TR201905624A2 - İki cisim arasında kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti oluşturulması ve bu çekim kuvveti yardımı ile yapışma sağlanması yöntemi. - Google Patents

İki cisim arasında kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti oluşturulması ve bu çekim kuvveti yardımı ile yapışma sağlanması yöntemi. Download PDF

Info

Publication number
TR201905624A2
TR201905624A2 TR2019/05624A TR201905624A TR201905624A2 TR 201905624 A2 TR201905624 A2 TR 201905624A2 TR 2019/05624 A TR2019/05624 A TR 2019/05624A TR 201905624 A TR201905624 A TR 201905624A TR 201905624 A2 TR201905624 A2 TR 201905624A2
Authority
TR
Turkey
Prior art keywords
attraction force
force
electrostatic
electrostatic attraction
creating
Prior art date
Application number
TR2019/05624A
Other languages
English (en)
Inventor
Cankurt Tolga
Samur Evren
Demi̇rtaş Serhat
Original Assignee
Hidropar Hareket Kontrol Teknolojileri Merkezi Sanayi Ve Ticaret Anonim Sirketi
Hi̇dropar Hareket Kontrol Teknoloji̇leri̇ Merkezi̇ Sanayi̇ Ve Ti̇caret Anoni̇m Şi̇rketi̇
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hidropar Hareket Kontrol Teknolojileri Merkezi Sanayi Ve Ticaret Anonim Sirketi, Hi̇dropar Hareket Kontrol Teknoloji̇leri̇ Merkezi̇ Sanayi̇ Ve Ti̇caret Anoni̇m Şi̇rketi̇ filed Critical Hidropar Hareket Kontrol Teknolojileri Merkezi Sanayi Ve Ticaret Anonim Sirketi
Priority to TR2019/05624A priority Critical patent/TR201905624A2/tr
Publication of TR201905624A2 publication Critical patent/TR201905624A2/tr
Priority to EP20791262.7A priority patent/EP3782277A4/en
Priority to PCT/TR2020/050305 priority patent/WO2020214120A1/en
Priority to JP2020565755A priority patent/JP2022529090A/ja
Priority to US17/055,136 priority patent/US11381179B2/en
Priority to CN202080003053.2A priority patent/CN112204871A/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0085—Gripping heads and other end effectors with means for applying an electrostatic force on the object to be gripped
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C7/00—Separating solids from solids by electrostatic effect
    • B03C7/02—Separators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
    • H01L21/6833—Details of electrostatic chucks
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N13/00—Clutches or holding devices using electrostatic attraction, e.g. using Johnson-Rahbek effect
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
    • H01L21/67109—Apparatus for thermal treatment mainly by convection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

Buluş, en az iki cismin elektrostatik çekim kuvveti ile yapışmasını sağlayacak şekilde cisimlerden en az birine, istenilen noktada ve sayıda elektrotun DC ve/ veya AC gerilimle beslenerek istenilen noktalarda ve istenilen kuvvette çekim kuvveti sağlayan elektrostatik çekim kuvveti bölgesinin (3) oluşturmasını sağlayacak şekilde matris dizilimi oluşturacak şekilde en az iki farklı eksende konumlanan elektrot dizileri (1) ve elektrot dizilerini (1) birbirinden ayıran yalıtkan yüzey (2) uygulanmasını kapsayan elektrostatik çekim kuvveti oluşturulması ve bu çekim kuvveti yardımı ile yapışma sağlanması yöntemi ile ilgilidir.

Description

TEKNIK ALAN Bu bulus, iki cisim arasinda kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti olusturulmasi ve bu elektrostatik çekim kuvveti yardimi ile yapisma saglanmasi yöntemi ile ilgilidir. TEKNIGIN BILINEN DURUMU Elektrostatik yapisma ya da kavrama genel olarak iki cisim arasinda elektrostatik çekim kuvveti olusturulmasi ve bu elektrostatik çekim kuvveti yardimi ile iki cismin arasinda yapisma, kavrama saglanmasidir. Halihazirda bir veya birden çok elektrot bulunan ve bu elektrotlarin elektriklendirilmesi ile elektrostatik çekim kuvveti ile yapisma saglayan sistemler mevcuttur. tutus cihazi", USZOl7269686 sayili "Elektrostatik yapistirici yapisma kavrama sistemi" konulu buluslar bu yapilara örnektir. Mevcut sistemlerde birden fazla noktada birbirinden bagimsiz elektrostatik çekim kuvveti olusturulmasi ancak mevcut ürünlerin çoklanmasi ile mümkün olabilmektedir. Mevcut durumda ürünlerin yan yana kullanilmasi ile elde edilen bu sistem teknik olarak birçok sinirlamayi da beraberinde getirdiginden bu yönteni ile bagimsiz kontrol edilebilir' bölgelerin sayisi fiziki ve teknik sebeplerden ötürü fazla sayida arttirilamamaktadir ve bu da olusturulabilecek bölge sayisini sinirlandirmaktadir. Bu sebeple mevcut yapilar ve yöntemlerde yüzeyde istenilen sayida birbirinden bagimsiz elektrostatik çekim kuvveti bölgesi olusturulmasi ve bu bölgelerde istenilen kuvvette elektrostatik çekim kuvvetine dayali yapisma elde edilmesi mümkün olamamaktadir. BULUSUN AMACI Bu bulusun amaci, en az iki farkli eksende matris formuna sahip elektrot dizileri sayesinde ve istenilen sayida elektrotun aktif- pasif hale getirilerek, istenilen noktalarda veya bölgelerde ve istenilen kuvvette elektrostatik çekim kuvveti ve bu kuvvete dayali yapisma olusmasini saglamaktir. SEKILLERIN AÇIKLAMASI Sekil l.Elektrostatik çekim kuvveti olusturabilen cismin görünümü Sekil 2. Elektrostatik çekim kuvveti olusturabilen cisme diger cismin yapisma görünümü Sekil 3.Elektrot diziliminin görünümü Sekil 4.Elektrostatik çekim kuvveti bölgesi olusumunun görünümü Sekil 5.Birden fazla elektrostatik çekim kuvveti bölgesi olusumunun görünümü Sekil 6.Istenmeyen bölge olusumunun görünümü Sekil 7.Zaman kaydirma semasi SEKILLERDEKI REFERANSLAR 1.Elektrot dizisi X.X ekseni elektrot dizisi Y.Y ekseni elektrot dizisi .Yalitkan yüzey .Elektrostatik çekim kuvveti bölgesi .Istenmeyen bölge .Elektrostatik çekim kuvveti olusturabilen cisim .Kavranacak cisim v.Voltaj BULUSUN AÇIKLAMASI Bulusa konu yöntem, cisimlerde çok bölgeli kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti olusturmak ve bu sayede cisimlerin birinden bagimsiz olarak yapisma özellikleri degistirilebilir, çok bölgeli yapisma yüzeylerine sahip olmasini saglanmak için, cisimlerin yüzeyine, DC ve/ veya AC gerilimle beslenerek, kesistikleri noktalarda çekim kuvveti olusturmak üzere en az iki eksende matris dizilimi seklinde konumlanan elektrot dizileri (1) ve elektrot dizilerini (1) birbirinden ayiran yalitkan yüzey (2) uygulanmasini kapsamaktadir. Elektrot dizileri (l) elektrostatik çekim kuvveti kazandirilmak istenen yüzeye matris dizilimi seklinde konumlanmaktadir. Bu matris dizilimi sayesinde elektrostatik çekim. kuvveti olusturabilen cisim (5) yüzeyinde istenilen noktalarda ve istenilen kuvvete elektrostatikr çekimi kuvveti olusturulabilmektedir. Bunun için elektrostatik çekim kuvveti olusturabilen cisimlere (5) en az iki eksende siralanmis elektrot dizileri (l) uygulanmaktadir. Elektrot dizileri (1) birbirinden yalitkan yüzeyle (2) ayrilmaktadir. Sekillerde elektrot dizilerinde (l) bulunan elektrotlarin sekilleri örnek olarak 4verilmis olup, elektrot sekilleri ve dizilimleri olusturulmak istenilen elektrostatik çekim kuvvetine bagli olarak degisiklik gösterebilmektedir. Çekim kuvveti olusturabilen cisimlerde (5) hangi bölgelerde elektrostatik çekim kuvveti olusturulmak isteniyorsa o bölgelere denk gelen elektrot dizileri (l) DC ve/ veya AC gerilimle beslenmekte ve DC ve/ veya AC gerilimle beslenen elektrot dizilerinin (l) birbiriyle kesistigi noktalarda elektrostatik çekim kuvveti bölgesi (3) olusmaktadir. Sekil 2'de bulus olan yöntemle olusturulan elektrostatik çekim kuvveti sayesinde kavranacak cismin (6) elektrostatik çekim kuvveti olusturulan cisme (5) yapismasi gösterilmistir. Örnegin Sekil 4'de görüldügü gibi istenilen elektrot dizileri (l), yüksek gerilimle beslenerek elektrostatik çekhn kuvveti olusturulabilen cisim (5) üzerinde istenilen bölgede elektrostatik çekim kuvveti bölgesi (3) olusturulabilmektedir. Bu sayede, kavranacak cismin (6) olusturulan elektrostatik çekim kuvveti bölgesinde (3) elektrostatik çekim kuvveti olusturulabilen cisme (5) yapismasi saglanmaktadir. Bu sekilde, elektrostatik çekim kuvveti olusturabilen cisimlerin (5) üzerinde elektrostatik çekim kuvveti bölgesi (3) istenilen› sekilde genisletilip ve/ veya sayisi arttirilarak, çok bölgeli kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti olusturulmaktadir. Ayni zamanda kavranacak cisimlerin (6) de birinden bagimsiz olarak yapismasi saglanabilmektedir. Bahsedilen bu elektrostatik çekim kuvveti olusturulabilen cisim (5) robotik ve mekanik tutucular, konveyör bantlar, tekerlekler, paletler Vb. ekipmanlar olabilmektedir. Bulus olan yöntem bahsedilen bu araçlarin yüzeylerinde de kullanilarak bölgesel olarak yeri ve gücü kontrol edilebilir elektrostatik çekim. kuvvetine bagli yapisma özelligine sahip olabilmeleri saglanmaktadir. Bulus olan elektrostatik çekim kuvveti olusturulmasi ve bu çekim kuvveti yardimi ile yapisma saglanmasi yöntemi asagidaki islem adimlarini kapsamaktadir; - elektrostatik çekim kuvveti olusturulabilen cisim (5) için olusturulacak çekim kuvveti bölgesinin (3) yerinin, sayisinin ve çekim kuvvetinin belirlenmesi, - belirlenen elektrostatik çekim kuvveti bölgesine (3) uygun elektrot matrisini olusturacak sekilde en az iki farkli eksende elektrot dizilerinin (l) elektrostatik çekim kuvveti olusturulabilen cisme (5) uygulanmasi, - elektrostatik çekim kuvveti olusturulabilen cisme (5) farkli eksenlerdeki elektrot dizilerinin (l) ayrilacagi sekilde yalitkan yüzey (2) uygulanmasi, - belirlenen elektrostatik çekim kuvveti bölgesine (3) denk düsen elektrot dizilerinin (l) yüksek DC ve/ veya AC gerilimle beslenmesi, - yüksek DC ve/ veya AC gerilimle beslenen elektrot dizilerinin (1) birbiriyle kesistigi noktalarda elektrostatik çekim kuvveti olusturmasi, Bulus olan elektrostatik çekim kuvveti olusturulmasi ve bu çekim kuvveti yardimi ile yapisma saglanmasi yöntemi, elektrostatik çekim› kuvveti olusturulabilen cismin (5) dis yapisina uygun elastomer kaplama uygulamasini da kapsayabilmektedir. Bu sayede elektrostatik çekim kuvveti olusturulabilen cisim (5) kavranacak cismin (6) formuna göre sekil alip, onu sararak, sekil tabanli tutma özelligine de sahip olabilmektedir. Elastomer kaplama uygulamasi ayni zamanda elektrostatik çekini kuvveti olusturulabilen cisme (5) daha fazla yüzey alani olusturulmasini saglamaktadir. Bulusumuza ait bir örnekte X eksenine X ekseni elektrot dizisi (X) ve Y eksenine Y ekseni elektrot dizisi (Y) uygulanmistir. Çekim kuvveti olusturabilen cisimlere (5) Sekil 5'te görüldügü gibi X ekseni elektrot dizisi (X), X1, X2, X3m Xn'e kadar ve Y ekseni elektrot dizisi (Y), Yl, Y2, YB". Yn'e kadar uygulanabilmektedir. Elektrostatik çekim kuvveti olusturulabilen cisim (5) üzerinde istenilen yerde elektrostatik çekim kuvveti bölgesi (3) olusturulmasi için X ekseni elektrot dizilerinden. (X) ve Y ekseni elektrot dizilerinden (Y) belirlenenler, yüksek DC ve/ veya AC gerilimle beslenmektedir. Sekil 5'te X1, Yl ve Y4 elektrot dizilerinin (l) yüksek DC ve/ veya AC gerilimle beslenmesi sonucu X1- Yl elektrot dizisinin kesistigi bölgede ve X1- Y4 elektrot dizisinin kesistigi bölgede olusturulmus iki elektrostatik çekini kuvveti bölgesi (3) gösterilmistir. Yöntem sayesinde olusturulan birden fazla sayida elektrostatik çekim kuvveti bölgesi (3) sayesinde, birden fazla sayida kavranacak cisimlerin (6) birinden bagimsiz olarak elektrostatik çekim kuvveti olusturulabilen cisme (5) yapismasi saglanabilmektedir. Ancak bu durumda istenmeyen bölgeler (4) olusabilmektedir. Bahsedilen istenmeyen bölgenin (4) olusmasi engellemek için bulus olan yöntemin kapsadigi zaman kaydirma yöntemi uygulanabilmektedir. Yüksek frekansli olarak gerçeklestirilecek olan zaman kaydirma yönteminde istenmeyen bölgeye (4) denk düsen elektrotlarin ayni anda aktif olmasi zaman kaydirma yapilarak önlenerek istenmeyen bölge (4) olusumu engellenebilmektedir. Sekil 6'da görülen Xl- Yl ve X5- YZ elektrot dizilerinin aktif oldugu anlarda olusan istenmeyen. bölgelerin (4) bahsedilen zaman kaydirma yöntemiyle olusmasi engellenebilmektedir. Zaman kaydirma yöntemi Sekil 7'de gösterilmistir. Bulus olan yöntem ile elektrostatik çekim kuvvetine bagli yapisma özelligine sahip araçlara çok bölgeli kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti bölgesi (3) özelligi kazandirilmaktadir. Bu özellik sayesinde bu araçlarin birbirinden bagimsiz olarak yapisma özellikleri degistirilebilir, çok bölgeli yapisma yüzeylerine sahip olmasi saglanmaktadir. TR TR

Claims (1)

ISTEMLER
1. Bulus, elektrostatik çekim› kuvveti olusturulmasi ve bu çekim kuvveti yardimi ile yapisma saglanmasi yöntemi olup, özelligi; cisimlerde çok bölgeli kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti olusturmak ve bu sayede cisimlerin. birinden bagimsiz olarak yapisma özellikleri degistirilebilir, çok bölgeli yapisma. yüzeylerine sahip olmasini saglanmak için, cisimlerin yüzeyine, DC ve/ veya AC gerilimle beslenerek, kesistikleri noktalarda çekim kuvveti olusturmak üzere en az iki eksende matris dizilimi seklinde konumlanan. elektrot dizileri (1) ve elektrot dizilerini (1) birbirinden ayiran yalitkan yüzey (2) uygulanmasini kapsamasidir. .Istem l'e uygun elektrostatik çekim kuvveti olusturulmasi ve bu çekim kuvveti yardimi ile yapisma saglanmasi yöntemi asagidaki islem adimlarini kapsamaktadir; elektrostatik çekim kuvveti olusturulabilen cisim (5) için olusturulacak çekim kuvveti bölgesinin (3) yerinin, sayisinin ve çekim kuvvetinin belirlenmesi, belirlenen elektrostatik çekim kuvveti bölgesine (3) uygun elektrot matrisini olusturacak sekilde en az iki farkli eksende elektrot dizilerinin (l) elektrostatik çekim kuvveti olusturulabilen cisme (5) uygulanmasi, elektrostatik çekim kuvveti olusturulabilen cisme (5) farkli eksenlerdeki elektrot dizilerinin (l) ayrilacagi sekilde yalitkan yüzey (2) uygulanmasi, belirlenen elektrostatik çekim kuvveti bölgesine (3) denk düsen elektrot dizilerinin (l) yüksek DC ve/ veya AC gerilimle beslenmesi, yüksek DC ve/ veya AC gerilimle beslenen elektrot dizilerinin (1) birbiriyle kesistigi noktalarda elektrostatik çekim kuvveti olusturmasi, .Istem l'e uygun elektrostatik çekim kuvveti olusturulmasi ve bu çekim kuvveti yardimi ile yapisma saglanmasi yöntemi olup, özelligi; elektrostatik Çekim kuvveti bölgesi olusturulan cisme (5), yapisma sirasinda kavranacak cismin (6) sekline uyum saglayip, sararak, sekil tabanli tutma özelligi ve ayni zamanda daha fazla yüzey alani olusturulmasini saglamak için elektrostatik çekim kuvveti bölgesi olusturulan cismin (5) dis yapisina uygun elastomer kaplama uygulamasini kapsamaktadir. .Istem l'e uygun elektrostatik çekim kuvveti olusturulmasi ve bu çekim kuvveti yardimi ile yapisma saglanmasi yöntemi olup, özelligi; istenmeyen bölgeye (4) denk düsen elektrotlarin ayni anda aktif olmasini önlemek için yüksek frekansli zaman kaydirma yöntemi uygulanarak istenmeyen bölge (4) olusumunu. engelleyen zaman kaydirma yöntemini kapsamasidir.
TR2019/05624A 2019-04-16 2019-04-16 İki cisim arasında kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti oluşturulması ve bu çekim kuvveti yardımı ile yapışma sağlanması yöntemi. TR201905624A2 (tr)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TR2019/05624A TR201905624A2 (tr) 2019-04-16 2019-04-16 İki cisim arasında kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti oluşturulması ve bu çekim kuvveti yardımı ile yapışma sağlanması yöntemi.
EP20791262.7A EP3782277A4 (en) 2019-04-16 2020-04-10 PROCESS FOR GENERATING A CONTROLLABLE ELECTROSTATIC PULLING FORCE BETWEEN TWO OBJECTS AND OBTAINING ADHESION TO THIS PTRACTION FORCE
PCT/TR2020/050305 WO2020214120A1 (en) 2019-04-16 2020-04-10 Method of generating a controllable electrostatic attraction force between two objects and providing adhesion with this attraction force
JP2020565755A JP2022529090A (ja) 2019-04-16 2020-04-10 制御可能な静電引力を生成し、この引力により付着を発生させる方法
US17/055,136 US11381179B2 (en) 2019-04-16 2020-04-10 Method of generating a controllable electrostatic attraction force between two objects and providing adhesion with this attraction force
CN202080003053.2A CN112204871A (zh) 2019-04-16 2020-04-10 在两个物体之间产生可控静电吸引力并利用这种吸引力提供附着的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TR2019/05624A TR201905624A2 (tr) 2019-04-16 2019-04-16 İki cisim arasında kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti oluşturulması ve bu çekim kuvveti yardımı ile yapışma sağlanması yöntemi.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TR201905624A2 true TR201905624A2 (tr) 2019-07-22

Family

ID=67900986

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TR2019/05624A TR201905624A2 (tr) 2019-04-16 2019-04-16 İki cisim arasında kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti oluşturulması ve bu çekim kuvveti yardımı ile yapışma sağlanması yöntemi.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11381179B2 (tr)
EP (1) EP3782277A4 (tr)
JP (1) JP2022529090A (tr)
CN (1) CN112204871A (tr)
TR (1) TR201905624A2 (tr)
WO (1) WO2020214120A1 (tr)

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4400955C2 (de) 1993-12-23 1999-04-01 Fraunhofer Ges Forschung Adhäsionssteuerbare Oberflächenstruktur
US7551419B2 (en) 2006-06-05 2009-06-23 Sri International Electroadhesion
US7554787B2 (en) 2006-06-05 2009-06-30 Sri International Wall crawling devices
CN102473669B (zh) * 2009-06-30 2015-07-15 Asml控股股份有限公司 图像补偿可寻址的静电卡盘系统
US8861171B2 (en) 2010-02-10 2014-10-14 Sri International Electroadhesive handling and manipulation
US8325458B2 (en) 2010-02-10 2012-12-04 Sri International Electroadhesive gripping
JP5740939B2 (ja) * 2010-11-29 2015-07-01 住友電気工業株式会社 半導体装置の製造方法
US8982531B2 (en) 2011-10-19 2015-03-17 Sri International Additional force augmented electroadhesion
US9486814B2 (en) 2012-05-02 2016-11-08 Sri International Handling and sorting materials using electroadhesion
DE102012215513A1 (de) * 2012-08-31 2014-03-06 J. Schmalz Gmbh Greifvorrichtung
EP2908988B8 (en) * 2012-10-12 2018-01-17 SRI International Conformable electroadhesive gripping system
KR20160058917A (ko) * 2013-09-20 2016-05-25 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 통합된 정전 척을 갖는 기판 캐리어
WO2015094375A1 (en) 2013-12-20 2015-06-25 Grabit, Inc. Modular electroadhesive gripping system
US9929680B2 (en) 2014-08-19 2018-03-27 GM Global Technology Operations LLC Conformable electroadhesive holding device
US10042424B2 (en) 2016-03-17 2018-08-07 Immersion Corporation Electrostatic adhesive based haptic output device
DE102016206193A1 (de) 2016-04-13 2017-10-19 Trumpf Gmbh + Co. Kg Elektroadhäsionsgreifer mit fraktalen Elektroden

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020214120A1 (en) 2020-10-22
US20210226562A1 (en) 2021-07-22
EP3782277A1 (en) 2021-02-24
EP3782277A4 (en) 2021-12-22
US11381179B2 (en) 2022-07-05
JP2022529090A (ja) 2022-06-17
CN112204871A (zh) 2021-01-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Tellez et al. Characterization of electro-adhesives for robotic applications
Cao et al. Theoretical model and design of electroadhesive pad with interdigitated electrodes
US8992183B2 (en) System and methods for moving objects individually and in parallel
JP6640380B2 (ja) ケーブル類保護装置用多重スリーブ及びこれを含むケーブル類保護装置
DE102012207321A1 (de) Transportvorrichtung mit verbesserten Hafteigenschaften
JP2013523074A (ja) 静電付着及び静電積層のための材料
TR201905624A2 (tr) İki cisim arasında kontrol edilebilir elektrostatik çekim kuvveti oluşturulması ve bu çekim kuvveti yardımı ile yapışma sağlanması yöntemi.
WO2017199035A1 (en) Electroadhesive gripper
Nageswararao et al. Scheduling of machines and automated guided vehicles in FMS using gravitational search algorithm
WO2015107290A3 (fr) Procédé de placement et de collage de puces sur un substrat récepteur en utilisant un plot a l'aide d'une force d'attraction magnétique, électrostatique ou électromagnétique.
Louati et al. Numerical and experimental analysis of the electrostatic separation of a metal/polymer mixture based on electro-adhesive force
KR102163166B1 (ko) 전기부착성 유공압 그리퍼
US20200313577A1 (en) Methods For Parallel Electrostatic Pickup
KR101466058B1 (ko) 전기수력학적현상을 이용하는 프린팅 장치 및 그를 이용한 프린팅 방법
US11273513B2 (en) Coupling device
US9399826B2 (en) Thin film deposition apparatus and thin film deposition method using electric field
WO2020159603A3 (en) System and method for generating forces using asymmetrical electrostatic pressure
JP2016032780A (ja) エレクトロスプレー装置
KR20060065714A (ko) 반도체 웨이퍼를 정전 척에 클램핑
Louati et al. Study of the electrostatic separation of a metal/polymer mixture based on electro-adhesive force
EP4031948B1 (en) A method and a device for picking and placing items
KR101369470B1 (ko) 전기수력학적현상을 이용하는 프린팅 장치 및 그를 이용한 프린팅 방법
KR20070099588A (ko) 전기 절연성 시트의 제전 장치, 제전 방법 및 제조 방법
Saravia et al. Highly compliant active clinging mechanism
US10473571B2 (en) Test piece for tensile testing and tensile testing method