 如上述’在母對向基板2〇ia中，將對向基板220之CF層 208,以及構成對向基板420之CF層408形成於成為玻璃基板 401之部分。圖12(a)係顯示形成上述Cf層208之濾光器膜 205用的濾光器膜區域225中之噴灑對象區域225E的大小》 圖12(b)係顯示形成上述之cf層408的濾光器膜405(405R， 405G，405B)用之濾光器膜區域425中的噴灑對象區域425E 之大小。因為CF層208中之濾光器膜205的數量，與CF層408 中之濾光器膜405的數量基本上相同，所以，面積比CF層208 小之CF層408的濾光器膜區域425之大小，比CF層208之濾 光器膜區域225小。濾光器膜區域425之橫尺寸425w及縱尺 寸425h，係濾光器膜區域225之橫尺寸225w及縱尺寸225h 的一半程度。 137620.doc 200946982 藉由對母對向基板20ΙΑ，使喷出喷嘴78移動於圖12所示 之箭頭a的方向而喷出功能液，而在濾光器膜區域225及濾 光器膜區域425中配置功能液。箭頭a之方向係主掃描方向 (X轴方向），與箭頭a之方向正交的方向係副掃描方向軸 方向）。 在主掃描方向發生喷灑位置誤差的因素，如有因頭間隙 之誤差或變動，而喷出之液滴的飛行時間之誤差、閂鎖訊 號之上昇間隔的誤差、問鎖訊號之開始時刻（位置）的偏差、 或是濾光器膜區域225(濾光器膜區域425)之位置偏差（隔壁 204之位置偏差）等。 副掃描方向之誤差的因素，如有喷出之功能液的飛行方 向偏差於副掃描方向的「彎曲」、喷出喷嘴78對母對向基板 201A在副掃描方向之對準的誤差、或是濾光器膜區域 225(據光器膜區域425)之位置偏差（隔壁204之位置偏差） 等。 因為此等誤差因素係根據液滴喷出裝置1之精度，所以在 渡光器膜區域225與濾光器膜區域425形成相同大小。吸收 主掃描方向之誤差用的多餘寬dx及副掃描方向之多餘寬 dy ’不論是濾光器膜區域225或是濾光器膜區域425，只要 考慮之誤差的因素相同，均需要設定成相同大小。 噴灑對象區域425E之橫尺寸425x及縱尺寸425y對濾光器 膜區域425之橫尺寸425w及縱尺寸425h，係減少多餘寬dx 或多餘寬dy之大小。喷灑對象區域225E之橫尺寸225x及縱 尺寸225y對濾光器膜區域225之橫尺寸225w及縱尺寸225h 137620.doc -45- 200946982 係減少多餘寬dx或多餘寬dy之大小。橫尺寸425w或縱尺寸 425h係橫尺寸225评或縱尺寸225h之一半程度，而喷灌對象 區域425E之橫尺寸425x或縱尺寸425y係喷灑對象區域22$ 之橫尺寸225x或縱尺寸225y之三分之一至四分之一程度。 喷灑對象區域比濾光器膜區域變小之比率變大時，使可填 充於濾光器膜區域全面程度之功能液喷灑於噴麗對象區域 困難。 為了抑制喷灑對象區域425E等之橫尺寸425x或縱尺寸 425y等變小，需要可縮小多餘寬dx及多餘寬办。大小比遽 光器膜區域225小之濾光器膜區域425中，為了縮小多餘寬 dx及多餘寬dy ’並抑制噴灑對象區域比濾光器膜區域變小 之比率變大’需要縮小喷灑位置之偏差的容許誤差。亦即， 濾光器膜區域之大小愈小之濾光器膜區域，愈可能需要高 度之喷灑位置精度。 上述之母對向基板20 1A的對準結束後，在Θ台32中發生回 旋位置之偏差情況下，母對向基板201A對液滴喷出裝置】 之姿勢（Z軸周圍之角度）改變。因而，在θ台32之回旋位置 的偏差’成為閂鎖訊號開始時刻（位置）之偏差，或濾光器膜 區域225(濾光器膜區域425)之位置偏差（隔壁204之位置偏 差）等的原因。因在Θ台32之回旋位置的偏差而振動之母對 向基板201A的各部分之位置偏差，隨著從回旋中心32a之距 離遠離’而與距離成正比地變大。 <功能液之配置> 其次’就噴出功能液，而在母對向基板201A中之CF層208 137620.doc • 46· 200946982 及CF層408的濾光器膜區域225及濾光器膜區域425中配置 功能液之工序，參照圖13及圖14作說明。將配置功能液前 之狀態的CF層208或CF層408註記為CF層區域2〇8a或是CF 層區域408a。圖13係顯示配置功能液之工序的流程圖。圖 14係顯示放置於工件放置台上實施β調整之狀態的母對向 基板之說明圖。圖14所示之X軸方向、丫轴方向、ζ軸方向 及Θ方向，與圖1所示之X軸方向、丫軸方向、ζ轴方向及0方 向一致。 ® 圖13之步驟S21係將母對向基板201Α供給至工件放置台 21。更詳細而言，係使工件放置台21位於進行工件w之供 給排除用的供給排除位置。工件放置台21之位置以X軸台j j 之定位精度之範圍而精確地定位。該供給排除位置中，如 藉由機器手臂（省略圖式）在工件放置台21之吸附台31上的 指定位置，以指定之方向放置母對向基板2〇1A，使吸附台 31吸著母對向基板201A。母對向基板2〇1 A之位置係以機器 & 手臂之定位精度的範圍而對液滴喷出裝置1定位。另外，此 時所謂指定方向之母對向基板201A，如圖14所示，係母對 向基板201A之4邊延伸於X軸方向或γ軸方向的狀態。 其次，步驟S22係藉由對準相機81認識形成於母對向基板 201A之對準標記281。藉由以指定方向將母對向基板2〇1A 放置於概略指定之位置’對準標記281亦位於概略指定之位 置。因而如圖14所示，進入位於指定位置之對準相機81的 攝像區域81a内，並藉由對準相機81而認識對準標記281。 藉由對準相機81認識對準標記281，喷出裝置控制部6取得 137620.doc •47- 200946982 對準標記281之精確位置。 另外’無法藉由對準相機81而認識對準標記281之情況， 屬於母對向基板201Α之放置狀態顯著不適切之情況，或是 並未供給母對向基板201A之情況等的非正常狀態，而宜離 線實施復原作業。 其次’步驟S23係調整母對向基板201A之Θ方向的位置（姿 勢）。一對對準標記281，281在母對向基板201A之4邊延伸於 X轴方向或Y軸方向的指定方向之狀態，係形成於X軸方向 之位置彼此一致的位置。藉由使藉由一對對準相機81，81 之各個認識的各個對準標記28 1在X軸方向之位置一致，而 將母對向基板201A在Θ方向之位置（姿勢）調整成4邊之延伸 方向與X轴方向或Y轴方向一致的指定姿勢。步驟22與步驟 S23係母對向基板201A之對準作業。 如上述，母對向基板201A在Θ方向之移動，係藉由使藉由 Θ台32而吸附了母對向基板201A之吸附台31，回旋於與通過 回旋中心32a之Z軸平行之軸周圍而實施。 在Θ調整結束之狀態的母對向基板2〇ia中之對準標記281 的位置，作為母對向基板201A之位置而被喷出裝置控制部6 遇識。CF層區域208a或CF層區域408a中之遽光器膜區域 2 2 5或遽光器膜區域4 2 5之各個位置’從對對準標記2 8 1之相 對位置的規格值與對準標記281之位置算出。 其次’步驟S24係調整喷出單元2之液滴噴出頭17在副掃 描方向之位置。以位於分別在對準結束之母對向基板2〇 j A 的濾光器膜區域225及濾光器膜區域425中喷灌功能液用的 137620.doc -48- 200946982 適切位置之方式，使液滴喷出頭17移動於副掃描方向而定 位。液滴喷出頭π之各頭單元54藉由γ轴台12錢，而保持 在適切之位置。 其次，步驟S25係實施從液滴噴出頭17朝向濾光器膜區域 225或濾光器膜區域425之喷灌對象區域225ε或㈣對象區 域425Ε喷出功能液之描繪喷出。 詳細而言，係藉由X軸台U使工件放置台21移動於主掃描 ’而使母對向基板201八以一定之速度移動於主掃描方 向。在步驟S23實施θ調整結束狀態之母對向基板2〇ια中的 對準標記281之位置，作為母對向基板2〇1Α之位置而被喷出 裝置控制部6遇識。對準標記281在某個時刻之位置可從被 噴出裝置控制部6認識之該位置與至其時刻藉由χ軸台η之 移動量而特定。從對準標記281之位置而特定遽光器膜區域 225及濾光器膜區域425之噴灑對象區域22冗及喷灑對象區 域425Ε的位置。 參對喷灑對象區域225Ε及喷灑對象區域425Ε配置功能液， 如參照圖5說明之液滴喷出裝置丨中的喷出控制方法，係藉 由從液滴喷出頭17之喷出喷嘴78朝向點圖案資料所指定之 位置喷出液滴而實施。對應於點圖案資料所指定之位置的 實際上噴灑功能液之喷灑對象區域225Ε及喷灑對象區域 425Ε的位置，係使用從對準標記281之位置所特定的位置。 其次’步驟S26係就母對向基板201Α之全面，判定是否 實施了對應於點圖案資料所指定之位置的描繪喷出。 還有尚未實施描繪喷出之部分（在步驟S26為NO)情況 137620.doc •49- 200946982 下，返回步驟S24，調整液滴喷出頭17之位置至朝向尚未實 施描繪喷出之部分而可喷出功能液的位置，進一步反覆實 施步驟S25及步驟S26。 就母對向基板201A之全面，已實施了描繪喷出（在步驟 S26為YES)情況下，進入步驟S27。 步驟S26其次之步驟S27係從工件放置台21排除實施了描 繪喷出之母對向基板201A。 實施步驟S27，結束在該母對向基板201A中之CF層208及 CF層408的濾光器膜區域225及濾光器膜區域425中配置功 能液之工序。 <母對向基板中之CF層的配置> 其次，就母對向基板201八中之0卩層208(€?層區域2083) 及CF層408(CF層區域408a)之配置與回旋中心32a的位置關 係，參照圖14作說明。如上述，本實施形態中，亦將在母 對向基板201A上形成CF層208等，或是形成CF層208等中途 之狀態，註記為母對向基板201A。圖14所示之X轴方向、Y 軸方向、Z軸方向及Θ方向，與圖1所示之X軸方向、Y轴方 向、Z轴方向及Θ方向'一致。 如圖14所示，配置功能液前之母對向基板201A放置在工 件放置台21之概略指定的位置之狀態，係回旋中心32a在母 對向基板201A之中央附近。排列了一行CF層區域208a之CF 區域行208B及排列了一行CF層區域408a之CF區域行408B 延伸於主掃描方向。CF區域行408B比CF區域行208B配置於 母對向基板20 1A之中央侧。圖14所示之母對向基板201A放 137620.doc -50- 200946982 置於工件放置台21之概略指定位置的狀態，係CF區域行 408B配置於比CF區域行208B接近回旋中心32a之位置。 上述之在遽光器膜區域225及濾光器膜區域425中配置功 能液的工序中，依據在步驟S23所取得之對準標記281的位 置，而特定噴灑對象區域225E及喷灑對象區域425E之位 置。因而，母對向基板201A在Θ方向之位置偏差時，在被喷 出裝置控制部6認識之噴灑對象區域225E及噴灑對象區域 425E之位置與實際之位置上產生偏差。 母對向基板201A在Θ方向之偏差，因為母對向基板2〇1A 吸附於吸附台31而固定，所以在將Θ台32之回旋中心32a作 為中心，而母對向基板201A回旋時產生。因此，因母對向 基板201A在Θ方向之偏差造成喷灑對象區域之位置偏差，愈 遠離回旋中心32a愈大。考慮位置偏差及從回旋中心32a之 距離的方向時’因Θ方向之偏差造成在主掃描方向之位置偏 差，在副掃描方向愈遠離回旋中心32a愈大，因Θ方向之偏 差造成副掃描方向之位置偏差，在主掃描方向愈遠離回旋 中心3 2 a愈大。 如參照圖12之說明，CF層408(CF層區域408a)之渡光器膜 區域425的大小，比CF層208(CF層區域208a)之濾光器膜區 域225小。因而’產生了相同大小之位置偏差時，濾光器膜 區域425產生超出須配置功能液之濾光器區域而配置的不 當之可能性，比濾光器膜區域225大。 在母對向基板201人中，藉由將〇?區域行4083配置於比〇卩 區域行208B接近回旋中心32a之位置，實施對準後在θ方向 137620.doc -51 - 200946982 產生位置偏差（角度偏差）時，喷灑對象區域425E之位置偏 差比噴灑對象區域225E之位置偏差小。因此，在母對向基 板201A中’係以產生位置偏差時產生不當之可能性高的渡 光器膜區域425之位置偏差量小之方式配置。 濾光器膜區域225相當於第一膜形成分區、第一功能膜分 區或是第一色要素區域，濾光器膜區域425相當於第二膜形 成分區、第二功能膜分區或是第二色要素區域。CF層區域 208a相當於第一膜形成區域、第一功能膜區域或是第一據 光器區域’ CF層區域408a相當於第二膜形成區域、第二功 能膜區域或是第二濾光器區域。CF區域行208B相當於第一 區域行或是第一濾光器區域行，CF區域行40 8B相當於第二 區域行或是第二濾光器區域行。 〈母對向基板中之CF層的其他配置例ι> 其次’就母對向基板中之CF層的其他配置例作說明。首 先，就母對向基板201B中之CF層208(CF層區域208a)及CF 層408(CF層區域408a)的配置與回旋中心32a之位置關係， 參照圖15作說明《圖15係顯示放置於工件放置台上實施㊀調 整之狀態的母對向基板之說明圖。圓15所示之X軸方向、Y 軸方向、Z軸方向及θ方向，與圖1所示之X轴方向、γ軸方 向、z軸方向、θ方向一致。另外，與上述之母對向基板2〇1八 同樣地’亦將在母對向基板2〇 1B上形成了 CF層208等，或 是形成CF層208等之中途的狀態註記為母對向基板2〇1B。 如圖15所示，在母對向基板2〇1B中，將構成對向基板42〇 之CF層408與對向基板220之CF層2〇8一起形成於成為玻璃 137620.doc -52- 200946982 基板401之部分。如上述，具備CF層408之對向基板42〇形成 與對向基板220實質地相同之構造，且係構成顯示部之面積 比液晶顯示面板200小之液晶顯示面板的對向基板。 在母對向基板201B中之形成CF層208或CF層408之區域 以外的位置’形成有與母對向基板201A同樣之一對對準標 記281，281。對準標記281係為了執行形成CF層208等之各 工序’而將母對向基板201B安裝於液滴喷出裝置1等之製造 裝置時等，用作定位用的基準標記。 另外’圖15中為了容易瞭解圓式，而放大CF層區域208a 及CF層區域408a相互間之間隔，不過，為了效率佳地使用 母對向基板201B，該間隔宜儘量小。 在將配置功能液之前的母對向基板201B放置於工件放置 台21之概略指定位置的狀態下，回旋中心32a在母對向基板 201B之中央附近。排列了一行CF層區域208a之CF區域行 208C，及排列了一行CF層區域408a之CF區域行408C延伸於 副掃描方向^ CF區域行408C比CF區域行208C配置於母對向 基板201B之中央側。圖15所示之將母對向基板201B放置於 工件放置台21之概略指定位置的狀態下，CF區域行408C比 CF區域行208C配置於接近回旋中心32a之位置。 與上述之母對向基板201A的情況同樣地，因母對向基板 201B在Θ方向之偏差造成喷灑對象區域之位置偏差，愈遠離 回旋中心32a愈大。 此外’ CF層408(CF層區域408a)之濾光器膜區域425的大 小，比CF層208(CF層區域208a)之濾光器膜區域225小。因 137620.doc •53- 200946982 而，產生相同大小之位置偏差時，濾光器膜區域425產生超 出須配置功能液之濾光器區域而配置的不當之可能性，比 濾光器膜區域225大。 在母對向基板201B中，藉由將CF區域行408C配置於比CF 區域行208C接近回旋中心32a之位置，實施對準後在Θ方向 產生位置偏差（角度偏差）時，喷灑對象區域425E之位置偏 差比喷灑對象區域225E之位置偏差小。因此，在母對向基 板201B中，係以產生位置偏差時產生不當之可能性高的濾 ® 光器膜區域425之位置偏差量小之方式配置。 母對向基板201B中之CF層區域208a相當於第一膜形成 區域、第一功能膜區域或是第一濾光器區域，CF層區域408a 相當於第二膜形成區域、第二功能膜區域或是第二濾光器 區域。CF區域行208C相當於第三區域行或是第三濾光器區 域行，CF區域行408C相當於第四區域行或是第四濾光器區 域行。在形成CF層208及CF層408之濾光器膜205前之狀態 的母對向基板201B相當於母基材或是母基板。 <母對向基板中之CF層的其他配置例2> 其次，就母對向基板301A中之CF層208(CF層區域208a) 及CF層308(CF層區域308a)之配置與回旋中心32a的位置關 係，參照圖16作說明。圖16係顯示放置於工件放置台上實 施Θ調整之狀態的母對向基板之說明圖。將配置功能液前之 狀態的CF層308與對CF層208之CF層區域208a同樣地，註記 為CF層區域308a。另外，與上述之母對向基板201A等同樣 地，亦將在母對向基板301A上形成了 CF層208或CF層308 137620.doc -54- 200946982 等’或是形成CF層208或CF層308等之中途的狀態註記為母 對向基板301A。 如圖16所示’在母對向基板3〇ia中，將構成與對向基板 220不同之對向基板的CF層3〇8，與對向基板22〇之CF層2〇8 一起形成於成為玻璃基板3〇1之部分。具備CF層308之對向 基板形成與對向基板220實質地相同構造，且係構成顯示部 之面積比液晶顯示面板200小之液晶顯示面板的對向基板。 在母對南基板301A中之形成CF層208或CF層308之區域 以外的位置，形成有與母對向基板2〇1A同樣之一對對準標 記281，281 »對準標記281係為了執行形成CF層208等之各 工序，而將母對向基板301A安裝於製造裝置時等，用作定 位用的基準標記。 另外’圖16中為了容易瞭解圖式，而放大CF層區域208a 及CF層區域308a相互間之間隔，不過，為了效率佳地使用 母對向基板301A ’該間隔宜儘量小。 在將配置功能液之前的母對向基板3〇丨八放置於工件放置 台21之概略指定位置的狀態下，回旋中心32a在母對向基板 301A之中央附近。8處之cf層區域308a配置於母對向基板 301A之中央。CF層區域208a以包圍8處CF層區域308a之周 圍的方式而配置於母對向基板3〇1 A之周邊侧。在母對向基 板301A放置於圖16所示之工件放置台21的概略指定位置之 狀態下’ CF層區域308a配置於比CF層區域208a接近回旋中 心32a之位置。 上述之在濾光器膜區域225及濾光器膜區域425中配置功 137620.doc •55- 200946982 能液的工序中，依據在步驟S22所取得之對準標記281的位 置，而特定喷灑對象區域225E及喷灑對象區域425E之位 置。同樣地，在濾光器膜區域225及CF層區域308a之濾光器 膜區域325中配置功能液的工序中，依據取得之對準標記 281的位置，特定濾光器膜區域225及濾光器膜區域325之噴 灑對象區域的位置。因而，母對向基板3〇1 A在Θ方向之位置 偏差時，在被喷出裝置控制部6認識之濾光器膜區域225及 濾光器膜區域325的喷灑對象區域之位置與實際之位置上 產生偏差。母對向基板301A在Θ方向之偏差，因為母對向基 板301A吸附於吸附台31而固定，所以在將Θ台32之回旋中心 3 2a作為中心，而母對向基板3〇ia回旋時產生。因此，因母 對向基板301A在Θ方向之偏差造成噴灑對象區域之位置偏 差’愈遠離回旋中心32a愈大。 如上述’ CF層308(CF層區域308a)之濾光器膜區域325的 大小，比CF層208(CF層區域208a)之濾光器膜區域225小》 因而’產生了相同大小之位置偏差時，濾光器膜區域325 產生超出須配置功能液之濾光器區域而配置的不當之可能 性’比濾光器膜區域225大。 在母對向基板301A中，藉由將CF層區域308a配置於比CF 層區域208a接近回旋中心32a之位置，實施對準後在0方向 產生位置偏差（角度偏差）時，濾光器膜區域325之喷灑對象 區域的位置偏差比濾光器膜區域225之喷灑對象區域的位 置偏差小。因此’在母對向基板3〇1八中，係以產生位置偏 差時產生不當之可能性高的濾光器膜區域325之位置偏差 137620.doc -56- 200946982 量小之方式配置。 濾光器膜區域225相當於第一膜形成分區、第一功能膜分 區或是第一色要素區域，濾光器膜區域325相當於第二膜形 成分區、第二功能膜分區或是第二色要素區域。CF層區域 208a相當於第一膜形成區域、第一功能膜區域或是第一濾 光器區域’ CF層區域308a相當於第二膜形成區域、第二功 能膜區域或是第二濾光器區域。形成CF層208及CF層308之 濾光器膜205前的狀態之母對向基板301A相當於母基材或 母基板。 <母對向基板中之CF層的其他配置例3> 其次’就母對向基板201C中之CF層208(CF層區域208a) 及CF層408(CF層區域408a)之配置與回旋中心332a的位置 關係’參照圖17作說明。囷17係顯示放置於工件放置台上 實施Θ調整之狀態的母對向基板之說明圖。圖17所示之χ軸 方向、Y軸方向、Z軸方向及Θ方向，與圖1所示之X轴方向、 Y轴方向、Z轴方向及θ方向一致。另外，與上述之母對向 基板201八等同樣地’亦將在母對向基板2〇1(：上形成了（：17層 208等’或是形成CF層208等之中途的狀態註記為母對向基 板201C。 如圖17所示，回旋中心332&係與工件放置台21在回旋裝 置之結構上不同之工件放置台32 i具備的Θ台332的回旋中 心。Θ台332以回旋中心332a位於吸附台31之主掃描方向端 部的方式而構成。Θ台332相當於回旋裝置，回旋中心332a 相當於回旋中心。 137620.doc -57· 200946982 在母對向基板201C中，將構成對向基板420之CF層408， 與對向基板220之CF層208—起形成於成為玻璃基板401之 部分。如上述，具備CF層408之對向基板420形成與對向基 板220實質地相同構造，且係構成顯示部之面積比液晶顯示 面板200小之液晶顯示面板的對向基板。 在母對向基板201C中之形成CF層208或CF層408之區域 以外的位置，形成有與母對向基板201A同樣之一對對準標 記281，281 ^對準標記281係為了執行形成CF層208等之各 工序，而將母對向基板201C安裝於液滴喷出裝置1等之製造 裝置時等，用作定位用的基準標記。 另外’圖17中為了容易瞭解圖式，而放大CF層區域208a 及CF層區域408a相互間之間隔，不過，為了效率佳地使用 母對向基板201C，該間隔宜儘量小。 在將配置功能液之前的母對向基板201C放置於工件放置 台321之概略指定位置的狀態下，回旋中心332a在母對向基 板201C之主掃描方向中形成有一對對準標記281，281之側 的端附近。排列一行CF層區域208a之CF區域行208C及排列 一行CF層區域408a之CF區域行408C延伸於副掃描方向。CF 區域行408(：比€?區域行208(：配置於母對向基板2010：之主 掃描方向中形成有對準標記281之方的端側。圖17所示之將 母對向基板20 1C放置於工件放置台321之概略指定位置的 狀態下’ CF區域行408C配置於比CF區域行208C接近回旋中 心332a的位置》 與上述之母對向基板201A的情況同樣地，母對向基板 137620.doc •58- 200946982 201C在Θ方向之偏差造成喷灑對象區域之位置偏差，愈遠離 回旋中心332a愈大。 此外，CF層408(CF層區域408a)之濾光器膜區域425的大 小，比CF層208(CF層區域208a)之濾光器膜區域225小。因 而，產生了相同大小之位置偏差時，濾光器膜區域425產生 超出須配置功能液之濾光器區域而配置的不當之可能性， 比濾光器膜區域225大。 在母對向基板201C中，藉由將CF層區域行408C配置於比 ❹ CF層區域行208C接近回旋中心332a之位置，實施對準後在 Θ方向產生位置偏差（角度偏差）時，喷灑對象區域425E的位 置偏差比喷灑對象區域225E的位置偏差小。因此，在母對 向基板201C中，係以產生位置偏差時產生不當之可能性高 的濾光器膜區域425之位置偏差量小之方式配置。 母對向基板201C中之CF層區域208a相當於第一膜形成 區域、第一功能膜區域或是第一濾光器區域，CF層區域408a 相當於第二膜形成區域、第二功能膜區域或是第二濾光器 區域。CF區域行208C相當於第三區域行或第三濾光器區域 行，CF區域行408C相當於第四區域行或是第四濾光器區域 . 行。形成CF層208及CF層408之濾光器膜205前之狀態的母 對向基板20 1C相當於母基材或是母基板。 〈母對向基板中之CF層的其他配置例4> 其次，就母對向基板401A中之CF層208(CF層區域208a) 及縱向配置之CF層208(CF層區域208v)的配置與回旋中心 32a之位置關係，參照圖1 8作說明。圖1 8係顯示放置於工件 137620.doc -59- 200946982

放置台實施θ調整之狀態的母對向基板之說明圖。將對放置 於工件放置台21實施Θ調整之狀態的母對向基板4〇1A，cF 層208之長邊方向延伸於副掃描方向而配置的方法註記為 縱向配置。並將配置功能液前之狀態的母對向基板4〇ι A中 形成縱向排列之CF層208用的區域，與對Cf層208icF層區 域208a同樣地註記為CF層區域208v。另外，與上述之母對 向基板201A等同樣地，亦將在母對向基板4〇1A上形成了 CF 層208，或是形成CF層208之中途的狀態註記為母對向基板 401A。 如圖18所示’在母對向基板401A中形成配置方向不同之 CF層208。在母對向基板401A中之形成CF層208之區域以外 的位置’形成有與母對向基板201A同樣之一對對準標記 281，281 ^對準標記281係為了執行形成CF層2〇8等之各工 序，而將母對向基板401A安裝於液滴喷出裝置1等之製造裝 置時等，用作定位用的基準標記。 另外’圖18中為了容易瞭解圖式，而放大CF層區域2〇8a 及CF層區域208v相互間之間隔，不過，為了效率佳地使用 母對向基板401A，該間隔宜儘量小。 在將配置功能液之前的母對向基板4〇 1A放置於工件放置 台21之概略指定位置的狀態下’回旋中心32a在母對向基板 401A之中央附近。排列了一行CF層區域208a之CF區域行 208B及排列了一行CF層區域208v之CF區域行208D延伸於 主掃描方向。CF區域行208B比CF區域行208D配置於母對向 基板401A之中央側。囷18所示之在將母對向基板401A放置 137620.doc •60- 200946982 於工件放置台21之概略指定位置的狀態下，CF區域行208B 配置於比CF區域行208D接近回旋中心32a之位置。CF層區 域208a在副掃描方向上配置於比CF層區域208v接近回旋中 心32a之位置。 如參照圖12之說明，CF層區域208a之濾光器膜區域225 的形狀係長方形。如圖18所示，在將母對向基板401A放置 於工件放置台21之概略指定位置的狀態下，CF層區域208a 之濾光器膜區域225配置成長邊延伸於副掃描方向。CF層區 域208v之濾光器膜區域225v與濾光器膜區域225實質地相 同’不過係配置成長邊延伸於主掃描方向。因而，在主掃 描方向上產生相同大小之位置偏差時，濾光器膜區域225 產生超出須配置功能液之濾光器區域而配置的不當之可能 性，比濾光器膜區域225乂大。 與上述之母對向基板201Α等的情況同樣地，母對向基板 401A在Θ方向之偏差造成喷灑對象區域之位置偏差，愈遠離 回旋中心32a愈大。考慮位置偏差及從回旋中心32a之距離 的方向時，Θ方向之偏差造成主掃描方向的位置偏差，在副 掃描方向上愈遠離回旋中心32a愈大，Θ方向之偏差造成副 掃描方向之位置偏差在主掃描方向上愈遠離回旋中心32a 愈大。 在母對向基板401A中，藉由將延伸於主掃描方向之CF區 域行208B配置於比CF區域行208D接近回旋中心32a之位 置，實施對準後在Θ方向產生位置偏差（角度偏差）時，濾光 器膜區域225在主掃描方向的位置偏差比濾光器膜區域 137620.doc 200946982 225 v在主掃描方向之位置偏差小。藉由將cj?層區域2〇8a在 副掃描方向上配置於比CF層區域208v接近回旋中心32a之 位置，實施對準後在Θ方向產生位置偏差（角度偏差）時，濾 光器膜區域225在主掃描方向的位置偏差比濾光器膜區域 22 5 v在主掃描方向之位置偏差小。因此，在母對向基板4〇1A 中，係以產生主掃描方向之位置偏差時產生不當之可能性 高的濾光器膜區域225比濾光器膜區域225v在主掃描方向 之位置偏差量小之方式配置。 母對向基板401A中之滤光器膜區域225 v相當於第一膜形 成分區、第一功能膜分區或是第一色要素區域，濾光器膜 區域22 5相當於第二膜形成分區、第二功能膜分區或是第二 色要素區域。CF層區域208 v相當於第一膜形成區域、第一 功能膜區域或是第一遽光器區域，CF層區域20 8a相當於第 二膜形成區域、第二功能膜區域或是第二濾光器區域^ CF 區域行208D相當於第一區域行或是第一濾光器區域行，cf 區域行208B相當於第二區域行或是第二濾光器區域行。形 成CF層208之濾光器膜205前的狀態之母對向基板401八相 當於母基材或母基板。 〈母對向基板中之CF層的其他配置例5>

其次’就母對向基板401B中之CF層208(CF層區域208a) 及縱向配置之CF層208(CF層區域208v)的配置與回旋中心 32a之位置關係，參照圖19作說明。圖19係顯示放置於工件 放置台實施Θ調整之狀態的母對向基板之說明圖。將對放置 於工件放置台21實施Θ調整之狀態的母對向基板401B，CF 137620.doc • 62· 200946982 層208之長邊方向延伸於副掃描方向而配置的方法，與母對 向基板401A中之情況同樣地註記為縱向配置。並將配置功 能液前之狀態的母對向基板401B中形成縱向排列之以層 208用的區域，與對CF層208iCF層區域2〇8a同樣地註記為 CF層區域208v。另外，與上述之母對向基板2〇1A等同樣 地，亦將在母對向基板4〇 1B上形成了 CF層208，或是形成 CF層208之中途的狀態註記為母對向基板4〇1B。 如圖19所示，在母對向基板4〇比中形成配置方向不同之 CF層208。在母對向基板4〇iB中之形成CF層2〇8之區域以外 的位置’形成有與母對向基板2〇1A同樣之一對對準標記 281，281。對準標記281係為了執行形成CF層2〇8等之各工 序，而將母對向基板401B安裝於液滴喷出裝置i等之製造裝 置時等’用作定位用的基準標記。 另外’圖19中為了容易瞭解圖式，而放大cf層區域2〇8a 及CF層區域208v相互間之間隔，不過，為了效率佳地使用 母對向基板401B，該間隔宜儘量小。 在將配置功能液之前的母對向基板4〇18放置於工件放置 台21之概略指定位置的狀態下，回旋中心32a在母對向基板 401B之中央附近。排列了一行CF層區域2〇8&之CF區域行 208C及排列了一行cf層區域2〇8v之CF區域行208E延伸於 副掃描方向》CF區域行208E比CF區域行208C配置於母對向 基板401B之中央侧。圖19所示之在將母對向基板4〇1B放置 於工件放置台21之概略指定位置的狀態下，CF區域行208E 配置於比CF區域行208C接近回旋中心32a之位置。CF層區 137620.doc •63- 200946982 域208 v在主掃描方向上配置於比CF層區域2〇8a接近回旋中 心32a之位置。 如參照圖12之說明’ CF層區域208a之濾光器膜區域225 的形狀係長方形。如圖19所示，在將母對向基板放置 於工件放置台21之概略指定位置的狀態下，CF層區域208a 之渡光器膜區域225配置成長邊延伸於副掃描方向。cf層區 域208v之濾光器膜區域225v與濾光器膜區域225實質地相 同’不過係配置成長邊延伸於主掃描方向。亦即，因而， 在副掃描方向上濾光器膜區域225比濾光器膜區域225v 長。在副掃描方向上產生相同大小之位置偏差時，遽光器 膜區域225v產生超出須配置功能液之濾光器區域而配置的 不當之可能性，比濾光器膜區域225大。 與上述之母對向基板201A等的情況同樣地，母對向基板 401B在Θ方向之偏差造成喷灑對象區域之位置偏差，愈遠離 回旋中心32a愈大。考慮位置偏差及從回旋中心32a之距離 的方向時，Θ方向之偏差造成主掃描方向的位置偏差，在副 掃描方向上愈遠離回旋中心32a愈大，θ方向之偏差造成副 掃爲方向之位置偏差在主掃猫方向上愈遠離回旋中心32a 愈大。 在母對向基板401B中’藉由將延伸於副掃描方向之cf區 域行208E配置於比CF區域行208C接近回旋中心32a之位 置，實施對準後在Θ方向產生位置偏差（角度偏差）時，濾光 器膜區域225v在副掃描方向的位置偏差比濾光器膜區域 225在副掃描方向之位置偏差小。藉由將CF層區域2〇8v在主 137620.doc -64- 200946982 掃描方向上配置於比CF層區域208a接近回旋中心32a之位 置，實施對準後在θ方向產生位置偏差（角度偏差）時，濾光 器膜區域225v在副掃描方向的位置偏差比濾光器膜區域 225在副掃描方向之位置偏差小。因此，在母對向基板4〇ib 中，係以產生副掃描方向之位置偏差時產生不當之可能性 咼的濾光器膜區域225v比濾光器膜區域225在副掃描方向 之位置偏差量小之方式配置。 母對向基板401B中之濾光器膜區域225相當於第一膜形 成分區、第一功能膜分區或是第一色要素區域，濾光器膜 區域225v相當於第二膜形成分區、第二功能膜分區或是第 二色要素區域。CF層區域208a相當於第一膜形成區域、第 一功能膜區域或是第一濾光器區域，CF層區域208 v相當於 第二膜形成區域、第二功能膜區域或是第二濾光器區域。 CF區域行208C相當於第三區域行，CF區域行208E相當於第 四區域行。形成CF層208之濾光器膜205前的狀態之母對向 基板401B相當於母基材或母基板。 以下，記載實施形態之效果。採用本實施形態時可獲得 以下之效果。 (1)在母對向基板201A中，排列了一行CF層區域208a之 CF區域行208B，及排列了一行CF層區域408a之CF區域行 408B延伸於主掃描方向。因為相同cf層區域208a或CF層區 域408a在主掃描方向上相連，所以在一次主掃描方向之相 對移動間，可藉由以一定之驅動條件驅動各個液滴喷出頭 17，而實施功能液之配置。 137620.doc • 65- 200946982 (2)在母對向基板201B放置於工件放置台21之概略指定 位置的狀態下’排列了一行CF層區域208a之CF區域行 208C’及排列了一行CF層區域408 a之CF區域行408C延伸於 副掃描方向。因為相同CF層區域208a或CF層區域408a在副 掃描方向上相連’所以可藉由以同一驅動條件驅動並列於 副掃描方向之數個液滴喷出頭17，而實施功能液之配置。 因為驅動條件均一，且主掃描方向之相對移動的速度亦在 並列於副掃描方向之數個液滴喷出頭17中共通，所以可抑 制因配合相對移動之速度遲緩的液滴喷出頭17而造成作業 時間增加。 以上，係參照附圖就適合之實施形態作說明，不過，適 合之實施形態不限定於前述實施形態。實施形態在不脫離 要旨之範圍内當然可加以各種變更，且亦可如以下地實施。 (變形例1)在前述實施形態中，Θ台32係配設於回旋中心 32a位於吸附台31之概略中心的位置。0台332係配設於回旋 中心332a位於吸附台31之主掃描方向的端部之位置。回旋 裝置之回旋中心無須是此等之位置。只要可調整放置之基 板等在Θ方向的位置’回旋裝置之回旋中心的位置亦可是任 何之位置。另外，為了效率佳地實施對準作業，為了調整β 方向而使放置之基板等回旋時’宜為形成於基板等之對準 標記28 1之基準點的移動量少的位置 如一對對準標記28 i 281地有一對基準點情況下，宜為一方之基準點的移動量 小’或是一對基準點中各個基準點之移動量為概略均等的 位置。 137620.doc • 66- 200946982 (變形例2)前述實施形態中，雖CF層208、CF層408、及 CF層308彼此之大小不同，不過具有相同結構，但是無需為 構成於同一母基板之CF層等具有彼此相同之結構。只要配 置之功能液係共通，亦可為任何之結構。 (變形例3)前述實施形態中，液晶顯示面板2〇〇具備之CF 層208係具有紅色濾光器膜205R、綠色濾光器膜205G及藍 色遽光器膜205B之3色的濾光器膜之3色渡光器，不過彩色 渡光器亦可係具有更多種類之濾光器膜的多色彩色濾光 器。多色之彩色濾光器如除了紅色、綠色、藍色之外，還 具有紅色、綠色、藍色之補色的青綠（eyan)、深紅 (magenta)、黃色（yell〇w)之有機EL元件的6色彩色濾光器， 或疋在青綠（cyan)、深紅（magenta)、黃色（yeU〇w)之3色中 加上綠色的4色彩色濾光器等。 (變形例4)前述實施形態中，係就形成液晶顯示面板2〇〇 之濾光器膜205時的描繪噴出作說明，不過所形成之膜不限 疋於據光器膜。所形成之膜亦可為液晶顯示裝置之像素電 極膜、配向膜或對向電極膜，或是為了保護彩色濾光器等 而設定之罩面層膜等。 具有所形成之膜的裝置，或是在形成過程中需要形成膜 之裝置亦不限定於液晶顯示裝置。只要是具有上述之膜的 裂置，或是在形成過程中需要形成上述之膜的纟置，亦可 為任何裝置。如亦可適用於有機EL顯示裝置。製造有訊 顯不裝置時’使用上述之液滴噴出裝置而形成之功能膜， 亦可為有機EL顯示裝置之正極電極膜或陰極電極膜、藉由 137620.doc -67- 200946982 光蚀刻等而形成圖案用之膜、或是光餘刻等之光抗餘膜等。 (變形例5)前述實施形態中，藉由使用液滴喷出裝置1配 置功能液而實施描續之描續·對象物的一例，係就具備彩色 ;慮光器之液晶顯示面板200作說明’不過描鳍·對象物不限定 於彩色濾光器。上述之母基材、膜形成區域之配置方法及 彩色渡光器之製造方法’可作為關於製造時配置各種液狀 體而實施加工之各種加工對象物的母基材、配置液狀醴的 膜形成區域之配設方法、製造方法及加工方法而利用。如 亦可作為電路基板之母電路基板、及喷出液狀之導電材料 的配線導電圖案之加工方法，具有絕緣膜之電路基板的母 電路基板、及喷出液狀之絕緣材料的絕緣膜圖案之加工方 法，半導體晶圓、及喷出液狀之導電材料的半導體裝置之 配線導電膜的加工方法，半導體晶圓、及喷出液狀之絕緣 材料的半導體裝置之絕緣層的加工方法等而利用。 (變形例6)前述實施形態中’作為膜形成分區、功能膜分 區或色要素區域之濾光器膜區域225等係長方形，不過，膜 形成分區、功能膜分區或色要素區域無須係長方形。近年 來為了使顯示特性提高’亦創作有像素之形狀與長方形不 同之顯7F裝置。膜形成分區、功能膜分區或色要素區域之 形狀，亦可為可形成其形狀與長方形不同之像素等的形狀。 (變形例7)前述實施形態巾’―個卿成區域、功能膜區 域或濾光器區域膜中’作為膜形成分區、功能膜分區或色 要素區域之濾光器膜區域225等係相同大小及形狀。但是， 在-個膜形成區域、功能膜區域或濾光器區域膜中，膜形 137620.doc -68 - 200946982 成分區、功能膜分區或色要素區域無須係單一之大小及形 狀。如亦可為具有使在4色彩色濾光器中構成顯示的最小單 位之色要素的各色之大小配合光源之特性而不同之不同大 小的膜形成分區、功能膜分區或色要素區域的膜形成區 域、功能膜區域或濾光器區域膜。 (變形例8)前述實施形態中，作為母基材或母基板之母對 向基板201A等的母對向基板，如分別具有濾光器膜225或濾 光器膜區域425之不同遽光器膜區域的cf層區域2〇8a及CF 層區域408a，而分別具備2種膜形成區域。但是，母基材或 母基板具備之膜形成區域無須係2種。母基材或母基板亦可 係具備3種以上膜形成分區、功能膜分區或色要素區域不同 的膜形成區域之結構。 (變形例9)前述實施形態中，液滴喷出裝置丨係藉由使放 置了母對向基板201A等之工件放置台21移動於主掃描方 向，並且從液滴噴出頭17喷出功能液，而在CF層區域2〇8a 及CF層區域408a等上配置功能液。此外，係藉由將頭單元 54移動於副掃描方向，而合併液滴喷出頭17(噴出喷嘴 對母對向基板201A等之位置。但是，亦無須藉由使母基材 或母基板移動而實施作為配置頭之液滴喷出頭與母基材或 母基板在主掃描方向的相對移動，或是藉由使配置頭移動 而實施在副掃描方向之相對移動。 亦可藉由使配置頭在主掃描方向移動而實施配置頭與母 基材或母基板在主掃描方向之相對移動。亦可藉由使母基 材或母基板在副掃描方向移動而實施配置頭與母基材或母 137620.doc • 69 - 200946982 基板在副掃描方向的相對移動。或是，亦可藉由使配置頭、 或母基材或母基板之任何一方在主掃描方向及副掃描方向 移動，而實施配置頭與母基材或母基板在主掃描方向及副 掃描方向之相對移動，亦可藉由使配置頭、或母基材或母 基板兩方移動於主掃描方向及副掃描方向而實施。 (變形例ίο)前述實施形態中，將功能液配置於母對向基 板201A等之配置裝置’係以具備喷墨方式之液滴喷出頭17 的液滴喷出裝置1為例作說明，不過配置裝置無須是液滴喷 ® 出裝置。配置裝置如亦可使用具備分配器之喷出裝置等。 需要在大面積之臈形成分區中配置大量之膜材料情況下， 使用從液滴喷出頭每單位時間之喷出量多的分配器有用。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示液滴喷出裝置之概略結構的平面圖。 圖2係顯示液滴喷出裝置之概略結構的側面圏。 圖3(a)係顯示液滴喷出頭之概要的外觀斜視圖。係顯 示頭單元之概略結構的平面圖。

W 圖4係顯示液滴喷出裝置之電性結構的電性結構區塊圖。 圖5係顯示液滴喷出頭之電性結構與訊號流路的說明圖。 圖6係顯示液晶顯示面板之概略結構的分解斜視圖。 圖7(a)係模式顯示對向基板之平面構造的平面圖。係 模式顯示母對向基板之平面構造的平面圖。 圖8(a)〜(c)係顯示3色彩色濾光器之濾光器膜的排列例之 模式平面圖》 圖9係顯示形成液晶顯示面板之過程的流程圖。 137620.doc -70- 200946982 圖10(a)〜(f)係顯示在形成液晶顯示面板之過程中形成遽 光器膜之工序等的剖面圖》 圖11(g)〜(k)係顯示在形成液晶顯示面板之過程中形成配 向膜之工序等的剖面圖。 圖12(a) ' (b)係顯示濾光器膜區域之形狀與喷灑對象區域 之關係的說明圖。 • 圖13係顯示配置功能液之工序的流程圖。 圖14係顯示放置於工件放置台上實施θ調整之狀態的母 © 對向基板之說明圖》 圖15係顯示放置於工件放置台上實施θ調整之狀態的母 對向基板之說明圖。 圖16係顯示放置於工件放置台上實施θ調整之狀態的母 對向基板之說明圖。 圖17係顯示放置於工件放置台上實施θ調整之狀態的母 對向基板之說明圖。 圖18係顯示放置於工件放置台上實施θ調整之狀態的母 _ 對向基板之說明圖。 圖19係顯示放置於工件放置台上實施0調整之狀態的母 對向基板之說明圖。 【主要元件符號說明】 1 液滴喷出裝置 2 喷出單元 3 工件單元 6 喷出裝置控制部 137620.doc -71 - 200946982

17 21 > 321 31 32 ' 332 32a ' 332a 54 78 80 81 81a 82 200 201 ' 401 201A、201B、 201C、301A、 401A、401B 205 ' 405 208 ' 308 ' 408 208a、308a、 208v ' 408a 208A、408A 208B 、 208C 、 208D、208E、 408B 、 408C 液滴喷出頭 工件放置台 吸附台 Θ台 回旋中心 頭單元 喷出喷嘴 圖像認識單元 對準相機 攝像區域 相機移動機構 液晶顯不面板 玻璃基板 母對向基板 濾光器膜 CF層 CF層區域 CF層行 CF區域行 -72- 137620.doc 200946982 210 元件基板 220 、 420 對向基板 225 ' 225B ' 濾光器膜區域 225G、225R、 225v、325、425 225E ' 425E 喷灑對象區域 225h、425h 縱尺寸 225w ' 425w 橫尺寸 225x、425x 橫尺寸 225y > 425y 縱尺寸 281 對準標記 532 Θ驅動馬達 137620.doc -73-

Claims (1)

1. 200946982 七、申請專利範圍： 1· -種母基材’其係具備數個膜形成區域該等膜形成區 域具有〗個以上之膜形成分區，且其特徵為：該母基材具 有： 第一膜形成區域，其係具備第—臈形成分區；及 第二膜形成㈣，其係具備膜之形成面積比第一膜形 成分區小的第二膜形成分區； 在设定有於配置膜材料時使用之配置裝置的狀態下，對 β 包含於前述配置裝置之回旋裝置的回旋中心，在比前述 第一膜形成區域近之位置配設有前述第二膜形成區域。 2. 如請求項丨之母基材，其中前述配置裝置具備：配置頭， 其係配置前述膜材料；及相對移動裴置，其係使前述配 置頭與前述母基材相對移動於主掃描方向； 前述第一膜形成分區在前述主掃描方向之寬度係第一 寬度，則述第二膜形成分區在前述主掃描方向之寬度係 比前述第一寬度小之第二寬度， & 在前述配置裝置中設定了前述母基材之狀態下，在與 前述主掃描方向概略正交的副掃描方向上，前述第二膜 形成區域係配設於比前述第一膜形成區域接近前述回旋 中心之位置。 3. 如請求項1之母基材，其中前述配置裝置具備：配置頭， 其係配置前述膜材料；及相對移動裝置，其係使前述配 置頭與前述母基材相對移動於主掃描方向； 前述第一膜形成分區在與前述主掃描方向概略正交之 137620.doc 200946982 田J掃描方向的寬度係第三寬度，前述第二膜形成分區在 前述副掃描方向之寬度係比前述第三寬度小之第四寬 度， 在將别述母基材設定於前述配置裝置之狀態下，在前 述主掃描方向上，前述第二膜形成區域係配設於比前述 第一膜形成區域接近前述回旋中心之位置。 4.如請求項！至3中任一項之母基材，其中前述第二膜形成 區域係配設於比前述第一膜形成區域接近前述母基材之 中央的位置。 5·如請求項2之母基材，其中前述母基材具備·第一區域 订，其係在前述主掃描方向上排列了數個前述第一膜形 成區域；及第二區域;^，其係在前述主掃描方向上排列 了數個前述第二膜形成區域； 在别述配置裝置中设定了前述母基材之狀態下，前述 第二區域行在前述副掃描方向上，係配設於比前述第一 區域行接近前述回旋中心之位置。 6.如請求項5之母基材，其中前述第二區域行係配設於比前 述第一區域行接近前述母基材之t央的位置。 7·如請求項3之母基材，其中前述母基材具備：第三區域 订，其係在前述副掃描方向上排列了數個前述第一膜形 成區域；及第四區域行，其係在前述副掃描方向上排列 了數個前述第二膜形成區域； 在前述配置裝置中設定了前述母基材之狀態下，前述 第四區域行在前述主掃財向上，係配設於比前述第三 137620.doc -2 - 200946982 區域行接近前述回旋中心之位置。 8·如明求項7之母基材，其中前述第四區域行係 配設於比前 述第一區域行接近前述母基材之中央的位置。 9. 一種臈形成區域之配設方法，其係用於具備數個膜形成 區域之母基材，該等膜形成區域具有1個以上之膜形成分 區，且其特徵為： 刖述母基材具備：第一膜形成區域，其係具有第一膜 形成77區，及第二臈形成區域，其係具有膜之形成面積 比前述第一膜形成分區小的第二臈形成分區； 在配置膜材料時使用之配置裝置中設定了前述母基材 的狀態下，對包含於前述配置裝置之回旋裝置的回旋中 〜，在比則述第一膜形成區域近之位置配設前述第二膜 形成區域。 1〇_如請求項9之膜形成區域之配設方法，其中前述配置裝置 係使配置前述膜材料之配置頭與前述母基材在主掃描方 向上相對移動並配置前述膜材料， 前述第一膜形成分區在前述主掃描方向之寬度係第一 寬度，别述第二膜形成分區在前述主掃描方向之寬度係 比前述第一寬度小之第二寬度， 在前述配置裝置甲設定了前述母基材之狀態下，在與 前述主掃描方向概略正交的副掃描方向上，將前述第二 膜形成區域配設於比前述第一膜形成區域接近前述回旋 中心之位置。 11.如請求項9之膜形成區域之配設方法，其中前述配置裝置 137620.doc 200946982 係使配置W述膜材料之配置頭與前述母基材在主掃描方 向上相對移動並配置前述膜材料， 七述第膜形成分區在與前述主掃描方向概略正交之 剎掃描方向的寬度係第三寬度，前述第二膜形成分區在 前述副掃描方向之寬度係比前述第三寬度小之第四寬 度， ❹ 12. 13. 14. 15. 在前述配置裝置中設定了前述母基材之狀態下，在前 述主掃描方向上，將前述第二膜形成區域配設於比前述 第一膜形成區域接近前述回旋中心之位置。 如凊求項9至11中任一項之臈形成區域之配設方法，其中 將則述第二臈形成區域配設於比前述第一膜形成區域接 近前述母基材之中央的位置β 如請求項10之膜形成區域之配設方法，其中前述母基材 具備·第區域行，其係在前述主掃描方向上排列了數 個前述第一膜形成區域；及第二區域行，其係在前述主 掃描方向上排列了數個前述第二膜形成區域； 在前述配置裝置中設定了前述母基材之狀態下，將前 述第二區域行在前述副掃描方向上，配設於比前述第一 區域行接近前述回旋中心之位置。 如請求項13之膜形成區域之配設方法，其中將前述第二 區域行配設於比前述第一區域行接近前述母基材之中央 的位置。 如請求項11之膜形成區域之配設方法，其中前述母基材 具備：第三區域行，其係在前述副掃描方向上排列了數 137620.doc -4 - 200946982 個剧述第一膜形成區域；及第四區域行，其係在前述副 掃描方向上排列了數個前述第二膜形成區域； 在前述配置裝置中設定了前述母基材之狀態下，將前 述第四區域行在前述主掃描方向上，配設於比前述第三 區域行接近前述回旋中心之位置。 16·如明求項15之膜形成區域之配設方法，其中將前述第四 區域行配設於比前述第三區域行接近前述母基材之中央 的位置。 17. —種彩色濾光器之製造方法，其係對母基板在色要素區 域中形成色要素臈，該母基板用以形成具備具有1個以上 之則述色要素區域的濾光器區域之數個彩色濾光器，且 其特徵為： 前述母基板具備：第一濾光器區域，其係具有第一色 要素區域；及第二濾光器區域，其係具有前述色要素膜 之形成面積比前述第一色要素區域小之第二色要素區 域； ❹ 在配置色要素膜材料時使用之配置裝置中設定了前述 母基板的狀態下’對包含於前述配置裝置中之回旋裝置 - 的回旋中心，在比前述第一濾光器區域近之位置配設前 述第二濾光器區域’並在該第一濾光器區域及第二濾光 器區域中之各個前述色要素區域中’使用前述配置裝置 而配置色要素膜材料。 18. 如請求項17之彩色濾光器之製造方法，其中前述配置裝 置係使配置前述色要素膜材料用之配置頭與前述母基板 137620.doc 200946982 在主掃描方向上相對移動並配置前述色要素膜材料， 前述第一色要素區域在前述主掃描方向之寬度係第一 寬度，前述第二色要素區域在前述主掃描方向之寬度係 比前述第一寬度小之第二寬度， 在前述配置裝置中設定了前述母基板之狀態下，在與 刖述主掃描方向概略正交的副掃描方向上，將前述第二 濾光器區域配設於比前述第一濾光器區域接近前述回旋 中心之位置。 ^ 19.如請求項17之彩色濾光器之製造方法，其中前述配置裝 置係使配置前述色要素臈材料用之配置頭與前述母基板 在主掃描方向上相對移動並配置前述色要素膜材料， 前述第一色要素區域在前述色要素區域之與前述主掃 描方向概略正交的副掃描方向之寬度係第三寬度，前述 第二色要素區域在前述副掃描方向之寬度係比前述第三 寬度小之第四寬度， 〇 在前述配置裝置中設定了前述母基板之狀態下，在前 述主掃描方向上，將前述第二濾光器區域配設於比前述 第一濾光器區域接近前述回旋中心之位置。 20. 如請求項17至19中任一項之彩色濾光器之製造方法，其 中將别述第一遽光器區域配設於比前述第一遽光器區域 接近前述母基板之中央的位置。 21. 如請求項18之彩色濾光器之製造方法，其中前述母基板 具備：第一濾光器區域行，其係在前述主掃描方向上排 列了數個前述第一濾光器區域；及第二濾光器區域行， 137620.doc 200946982 其係在前述主掃描方向上排列了數個前述第二濾光器區 域； 在前述配置裝置中設定了前述母基板之狀態下，在前 述田彳掃描方向上，將前述第二濾光器區域行配設於比前 . 述第一濾光器區域行接近前述回旋中心之位置。 22. 如清求項21之彩色濾光器之製造方法，其中將前述第二 濾光器區域行配設於比前述第一濾光器區域行接近前述 母基板之中央的位置。 23. 如凊求項19之彩色濾光器之製造方法其中前述母基板 具備·第二濾光器區域行，其係在前述副掃描方向上排 列了數個前述第一遽光器區域；及第四濾光器區域行， 其係在前述副掃描方向上排列了數個前述第二濾光器區 域； 在刖述配置裝置中設定了前述母基板之狀態下，在前 述主掃描方向上’將前述第四濾光器區域行配設於比前 φ 述第三濾光器區域行接近前述回旋中心之位置。 Μ.如請求項23之彩色濾光器之製造方法，其中將前述第四 滅光器區域行配設Μ前述第三Μ器區域行接近前述 . 母基板之中央的位置。 137620.doc