200842485 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種包含有一可阻擋及開放一開口之 快門葉片的快門葉片裝置、一種快門單元、一種攝影裝 置、一種曝光裝置、以及一種使用該曝光裝置來製造一裝 置的方法。 【先前技術】 一般而言，縮小投影曝光裝置及類似者是被用來製造 半導體裝置及類似者。縮小投影曝光裝置是使用縮小投影 透鏡來縮減諸如光罩之類的原件上所形成的紋路，並將縮 小的紋路投影至諸如晶圓之類的基質上。一光罩上的紋路 是透過交替重覆進行驅動一 χγ平台及曝光等步驟而移轉 至晶圓上的數十個位置處。近年來，爲改善曝光裝置的生 產力，很努力地透過增加設置於曝光光線路徑上的快門的 開啓及關閉速度或類似者來減短曝光的週程時間。再者， 爲縮短曝光所需的時間，施用在晶圓或類似者上光阻劑已 快速地改良中。 根據前面所描述的已知技術，在一用以生成曝光光束 之光源光學系統內用以構成快門的快門葉片是插置於該曝 光光束的路徑上，以阻擋該光束。因此，快門葉片的尺寸 必須要大於曝光光束的截面。再者，當快門關閉時，快門 葉片會吸收該曝光光束的熱，而可能會變形或熔化。因 此，快門葉片的表面通常要具有鏡面加工面，以反射曝光 -4 - 200842485 光束。此外，當快門葉片所反射的曝光光束移動回到光源 時，會在該光源內造成熱波動。因此，快門葉片通常是傾 斜插置於曝光光束的路徑上，以使得被該快門葉片所反射 的光束不會移動回到光源內。在此種配置下，被快門葉片 所阻擋的光束的截面會成爲橢圓形。 因此，在僅有一片快門葉片被用來阻擋光束時，此快 門葉片的尺寸必須要比垂直於光線路徑的光束的截面更 Φ 大。另一方面，快門的開啓及關閉速度必須要加快，以改 善曝光裝置的產能。因此，快門葉片的重量必須要減輕， 但要維持住快門葉片所需有的截面。就此而言，快門葉片 的厚度可以透過使用輕而抗熱的金屬材料來製做快門葉片 而加以縮減。有些已知的技術即試圖要在維持住阻擋曝光 光束所需之截面的情形下來縮減快門葉片的重量。例如， 日本專利早期公開第11-23 3423號即描述一種曝光用的快 門，其可有助於增加開啓及關閉速度。 φ 接下來將配合於第7A圖及第7B圖來說明此種已知 的技術。在要用來曝光一晶圓或類似者的曝光光束1 00的 路徑上，設有由一對旋轉快門單元40a及40b所構成的快 門40。這些旋轉快門單元40a及40b是分別由馬達45a 及4 5b加以同時轉動的。如第7B圖中所示，例如說，曝 光光束100會被旋轉快門單元40a及40b的快門葉片41a 至43a及快門葉片41b至43b的轉動所阻擋住。也就是 說’旋轉快門單元40a會以連續的方式透過該三片傾斜插 置於曝光光束1 0 0之路徑上的快門葉片4 1 a至4 3 a，來部 -5- 200842485 份地阻擋住曝光光束1 〇〇的上半部或更大部位。同樣的， 旋轉快門單元4 Ob會以連續的方式透過該三片傾斜插置於 曝光光束100之路徑上的快門葉片41b至43b，來部份地 阻擋住曝光光束1 〇〇的下半部或更大部位。 旋轉快門單元40a及40b的三片快門葉片41a至43a 及三片快門葉片41b至43b會構成多個光線遮蔽部位，其 每一者均分別具有以60°間隔沿著旋轉軸44a及44b之周 φ 邊方向分隔設置的6〇°中心角。旋轉快門單元40a及40b 的快門葉片41a至43a及快門葉片41b至43b是分別隨著 由馬達45a及45b分別驅動的旋轉軸44a及44b的轉動而 轉動。這些快門葉片的轉動速度會被旋轉編碼器46a及 4 6b加以偵測到。與僅使用單一片快門葉片來阻擋整個曝 光光束1 00的情形相比較下，前述該已知技術中的快門葉 片的尺寸可以縮小些。因此，該等快門葉片的慣性矩可以 減低，進而可有助於增快快門的開啓及關閉速度。 φ 但是，在前述日本專利早期公開第1 1 -23 3 423號中所 描述的已知技術中，旋轉快門單元4 0 a及4 0 b必須要由馬 達45a及40b加以同時地轉動，而諸如機械結構之類的因 素會在速度上造成大約次毫秒的差異。再者，爲使施用至 晶圓曝光區域上的曝光光線量能均勻分佈，第7B圖中所 示之快門葉片41a至43a及快門葉片41b至43b穿過曝光 光束1 00的二側邊緣必須要具有相同的形狀。因此，快門 葉片41a至43a及快門葉片41b至43b在速度上的差異會 對於前述的已知技術中的曝光光線量的分佈造成不利的影 -6- 200842485 另一方面，在有些技術中，是僅使用單一片快門葉片 來阻擋曝光光束，而同時將該快門葉片的厚度加以縮減， 以減輕快門葉片的重量。但是，快門關閉時的光線量必須 要小於或等於快門全開時的百萬分之一。因此，爲能改善 快門的阻擋效能，一遮蔽板必須要設置於要被快門加以阻 擋或開放的開孔附近處，而致鄰接於快門葉片。在此情形 Φ 下，當快門葉片的剛性因爲低構形快門葉片之故而減低 時，快門葉片在其旋轉過程中，會因其自身的重量或離心 力或類似者而變形，並觸碰到該遮蔽板。這會妨礙快門的 正常運作。 【發明內容】 本發明係有關於一種構造成具有較少變形的快門葉 片。 • 根據本發明之一觀點，一種快門葉片裝置包含有快門 葉片；第一推壓構件，包含有兩個第一推壓部位，構造成 可推壓該快門葉片的第一表面；以及第二推壓構件，包含 有一第二推壓部位，構造成可推壓該快門葉片的第二表 面，該第二表面係與該第一表面相對。該第二推壓部位係 位在該兩個第一推壓部位之間。 根據本發明之另一觀點，一種快門單元包含有前面所 述的快門葉片裝置，以及一馬達，構造成可旋轉該快門葉 片0 200842485 根據本發明之另一觀點，一種攝像裝置包含有前面所 述之快門葉片裝置，以及一攝像元件，構造成可經由該快 門葉片裝置接收光線。 根據本發明之另一觀點，一種曝光裝置可將一基質經 由形成在光罩上的紋路曝光於光線中，該裝置包含有一照 明光學系統，構造成可照射該光罩，以及前面所述之快門 葉片裝置，設置於該照明光學系統內。 根據本發明之另一觀點，一種製造一裝置的方法包含 有使用前面所述之曝光裝置將一基質曝光於光線中，將該 曝光過的基質加以顯像，以及藉由處理該顯像過的基質而 製做出該裝置。 本發明的其他優點及觀點可下面有關於範例實施例的 詳細說明，配合於圖式而得知。下面的說明是配合於所附 圖式，而這些圖式是構成說明書的一部份，並且顯示出本 發明之一例。但是，該一例子並非列示本發明的各種實施 例，因此在決定本發明之範疇上要針對詳細說明後附的申 請專利範圍。 在結合並構成本說明書之一部份的圖式中，顯示出本 發明的範例實施例，且其可配合本文的說明來解釋本發明 的原則。 【實施方式】 接下來將配合於圖式來說明本發明的範例性實施例。 200842485 第一範例實施例 如第1 A圖中所示，一快門單元1 〇包含有根據本發 明第一範例實施例的快門葉片裝置。在第1A圖中，-Z軸 方向是對應於重力的方向。根據此第一範例實施例的快門 ' 葉片裝置包含有快門葉片11、12及13、一具有旋轉編碼 • 器18的馬達17、一轂部15、以及一將快門葉片11至13 結合至馬達17的一旋轉軸14上的固定板16。 φ 如第1 B圖中所示，快門葉片1 1、1 2及1 3每一者均 具有扇形形狀，且係徑向地設置在固定間距處。快門葉片 1 1、1 2及13係互相結合於一呈碟狀而具有預定面積的中 心部位。快門葉片1 1、1 2及1 3係固定在轂部1 5及固定 板1 6之間，以結合至馬達1 7之旋轉軸1 4上，而該馬達 設有該旋轉編碼器1 8，用以偵測旋轉軸1 4的旋轉位置。 如第1A圖及第1B圖中所示，快門葉片1 1、12及1 3係 透1過轉緊螺合於轂部1 5及固定板1 6上的螺栓1 0 1而能 Φ 在快門葉片1 1、1 2及1 3被固持於轂部1 5及固定板1 6之 間的情形下結合至旋轉軸1 4上。 轂部15包含有一第一推壓構件，具有突出部15a及 15b，用來做爲第一支撐部位（第一推壓部位）而沿著三個 方向自轂部1 5的外側周邊突伸出，該第一推壓構件可在 至少二個位置處推壓快門葉片i〗至1 3之第一表面（亦即 面對轂部的表面）（參見第1B圖）。固定板16包含有一第 二推壓構件，具有突出部1 6a，用來做爲第二支撐部位（第 二推壓部位）而沿著三個方向自固定板1 6的外側周邊突伸 -9 - 200842485 出，該第二推壓構件可在至少一個位置處推壓快門葉片 1 1至13之第二表面（相對於該第一表面的表面；面對固 定板的表面）（參見第1B圖）。該等用來做爲第二支撐部位 的突出部16a中至少一者是位在該等用來做爲第一支撐部 位的突出部1 5 a與1 5b之間（參見第1 D圖），因此可將快 門葉片1 1至13推壓並固定於突出部15a與15b與突出部 1 6a之間。第一推壓構件在設想上是用來代表轂部1 5，而 第二推壓構件在設想上則是代表固定板1 6。 如第1 A圖圖中所示，該三片快門葉片1 1至1 3係連 續地插置於一曝光光束1 〇〇的光線路徑2上，以供阻擋該 曝光光束1 00。也就是說，快門單元1 〇的這三片快門葉 片1 1、12及13形成具有60°中心角並以60°的間距沿著 旋轉軸1 4之周邊方向設置的光線遮蔽部位，以供阻擋曝 光光束1 00。做爲快門葉片1 1至1 3的實質部位的光線遮 蔽部位以外的空間面積是用來供曝光光束1 〇〇接續地通過 而不會阻擋該曝光光束1〇0。 如第1 C圖中所示，用來做爲當做第二推壓構件之固 定板1 6的第二支撐部位的突出部1 6a係事先朝向快門葉 片11至13的第二表面（朝向轂部15)彎折的。該等固定板 1 6朝向轂部1 5彎折之末端部位所用來推壓快門葉片1 1、 12及13的推壓力量會因螺栓101的旋緊而更加牢固地固 定住。由於那些多對的突出部15a與15b可牢固地支撐住 突出部1 6a之末端部位的推壓力量’因此可以增加突出部 15a與15b及突出部l6a的固持力量。在第一支撐部位與 -10- 200842485 第二支撐部位中，例如說，該等第二支撐部位係由朝向轂 部1 5彎折的板彈簧取代突出部1 6a來製做而成。 接下來，將說明根據本發明之第一範例實施例的快門 葉片裝置應用於快門單元1 〇內的作動。在快門葉片1 1、 12及13夾置於轂部15與固定板16之間而將螺栓101旋 緊後，快門葉片1 1、1 2及1 3即結合至馬達1 7的旋轉軸 1 4上。在此範例實施例中，轂部1 5的突出部1 5 a與1 5 b 及固定板1 6的突出部1 6 a是如第1 D圖中所示般地配置。 固定板1 6的突出部1 6a是位在大致上轂部1 5的突出部 1 5 a與1 5 b之間的中間位置上，以支撐住快門葉片Η至 1 3。由於固定板1 6的突出部1 6a是彎折成具有預定的尺 寸，如第1 C圖中所示，因此快門葉片1 1至丨3會被壓迫 而強制變形。 第1 E圖顯示出快門葉片1 3在強制變形後的快門葉片 1 3。在此，快門葉片1 3係做爲範例來加以說明。快門葉 片13會被迫1繞著做爲支撐點的突出部16&變形，而使 得末端部位沿著與突出部15a與15b突出之方向相反的方 向（-G方向）提升。如第1E圖中所示，快門葉片13的末 端部位E及F會隨著末端部位之位置的愈靠近快門葉片 13的該等末端處而沿著與突出部16a之推壓力量相反的 方向離開水平線。在這樣的強制變形下，快門葉，片1 3上 由重力所造成的變形將大致上抵消掉，而其剛性也會增 大。因此，快門葉片1 3在其轉動期間的變形將可減至最 小0 -11 - 200842485 快門葉片1 1、1 2及1 3的剛性亦可藉由將根據第一範 例實施例的結構應用至快門葉片1 1及1 2上而增加之。這 可使得快門葉片1 1、1 2及1 3的厚度減低。在此第一範例 性實施例中，僅有固定板1 6的突出部1 6a被事先加以彎 折成預定尺的尺寸。但是，轂部1 5的突出部1 5 a與1 5 b 亦可朝向快門葉片1 3的第一表面彎折成具有預定的尺 寸。在此，螺栓1〇1具有調整轂部15及固定板16各自推 壓快門葉片11至13之第一及第二表面的推壓力量的功 能。 根據本發明的第一範例實施例，快門葉片1 1至1 3的 E及F部位的強制變形量（參見第1 E圖），可透過調整螺 栓1 〇 1的旋緊力量來適度地調整及控制之。因此，快門葉 片1 1至1 3中由其重量及因快門單元1 0之運作而產生之 離心力或類似者所造成的變形，即使是將低剛性快門葉片 1 1至1 3應用於較高速度中，亦可減至最小。就此觀點而 言，快門葉片1 1至1 3可以做的更薄些，及更輕些，而快 門葉片1 1至1 3的慣性矩也可進一步減低。在此種情形 下，其可以提供更快速且更高功能性的快門。另一方面， 根據本發明第一範例實施例的快門單元1 0，即使是快門 葉片11至13做的更薄（更輕）而易於變形，快門葉片11 至1 3的強制變形量、形狀、以及強度亦可透過調整螺栓 1 0 1而依所需加以控制。就此而言，快門葉片中由其自身 的重量及所造成的變形，以及由快門單元運轉過程中所產 生之離心力或類似者所造成的快門葉片的變形，可以減至 •12- 200842485 最低，因此可確保能在高速下穩定地阻擋及開放一孔徑。 第二範例實施例 接下來將說明本發明的第二範例實施例。在第2A圖 及第2B圖中，相同的參考編號及標記是用來代表與第ία 圖至第1 E圖中所示相同的零組件，而其說明亦會加以省 略或簡化。在此範例實施例中，針對快門葉片（光線遮蔽 • 部位）1 1、1 2及1 3之每一者設有五個突出部，用以做爲 第一及第二支撐部位（說明於後），如第2A圖及第2B圖中 所示。由於快門葉片1 1、1 2及1 3在此範例實施例中的結 構是相同的，因此只會將快門葉片1 3的結構做爲範例來 加以說明。在此第二範例實施例中，第一推壓構件在設想 上是用來代表轂部2 1，而第二推壓構件在設想上則是代 表固定板2 2。 快門葉片1 3的第一表面是由結合至旋轉軸1 4上的轂 • 部2 1內用來做爲第一支撐部位而其間具有一間距的二突 出部2 1 a與2 1 b來加以支撐住的。再者，快門葉片1 3的 第二表面則是由固定板22上用來做爲第二支撐部位並以 固定間距設置的三個突出部22a、22b及22c加以支撐 住。也就是說，突出部21a是位於突出部22a及22b的中 間位置處（參見第2 A圖），而使得快門葉片1 3會被突出部 21a及突出部22a與22b加以推壓及固定住。另外，突出 部2 1b是位於突出部22b及22(：的中間位置處（參見第2八 圖），而使得快門葉片1 3會被突出部2 1 b及突出部22b與 -13- 200842485 22c加以推壓及固定住。 以此方式，快門葉片1 3會被這五個以固定間距設置 的突出部21a、21b及22a至22c加以固持住，使得快門 葉片1 3的強制變形量能由更穩定的推壓力量加以更穩定 的固定住。再者，相對於突出部22a及22c，固定板22 的突出部22b是事先朝向快門葉片13的第二表面加以彎 折成具有預定的尺寸。在此情形下，可以加強突出部22b 的推壓力量。如同第一範例實施例一樣，所有的這五個突 出邰21a、21b及22a至22c，及固定板22上朝向轂部21 彎折的突出部22b均可由板彈簧所構成。 接下來，將說明根據本發明之第二範例實施例的快門 葉片裝置應用於一快門單元內的作動。首先，在快門葉片 1 1、1 2及1 3夾置於轂部2 1與固定板22之間時，將螺栓 i〇l旋緊而將固定板22固定至轂部21上。由於固定板22 的突出部22b是事先彎折成預定的尺寸，快門葉片1 3會 被突出部22b加以推壓，而強制變形，如第2B圖中所 示。但是，快門葉片1 1、1 2及1 3在鄰近於其外側周邊的 二側末端處的強制變形可由固定板22的突出部22a及 22c加以調節（參見第2B圖）。在第一範例實施例中，第 1 E圖中所示之E及F部位處的變形量是隨著快門葉片 1 1、12及13的厚度的縮減而加大。但是，在快門葉片 1 1、12及1 3的旋轉過程中，因爲快門葉片1 1、1 2及1 3 之變形而致之空氣阻力發生時，快門單元的速度將無法增 加。 -14- 200842485 因此，在第二範例實施例中，快門葉片1 1、1 2及13 在第1E圖中的E及F部位處的變形量將可透過將固定板 22的突出部22a及22c設置在E及F部位的附近處來加 以調節。在第二範例實施例·中，只有固定板22的突出部 22b是事先彎折成具有預定的尺寸。但是，轂部21的突 出部21a及21b，以及固定板22的突出部22a及22c均 亦可分別朝向快門葉片1 3的第一及第二表面彎折成預定 的尺寸。在此，螺栓101是用來調整轂部21及固定板22 各自推壓快門葉片11、12及13之第一及第二表面的推壓 力量。 根據本發明的第二範例實施例，快門葉片1 1至1 3的 E及F部位的強制變形量（參見第1£圖），亦可透過調整 螺栓1 0 1的旋緊力量來適度地調整及控制之。因此，快門 葉片11至13中由其重量及因快門單元1〇之運作而產生 之離心力或類似者所造成的變形，即使是將低剛性快門葉 片1 1至1 3應用於較高速度中，亦可減至最小。就此觀點 而言，快門葉片1 1至1 3可以做的更薄些，及更輕些，而 快門葉片1 1至1 3的慣性矩也可進一步減低。在此種情形 下，其可以提供更快速且更高功能性的快門。在此第二範 例實施例中’特別是快門葉片1 3由以等間距設置的五個 突出部21a及21b、以及22a至22c，加以推壓及固定住 的，因此快門葉片1 3的強制變形量、形狀、以及強度能 由更穩定的推壓力量加以更穩定的固定住。這可提供〜種 更可靠的快門葉片。 -15- 200842485 第三範例實施例 攝像裝置 接下來將說明本發明的第三範例實施例。 攝像裝置的結構 如第3 A圖中所示，此範例實施例中的攝像裝置包含 φ 有一沿著一光軸1 1 〇設置的取像透鏡5 1、一電視攝影機 52，包含有一旋轉快門、·一鏡頭裝置（Bayonet Mount)53、 以及一濾光器54，例如光學式通濾波器及近紅外線截止 濾波器。再者’此攝像裝置包含有一用以構成該旋轉快門 之旋轉體的窗板5 5、一固定住窗板5 5的固定板5 6、以及 一用以支撐該窗板5 5的支撐構件5 7。再者，此攝像裝置 包含有一穿透式的光感測器5 8及一旋轉快門單元59。此 外，此攝像裝置包含有一分光棱鏡60，其支撐住一三 φ C CD系統及攝像元件61a、61b及61c。 旋轉快門單元59係由窗板55、固定板56、支撐構件 5 7、以及光感測器5 8所構成的。旋轉快門單元5 9是設置 成可讓開口 55a在旋轉快門單元59位於一預定旋轉角度 處時，位於取像透鏡5 1與分光稜鏡60之間。由取像透鏡 51輸的光束會通過窗板55上的開口 55a，而由該等攝像 元件6 1 a、6 1 b及6 1 c的至少一者經由分光稜鏡60來加以 接收。當電視攝影機52的攝像系統用來捕捉一快速移動 物體的影像時，旋轉快門單元5 9可提供攝像元件6 1 b及 -16- 200842485 類似者間歇性的瞬間曝光，以使其可以得到較少毛邊及失 真的極佳影像。 由於開口 55a之故’窗板55的質量分佈可能會不均 勻，而窗板5 5可能會因特別是在高速旋轉所致之離心力 而抖動。這會對於攝像性能有不良的影響。爲解決此一問 題，在此第三範例實施例中，用來做爲第一推壓構件之支 撐構件57上用來做爲第一支撐部位的突出部57a至57e φ 會朝向窗板55的第一表面壓迫，如第3B圖及第3C圖中 所示。再者’用來做爲第二推壓構件之固定板5 6上用來 做爲第二攝像裝置的突出部56a至56f是朝向窗板55的 第二表面壓迫。支撐構件57及固定板56可透過旋緊螺栓 1 〇 1而將窗板5 5固定在其間。 也就是，突出部57a至57e及突出部56a至56f是以 交錯的方式設置窗板5 5的二側表面上，而窗板5 5則是透 過旋緊螺栓1 〇 1而由這些突出部加以固持住。支撐構件 φ 57的突出部57a至57e的至少末端部位是事先朝向窗板 5 5的第一表面彎折，以迫使窗板5 5變形。由於窗板5 5 的剛性會因變形而加大，窗板5 5轉動期間因離心力或類 似者所造成的變形將可減至最小，而窗板5 5在旋轉期間 的抖動也可減少。在此，支撐構件57及固定板56可以是 例如碟狀的構件，分別在其等的周邊上設有第一及第二支 撐部位（突出部）。另一方面，合適的話，突出部57a至 57e及突出部56a至56f可以是板彈簧。 在旋轉快門單元59中，窗板5 5是透過供電予經由皮 -17- 200842485 帶63連接至與窗板55結合在一起之旋轉體的馬達62來 加以轉動。由於窗板5 5的轉動必須要與攝像元件6 1 a及 類似者的信號讀取同步，窗板5 5的迴轉數要由光感測器 5 8加以偵測。光感測器5 8可以是例如編碼器型式者’其 可讀取穿透過窗板55上一縫隙（未顯示）的光線。在此’ 螺栓1 〇 1具有調整支撐構件5 7及固定板5 6各自推壓窗板 55之第一及第二表面的推壓力量的功能。 在根據本發明第三範例實施例的攝像裝置中，第一支 撐部位（突出部57a至57e)及第二支撐部位（突出部56a至 56f)是朝向窗板55壓迫的。因此可以產生類似於第一範 例實施例的效果。也就是說，即使窗板5 5是做成較薄（較 輕），窗板55的強制變形量及形狀可以依需要加以控制， 以使得窗板5 5不容易變形。在此種情形下，此根據此第 三範例實施例的攝像裝置中由重量所造成的變形及由離心 力或類似者造成的變形可以減至最小。因此，窗板5 5的 攝像裝置孔徑（開口 5 5 a)可在高速下加以穩定地阻擋及張 開。因此，根據此第三範例實施例的攝像裝置可藉由減低 其高速轉動時的抖動而達成窗板55在旋轉平衡上的改 善，因之而能產生較少毛邊及失真的極佳影像。 第四範例實施例 曝光裝置 .
接下來將說明本發明的第四範例實施例。在第4圖 中，相同的參考編號及標記是用來代表與第1 A圖至第1 E -18- 200842485 圖中所示相同的零組件，而其說明亦會加以省略或簡化。 如第4圖中所示，根據此範例實施例的曝光裝置包含有— 用來做爲光源的水銀燈7 1、一可聚集由水銀燈7 1發射出 之曝光光束1〇〇的橢圓鏡面72、以及一會聚曝光光束1〇〇 的第一透鏡73。再者，此曝光裝置包含有一供曝光用之 快門單元1 0的光源光學系統7 6、一用以準直由第一透鏡 73加以會聚之光束的第二透鏡74、以及一用以抽取曝光 光束 100中之一部份的半鏡面75。再者，此曝光裝置包 含有一光罩台77’其上設置一光罩R。光罩R是用來做 爲一設有紋路的原件，其紋路是要在每一次照射中移轉至 做爲欲曝光物體（基質）的晶圓W上。 此外，第4圖中所示之根據此範例實施例的曝光裝置 包含有一投影光學系統79，其包含有一縮小投影透鏡 7 8，用以將該光罩R的縮小紋路投影至晶圓W上。再 者，此曝光裝置包含有一做爲固定單元的晶圓台82，包 含有一 θζ傾斜台80，其上可供放置晶圓W，該0 z傾斜 台80可將晶圓W沿著光軸方向移動，以及一 χγ平台 81，可將晶圓W沿著X及Υ方向移動。χγ平台81的位 置會由雷射干涉儀8 3加以測量。快門單元1 〇之馬達i 7 的轉動是由一用來做爲控制單元的控制器8 5經由馬達驅 動器84加以控制。控制器8 5控制快門單元1 0的孔徑時 間，以使得晶圓W可依據一光感測器86偵測曝光光束 100中由半鏡面75所抽取出之部份而產生之輸出來使晶 圓W曝光於預定量的光線中。 -19- 200842485 另一方面，光罩R的紋路區域會曝光於預定量的 中。此紋路的尺寸會被投影光學系統79加以縮小至 的倍率（例如1/4至1/5)，並移轉至由晶圓台82加以 住的晶圓W上。此曝光作業會在晶圓W上多個移轉 (照射區射）內重覆多次。由於掃描曝光是在多個移轉 內重覆地進行，因此使用第一至第三範例實施例所示 構中至少一者於用來固定住快門葉片1 1至1 3之結構 φ 將可增加快門單元1 〇的開啓及關閉速度。在將包含 一至第三範例實施例中任一者之快門單元1 0的結構 於此曝光裝置中時，此曝光裝置可以維持穩定的曝光 性，並可縮減週程時間，故可改善曝光裝置的產量。 根據此範例實施例之曝光裝置可以應用於例如說 及掃描型式者，或是步進型式者。在步進式的曝光 中，晶圓會由晶圓台在每一次進行單次照射曝光時， 進的方式移動至下一曝光位置處。在根據此範例實施 ❿ 曝光裝置中，具有波長的g線、具有365ηιη 之i線或類似者可用來做爲光源。但是，本發明並不 於此等，且KrF準分子雷射、ArF準分子雷射、F2準 雷射、或是類似者均可加以使用。再者，投影光學 79亦不限於折射式光學系統，也可以是其中部份使 射元件的反射式光學系統。 接下來將配合於第5圖及第6圖來說明前述根據 明第四範例實施例的裝置的製造方法。第5圖是製造 用的流程圖，例如半導體晶片，如IC及L SI電路、
光線 預定 固定 區域 區域 之結 上， 有第 應用 準確 步進 裝置 以步 例的 波長 侷限 分子 系統 用反 本發 裝置 LCD -20 - 200842485 或CCD感測器。在此將說明製造半導體裝置的方法做爲 一例。在步驟S1(電路設計）中，會設計出半導體裝置的電 路。在步驟S2(罩遮製造）中，罩遮（或稱爲原件或光罩）會 根據設計的電路紋路來加以製做。在步驟S2中，會製造 出光罩。在步驟S3(晶圓製造）中，晶圓（亦稱爲基質）會由 諸如矽之類的材料加以製做。 步驟S4(晶圓處理）是指使用罩遮或光罩及晶圓由微影 技術透過前述的光罩裝置來將真實電路形成於晶圓上的前 端製程。步驟S5(組裝）是指使用步驟S4中處理過的晶圓 來製做半導體裝置的後端製程。步驟S5包含有一組裝步 驟（切割及黏著）、一封裝製程（模製）、以及類似者。在步 驟S6(檢測）中，將檢查步驟S5中所製做出之半導體裝置 的運作、耐用性及類似者。經由這些步驟所製做出的半導 體裝置接著即可裝運（步驟S 7)。 第6圖是詳細顯示出步驟S4中之晶圓處理的流程 圖。在步驟S1 1(氧化）中，晶圓的表面會被氧化。在步驟 S12(化學氣相沉積；CVD)中，在晶圓的表面上會沉積出 絕緣膜。在步驟 S 1 3 (電極形成）中，在晶圓上會形成電 極。在步驟S14(離子植入）中，離子會植入至晶圓內。在 步驟S15(光阻劑處理）中，在晶圓上施用光敏劑。在步驟 S16(曝光）中，晶圓會使用前述的曝光裝置加以曝光於穿 過具有電路紋路形成於其上之罩遮或光罩的光線中。在步 驟S17(顯像）中，曝光過的晶圓會加以顯像。 在步驟S 1 8(蝕刻）中，顯像出之光阻劑影像以外的部 -21 - 200842485 份會被加以移除。在步驟S19(光阻劑移除）中，在蝕刻之 後不再需要的光阻劑將被加以移除。重覆進行這些步驟可 在晶圓上形成多工電路紋路。在根據此範例實施例之製造 裝置的方法中，由於使用述的曝光裝置之故，曝光作業可 以在高速下穩定地進行。因此，可以較高的速度更穩定地 製造出更可靠的裝置。 根據前述的範例實施例，例如說，快門葉片的變形可 以減低。 雖然前文中是配合於範例實施例來說明本發明，可以 瞭解的是，本發明並不僅限於所揭露的範例實施例而已。 下文的申請專利範圍必須要針對最廣泛的方式來加以解 讀，以涵蓋所有的變化、等效結構及功能。 【圖式簡單說明】 第1 A圖是根據本發明第一範例實施例之快門單元中 所用之快門葉片裝置的側視圖。第1 B圖是使用在快門單 元中之快門葉片裝置自一鄰近於光源的位置處（沿著Z方 向）所觀看的前視圖。第1C圖是沿著第1B圖中線IC-IC 所取的示意剖面圖。第1D圖是第1 B圖中所示之虛線部 位的後視圖。第1E圖是沿著第1D圖中線IE-IE所取之示 意剖面圖。 第2A圖是根據本發明第二範例實施例之快門單元中 所用之快門葉片裝置的後視圖。第2B圖是沿著第2A圖 中線IIB-IIB所取之示意剖面圖。 -22- 200842485 第3A圖是一諸如電視攝影機之類而其內包含有一設 有根據本發明第三範例實施例之快門單元（快門葉片裝置） 的攝影光學系統的攝像裝置側視圖。第3 B圖是該快門單 元（快門葉片裝置）自第3A圖中箭號IIIB所示之方向觀看 的示意圖。第3C圖是該快門單元（快門葉片裝置）自第3A 圖中箭號nic所示之方向觀看的示意圖。 第4圖是一設有根據本發明第四範例實施例之快門單 φ 元（快門葉片裝置）的曝光裝置的示意圖。 第5圖是一流程圖，顯示出使用根據本發明第四範例 實施例之曝光裝置來製造一裝置的方法。 第6圖是顯示出第5圖中所示之流程圖內之步驟S4 的晶圓處理作業的詳細流程圖。 第7 A圖是一已知之曝光用快門的示意圖。第7 b圖 是該已知之曝光用快門自鄰近於光源的位置處觀看的前視 圖。 【主要元件符號說明】 1 0 :快門單元 1 1 :快門葉片 1 2 :快門葉片 1 3 :快門葉片 1 4 :旋轉軸 1 5 :轂部 15a :突出部 -23 - 200842485 15b :突出部 1 6 :固定板 16a ：突出部 1 7 :馬達 1 8 :旋轉編碼器 21 :轂部 2 1 a :突出部 φ 2 1 b :突出部 2 2 :固定板 22a :突出部 22b :突出部 22c :突出部 4 〇 :快門 4〇a :旋轉快門單元 4〇b :旋轉快門單元 _ 4 1 a :快門葉片 4 1 b :快門葉片 42a :快門葉片 42b :快門葉片 43a :快門葉片 43b :快門葉片 4 4 a :旋轉軸 44b :旋轉軸 4 5 a :馬達 -24- 200842485 4 5b ：馬達 46a :旋轉編碼器 4 6 b :旋轉編碼器 5 1 :取像透鏡 52 :電視攝影機 5 3 :鏡頭裝置
5 4 :濾光器 5 5 :窗板 5 5a :開口 5 6 :固定板 56a ：突出部 56b ：突出部 56c :突出部 5 6d :突出部 5 6e :突出部 56f :突出部 5 7 :支撐構件 57a :突出部 57b :突出部 5 7 c ：突出部 57d :突出部 5 7e :突出部 5 8 :光感測器 59 :旋轉快門單元 -25 200842485 分光稜鏡 :攝像元件 :攝像元件 :攝像元件 馬達 皮帶 水銀燈 橢圓鏡面 第一透鏡 第二透鏡 半鏡面 光源光學系統 光罩台 縮小投影透鏡 投影光學系統 Θ z傾斜台 XY平台 晶圓台 雷射干涉儀 馬達驅動器 控制器 :曝光光束 :螺栓 :光軸 -26-