TW200934608A - Cutting composite processing machine having function of measuring processing depth - Google Patents

Cutting composite processing machine having function of measuring processing depth

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Description

200934608 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係與切削複合加工機有關,特別是指一種具量 測加工深度功能之切削複合加工機。 、 5【先前技術】 在超精密加工的領域中,由於尺寸精度常需加工至 罄 〜50奈米,若利用傳統加工技術已無法加工出上述精度, 因此許多非傳統加工技術,例如放電加工、磨削加工、研 1〇磨加工’或是微細雷射加工等皆已大量使用於產業界。 以切削加工為例,為了讓切削出的尺寸精度越來越 ^、,切削用刀具之尺寸也必須越來越小,而切削速度亦必 須相對加快。因此有業者係將切削工作以刀具及雷射同步 進行加工,使得切削後的結構較為精細,而且加工速度也 可較快。 ⑩ 然而’由於上述切削用刀具的尺寸通常都很小,當刀 具與$射在進行切削作業時,常常會受到作業環境的限制 而不谷易量測與確認加工深度或距離,因此加工速度無法 大幅增加,加工品質也不易控制。 20【發明内容】 本發月之主要目的乃在於提供一種切削複合加工機, 可具有量測加工深度之功能。 本發明之另一目的則在於提供一種切削複合加工機, 、加工速度較快,且加工精度較高。 4 200934608 為達成前揭目的’本發明所提供之切削複合加工機, 主要包含有一刀具、一供應裝置'一第一雷射光波、一第 一雷射光波,以及一偵測控制裝置;該刀具設有一固定端、 一切削端’與至少一自該固定端貫穿至該切削端之通道; 5該供應裝置係用以供應氣體或液體至該刀具之通道内;該 第一雷射光波與該第二雷射光波係分別自該刀具之固定端 沿該通道朝該切削端射至一工件,而該偵測控制裝置係用 以接收該第二雷射光波射至該工件後而反射回之光波。藉 由上述本發明所提供之刀具與第一雷射光波進行切削,搭 10配第二雷射光波量測加工深度,本發明之加工速度不僅較 為快速’而且加工精度亦較為精準,用以達成本發明之發 明目的。 【實施方式】 15 以下’茲配合圖式列舉若干較佳實施例,藉以對本發 明之詳細結構做進一步說明,其中各圖式之簡要說明如下: 第一圖係本發明第一較佳實施例之示意圖;以及 第二圖係本發明第二較佳實施例之示意圖。 請參閱第一圖所示’係為本發明所提供具量測加工深 2〇度功能之切削複合加工機(10),主要包含有一刀具(2〇)、一 供應裝置(30)、一第一雷射光波(4〇)、一第二雷射光波(5〇), 以及一偵測控制裝置(6〇)。 該刀具(20)係為端銑刀,刀具(20)具有一固定端(22)、 一切削端(24),與至少一自固定端(22)貫穿至切削端(24)之
S 200934608 中空通道(26)。固定端(22)設於加工機之一旋轉主軸(12), 切削端(24)朝向一待切削之工件(14)。主軸(12)内具有一開 口(16),開口(16)連通於通道卩6)。主軸(12)可帶動刀具(20) 原地旋轉並上下移動,再配合一移動台帶動工件(14)平移, 5 使加工機可利用刀具(20)切削工件(14)。 該供應裝置(30)具有一連通件(32),連通件(32)内注有 氣體或液體,連通件(32)係設於主轴(12),可使氣體或液體 經開口(16)流至刀具(20)之通道(26)内。 該第一雷射光波(40)係為高功率Nd:YAG雷射或是二 1〇 氧化碳雷射,第二雷射光波(50)則為低功率雷射》第一及第 二雷射光波(40、50)分別自發射器(42、52)產生並投射入主 軸(12)之開口(16)後,再經過刀具(20)之固定端(22)沿通道 (26)朝切削端(24)射至工件(14)。第一雷射光波(40)與第二雷 射光波(50)可同軸或非同軸地射至工件(14)。 15 該偵測控制裝置(60)係設於第二雷射光波(50)之發射 器(52)。控制裝置(60)用以接收第二雷射光波(5〇)射至工件 (14)後而反射回之光波’並可將該光波往返之時間換算為距 離。 經由上述結構說明’本發明所提供之切削複合加工機 20進行切削加工時’刀具(20)係受主轴(12)帶動旋轉並且接觸 於工件(14)表面,使刀具(20)可切削去除接觸表面之工件(14) 材料。刀具(20)進行切削時,供應裝置(30)所輸送的氣體或 液體由主軸(12)内部流入刀具(20)之通道(26),並且再沿通 道(26)自切削端(24)流出,使切削時所產生的切屬可由氣體 6 200934608 或液體帶離工件(14)表面。而在刀具(2〇)進行上述切削工作 時,第一雷射光波(40)亦同時打在工件(14)表面,並且移除 光波照射區域的材料。藉由刀具(2〇)與第一雷射光波(4〇)的 雙重作用下,工件(14)表面即可較為快速地進行切削加工。 5 當刀具(20)與第一雷射光波(40)對工件(14)進行切削加 工時,第二雷射光波(5〇)亦同時射至工件(14)表面,而且第 一雷射光波(50)打在工件(14)表面後的反射光波,會再經由 刀具(20)之通道(26)投射至偵測控制裝置(6〇),使偵測控制 裝置(60)可將第二雷射光波(50)從射出至接收反射光波的 1〇時間持續轉換為距離,藉以測出工件(14)受切削後的表面高 度’操作人員即可更為精準地量測並確認刀具(2〇)與第一雷 射光波(40)的加工深度。 藉此’利用本發明所提供之刀具(2〇)與第一雷射光波 (4〇)進行切削’再搭配第二雷射光波(5〇)持續量測加工深 I5度,本發明之加工速度不僅是較為快速,而且加工精度亦 較為精準,用以達成本發明之發明目的。 另外,如第二圖所示,係為本發明第二較佳實施例所 提供具量測加工深度功能之切削複合加工機(7〇),其亦包含 有一刀具(71)、一供應裝置(72)、一第一雷射光波(73)、一 20第二雷射光波(74) ’以及一偵測控制裝置(75)。特點在於: 刀具(Ή)為球頭銑刀’第一雷射光波(73)及第二雷射光波(74) 之發射器(76、79)直接設於主軸(77),使第一雷射光波(73) 及第二雷射光波(74)由主轴(77)内部直接射往刀具(71)之通 道(78)。刀具(71)及第一雷射光波(73)可進行切削工作,第 200934608 二雷射光波(74)則同步量測刀具(71)之加工深度,藉由上述 組成,本發明亦可達成同樣之發明目的。
8 200934608 【圖式簡單說明】 第一圖係本發明第一較佳實施例之示意圖。 第二圖係本發明第二較佳實施例之示意圖。 5 【主要元件符號說明】 10切削複合加工機 12主軸 % 14工件 16開口 ❹ • 20刀具 22固定端 24切削端 26通道 10 30供應裝置 32連通件 40第一雷射光波 42發射器 50第二雷射光波 60偵測控制裝置 52發射器 70切削複合加工機 71刀具 15 72供應裝置 73第一雷射光波 ❹ 74第二雷射光波 75偵測控制裝置 76發射器 77主軸 4 78通道

Claims (1)

  1. 200934608 十、申請專利範圍: 1·一種切削複合加工機,包含有: 一刀具,具有一固定端、一切削端,與至少一自該固 定端貫穿至該切削端之通道; 一供應裝置’係用以供應氣體或液體至該刀具之通道 5 内; 一第一雷射光波與一第二雷射光波,係分別自該刀且 φ 之固定端沿該通道朝該切削端射至一工件;以及 一偵測控制裝置,係用以接收該第二雷射光波射至該 工件後而反射回之光波。 10 2·如申請專利範圍第1項所述之切削複合加工機,其中 該第一雷射光波係為高功率光波。 3. 如申請專利範圍帛i項所述之切削複合加工機,其中 該第二雷射光波係為低功率光波。 ^ 4. 如f請專利範圍第i項所述之切削複合加卫機,其中 15該第-雷射級與該第二雷射光波係同轴地射至該工件。 5. 如申請專利範圍第!項所述之切削複合加工機,其中 該第-雷射光波與該第二雷射光波係非同轴地射至該工 件。 6. 如申请專利範圍第〗項所述之切削複合加工機,其中 該刀具設於-主軸,該主轴具有—開σ,該刀具之通道連 通於該開Π ’該供應裝置賴狀氣體紐 口輸送至該通道。 7. 如申請專利範圍第i項所述之切削複合加工機,其中 該刀具設於-主軸,該第—雷射歧與該第二雷射光波之 20 200934608 發射器設於該主軸。
    11
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US12/155,698 US20090196697A1 (en) 2008-02-01 2008-06-09 Multi-Function cutting machine with working depth measurement
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6178568B2 (ja) * 2012-12-14 2017-08-09 三菱重工業株式会社 複合加工方法および複合加工装置
CN103506662B (zh) * 2013-09-10 2016-01-13 安徽奇峰机械装备有限公司 一种钻孔深度自动控制的钻孔设备
DE102015221637A1 (de) * 2015-11-04 2017-05-04 Robert Bosch Gmbh 21Schnittlängenanzeigevorrichtung
KR101803783B1 (ko) * 2016-03-31 2017-12-05 창원대학교 산학협력단 가공원점 설정이 가능한 절삭장치
DE102017203284A1 (de) * 2017-03-01 2018-09-06 Robert Bosch Gmbh Tiefeneinstellung für Kantenfräsen
DE102018002301A1 (de) * 2018-03-21 2019-09-26 Robot-Technology Gmbh Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks und Verfahren
CN111906593B (zh) * 2020-08-12 2022-05-24 云南玉溪玉昆钢铁集团有限公司 一种轧辊铣月牙槽测量装置及其测量方式

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE8012959U1 (de) * 1980-05-13 1981-11-12 Komet Stahlhalter- Und Werkzeugfabrik Robert Breuning Gmbh, 7122 Besigheim Kühleinrichtung für rotierende Schneidwerkzeuge für die spanende Metallbearbeitung, insbesondere für Borhrwerkzeuge
US4585379A (en) * 1980-12-27 1986-04-29 Hitachi, Ltd. Precision positioning device
JPH01273684A (ja) * 1988-04-27 1989-11-01 Mitsubishi Electric Corp 分解除去装置
JPH05293730A (ja) * 1992-04-20 1993-11-09 Fanuc Ltd レーザ加工可能な複合型工作機械
DE19613183C1 (de) * 1996-04-02 1997-07-10 Daimler Benz Ag Verfahren und Vorrichtung zum Feindrehen eines Werkstückes aus einem härtbaren Stahl mittels Drehmeißel
CA2259700C (en) * 1998-01-21 2007-05-08 Clive G. Whittenbury Laser-assisted cutting device
DE19910880A1 (de) * 1999-03-11 2000-09-14 Deckel Maho Gmbh Werkzeugmaschine für die Werkstückbearbeitung mit spanenden Werkzeugen und Laserstrahl
GB2377664A (en) * 2001-06-22 2003-01-22 Nippei Toyama Corp Laser beam machining apparatus and laser beam machining method
US6532068B2 (en) * 2001-07-17 2003-03-11 National Research Council Of Canada Method and apparatus for depth profile analysis by laser induced plasma spectros copy
JP2004243383A (ja) * 2003-02-14 2004-09-02 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ加工装置及びレーザ加工方法
DE102006003682A1 (de) * 2006-01-24 2007-07-26 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Kombinierte Vorrichtung zur Materialbearbeitung mit einem Fräser und einem Laser

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