TW200909119A - Indexing device - Google Patents

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200909119 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明爲：模具等超精密加工用之工作機械 的分度裝置，特別是可達成：大型工件之超精密 應性、及提高分度精度的分度裝置。 【先前技術】 傳統上，分度裝置大多是採用如日本特開平6 號公報所揭示，利用滾珠軸承之類的滾動軸承將 承成可自由旋轉，並藉由蝸桿-蝸輪機構之類的； 度機構，使分度台旋轉特定角度。 【發明內容】 〔發明欲解決之課題〕 上述利用滾動軸承支承分度台，並利用蝸构 構來賦予特定角度之旋轉的方式，特別是在承載 之分度台的場合存在問題。也就是說，在利用滚 支承分度台的場合中，就構造上而言具有：工作 軸的軸剛性變低，和無法提高分度精度的缺點。 這是由於在傳統的分度台中，通常是採用將 之角度編碼器等的刻度尺放置於分度台中心的構 分度角度的誤差形成：一旦工件越大，在外周部 差越大。 相對於上述狀況，倘若利用空氣軸承之類的 等所使用 加工的對 -344244 分度台支 機械性分 i -蝸輪機 大型工件 動軸承來 台之旋轉 用來分度 造，以致 的位置偏 流體軸承 -5- 200909119 來支承分度台’可降低分度台的起動扭矩，如此 軸剛性變高’並可提高分度精度。但是，特別在 扭矩抑制的更低之空氣軸承的場合中，雖然不會 的軸剛性降低’但空氣軸承的軸承剛性卻變低， 承大型工件之類的重物。不僅如此，就對空氣軸 重而言還具有較弱的缺點。因此，傳統上流體軸 侷限用於承載著輕量、小型工件的分度裝置。 本發明的目的是提供一種：可解決上述技術 具備可承載大型且較重之工件的大型分度台，並 精確度之分度精度的分度裝置。 〔解決課題之手段〕 用來達成上述目的之本發明的分度裝置，其 備：分度台，該分度台具有用來承載工件的工作 並可藉由旋轉特定角度來分度前述工作台本體的 位置；和基座，該基座具有伺服馬達及流體軸承 馬達是用來產生前述分度台的旋轉動力，該流體 別支承前述分度台之徑向荷重、推力荷重；和軸 測器，該軸承間隙感測器是用來檢測用來支承前 之推力荷重的流體軸承之軸承間隙的尺寸；和壓 整手段，該壓力流量調整手段是爲了可改變前述 的尺寸，而調整供給至前述流體軸承的軸承間隙 體的壓力及/或流量；和軸承間隙控制手段，該 控制手段是根據前述軸承間隙感測器的輸出來讀 一·來可使 可將起動 使工作台 而無法支 承的偏荷 承通常是 的缺點， 可獲得高 特徵爲具 台本體， 旋轉角度 ，該伺服 軸承可分 承間隙感 述分度台 力流量調 軸承間隙 之壓力流 軸承間隙 取軸承間 -6- 200909119 隙的檢測値，並 測値與預先設定 作來調整軸承間 値以上；及分度 制前述伺服馬達 再者，分度 用來測量對前述 隙的尺寸，在該 分度台旋轉時， 持成特定値以上 流量調整手段運 此外，前述 測器之外、更進 的壓力或流量之 或自動的方式使 不僅如此， 〔發明的效果〕 如以上所述 承成可自由旋轉 且至少在前述分 壓力流體的壓力 ，即使是如同大 間隙而支承成可 至少在前述分度台旋轉的過程中 的設定値’促使前述壓力流量調 隙，進而確保前述軸承間隙的尺 台控制手段，該分度台控制手段 並對分度台的旋轉角度進行分度 台亦可配置成水平，而感測器亦 分度台作用荷重之上部推力軸承 場合中’則述控制部最好是構成 將前述上部推力軸承之軸承間隙 ，並於前述分度台停止時，促使 作以消除前述上部推力軸承的軸 控制部最好是構成：除了前述軸 一步一起使用至少含有用來檢測 感測器的其他種類的感測器，而 分度台軸承間隙保持成特定的値 前述流體軸承最好是空氣軸承。 ，由於本發明是利用流體軸承將 ，並利用感測器來測量軸承間隙 度台旋轉時，調整供給至前述流 ’而使軸承間隙的尺寸保持爲特 型工件的重物，也能設置特定尺 自由旋轉，特別是即使在起動扭 ，比對檢 整手段運 寸爲設定 是用來控 〇 可構成： 的軸承間 :當前述 的尺寸保 前述壓力 承間隙。 承間隙感 壓力流體 能以手動 分度台支 的尺寸， 體軸承之 定値以上 寸的軸承 矩更小之 -7- 200909119 空氣軸承的場合中，也能精確地支承如同大型工件的重物 並以較小的扭矩使其旋轉，如此一來可獲得提高分度精度 的效果。 雖然本發明可在模具等之超精密加工用，且用來加工 大型工件之工作機械所採用的分度裝置中發揮極大的效果 ’但本發明並不侷限於此，也能廣泛地適用於小型工件用 或工作機械以外的各種分度裝置。 【實施方式】 〔實施型態〕 以下，根據第1圖來說明本發明之一種實施形態的範 例。 在第1圖中，10爲基座，而11則是分度台。分度台 11是以水平的姿勢配置於基座10上。在分度台11之本 體的中心下部，一體地設有相當於旋轉軸的突出部1 1 A， 在該突出部11A設有轉子12A，而該轉子12A構成內建 於基座1 1内的直接驅動型（DD )伺服馬達1 2。接著’在 分度台1 1的下部，一體地設有從外側包圍該轉子1 2 A的 圓環狀軸套1 3。 在本實施例中，分度台11是由以下的流體軸承所支 承。 圓環狀軸套1 3外周面是可自由旋轉地嵌合於徑向軸 承1 4，並透過位於該徑向軸承1 4之軸承間隙的流體來支 承徑向荷重，而該徑向軸承14譬如是由設於基座1〇内的 -8- 200909119 靜壓型之類的流體軸承所形成。此外，在分度台11的下 表面之中，連接著圓環狀軸套13之根部外周的圓環領域 ，是由與靜壓型推力軸承形成軸承間隙的部分面向上部推 力軸承1 5，而該上部推力軸承1 5是由設於基座1 0上表 面的靜壓型等流體軸承所形成。除此之外，在圓環狀軸套 13的下端，環狀的承接板16是安裝成平行於分度台11 的本體，相同地，該承接板16的上表面，是由與推力軸 承形成軸承間隙的部分，面向設於基座10內部的下部推 力軸承17，而上述的推力軸承是由設於基座10内部的靜 壓型之類的流體軸承所形成。 在本實施形態中，上述徑向軸承1 4、上部推力軸承 15及下部推力軸承17，整體呈現圓環狀的外觀，並配置 成：分別在與分度台1 1同心的圓周上，具有分割成複數 個的軸承要件。上述3個推力軸承14、15、17中，在直 接承受分度台1 1之荷重的上部推力軸承1 5之經分割的各 軸承要件，設有分別對各軸承要件供給壓力流體的壓力流 量調整手段18。該壓力流量調整手段18是由：壓力調整 閥、壓力控制閥、流量調整閥 '流量控制閥等所構成。上 述的閥形成：即使是手動操作，也能調整壓力、流量。由 於加壓空氣或壓油之類的壓力流體是透過上述的壓力流量 調整手段1 8而供給至上部推力軸承1 5的各軸承要件，故 上部推力軸承1 5是構成可改變軸承間隙。而徑向軸承1 4 及下部推力軸承1 7是構成：與上部推力軸承1 5同樣分割 成複數個’並分別透過圖面中未顯示的壓力流量調整手段 -9- 200909119 供給特定壓力的壓力流體，而可改變軸承間隙。 上述的DD伺服馬達1 2是由以下構件所構成：轉子 12A，該轉子12A是設在突出部11A的外周，而該突出部 11A是一體形成於分度台11的本體中心下部；及定子 1 2B，該定子1 2B是在基座1 0的内部，配置於圓環狀軸 套1 3的内側；並可藉由馬達驅動部1 9的運作而使分度台 1 1旋轉。 角度編碼器20是安裝於DD伺服馬達1 2的下端，也 就是指分度台11本體之突出部11A下端與基座10之間 ，用來檢測分度台1 1的旋轉角度位置，其輸出是送往控 制裝置2 1。控制裝置2 1是一邊對：由圖面中未顯示的外 部NC裝置所提供的指令、及由角度編碼器20所反饋之 現在的旋轉角度位置進行比較，並一邊對馬達驅動部19 下達指令訊號以促使分度台11形成特定角度的旋轉，且 當所檢測的旋轉角度位置與指令一致時，對馬達驅動部 1 9下達停止的指令並保持該位置。 在分度台11的表面，開口設置有用來真空吸附所承 載之工件W的真空吸引孔，而連接於該孔的真空流路22 是設於分度台11的内部。該流路22，是透過設置於分度 台11之突出部11A下端中央的旋轉接頭23，而連接於真 空裝置24。該真空裝置24，是根據來自於控制裝置21的 指令運作，而選擇性地將流路22切換成負壓與大氣壓。 在基座10，非接觸式的感測器25最好是以面對分度 台11之下表面的方式，在分度台11的圓周方向上譬如以 -10- 200909119 90°的間隔等配置複數個。該感測器25是形成：用來檢測 分度台1 1下表面之上下方向位置的變化、或從感測器2 5 到分度台11之下表面爲止的距離，並將其輸出送達控制 裝置2 1。 控制裝置21，是用來控制上述分度台n的旋轉角度 位置，除了用來達成分度機能的分度控制部之外，還設有 軸承間隙控制部，該軸承間隙控制部可令下述的壓力流量 調整手段1 8運作，而控制上部推力軸承1 5的軸承間隙。 該軸承間隙控制部是根據各感測器25的輸出，而計 算出上部推力軸承1 5之經分割的各軸承要件之軸承間隙 的尺寸，並分別對每個設置於各軸承要件的壓力流量調整 手段1 8發送指令。換言之，軸承間隙控制部是構成：對 壓力流量調整手段1 8下達對上部推力軸承1 5之各軸承要 件供給壓力流體的指令，而該壓力流體是指具有可將上部 推力軸承1 5之各軸承要件的軸承間隙尺寸保持在預設値 以上之壓力的加壓空氣或壓油。此外，該控制裝置2 1是 與分度控制部、及軸承間隙控制部連動。換言之，當分度 台U停止時，是分別使壓力調整手段1 8運作以降低上述 壓力流體的壓力，而構成消除各軸承要件的軸承間隙。不 僅如此，當分度控制部下達對分度台1 1進行分度的指令 時，軸承間隙控制部是促使壓力流量調整手段1 8各自運 作，而使上述軸承間隙的尺寸保持爲前述特定値以上，並 且在此之後，分度控制部構成：當該軸承間隙的尺寸形成 特定値以上時，促使分度台1 1旋轉。 -11 - 200909119 接下來，針對本實施形態之分度裝置的作用進行說明 0 在上述分度台11停止的期間，壓力流量調整手段18 將減低朝上部推力軸承1 5供給之壓力流體的壓力。如此 一來，由於上部推力軸承15處於藉由分度台11本身的重 量來消除軸承間隙的狀態，故分度台1 1是在不透過軸承 間隙內之流體的狀態下，直接由上部推力軸承1 5所支承 。藉此，分度台1 1不會產生「隨著軸承間隙的變化而傾 斜」等的狀況，並確實地以預先設定的姿勢保持正確的停 止狀態。如此一來，在被分度台1 1所吸附保持之工件W 上下方向的位置便不會產生誤差。 而徑向軸承1 4及下部推力軸承1 7，在上述分度台1 1 的停止期間也會供給特定壓力的壓力流體。此時的徑向軸 承14，是正確地將分度台11保持在旋轉中心位置。下部 推力軸承17，可藉由增加軸承間隙而將分度台11朝下方 按壓，而更加完全地消除上部推力軸承15的軸承間隙。 如此一來，分度台11將穩固地被上部推力軸承15所保持 〇 接著，在上述的停止狀態中，一旦由NC裝置下達分 度台11的旋轉指令時，控制裝置21的分度控制部，首先 將使感測器25的輸出形成預設特定値以上，也就是令壓 力流量調整手段1 8運作，而促使上部推力軸承1 5之所分 割的各軸承要件的軸承間隙尺寸分別形成特定的値以上。 當感測器2 5所測得之軸承間隙的尺寸較小時，對壓力流 -12- 200909119 量調整手段18發出提高壓力的指令，進而提高供給至上 部推力軸承15的各軸承要件之壓力流體的壓力。 這樣一來’ 一旦軸承間隙的尺寸增大，便可根據軸承 感測器2 5的輸出，而偵測出軸承間隙的尺寸已達到特定 値以上的情形。接收該結果後，控制裝置21的分度控制 部將對馬達驅動部1 9下達起動指令，並促使D D伺服馬 達1 2運作而使分度台1 1旋轉。分度台1丨的旋轉角度位 置將受到角度編碼器20檢測，並反饋該檢測訊號。當上 述結果與所指定的特定値一致時，控制裝置2 1的分度控 制部將對馬達驅動部1 9下達停止指令，並停止分度台1 1 的旋轉。 在上述分度台1 1執行分度動作的期間，徑向軸承1 4 及下部推力軸承1 7當然是保持以下的狀態：使直接承受 荷重之上部推力軸承1 5的軸承間隙的尺寸保持在預先設 定的適當値以上。假使在感測器25所測得之軸承間隙的 尺寸變小的場合中，是對壓力流量調整手段1 8下達提高 壓力的指令，而立即使軸承間隙的尺寸回復。如此一來， 用來支承分度台11之荷重的上部推力軸承15是處於可發 揮流體靜壓軸承之機能的最佳狀態，且徑向軸承1 4與下 部推力軸承17也是處於可發揮流體靜壓軸承之機能的最 佳狀態來執行分度台1 1的旋轉。因此，可將分度台1 1的 起動扭矩及旋轉扭矩抑制到最低。故分度台1 1可抑制黏 滞滑動（stick-slip)或失控（overrun)等，而停止於正 確的分度位置。 -13- 200909119 當分度台1 1完全停止時，控制裝置2 1的軸承間隙控 制部，將令壓力流量手段1 8運作以消除上部推力軸承1 5 的軸承間隙，進而使分度台11如以上的說明正確地保持 〇 如此一來，由於分度台 Π是在流體靜壓軸承可發揮 機能的最佳狀態下起動，因此其起動扭矩變的極小，其結 果與提高軸剛性的方式相同，可顯著地提高分度精度。特 別是在大型分度台的場合中，分度精度的提升對降低在工 件外周部分之誤差的效果極大。此外，在分度動作的過程 中，藉由將上部推力軸承15、徑向軸承14的軸承間隙保 持成一定，在承載著具有一定重量之工件的分度台的場合 中，各個軸承要件不會受到偏荷重的影響而實現正確的分 度。不僅如此，由於上部推力軸承15在分度結束後可消 除軸承間隙，直接支承荷重並正確地定位工件，故可執行 :形成大型化的分度台11並承載具有相當重量的工件的 精密加工。除此之外，由於徑向軸承1 4、上部推力軸承 15、下部推力軸承17是各自分割構成，故即使分度台η 形成大型化，靜壓軸承也能輕易地對應該大型化。 在前述的實施形態例中，雖然是列舉將分度台1 1配 置成水平的範例，但本發明卻不侷限於此，即使是將分度 台11的軸心配置成水平的分度裝置，也能獲得相同的作 用效果。 此外，就流體軸承而言，可採用各種的類型，其中又 以採用靜壓型空氣等氣體的流體軸承最爲合適，這是由於 -14- 200909119 在上述的場合中，可利用工場現有的空氣配管，且空氣的 處理較爲容易。 甚至’在前述的實施形態例中，就用來量測軸承間隙 之尺寸的感測器而言，雖然是列舉採用面向分度台π下 表面之非接觸式感測器2 5的範例，但本發明並不侷限於 此’也可以採用能組裝入軸承内之靜電容量型感測器等的 各種感測器，並可以有各種的變形實施方式。 不僅如此，在前述的實施形態例中，雖然是列舉使用 「用來測量軸承間隙之尺寸」的感測器25的範例，但本 發明並不侷限於此，就其他實施形態的範例而言，亦可併 用用來監視工作台位置之類的位置感測器、壓力感測器、 流量感測器等其他性質的感測器。 特別如第2圖所示，將標準具備有壓力流量之調節手 段，也就是指壓力流量調節手段1 8的壓力感測器；或設 於流體之流路的流量感測器3 0等的檢測資料輸入控制裝 置2 1，同使採用上述裝置時狀況良好。 在上述場合中，控制裝置21也能利用從上述軸承間 隙感測器以外之其他感測器3 0等所獲得的壓力、流量之 類的資訊。在上述採用複數個感測器的場合中，是在監視 軸承間隙的狀態下，可一邊偵測流體的壓力或流量，並一 邊控制軸承間隙。也就是說，可在利用顯示器3 2監視預 先設定之流體壓力或流量的値、和設於軸承部或流體流路 等上述其他感測器3 0之類的檢測資料的狀態下，利用手 動或自動的方式控制壓力流量控制手段1 8。工件重量與 -15- 200909119 軸承間隙之間的關係，由於可以是特定的加工條件、或者 因應狀況而改變’各可在監視的狀態下加以控制而保持最 佳的狀況。 此外，也能有以下構造的實施形態：採用位置感測器 來作爲其他的感測器，譬如就測量工作台之上表面的位置 等而言’可根據計算來推定軸承間隙，並以手動或自動的 方式控制壓力流量調節手段’而將軸承間隙控制在最適當 的期望位置。在上述的場合中，構造將變的更複雜。 【圖式簡單說明】 桌1圖·爲本發明之分度裝置的槪要構造圖。 第2圖：爲本發明另一種實施例之分度裝置的槪要構 造圖。 【主要元件符號說明】 W :工件 I 0 :基座 II :分度（工作）台 1 1 A :突出部 1 2 :直接驅動型（DD )伺服馬達 1 2 A :轉子 12B :定子 1 3 :圓環狀軸套 1 4 :徑向軸承 -16- 200909119 1 5 :上部推力軸承 1 6 :承接板 1 7 :下部推力軸承 1 8 :壓力流量調整手段 1 9 :馬達驅動部 2 0 :角度編碼器 2 1 :控制裝置 22 :真空流路 2 3 :旋轉接頭 24 :真空裝置 25 :軸承感測器 3 0 :流量感測器 3 2 :顯示器 -17-

Claims (1)

1. 200909119 十、申請專利範圍 1. 一種分度裝置，其特徵爲： 具備： 分度台，該分度台具有用來承載工件的工作台本體， 並可藉由旋轉特定角度來分度前述工作台本體的旋轉角度 位置；和 基座，該基座具有伺服馬達及流體軸承，該伺服馬達 是用來產生前述分度台的旋轉動力，該流體軸承可分別支 承前述分度台之徑向荷重、推力荷重；和 軸承間隙感測器，該軸承間隙感測器是用來檢測用來 支承前述分度台之推力荷重的流體軸承之軸承間隙的尺寸 :和 壓力流量調整手段，該壓力流量調整手段是爲了可改 變前述軸承間隙的尺寸，而調整供給至前述流體軸承的軸 承間隙之壓力流體的壓力及/或流量；和 軸承間隙控制手段，該軸承間隙控制手段是根據前述 軸承間隙感測器的輸出來讀取軸承間隙的檢測値，並至少 在前述分度台旋轉的過程中，比對檢測値與預先設定的設 定値，促使前述壓力流量調整手段運作來調整軸承間隙， 進而確保前述軸承間隙的尺寸爲設定値以上；及 分度台控制手段，該分度台控制手段是用來控制前述 伺服馬達並對分度台的旋轉角度進行分度。 2 .如申請專利範圍第1項所記載的分度裝置，其中前 述分度台具有： -18- 200909119 工作台本體’該工作台本體具備用來吸附工件的手段 :和 圓環狀軸套部’該圓環狀軸套部是在前述工作台本體 上形成同軸’其内側裝入有前述伺服馬達；及 突出部’該突出部與前述工作台本體同軸，且形成於 前述圓環狀軸套部的内側’並安裝有前述伺服馬達的轉子 前述工作台本體是以水平之姿勢配置於前述基座上。 3 ·如申請專利範圍第1或2項所記載的分度裝置，其 中用來支承前述推力荷重的流體軸承是由以下構件所構成 靜壓型的上部推力軸承，該靜壓型的上部推力軸承設 於前述基座上表面，而與前述分度台的工作台本體下表面 之間形成軸承間隙；及 靜壓型的下部推力軸承，該靜壓型的下部推力軸承與 設於圓環狀軸套部之下端部的環狀承接板之下表面間形成 軸承間隙，前述的圓環狀軸套部是與前述工作台本體爲一 體。 4 ·如申請專利範圍第3項所記載的分度裝置，其中前 述上部推力軸承及下部推力軸承是分割成複數個軸承要件 ’而該複數個軸承要件是排列在分度台的同心圓周上’且 各個軸承要件的軸承間隙可改變。 5 ·如申請專利範圍第〗項所記載的分度裝置’其中用 來支承前述徑向荷重的流體軸承是由靜壓型的徑向軸承所 -19- 200909119 構成，該靜壓型的徑向軸承是在與圓環狀軸套部的 之間形成軸承間隙’而該圓環狀軸套部是與工作台 成一體。 6. 如申請專利範圍第5項所記載的分度裝置， 述徑向軸承是分割成複數個軸承要件’該複數個軸 是排列在前述圓環狀軸套部的周方向上’且各個軸 的軸承間隙可改變。 7. 如申請專利範圍第3項所記載的分度裝置， 述軸承間隙感測器’是用來測量前述上部推力軸承 間隙的大小尺寸，並以相等的間隔在分度台的圓周 設複數個。 8 .如申請專利範圍第1項所記載的分度裝置， 有分度控制手段，該分度控制手段是由以下構件所 角度編碼器，該角度編碼器是用來檢測前述分 旋轉角度；及 分度控制部，該分度控制部是對由前述角度編 反饋之旋轉角度的檢測値、及分度角度的指令値進 ，並使分度台的旋轉角度與指令値一致地控制前述 達的馬達驅動部。 9_如申請專利範圍第1項所記載的分度裝置， 述軸承間隙控制手段*是與前述分度台的運作連結 使前述壓力流量調整手段運作，當前述分度台旋轉 前述上部推力軸承之軸承間隙的尺寸保持爲特定値 並於前述分度台停止時，消除前述上部推力軸承的 外周面 本體形 其中前 承要件 承要件 其中前 之軸承 方向配 其中具 構成： 度台的 碼器所 行比較 伺服馬 其中前 ，並促 時，將 以上， 軸承間 -20- 200909119 隙。 1 〇 ·如申請專利範圍第9項所記 前述軸承間隙控制手段，是在前述分 述下部推力軸承的軸承間隙。 1 1 .如申請專利範圍第1項所記 除了前述軸承間隙感測器以外，更進 手段，該用來監視的手段設有其他種 他種類的感測器至少包含用來檢測前 流量的感測器，並根據上述感測器的 中的軸承間隙狀態。 1 2 ·如申請專利範圍第9項所記 前述壓力流量調整手段，可自動調整 用手動操作來調整壓力、流量。 1 3 .如申請專利範圍第3、4、5 ϊ 裝置’其中前述流體軸承爲空氣軸承 1 4 ·如申請專利範圍第1、2或3 ’其中前述分度台是設置於超精密加 件的分度台。 1 5 .如申請專利範圍第1 4項所記 前述分度台，具有用來吸附工件的真 載的分度裝置，其中 度台停止時，增加前 載的分度裝置，其中 一步具有用來監視的 類的感測器，而該其 述壓力流體之壓力或 輸出訊號來監視運轉 載的分度裝置，其中 壓力、流量，並可利 获6項所記載的分度 〇 項所記載的分度裝胃 工機，並承載大型工 載的分度裝置，其中 空吸附手段。 -21 -