TW200539436A - Solid-state imaging device, method for manufacturing the same and camera - Google Patents

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200539436 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於具備晶片上滤色器（on询肋er) 以及具備該固態攝影裝置 之固態攝影裝置及其製造方法， 之攝影機。 【先前技術】 以往’具有將光線轉換成電荷之光電轉換部之CCD固 態攝影裝置及刪固態攝影裝置等之固態攝影裝置，係 用於攝影機及數㈣目機、或是傳真機等各式各樣之 入機器。 另外，就此等之固態攝影褒置而言，具備滤色器之彩 色固態攝影裝置乃眾所皆知。習知之彩色固態攝影裝置， 係例如於二維排列於固態攝影元件之受光元件之受光面， 以-個受光元件對應一色之既定圖案積層由紅色⑻、藍色 (B)、綠色⑹所組合之原色濾色器，或是由青藍色、 洋紅色（M)、黃色⑺、綠色（G)所組合成之補色遽色器。 如此，一般而言將積層於受光元件 之為晶片上濾色器。 之…上之慮色器稱 但是，朝彩色固態攝影裝置之受光面之入射光， 必會對受光面呈垂直且彼此相互平行。由傾斜方向朝受光 面射入之光線，係斜向透過1片濾色器而射入於相鄰之受 光凡件，如此會產生混色之問題。 又 為了解決如此之混色問題，眾所皆知之彩色固態攝影 200539436 ' .裝置91係例如第19圖所示，於藉由光二極體（PD)形成 之受光像素區域之邊界部（像素邊界部），設置黑色遮光膜 〜96c。（例如，參照特公平8_8344號公報（第3〜4頁， 第1〜3圖））。第19圖所示之彩色固態攝影裝置係透過以下 之步驟而製得。 ， 首先，於固態攝影元件91攝影面上之像素邊界部，將 一可染性樹脂圖案化成既定膜厚後用黑色染料加以染色，藉 •此形成第1遮光膜96a。其次，於此遮光膜96a所區隔區 域中之既疋區域，將可染性樹脂圖案化後加以染色，藉此 形成第1濾色器（r)93。 其次’於形成有第1遮光膜96a及第1濾色器93之受 光面上形成透明之防染膜97，接著在該像素邊界部，將可 染性樹脂圖案化成既定膜厚後用黑色染料加以染色，藉此 形成第2遮光膜96b。其次，於此遮光膜9以所劃分區域 中之既定區域，將可染性樹脂圖案化後加以染色，藉此形 φ 成第2濾色器（G)94。 再者’與上述步驟同樣地，形成透明之防染膜98、第 3遮光膜96c、第3濾色器（B)95，最後形成透明之防染膜 99來作為保護層。 如此般’藉由於像素邊界部形成黑色遮光膜96a〜96c， 例如朝B之濾、色器95傾斜射入而透過之光線，能被遮光 膜96a〜96c遮住，而不會往相鄰之受光像素區域（pD部）92 入射。藉此’可防止傾斜光所產生之混色。 然而’上述習知構造之問題在於，其製造過程必須經 200539436 ，由（1)形成黑色遮光膜、（2)形成第丨濾色器、（3)形成 防染膜、（4)形成黑色遮光膜、（5)形成第2濾色器、（6)形 成防染膜、（7)形成黑色遮光膜、（8)形成第3渡色器、 以及（9)形成保護層等眾多的步驟。 1 【發明内容】 . 本發明有鑒於此問題，其目的乃藉由更簡單之製造過 Φ程來提供一種固態攝影裝置，其具有可防止傾斜光所造成 之相鄰像素混色之晶片上濾色器。 為了達成上述目的，本發明之固態攝影裝置，具有： 半導體基板；受光元件，於該半導體基板上形成矩陣狀； 以及濾色器層，形成於該受光元件之上層，由3色以上之 濾色器所構成；其特徵在於：於該濾色器層中，在2相異 色之濾色器相鄰接之像素邊界部之至少一部分，具有不同 於該2色之濾色器壁。 • ”又，本發明之固態攝影裝置之製造方法，其特徵包含： 於半導體基板上將受光元件形成為矩陣狀之步驟；以及於 §亥党光元件之上層依序形成至少第1至第3色之濾色器之 =驟；而於形成該第i至第3色濾、色器之步驟之至少任— =驟中’係將與該步驟形成之濾色器同色之渡色器壁，形 界^該^器不同色之2相異色渡色器相鄰接之像素邊 至少一部分。 依據本發明’能以更低成本提供具有可防止傾斜光所 、相鄰像素混色之晶片上濾色器之固態攝影裝置。 200539436 【實施方式】 本發明之固態攝影裝置，係具有：半導體基板；受光 元件，於该半導體基板上形成矩陣狀；以及濾色器層，形 成於該受光元件之上層，由3色以上之濾色器所構成；於 ’ 该濾色裔層中，在2相異色濾色器相鄰接之像素邊界部之 ^ 至少一部分，具有不同於該2色之濾色器壁。 _ 依據此構成，當透過某一像素濾色器之傾斜光射入濾 色器壁時，由於濾色器和濾色器壁之顏色彼此不同，故會 產生去除傾斜光之效果。藉此，可防止傾斜光所造成之混 色。由於不需要習知之黑色遮光膜，故可簡化製造過程， 且可提供更低成本之固態攝影裝置。 於上述構成之固態攝影裝置中，該濾色器層例如可由 原色拜爾（bayer)排列之濾色器、原色條狀（stripe)排列之濾 色器、或是補色之濾色器所構成。 • 於上述構成之固態攝影裝置中，若該濾色器層係由著 色之光阻劑所形成，由於無需染色步驟即可製造，可更加 降低製造成本。 在上述構造之固態攝影裝置，該濾色器壁具有大致相 同於該濾色器層之高度，且該濾色器壁之寬度亦可形成大 致均-型悲。或者，該濾色器壁亦可形成比該濾色器層較 低之型態。或是，該濾色器壁亦可形成越靠近該濾色器層 之入射光側其寬度越小的型態。依據後二個型態，不但可 確保廣大的像素開口面積、同時可防止傾斜光所造成之混 200539436 色。 本毛月亦包含具備上述任何一構造之固態攝影裝 置之攝影機。 、一再者，本發明之固態攝影裝置之製造方法，包含··於 半導體基板上形成矩陣狀受光元件之步驟；以及於該受光 ，元件之上層依序形成至少第1至第3色之濾色器之步驟； ‘而於形成w亥第i至第3色之濾色器之步驟至少任一步驟 鲁巾係、將與4步驟形成之濾色器同色之遽色器壁，形成於 與該遽色器不同色之2相異色遽色器相鄰接之像素邊界部 之至少一部分。 依據此製造方法，可製造能防止傾斜光所造成之相鄰 像素此色之固態攝影裝置。亦即，於此固態攝影裝置中， 當透過某一像素濾色器之傾斜光射入於濾色器壁時，由於 濾色器和濾色器壁之顏色互相不$，故會產生去除傾斜光 之效果。藉此，可防止傾斜光所造成之混色。而且，濾色 馨器壁係藉由與同色濾色器相同的步驟所形成，且無需習知 之黑色遮光膜形成步驟，故能簡化製造步驟，可提供更低 成本之固態攝影裝置。 於上述製造方法中，該濾色器和濾色器壁係可藉由光 微影來形成。此種情況，最好係使用著色光阻劑來作為該 濾色器及濾色器壁之材料。由於無需染色步驟，故可更加 簡化製造步驟。再者，當形成該濾色器壁時，藉由使用半 色調（half-tone)光罩或灰階色調（gray t〇ne)光罩，可 形成比该濾色器層較低之濾色器壁，或是，可形成越接近 200539436 濾色器層之入射光側其寬度越小之濾色器壁。 又上述之製w方法亦可包含：使用可染 該滤色器及滤色器壁之材料、並將該可染性: 步驟，及將圖案化之可染性樹脂予以 一化之 木巴疋步驟。此種情 況，敢好係於該可染性樹脂之染色步驟後，進一歩包含产 潤固定液之步驟。由於不需要防染膜，故可謀㈣化= 過程，並達成晶片上濾色器之薄膜化。 以下，參照圖式說明本發明固態攝影裝置之更具體之 實施型態。 (實施型態1 ) 以下說明本發明之一實施型態之固態攝影裝置。此外， 於此雖然舉出CCD固態攝影裝置來作為一實施型態例子， 但是本發明並非限定於CCD固態攝影裝置，亦可適用於 MOS型固態攝影裝置等。 本實施型態之固態攝影裝置如第1圖所示，於縱2χ橫 2之4像素中對角線上2像素配置〇濾色器4，於剩下2 像素其中1晝素配置R濾色器6，而於最後丨像素設置β 濾、色器5。具有基本上呈拜爾排列之濾色器層。但是，於 G濾、色器4和R濾色器6之邊界（像素邊界區域）具有B 濾色器壁5w，而於G濾色器4和B濾色器5之邊界（像 素邊界區域）具有R濾色器壁6w。 第2a圖係第1圖之a-a，線之剖面圖，而第2b圖係第 1圖之b-b’線之剖面圖。此外，於第2a圖及第2b圖中， 為了易於明白相鄰像素間之關係，而表示成列方向有3像 200539436 素的構造。 如弟2 a圖及笛1 k τ-ι ^ w 1Π . a b圖所示，本發明實施型態之固態攝 影t置10係具有丰道触甘 y 體基板1;複數光二極體2,於半導 體基板上1形成為祐_ ^ . 車狀；以及傳送電極9。傳送電極9 以鄰接於光二極體2沾士 ▲ 2的方式，透過絕緣膜12而設置於半 導體基板1上。而日你彳志w > ;傳迗電極9及絕緣膜12上面設置 遮光膜11，以阻止氺私& 先射射入傳送電極9。且於形成有光二 極體2及傳运電極9等 τ、干导體基扳1上層，例如設有由 透明丙烯酸S旨樹脂所形成之第1平坦膜3。 =於第1平坦臈3之上層形成有濾色 層由第2a圖可知，μ从& ^ ^ 35 關於拜爾排列之Gb列，於第丨平坦膜 3上層，分別對應於氺- 、 先—極體2而交互設置G濾色器4和 B滤色态5。再者，於士楚^ 丹有於此專G滤色器4和B滤色器5之 界設置有R濾色器壁6 壁…之高度係相同於 ，慮色益4和B遽色器5之厚度，且其寬度為均一的。 而且，由第2b圖可知，關於拜爾排列Gr列，於第 平坦膜3上層，分別對應於光二極體2而交互設置G 器4和R遽色器6。再者，於此等g遽色器*和r滤⑽ 6之邊界設置有b濾色器壁5"濾色器壁^之：： 相同於G濾色器4和R瀹耷聚 又係 ， 慮色裔6之厚度，且其寬度為均一 的0 7 再者，於由上述G濾色器4、B濾色器5、R濾色器6、 R濾色器壁6w、以及B濾色器壁5w所形成之濾色器層之 上層，例如設置著由透明丙烯酸酯樹脂所形成之第^ I坦 11 200539436 膜7。而且，於第2单to Η替1 \ 乐J十坦膜7上層，分別對應於光二極體 2而設置微透鏡8,以使入射光聚光於各光二極體2。 ； 使用第3圖及第4圖來說明關於傾斜光射入上 述構造之固態攝影裝置1G情況。例如第3圖所示，透過r 濾色為6之光線係朝位於G濾色器*正下方之光二極體2 射入之It况此種情況，透過R渡色器6之傾斜光亦會透 過設置於此濾色器6旁之B濾色器壁5w。第4圖表示rgb 各色之光透過率。如帛4目所示，R光線於波長550nm以 下之透過率約〇%，相對之B光線於波長550nm以上之透 過率約0%。當混合不同色光線時，所混合光線之分光特 性乃為單色光線透過率之乘積。因此，透過如第3圖所示 之R濾色器6和B濾色器壁5w後之傾斜光透過率於全部 波長區域中大致為0〇/〇。因此，於G濾色器4正下方之光 極體2成乎不會產生起因於前述傾斜光之混色。 而且’於第3圖中，例如透過g濾色器4而朝R濾色 器6正下方之光一極體2射入之傾斜光透過率，如第4圖 所不’因G光線和R光線之透過率曲線重疊處較小，故除 一部分之波長區域（550〜600nm及650〜800nm)以外均成為 大致〇 /〇 °且’即使於550〜60Onm及650〜80Onm之波長區 域’其混色透過率亦變為極小。 相同地，如第2圖所示，透過G濾色器4和相鄰於此 之B渡色器壁5w之傾斜光透過率，由第4圖可知將大幅 降低。 田 如上述所言，於固態攝影裝置1 〇中，可有效防止傾斜 12 200539436 光所造成之相* 郇像素之混色。而且，固態攝影裝置1 〇之R、 G、B濾色哭 ^ °° 、5、6及濾色器壁5w以及6w，係形成具 有均一 1¾声> 、 層’慮色器層。因此’與第1 9圖所示之R、

Cjt λ I 、 曰 〆複數層所形成之習知構造相較下，可達成 曰曰其=色器之薄膜化，具有提昇感度之優點。 其—人，說明本實施型態之固態攝影裝置丨〇之製造方 法。 、’如第5圖所示’於半導體基板1上藉由公知手 法开y成光—極體2、絕緣膜12、傳送電極9、遮光膜11之 2，藉由旋轉塗布法整面塗布丙烯酸酯樹脂並加熱乾燥， 朴 成第1平坦膜3。其次，於第1平坦膜3表面形成 G濾、色器4。此時，相對於半導體基i上形成矩陣狀之 光二極體2，於行方向、列方向各空1個配置G濾色器4。 亦即’G濾色器4於受光面上配置形成交錯格子狀。此外， G遽色器4 ’例如於第1平坦膜3表面’將著色成綠色之 正型光阻缝布成均-厚度，以曝光於it色H 4形成部位 以外區：的方式配置光罩後，經照射光線、顯影來形成。 其次，以覆蓋G濾色器4和第1平坦膜3整體的方式， 藉由鉍轉塗布法塗布著色成藍色之正型光阻劑。而且，將 如第6圖所示之圖案光罩設置於前述藍色正型光阻劑上 方。此柃，將光罩配置成，使光罩中無圖案之區域（於第6 圖以虛線表不之區域61)對準於g濾色器4位置。 於此狀態，若從光罩上方照射光線，第6圖所示之c_ c’剖面上，如第7a圖所示，於光罩中無圖案區域6i之正 13 200539436 下方光阻齊丨，你# 係错由透過區域6 1後之光線而曝光。另外， 於弟 6圖之本宏丄 尤罩中’相當於光罩區域62部分之光阻劑， 二藉由光罩區土或62而遮光，故未曝光。因此，經顯影步 驟後，於第& 圖所示之c-c’剖面中，如第7b圖所示，僅相 當於光罩區祕 3 62部位殘留藍色光阻劑，藉此來形成B濾 • 色器5。 、、，又’於第6圖所示之d-d，剖面中，如第8a圖所示，於 •光罩中無圖案區域61及區域64(茲參照第6圖）正下方之 光阻劑’係藉由各個透過區域61及區域64後之光線而進 I [光另外’於第6圖之光罩中，相當於光罩區域63 部分之光阻劑，係藉由光罩區域63遮光，故未曝光。因 此，經顯影步驟後，於第6圖所示之d-d，剖面中，如第8B 圖所不，僅相當於光罩區域63部位殘留藍色光阻劑，藉 此以鄰接G濾、色器4之狀態來形成精色器壁5〜。 其次，以覆蓋第7b圖及第8b圖所示之G濾色器4及 • B濾色器:5以及濾色器5壁w整體的方式，藉由旋轉塗布 法塗布著色成紅色之正型光阻劑。而且，將如第9圖所示 之圖案光罩配置於前述紅色正型光阻劑之上方。此時，將 光罩配置成’使光罩中無圖案之區域（於第9圖以虛 之區域71)對準G濾色器4之位置。 、 於此狀態，若由光罩上方照射光，於第9圖所示之卜 e，剖面中，如帛10a圖所示，於光罩中無圖案區域η及區 域74(兹參照第9圖）正下方之光阻劑係藉由各個透過區域 71及區域74後之光線而曝光。另外，於第9圖之光罩中， 14 200539436 相當於光罩區域73部分之光阻劑由於係藉由光罩區域73 而遮光，故未曝光。因此，經顯影步驟後，於第9圖所示 之e-e，剖面中，如第1〇B圖所示，僅相當於光罩區域Μ 處部位殘留紅色之光阻劑，藉此於G渡色器4以及B滤色 為5之邊界形成r濾色器壁6w。 ^ 又，於第9圖所示之f_f，剖面中，如第11A圖所示， •於光罩中無圖案區域71正下方之光阻劑係藉由透過區域71 φ後之光線而曝光。另外，於第9圖之光罩中，相當於光罩 區域72部分之光阻劑係藉由光罩區域72而遮光，故未曝 光。因此，經顯影步驟後，於第9圖所示之e_e，剖面中， 囷所示，僅相當於光罩區域7 2部位殘留^L色光 阻劑，藉此來形成R渡色器6壁。 其：’於形成為第10b圖以及第Ub圖所示之濾色器 層上，藉由旋轉塗布法塗布丙烯酸酯樹脂並加熱乾燥，藉 此形成第2平坦膜7。再者，於第2平坦膜7之表面，藉 籲由形成微透鏡8來完成第2a圖以及第2b圖所示之固態攝 影裝置1 0。 依據以上製造方法’利用⑴形成G濾色器、⑺形成 B濾色器以及濾色器壁、(3)形成R濾色器以及濾色器壁之 v驟即可$成濾色器層。因此，如上述所言，相較於像 素邊界區域具有黑色遮光膜之習知構造，可簡化製造步 驟。 卜上述製造方法只不過係一例子，可進行各種變 • 於此，雖然係舉出依G、B、R的順序形成濾色

15 200539436 器之例子’但是形成濾色器之順序並非限定於此，任意順 序排列亦可。而且，亦可使用負型光阻劑來取代正型光阻 劑。此種情況，透過光線之區域和遮住之區域係與第6圖 以及第9圖相反，只要變更光罩圖案即可。 又’；慮色器層之材料亦可使用可染性樹脂等來代替上 • 述之著色光阻劑。此種情況，首先，將透明可染性樹脂圖 • 案化成任一色（例如G)之濾色器形狀後，再使用染料進行 參 染色。接著，於其上面形成防染膜後，再將透明可染性樹 脂圖案化成濾色器以及濾色器壁之形狀，並染色成下一色 (例如B)。再者，於其上面形成防染膜後，將透明可染性 樹脂圖案化成濾色器以及濾色器壁之形狀，並染色成下一 色（例如R)。 使用可染性樹脂之情況，可取代上述之使用防染膜， 而於染色步驟後追加浸潤固定液之步驟。此種情況，浸潤 固定液後之可染性樹脂，之後即使浸於其他染料亦不會染 φ 色，故無需防染膜，故具有不會增厚濾色器層之優點。 另外’於第2a圖以及第2b圖所不之R或是b濾色$ 壁6w、5w之高度係相同於濾色器層厚度，且其寬度約為 均一。但是，本發明之濾色器壁並非僅限定於此具體例子。 濾色器壁只要形成於像素邊界部之至少一部分即可。例如 即使藉由如第12a圖，第12b圖，第13a圖，第i3b圖所 示之構造，亦可達成防止相鄰像素之傾斜光所造成混色之 效果。 第12a圖所示之濾色器壁6w其高度係形成為濾色器 16 200539436 層厚度之1/2程度。如此之濾色器壁例如帛…圖所干， 可藉由制半色調光罩73H㈣為形錢色器壁部位^光 罩。此外，第14&圖所示之光罩，係在第9圖所示光罩的 73部分使料色調光罩73H。所謂半色調光罩係光透過率 約=50%程度之光罩。使用此光罩進行曝光後藉由顯影， 如第14b圖所示，可去除丰多嘴止$ f牛以以73H t蓋區域之光阻 劑上面約-半，形成約滤色器層1/2高度之遽色器壁一 此外，遽色器壁之高度不限於約滤色器層之Μ。藉由, 整光罩之透過率或調整曝光時間，可將滤色器壁形‘任意 之南度。 另二’如帛12b圖所示’亦可將比滤色器層厚度較低之滤 色益壁6w’ ’形成跨越像素邊界而重疊於^之濾色器4和 B之濾色器5兩者。 另外，於第Ua圖中，濾色器壁6w，於G之遽色器* 和B之:慮色器5之像素邊界部中，雖然係配置成重疊於B 之濾色器5,但是反之，亦可配置成重疊於〇之濾色器斗。

一 濾色器壁之寬度亦可為不均一。例如第1 3 a圖 所示，濾色器1 6w，，之寬度越靠近渡色器層之上層（光線 入=側寬度越小。依據此構造，不但可確保廣大的遽 色開Π，同日夺可有效防止射人於相鄰像素之傾斜光所造 成之混色。 第1 3 a圖所示之滤色器壁6 w，，，如第丨$圖所示， 可使用，階色調光罩73G㈣為濾、色器壁形成部位之光 罩 藉此來形成。另外，第15圖所示之光罩，係將第9 17 200539436 圖所示光罩中73部分作成灰階色調光罩73G。所謂灰階色 調光罩乃為光透過率為局部不同之光罩。為了形成第i3a 圖所示之濾色器壁6w，，，只要使用透過率朝第15圖中箭 頭A方向漸漸變高之光罩來作為灰階色調光罩73(}即可。 另外’滤色器壁6w，，之斜面角度較佳為，不致使垂直 射入受Μ而藉由微透鏡8朝光二極體2聚光之光線射入 此濾色器壁6w，，。 丹有，於第 闺τ，濾色器壁0〜，，於u之源邑器4 和…慮色器5之像素邊界部中，雖然配置成重疊於8之 濾色益5,但是反之，亦可配置成重疊於 另外，如第13b圖所示，亦可將越a ^ ° W J將越罪近濾色器層之上層（光 線入射側）側寬度越小之滹声 疚a田 /愿色益壁6w，，’形成跨越像素邊 '豐於G之濾色器4和B之濾色器5兩者。 另外，於上述說明中，濾芦哭 拜爾Μ & β ^色裔之基本排列雖然以原色 拜爾排列為例子，但是本發 之、清多哭 j j適用於二原色條狀排列 之濾色态。此種情況只要於R盥 :0 a 51 ^ 一 G之像素邊界部配置B之 慮色^，於R與B之像素邊界部 G B ^ ^ 愿色為壁’於 ，、之像素邊界部配置R之渡色器壁即可。 再者，藉由補色之濾色器亦可會 色之分央# ^ j j貫施本發明。CMYG各 巴之刀忐特性如第16圖所示。 分 辛邊取却；w； ’最好於Y和C之像 素邊界部配置Μ，γ和 c之像 和Μ之像辛、#只#邮w r 像素邊界部配置G，於c 豕京邊界部配置G，於γ矛 M’於…之像素邊界部配置JG之像素邊界部配置 之像素邊界部設置遽色器壁又，無須於G和Μ 例如第17a圖〜第17c圖 18 200539436 所示，只要設置濾色器和濾色器壁即可。 (實施型態2) 關於本發明之其他實施型態，將藉由第18圖詳加說 明。 將實施型態1所說明之固態攝影裝置適用於數位攝影 機時，可藉由防止混色而以低成本實現出畫質佳之數位攝 影機。第18圖為表示本實施型態之攝影機概略構造方塊 圖。本實施型態之攝影機，如第18圖所示具備有：固態 攝〜波置1 〇、為將來自被照體之入射光成像於固態攝影裝 置」γ攝影面之包含透鏡等之光學系統31、控制驅動固態 攝影裝置10之驅動部32、對來自固態攝影裝置1〇之輸^ 立〜進行各種信號處理之影像處理部33、顯示以影像處理 =王所處理過之影像信號之顯示器34、以及儲存以影像 处里4 33所處理過之影像信號之影像記憶體35等。又， ^機;亦可為僅攝影靜止畫面之靜態相機、可旦彡 之攝影拖 〜動旦 —知钱、以及可兼具攝影靜止晝面與動畫之攝影機之 第1圖表示於本發明一實施型態之固態攝影襞置 器構造之俯視圖。 第2a圖表示於第1圖之a_a，線剖面圖。 第2b圖表示於第1圖之b_b，線剖面圖。 第3圖表示傾斜光射入本發明一實施型態之固態攝影 200539436 裝置樣子之示意圖。 第4圖表示RGB各色光之分光特性。 第5圖I示本發明一實施型態之固態冑影裳置之製造 方法一少騍之剖面圖。 ^ 第6圖表示本發明一實施型態之固態攝影裝置之製造 方法一夕驟所使用之光罩俯視圖。 化 第7a圖表示本發明一實施型態之固態攝影袭置之製造 方法一少驟剖面圖。 第7b圖表示本發明一實施型態之固態攝影襞置之製造 方法一梦驟剖面圖。 第8a圖表示本發明一實施型態之固態攝影裝置之製1 方法'^步*驟剖面圖。 第8b圖表示本發明一實施型態之固態攝影裝置之製造 方法一少驟剖面圖。 第9圖表示本發明一實施型態之固態攝影裴置之製造 方法一少驟所使用之光罩俯視圖。 & 第10a圖表示本發明一實施型態之固態攝影裝置之製 造方法一步驟剖面圖。 第10b圖表示本發明一實施型態之固態攝影裝置之製 造方法一步驟剖面圖。 第11a圖表示本發明一實施型態之固態攝影裝置之製 造方法一步驟剖面圖。 第11 b圖表示本發明一實施型態之固態攝影裝置之製 造方法一步驟剖面圖。 20 200539436 第12a圖表示本發明之 子之剖面圖。 固態攝影裝置之其他濾色器例 第12b圖表示於本發明之固態攝影裝置之其他渡色器 例子之剖面圖。 器例 第1“圖表示本發明之固態攝影裝置之其他 子之剖面圖。 & (他濾色器例 第13b圖表示本發明之固態攝影裝置之其 子之剖面圖。 驟剖面圖 第14a圖表示形成第12a 圖之濾色器之製造方法一步 第圖表示形成第12a圖之濾色器之 驟剖面圖。 y 驟 表示幵> 成第1 3 a圖之渡色器之製造方法一步 剖面圖。 第16圖表示GMYG各色光之分光特性。 第17a圖表示本發明一實施型態之固態攝影裝置 色裔之其他例剖面圖。 第 17b pi 表示本發明一實施型態之固態攝影裝置之渡 色益之其他例剖面圖。 第 17c 圖| 一士人丄 表不於本發明一實施型態之固態攝影裝置之 、裔之其他例剖面圖。 第18圖矣-μ匕 1 不於本發明其中一實施型態之攝影機概略構 乂方塊圖。 第 1 Q pj ψ 一 圖 闺表示習知彩色固態攝影裝置之構造例剖面 21 200539436 【主要元件符號說明】 1 ................半導體基板 2 ................光二極體 3 ................第1平坦膜 4 ................濾色器（G) 5 ................濾色器（B) 5w..............濾色器壁（G)

6 ................濾色器（B) 6w..............濾色器壁（R) 7 ................第2平坦膜 8 ................微透鏡 9 ................傳送電極 10 ..............固態攝影裝置 12..............絕緣膜 11 ..............遮光膜 31 ..............光學系統 32 ..............控制部 33 ..............影像處理部 34 ..............顯示器 35 ..............影像記憶體 22

Claims (1)

1. 200539436 十、申請專利範圍： 1 · 一種固態攝影裝置，具有：半導體基板； 义光元件，於該半導體基板上形成矩陣狀；以及 濾色器層，形成於該受光元件之上層，由3色以上之 渡色器所構成；其特徵在於： 於該濾色器層中，於2相異色之濾色器相鄰接之像素 邊界邛之至少一部分，具有不同於該2色之濾色器壁。 2_如申請專利範圍第1項之固態攝影裝置，其中，該 渡色器層係由原色拜爾排列之濾色器所構成。 3 ·如申請專利範圍第1項之固態攝影裝置，其中，該 渡色器層係由原色條狀排列之濾色器所構成。 4.如申請專利範圍第1項之固態攝影裝置，其中，該 據色器層係由補色之濾色器所構成。 5·如申請專利範圍第1項之固態攝影裝置，其中，該 渡色器層係由著色之光阻劑所形成。 6. 如申請專利範圍第1項之固態攝影裝置，其中，該 渡色器壁係具有大致相同於該濾色器層高度，且形成大致 均一之寬度。 7. 如申請專利範圍第1項之固態攝影裝置，其中，該 濾色器壁係比該濾色器層低。 8·如申請專利範圍第1項之固態攝影裝置，其中，該 ;慮色器壁係形成越靠近該遽色器層之入射光側其寬度越 /J、〇 9· 一種固態攝影裝置之製造方法，其特徵在於包含： 23 200539436 於半導體基板上形成矩陣狀受光元件之步驟 於該受光元件之上層依序形成 器之步驟； 弟3色癔色 於形成該第i至第3色據色器之步驟之 中’係將與該步驟形成之遽色器同色之遽色器帛、 與該遽色器不同色…異色滤色器相鄰接之像幸：成在 之至少一部分 素邊界部 二如申請專利範圍第9項之固態攝影裝 & 、中，藉由光微影來形成該滤色器及遽色器壁。"方 二如申請專利範圍第i。項之固態攝影裝 材料其[使用著色光阻劑來作為該濾色器及遽色器:： 法，== 圍第“項之固態攝影裝置之製造方 階色調光罩成该據色器壁時，係使用半色調光罩或灰 1:如：請專利範圍第9項之固態攝影裝置之製造方 材料:、：二使用可染性樹脂作為該滤色器及滤色器壁之 Π该可染性樹脂予以圖案化之步驟，以及 將圖案化之可染性樹脂予以染色之步驟。 法，：：申二專利範圍第U項之固態攝影裝置之製造方 去’其中，於該可染 潤固定液之步驟。*色步驟後，進一步包含浸 第i1至5·第一 裝置，其特徵在於，係具備申請專利範圍 W至第8項中任—項之固態攝影裝置。 24