TW200821475A - Complex dry vacuum pump having root and screw rotors - Google Patents

Description

200821475 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種乾式真空幫浦，尤指一種具有一魯式轉子 及一螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦。 【先前技術】 習知的乾式真空幫、浦係包括至少一魯式轉子，該魯式轉子具 春 有一凸塊以及至少一螺旋轉子，使處理室内常保完全真空的狀 悲’並減少所需功率的損失。該魯式轉子係連結至該處理室，用 以吸入及壓縮製程副產品，該副產品係包括該處理室内所產生的 氣體物質。該螺旋轉子係將該魯式轉子所吸入的氣體及製程副產 品排出該處理室的外部。不論在任何情況下，這些轉子係在一氣 密的狀態下運作，以使該處理室維持在一真空狀態。 一般而言，在上述魯式轉子的侧邊以及上述螺旋轉子的侧邊 _ 之間設有一隔膜壁，使製程副產品不會干擾到該等轉子的轉動， 並讓製程副產品流暢地從上述魯式轉子處流動到該螺旋轉子。在 美國專利案 No. 5,549,463 之中，Kashiyama Industry Co·，Ltd 已揭 露了一典型的乾式真空幫浦。 請參閱第9圖，上述美國專利案所述之乾式真空幫浦1〇〇係 包括一對魯式轉子(102、103)以及一對螺旋轉子(1〇5、1〇6)。該等 魯式轉子(102、103)及螺旋轉子(105、1〇6)係受一單一個驅動馬達 200所驅動。該等魯式轉子(1〇2、卿與該等螺旋轉子(1〇5、1〇6) 6 200821475 ，之間設有一隔膜壁，使上述處理室内之製程副產品不會直接傳送 到該螺旋轉子(105、106)。本發明係以上述之美國專利案N〇 5,549,463做為本發明之參考文件。 ‘ 然而，該美國專利案No· 5,549,463所揭露之乾式真空幫浦1〇〇 -中，該隔膜壁108係設置在魯式轉子(102、103)及螺旋轉子(1〇5、 106)之間。尤其是，一包含上述轉子的外殼1〇7係必須被切割成數 個部份。這樣的結構增加了製造乾式真空幫浦的工作量，並增加 了許多個乾式真空幫浦的元件。 再者，為了在乾式真空幫浦中使用一隔膜壁，一具有可變間 距的螺旋轉子已經被嘗試在一乾式真空幫浦内使用，以減少功率 的耗損i並增加被壓縮及被排出之副產品產量。然而，和一般 的乾式真空幫浦相比，這樣的結構需要一較大體積的轉子及幫浦 外殼，而減少其效率。 • 再者，在乾式真空幫浦中，已經嘗試過直接將一魯式轉子連 接至-螺旋轉子上，而不需在#式轉子及螺旋轉子之間設置隔膜 壁。然而，在這種情況下，該魯式轉子及該螺旋轉子的斷面必須 设计成彼此相似的形狀，以增加氣體的壓縮輸送效率。 〃衣而，如果將魯式轉子及該螺旋轉子的斷面設計成相似的形 狀時，該魯式轉子及螺旋轉子之間的平衡狀態會受到影響，並產 生一負面的作用，使真空幫浦產生嚴重的震動及噪音。 又如第9圖所示，使用在真空幫浦内的驅動馬達2〇〇係包括 7 200821475 一定子220、一迴轉裝置230、一軸心24〇及一馬達盒體21〇。 當具有此一結構之傳統真空幫浦在運轉時，該真空幫浦内之 -對魯式轉子(1G2、1G3)及-螺旋轉子_、㈣係受到該驅動馬 ‘達200的驅動而轉動，使製程副產品從真空幫浦上之一吸入孔（圖 •中未示）被吸入，經由過該真空幫浦的内部而由一排出孔（圖中 未示）被排出。因此，一用以製造半導體及顯示器之裝置之處理 鲁室係被没定成一真空狀態。此時，當該魯式轉子(1〇2、1〇3)及該螺 旋轉子(105、106)轉動，被吸入的製程副產品流通過該真空幫浦的 内邛，並由一排出孔而被排出時，部份的製程副產品會流過該驅 動馬達200的内部，並對一定子線圈22%造成損害，而減少該驅 動馬達200的使用壽命。 因此，一罐體400係被設置於一定子2⑻與_迴轉裝置23〇 之間，以防止定子線圈220a因製程副產品流到定子内而受到損 % 害。該罐體400係為一由例如不鏽鋼之材質所製成之薄板，且該 薄板被焊接成一圓形之形狀。該罐體4〇〇係被設置於該定子22〇 與該迴轉裝置230之間，以防止該定子線圈22〇ag流自真空幫浦 之製程副產品或潤滑油而受到損害。 然而，該設置於定子200與迴轉裝置230之間的罐體4〇〇必 須和該定子及該轉子之間保有一精密的間隙，因此該罐體4⑻之 製造及組裝係為困難。 另外，該設置於定子200與迴轉裝置230之間的罐體4⑻會 8 200821475 造成馬麵爾的辨損耗，造成騎大量的功率祕，因而增 加運轉的損耗。 【發明内容】

口此為了解決上述之雜，本翻提供了—種具有魯式及 螺冰子之1合型乾式真空幫浦，使幫浦不論在排放製造半導體 或顯示器之裝置之處理卽職生之餘啦品和域氣態物質的 匕私中或在處理至内製造一真空狀態時，能維持高度的氣體壓 縮輸送效率’鱗持該魯式轉子與辆_子之_平衡狀態， 以防止該真空幫浦產生震動與噪音。

根據本發_—特點，本發明提供了—糊於高效率直 浦之馬達，該馬達係可保護—定子線圈免受流自真料浦之 製程副產品之傷害。 根據本發明的另-特點，本創作提供了—種具有 •轉子之複合型乾式真空幫浦，係包括一具有内部容置空間= 體、一設於該殼體一侧之吸入孔、—設於該殼體另侧之吸 -第#式轉子及二,|、式轉子，係設於該殼體之 間巾’且該第—衫二鉍轉子細彼_互私的方式配^ -第-螺婦子及-弟二螺旋轉子，係設於該殼體之内部’ 間中，且該第-及第二螺旋轉子係於鄰近鮮—及第二置空 處，以彼此相互嗜合的方式配置；一第-傳動軸及-第二=轉子 係延伸穿過鱗-及第二,1、式轉子及該第—及第二螺旋轉子:中 9 200821475 心；一第一齒輪及一第二齒輪，係於彼此相互唾合時，分別連姓 至该第-及第二働轴；以及—馬達，該馬達具有—與第一傳動 軸連結之轉子，以賴轉子錢在—定子_部被鶴，而該定 子係設於-盒體内’且該定子的内部捲繞有—線圈，其中該第^ 及第二魯式轉子係分別包括三個凸塊，且—模製材料於該定=内 鑄造成型，以保護該線圈不受殼體内各種流動之副產物破壞。 、、根據本發明所述之具有#式及微轉子之複合魏^真空幫 浦’能夠使幫浦不論在排放製程副產品和細以製造 示器之裝置之處理如職生之«物質的過程中，或在處理室 内製造-真空狀態時，能維持高度的氣體_輸送效率。再者， ΐϊί係可防止震動及噪音的產生，且可保敎子咖免受流自 /、空幫浦之製程副產品的破壞，而改善該馬達之可靠性。 【實施方式】 I面麻合關對本發明_容及實_做進—步說明。 人:卜3圖’其為根據本發明具有魯式及微轉子之複 1孔!空版f—細，包括：-娜側之吸 L11’—設於該幫浦另侧之排出孔12; 殼體10;—第一魚、八肩㈣奋置工間之 互,止人 4 > 1及—第二魯式轉子32，係以彼此相 ==方式設置於該殼體1G之内部容置空間内；以及—第 ::和一第二職轉子42，係於鄰近該第一及第，轉子 處以彼此相互嗔合的方式配置。該複合型乾式真空 10 200821475 '幫浦更包括一第一傳動軸21及一第二傳動轴22，該二傳動轴係延 伸穿過該第-及第二魯式轉子⑶、32)及該第—及第二螺旋轉 子（4卜42)的中心；-第一齒輪24及一第二齒輪22係於彼此 .相互嚙合時，分別與該第一及第二傳動軸（2卜22)組合在一起； •於—盒體52的内部設有一定子54，該定子54的内部捲繞有一線 圈54a ; —驅動馬達50，該馬達係包括一與第一傳動軸幻連結之 鲁迴轉裝置56，使該迴轉裝置56能夠在該定子54的内部轉動。其 中忒第一及第一魯式轉子係分別包括三個凸塊，且一模製材料係 於該定子内鑄造成型，以保護該線圈不受殼體内各種流動之副產 物破壞。 以下將對於上述之殼體結構做詳細說明。 該殼體10在其内部係具有一氣密空間，以形成一真空狀態， 而邊设體的一侧邊設有一吸入孔n，另侧設有一排出口 12。於一 • %境在形成真空狀態時，其内的空氣係經由該吸入孔11而被吸 屮 上 。亥卫氣再經由该排出孔12而被排出到外面。再者，於該殼 體内相對於該第一及第二魯式轉子（31、32)之較低部份處設有 預疋之空間13，使被吸入的物質停留在該預定之空間内。 ϋ亥第一魯式轉子31係包括三個凸塊（31a、31b、31c)，該第 一魯式轉子32係包括三個凸塊（32a、32b、32c)，且該等凸塊係 叹置於該殼體10之内部容置空間中。每一魯式轉子所具有之三個 凸塊（3la、3比、31c、32a、32b、32c)係於相互彼此嚙合的情況 11 200821475 ' 下轉動，以吸進空氣並將該空氣輸送到該第一及第二螺旋轉子 (41、42)。該第一魯式轉子31之凸塊（31a、31b、31c)之其中 一凸塊31a，以及該第二魯式轉子32之凸塊（32a、32b、32c)之 • 其中一凸塊32a上，從轉動的中心到每一凸塊（3la、32a)末端的 • 長度係較其餘凸塊（31b、31c、32b、32c)之相同部份之長度為 短；且於該第一及第二魯式轉子（31、32)上，相對於該較短長 度之凸塊（31a、32a)之部份，其形狀係與該凸塊（3la、32a)對 鲁 應’使该變短之凸塊（31a、32a)在轉動時接觸到第一及第二魯 式轉子（31、32)上與凸塊（31a、32a)之相對部份，而達氣密 之狀態。 尤其是，於該第一魯式轉子31上，相對於該變短之凸塊31a 之部分係與該第二魯式轉子32之凸塊32a接觸。同時，於該第二 魯式轉子32上，相對於該變短之凸塊32a之部分係與該第一魯式 ^ 轉子31之凸塊31a接觸。 該第一及第二螺旋轉子（41、42)係具有彼此相對應的形狀， 以形成一成對之螺旋轉子。該二螺旋轉子（41、42)係於相互彼 此嚙合的情況下被轉動，藉由該第一及第二螺旋轉子（41、42) 之凹槽與該殼體10之間所產生的容積變化，一直將氣體被吸入、 壓縮並排放到殼體的外部。再者，考量到該第一及第二螺絲轉子 (41、42)會因為該殼體1〇内部的熱氣而產生熱膨脹的現象，使 該螺旋轉子和殼體10的内部產生摩擦而干擾到該螺絲轉子的轉 12 200821475 動口此"亥第一及第二螺絲轉子（41、42)從該吸入孔11向該 排出孔12之直徑係逐漸縮小。 口亥第傳動轴21係、延伸穿過該第一魯式轉？ 3i及該第一螺 她r子41 #中心，而該第二傳動軸22係、延伸穿過該第二魯式轉 子32及該第二螺旋轉子42的中心。該第-及第二傳動軸⑵、 22)係刀別具有_第_齒輪％及一第二齒輪％，且該二齒輪（2斗、 26)係於相互彼此嚙合的情況下轉動。該驅動馬達5〇係設置於該 弟一傳動軸21之―端，且該第-及第二傳動軸（21、22)的兩端 係結合有複數個軸承7〇。 &同時’ #該幫浦轉時，該狀孔Π錢於真球態與大氣 狀態重複交換的環境，使潤滑用的油性物質會因為壓力差而從該 等軸承70内漏出，由於該等軸承7〇係用以支撐該第一及第二魯 、轉子（31 32)及该第—及第二螺旋轉子（4卜42)，因而對該 真空幫浦造成損壞。因此，該等轴承7G係僅可結合到每一 (21、22)之其中一端。 〜該驅動物〇係包括—定子54及—迴魏置56，該定子Μ 係設置於，52内，且定子54 _彳_有—，而 娜裝置56係連接傳_ 21，使該迴轉裝置兄可以 子54内轉動。刻以保護線圈％之模製材料係於該定子 内顏成型’使該線圈％免於受流自真空幫浦之副產物破壞。 以下將對於上述之定子結構做詳細說明。 13 200821475 有—捲繞奴子内部的線圈54，^該迴轉裝置 ’、、、’°至5亥第一傳動㈣，使該迴轉裝置56可在該定子M内 轉動。該模製材料係撕子線圈*之職 以 防止該線圈54a異雲山十 ®恭路出來。上述之模製材料係以-預定之間距而 ==Γ避免妨礙到該迴轉裝置56之轉動。由於環氧樹脂％ ^ 生化料用的特性以及良好的導熱能力，ϋ此可於該 線圈54a之周邊區域以環氧樹脂58做為模製材料。 ㈣爾，#峨嶋如Μ她時，根據本 例之驅動馬達5〇中，該定子Μ與該迴轉裝置％ 亚未故有_ 200。在常見的

係完全密封在—物G 真笃㈣輸㈣壞♦，谢罐體係 ^ 及—轉子130之間，會因為本身的功率消耗而 =:亥^=產生塌功率損耗，並因—子線雜 係恭路在來自«”浦之各_產品，容易_定子 咖造成傷害。本發日祕爾決上叙_。在本㈣之一 例中，—馬達靖㈣環氧樹脂58以取代上述之罐二 :=製模成型於該定子線圈-之周軸 該疋子線圈54a。因此，該定子綠園 種副產品區隔開來，而保護該定 自真空幫浦之各 轉裝置㈣樹糊^好54與該遊 丹考σ亥疋子線圈54a内所產生 14 200821475 -的熱氣可以被具有良好導熱能力的環氧樹脂傳導出該定子線圈 54a，亚快速地將熱氣排放到外部。 再者’上述之驅動馬達50係可根據所需功率而使用各種不同 、麵的馬達。根縣發明之―實施例，—具料、式及螺旋轉子之 .複合型乾式真空幫浦内係使用了一水冷式馬達。 /為了防止外面的空氣流入盒體52 Θ，該盒體η之接合 籲部分係被焊接在—起，且於該盒體52之接合部設有—〇環 (O-nng) ’或者是該盒體52係以—體成型的方式製成。 上述之盒體結構可防止外_錢流人該盒體52的内部，使 盒體52的内部可確實地密封成氣密的狀態。 又二-氣密裝置9(H系設置於該盒體η之一侧邊，以防止外 部的空氣流人盒體内。在常見的真空幫射，縱使外面的空氣經 由=體52 -侧所設之電子裝置的間隙而流人盒體η内， Φ °亥，在衣置90係藉由該盒體210内部所設之-罐體4〇〇而維持在 一氣密的狀態。然而’本發日种之盒體52係可取代傳統罐體彻 的作用’使-氣密裝置90可以較佳的方式而設置在該盒體内52， 以防止氣體流入盒體52内部。 再者，-用以控制馬達頻_之控制件9S係設置於該盒體之一 側邊。由於該控制件95係可利用該馬達5〇之冷卻水而降低溫度， 因此該控制件95係被設置於該盒體52之―侧邊，以防止該控制 件95過熱。 15 200821475 因此，可藉由在該定子線圈54a之周邊區域以環氧樹脂58製 杈成型’以保護該定子線圈Ma免受來自該幫浦之各種副產品之 破壞，而提供一具有高功率之馬達5〇。 - 以下將對於一具有上述馬達結構、一魯式轉子及一螺旋轉子 -之複合型乾式真空幫浦做詳細說明。 首先’如第2、4圖所示，當該驅動馬達5〇被驅動時，連結 φ至該驅動馬達50之第一傳動軸21係被轉動，該第-傳動轴21之 第一齒輪24以及該與第一齒輪24嚙合之第二齒輪冰係連同該驅 動馬達5〇之轉動而一起動，而轉動該第一及第二魯式轉子（31、 32)和該第一及第二螺旋轉子（41、们）。 當該第一及第二魯式轉子（31、32)彼此相互嚙合而轉動時， 忒第一及第二魯式轉子（31、32)係經由該係入孔丨丨而吸進並壓 鈿空氣。接著，該空氣係經由該第—及第二螺旋轉子（41、42) φ 而被排出。 尤其是，當該第一及第二魯式轉子（3卜32)和該第一及第 二螺旋轉子（41、42)被轉動時，該第一魯式轉子31之凸塊（31a、 3lb、31c)之其中一凸塊31a，以及該第二魯式轉子32之凸塊（32a、 础、32c)之其中一凸塊32a，係具有一短小的長度，於該第一及 第二魯式轉子（3卜32) 吸細空氣麵兩次後，將空氣輸 送到該第-及第二螺旋轉子⑷、42)。被輸送到第—及第二螺旋 轉子（4卜42)的空氣係分別分散到該第一及第二螺旋轉子⑷、 16 200821475 ' 42) ’經由該排出孔12而被排放到外面。 因此，當該第一及第二魯式轉子（31、32)和該第一及第二 螺旋轉子（41、42)完全地轉動一圈時，該吸進、壓縮及排放等 • 之運作係同時執行，使被吸進的空氣得以連續地被輸送。再者， • 該第一及第二魯式轉子（31、32)和該第一及第二螺旋轉子（41、 42)之間係保持在一平衡狀態，以防止該真空幫浦產生震動及躁 音。 寸別疋，该苐一及第二魯式轉子（31、32)係設計為一分別 具有二個凸塊（3ia、31b、31c、32a、32b、32c)之形狀，該魯式 轉子之形狀係相似於該第一及第二螺旋轉子（41、42)之形狀， 使u亥幫浦此夠在維持高度之氣體屋縮輸送效率的同時，也能使該 等轉子維持在-平衡的狀態，因而預防該真空幫浦内所產生的震 動與嗓音。藉由控制該第一魯式轉子31之凸塊（31a、31b、31c) # 之其中—凸塊31a之長度，以及該第二魯式轉子32之凸塊（32a、 32b、32c)之其中一凸塊32a之長度，從該第一及第二魯式轉子 (31、32)到該第-及第二螺旋轉子⑷、42)之吸進和排放的 運作係可連續地執行。如果無法控、績子之凸塊的長度，當 氣體從該第-及第二魯式轉子（31、32)被輸送到該該第:及; 二=轉子（4卜42)時’内部的液體流動會產生—周期性。然 而’當該凸塊之長度受控解，該周期性係能馳消除掉，以減 低因周期性而產生的震動與噪音。再者，#該第—及第二魯式轉 17 200821475 )外。卩直徑與该殼體10之内部直徑縮減時，因摩捧而 造成=磨損也會減少，以延魏毅幫浦的使用壽命。 ^閱第5、6圖’其為根據本發明具有魯式及螺旋轉子之複 •合型乾式真空幫浦之第二實施例，包括一第三魯式轉子61及一第 .=式轉子62 ’該第三及第四魯式轉子⑹、⑵係分別設於該 第-及第二魯式轉子（3卜32)之一侧。該第三及第四魯式轉子 _ (6卜62)之長度係較該第—及第二魯式轉子⑶、切之長度 域，麟有複數個觸的凸塊。該複合型乾式真空幫浦更包ς -具有流動孔82之隔駿8Q，該横隔壁8Q係設置於該第一及第 子（31、32)與第三及第四魯式轉子（61、62)之間。 除了此-結構之外，該複合型乾式真空幫浦係與該第—實施例之 真空幫浦相同。 。亥複口型乾式真空幫浦之第三及第四魯式轉子（H)之 籲長度係較該第-及第二魯式轉子⑶、32)之長度為長。因此， 該殼體ω内部的容積會因該第三及第四魯式轉子（61、62)而增 加’並增加被吸進的空氣量。目此，藉由空氣之輸送量及排放^ 的增加，可快速地形成一真空狀態的環境。 -杯閱第7、8圖，其為根據本發明具有魯式及螺旋轉子之複 合型乾式真空幫浦之第三實施例，包括-第三螺旋轉子43及-第 :螺旋轉子44，該第三及第四螺旋轉子⑷、⑷係分別設於該 第-及第二魯式轉子（3卜32)之—侧，且於該殼體上對應該第 18 200821475 三及第四螺絲轉子（43、44)較低部份的位置處設有一排出孔16。 除了此-結構外，該複合型乾式真空幫浦係與該第—實施例之真 空幫浦相同。

在本實施例之複合型乾式真空幫浦中，於該處理室中所產生 的氣態物質和/或製朗產品係被吸人_第—及第二魯式轉子 ⑶32)。被吸進之氣態物質和/或製成副產品會經過該第一、第 二、第三及第四螺旋轉子⑷、42、43、44)，被傳送到個別的排 2孔（12、16)而被排放出去。因此，藉由空氣之輸送量及排放 1的增加，可快速地形成—真空狀態的環境。 如上所述，根據本發明所述之複合型乾式真空幫浦能約在排 放製造半導體或顯示器之裝置之處理室崎產生之製賴產品和/ 或氣態物質的過程中’或在處理室内製造—真空狀態時，維持高 度的氣體壓縮輸送效率，並維持該魯式轉子與該螺旋轉子之間的 平衡狀以防止該真轉浦產生震動與噪音。再者，模製材料 倾製模成型，使4子線圈可以和各種流自該真空幫浦之副產 二區隔開來，聽止該定子、_受_副產品之破壞。因此，該 後合型乾式真轉浦絲易組裝及製造，並可防止馬達的功抑 耗，而提供了 一種高效率的馬達。 貝 雖然本發明係利用上述之各實施例與關詳細揭示，然发” 非用以限定本發明，凡熟習此一發明者，在不脫 、，、亚 精神内’可料各觀動及修改，叫本發狀賴範 19 200821475 後附之申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 根據本發％具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真 空幫浦之第一實施例之橫剖面圖； 第圖係為第1圖之複合型乾式真空幫浦之縱剖面圖； 第3 11係為第1 ®之複合型乾式真空幫浦之-魯式轉子及-• 螺旋轉子之立體外觀圖； 处第4圖係為根據本發明具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真 空幫浦之第-實施例之運轉示意圖； 第5圖係為根據本發明具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真 I幫浦之第二實施例之橫剖面圖； 第6圖係為第5圖之複合型乾式真空幫浦之縱剖面圖； ^ 第7圖係為根據本發明具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真 空幫浦之第二實施例之立體外觀圖； 第8圖係為第7圖之複合型乾式真空幫浦之橫剖面圖； 第9圖係為習知乾式真空幫浦之橫剖面圖。 【主要元件符號說明】 殼體10 吸入孔11 排出孔12、16 第一傳動軸21 第二傳動軸 η 第一齒輪 24 20 200821475

31 第二齒輪 26 第一魯式轉子 第二魯式轉子32 凸塊 31a、31b、31c、32a、32b、32c

第一螺旋轉子 41 第二螺旋轉子 驅動馬達 50 盒體 52 定子 54 線圈 54a 迴轉裝置 56 壞乳樹脂 軸承 70 氣密裝置 1 控制件 95 幫浦100 魯式轉子 102 、 103 馬達 104 螺旋轉子 105 、 106 外殼 107 定子 120 驅動馬達200 盒體 210 定子220 定子線圈 220a 迴轉裝置 ： 軸心 240 罐體 400 42 58 電子裝置 500 21

Claims (1)

1. 200821475 / 十、申請專利範圍： 1、一種具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦，包括： 一殼體，具有一内部容置空間、一吸入孔及一排出孔，該 吸入孔係設於該殼體之一侧，而該排出孔係設於該殼體之另 侧； 一第一魯式轉子及一第二魯式轉子，係設於該殼體之内部 容置空間中，且該第一及第二魯式轉子係以彼此相互嚙合的方 式配置； 苐一螺旋轉子及一弟二螺旋轉子，係設於該殼體之内部 容置空間中，且該第一及第二螺旋轉子係於鄰近該第一及第二 魯式轉子處，以彼此相互π齒合的方式配置； 弟傳動轴及一弟一傳動轴’係延伸穿過該第一及第二 魯式轉子及該第一及第二螺旋轉子的中心；以及 一馬達，係能夠轉動該第一及第二傳動轴； 其中該第一及第二魯式轉子係包括三個凸塊。 2、 如申請專利範圍第丨項所述之複合型乾式真空幫浦，其中於該 二個凸塊之間的一凸塊上，從轉動的中心到末端的長度係較其 餘兩個凸塊之相同部份之長度為短，且該轉子上相對於該變短 之凸塊之部份，其形狀係與另一變短之凸塊對應，於轉子轉動 時而使該部份與另一變短之凸塊接觸。 3、 如申請專利範圍第1項所述之複合型乾式真空幫浦，包括一第 三魯式轉子及-第四魯式轉子，該第三及第四魯式轉子係與該 22 200821475 . 帛—及第二魯式轉子之—侧邊結合，其中該第三及第四魯式轉 子之長度係較該第-及第二魯式轉子之Μ為長，並具有複數 個成對之凸塊，且該第-及第二魯式轉子與第三及第四魯式轉 -子之間設有一具有流動孔之隔膜壁。 • 4、如申請專利細第2項所述之複合型乾式真空幫浦，包括一第 2魯式轉子及-第四魯式轉子，三及第四#式轉子係與該 f及第一甘式轉子之一侧邊結合，其中該第三及第四魯式轉 子之長度係較該第-及第二魯式轉子之長度為長，並具有複數 個成對之凸塊，且該第一及第二魯式轉子與第三及第四魯式轉 子之間設有一具有流動孔之隔膜壁。 5、如申請專利範圍第丨項所述之複合型乾式真空幫浦，於該第一 及第二魯式轉子的-侧邊上更包括―第三螺絲轉子及一第四 累德子且紐體上對應該第三及第四獅轉子較低部份的 位置更包括一排出孔。 1 6、如申請專利範圍第2項所述之複合型乾式真空幫浦，於該第一 及第二魯式轉子的_侧邊上更包括—第三_轉子及一第四 累、、糸轉子L亥设體上對應該第三及第四螺絲轉子較低部份的 位置更包括一排出孔。 7、=申請專利範圍第1_6項所述之複合型乾式真空幫浦，其中該 第-及第二_轉子從該吸人孔向該排出孔之餘係逐漸變 200821475 • 8、如申請專利範圍第7項所述之複合型乾式真空幫浦，其中於每 一魯式轉子之較低部份處設有—默之钟，使被吸入的物質 停留在該預定之空間内。 • 9、如申請專利範圍第丨_6項所述之複合型乾式真空幫浦，其中於 ' 魯式轉子之減部份處設有—默之郎，使被吸入的物 質停留在該預定之空間内。 _ 1G、如申請專職圍第8項所述之複合型乾式真空幫浦，其中 於韻-及第二傳動軸之一端係包括複數個軸承，供該第一及 弟二傳動軸滑順地轉動。 11、如申請專利範圍第1〇項所述之複合型乾式真空幫浦，其中 該馬達具有-連接至該第—及第二傳動軸之轉子，使該轉子在 —定子的内部轉動，該定子係設於一盒體内，且該定子的内部 I繞有-線圈’使-模製材料於該定子内製模成型，以保護該 馨、、泉圈不雙殼體内部流動之副產物破壞。 如申明專利範圍弟11項所述之複合型乾式真空幫浦，其中 u亥模製材料係為環氧樹脂(ep〇Xy resin)。 如申請專利範圍第12項所述之複合型乾式真空幫浦，其中 於"亥盒體之一侧邊設有一氣密裝置，以防止外部的空氣流入盒 體内。 4 如申請專利範圍第13項所述之複合型乾式真空幫浦，其中 "亥氣密裝置係設置於該盒體内，以防止外部的空氣流入該盒體 24 200821475 内 i5、如申請專利範圍第M獅述之複合型乾式真空幫浦，其中 該氣密裝置係由製模塑造該盒體之方式而形成。、工 I如申請專利範圍第Μ項所述之複合型乾式真空幫浦，其中 該氣密裝置係轉接·體之接合部而形成。 I7、如申請專利範園第Η項所述之複合型乾式直空幫浦，其中 •密裝置係_盒歡私鹋有-Q __ring)。 I如中請專利範圍第叫7項所述之複合型乾式真空幫浦，复 盒體之1邊設有1制件，供控制該馬達之_，、

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