TH81603A

TH81603A - เครื่องยึดติดและวิธีการยึดติด

Info

Publication number: TH81603A
Application number: TH501005018A
Authority: TH
Inventors: โคบายาชิ นายเคนจิ; โยชิโอกะ นายทากาฮิซะ; ทสึจิโมโตะ นายมาซากิ
Original assignee: นางวรนุช เปเรร่า; นางสาวจุรีรัตน์ ตระการศรีสกุล; นางสาววิภา ชื่นใจพาณิชย์; นายธเนศ เปเรร่า; ลินเทค คอร์ปอเรชั่น
Filing date: 2005-10-26
Publication date: 2006-11-30

Abstract

DC60 เครื่องยึดติด 10 รวมถึงแท่นยึดติด 11 ที่รองรับแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ W และ หน่วยยึดติด 12 ที่ยึดติดแผ่นสารยึดติดชนิดไวต่อความร้อน S เข้ากับแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ W หน่วยยึดติด 12 รวมถึงส่วนลอก ซึ่งเมื่อทำการจ่ายแผ่นวัตถุดิบ L ที่มีแผ่นสารยึดติด S ที่ถูก ประกบเข้ากับผิวหน้าด้านหนึ่งของชั้นบุรองปลดออก PS จะลอกชั้นบุรองปลดออก PS และแผ่น สารยึดติด S และหน่วยลอกแผ่นขั้นต้น 40 ที่ถูกจัดไว้ที่ด้านต้นทางของส่วนลอกในทิศทางจ่าย ออกของแผ่นวัตถุดิบ หน่วยลอกแผ่นขั้นต้น 40 รวมถึงชิ้นส่วนเคลื่อนที่ 50 ซึ่งสามารถเคลื่อนที่ เข้าหาและออกจากในสถานะที่จะถูกกัดระหว่างชั้นบุรองปลดออก PS และแผ่นสารยึดติด S ชั้น บุรองปลดออกที่ถูกลอกออกขั้นตอน PS และแผ่นสารยึดติด S ถูกยึดใหม่แบบชั่วคราวโดยหน่วยยึด ใหม่แบบชั่วคราว 41 ซึ่งทำให้ยึดติดแผ่นสารยึดติด S บนแผ่นเวเฟอร์ W เครื่องยึดติด 10 รวมถึงแท่นยึดติด 11 ที่รองรับแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ W และ หน่วยยึดติด 12 ที่ยึดติดแผ่นสารยึดติดชนิดไวต่อความร้อน S เข้ากับแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ W หน่วยยึดติด 12 รวมถึงส่วนลอก ซึ่งเมื่อทำการจ่ายแผ่นวัตถุดิบ L ที่มีแผ่นสารยึดติด S ที่ถูก ประกบเข้ากับผิวหน้าด้านหนึ่งของชั้นบุรองปลดออก PS จะลอกชั้นบุรองปลดออก PS และแผ่น สารยึดติด S และหน่วยลอกแผ่นขั้นต้น 40 ที่ถูกจัดไว้ที่ด้านต้นทางของส่วนลอกในทิศทางจ่าย ออกของแผ่นวัตถุดิบ หน่วยลอกแผ่นขั้นต้น 40 รวมถึงชิ้นส่วนเคลื่อนที่ 50 ซึ่งสามารถเคลื่อนที่ เข้าหาและออกจากในสถานะที่จะถูกกัดระหว่างชั้นบุรองปลดออก PS และแผ่นสารยึดติด S ชั้น บุรองปลดออกที่ถูกลอกออกขั้นตอน PS และแผ่นสารยึดติด S ถูกยึดใหม่แบบชั่วคราวโดยหน่วยยึด ใหม่แบบชั่วคราว 41 ซึ่งทำให้ยึดติดแผ่นสารยึดติด S บนแผ่นเวเฟอร์ W

Claims

1. เครื่องยึดติดประกอบด้วย แท่นยึดติดที่รองรับชิ้นส่วนคล้ายแผ่น และ หน่วยยึดติดซึ่งยึดติดแผ่นสารยึดติดเข้ากับชิ้นส่วนคล้ายแผ่นดังกล่าว ที่ซึ่ง หน่วยยึดติดดังกล่าวรวมถึงส่วนลอก ซึ่งในระหว่างการจ่ายแผ่นวัตถุดิบที่ซึ่งแผ่น สารยึดติดวัตถุถูกประกบแบบชั่วคราวเข้ากับผิวหน้าด้านหนึ่งของชั้นบุรองปลดออก จะลองชั้นบุรอง ปลดออกเละแผ่นสารยึดติดออก และส่วนหน่วยลอกขั้นต้นซึ่งถูกจัดไว้ที่ด้านต้นทางของส่วนลอกใน ทิศทางจ่ายออกของแผ่นวัตถุดิบ

2. เครื่องยึดติดประกอบด้วย แท่นยึดติดที่รองรับชิ้นส่วนคล้ายแผ่น และ หน่วยยึดติดซึ่งยึดติดแผ่นสารยึดติดเข้ากับชิ้นส่วนคล้ายแผ่นดังกล่าว ที่ซึ่ง หน่วยยึดติดดังกล่าวรวมถึงหน่วยลอกขั้นต้น ซึ่งในระหว่างการจ่ายออกแผ่นวัตถุดิบ ที่ซึ่งแผ่นสารยึดติดถูกยึดแบบชั่วคราวเข้ากับผิวหน้าด้านหนึ่งของชั้นบุรองปลดออก จะลอกแผ่น สารยึดติดออกจากชั้นบุรองปลดออกดังกล่าว หน่วยยึดใหม่แบบชั่วคราวซึ่งยึดแผ่นสารยึดติดที่ ถูกลอกออกขั้นต้นใหม่แบบชั่วคราวเข้ากับชั้นบุรองปลดออกดังกล่าว และลูกกลิ้งกดซึ่งกดแผ่น สารยึดติดเข้ากับชิ้นส่วนคล้ายแผ่นดังกล่าว และ ชั้นบุรองปลดออกดังกล่าวถูกกดโดยลูกกลิ้งกดในสถานะที่ว่าแผ่นสารยึดติดที่ถูกยึด ใหม่แบบชั่วคราวถูกหันไปยังผิวหน้าของชิ้นส่วนคล้ายแผ่นดังกล่าว ดังนั้น จะยึดติดแผ่นสารยึด ติดดังกล่าวบนชิ้นส่วนคล้ายแผ่น

3. เครื่องยึดติดตามข้อถือสิทธิข้อ 1 หรือ 2 ที่ซึ่ง ชิ้นส่วนคล้ายแผ่นดังกล่าวเป็นแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ และแผ่นสารยึดติดดังกล่าว เป็นแผ่นสารยึดติดชนิดไวต่อความร้อนสำหรับการยึดด้วยดาย

4. เครื่องยึดติดตามข้อถือสิทธิข้อ 1 หรือ 2 ที่ซึ่ง ชิ้นส่วนคล้ายแผ่นดังกล่าวเป็นแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ และแผ่นสารยึดติดดังกล่าว เป็นแผ่นป้องกันซึ่งถูกยึดติดเพื่อก่อรูปฟิล์มป้องกัน

5. เครื่องยึดติดตามข้อถือสิทธิข้อ 1 หรือ 2 ที่ซึ่ง หน่วยลอกขั้นต้นดังกล่าวรวมถึงชิ้นส่วนเคลื่อนที่ซึ่งสามารถเคลื่อนที่ในทิศทางจ่าย ออกของแผ่นวัตถุดิบ และชิ้นส่วนเคลื่อนที่จะเคลื่อนที่ในสถานะที่จะถูกกัดระหว่างชั้นบุรองปลด ออกและแผ่นสารยึดติด

6. เครื่องยึดติดตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ซึ่ง ชิ้นส่วนเคลื่อนที่ดังกล่าวประกอบด้วยชิ้นซึ่งถูกจัดไว้ด้วยระนาบตามทิศทางจ่ายออก ดังกล่าวหรือชิ้นส่วนรูปลูกกลิ้ง

7. วิธีการยึดติดที่ซึ่งแผ่นวัตถุดิบที่มีแผ่นสารยึดติดที่ถูกยึดแบบชั่วคราวเข้ากับผิว หน้าด้านหนึ่งของชั้นบุรองปลดออกถูกจ่ายออกเพื่อยึดติดแผ่นสารยึดติดดังกล่าวบนชิ้นส่วนคล้าย แผ่น ประกอบด้วยขั้นตอน การลอกแผ่นสารยึดติดออกขั้นต้นจากชั้นบุรองปลดออกดังกล่าวในระหว่างการจ่าย แผ่นวัตถุดิบดังกล่าวออก และจากนั้น การยึดติดแผ่นสารยึดติดดังกล่าวเข้ากับชิ้นส่วนคล้ายแผ่นโดยการกดแผ่นสารยึดติด เข้ากับชิ้นส่วนคล้ายแผ่นในสถานะที่ว่าแผ่นสารยึดติดดังกล่าวถูกหันไปยังชิ้นส่วนคล้ายแผ่น ดังกล่าว

8. วิธีการยึดติดที่ซึ่งแผ่นวัตถุที่มีแผ่นสารยึดติดที่ถูกยึดแบบชั่วคราวเข้ากับผิว หน้าด้านหนึ่งของชั้นบุรองปลดออกถูกจ่ายออกเพื่อยึดติดแผ่นสารยึดติดดังกล่าวเข้ากับชิ้นส่วน คล้ายแผ่น ประกอบด้วยขั้นตอน การลอกแผ่นสารยึดติดออกขั้นต้นจากชั้นบุรองปลดออกดังกล่าวในระหว่างการจ่าย แผ่นวัตถุดิบดังกล่าวออก และจากนั้น การยึดแผ่นสารยึดติดดังกล่าวที่ถูกลอกออกขั้นต้นใหม่แบบชั่วคราวเข้ากับชั้นบุรอง ปลดออกดังกล่าว การยึดติดแผ่นสารยึดติดดังกล่าวเข้ากับชิ้นส่วนคล้ายแผ่นโดยการกดชั้นบุรองปลด ออกดังกล่าวในสถานะที่ว่าแผ่นสารยึดติดที่ถูกยึดใหม่แบบชั่วคราวดังกล่าวถูกหันไปยังชิ้นส่วน คล้ายแผ่นดังกล่าว

9. วิธีการยึดติดตามข้อถือสิทธิข้อ 7 และ 8 หรือข้อถือสิทธิข้อ 7 หรือ 8 ที่ซึ่ง แผ่นสารยึดติดดังกล่าวเป็นแผ่นสารยึดติดชนิดไวต่อความร้อน

10. วิธีการยึดติดตามข้อถือสิทธิข้อ 7 หรือ 8 ที่ซึ่ง แผ่นสารยึดติดดังกล่าวเป็นแผ่นป้องกันซึ่งถูกยึดติดเพื่อก่อรูปฟิล์มป้องกัน

11. วิธีการยึดติดตามข้อถือสิทธิข้อ 7 หรือ 8 ที่ซึ่ง ชิ้นส่วนคล้ายแผ่นดังกล่าวเป็นแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ

12. วิธีการยึดติดตามข้อถือสิทธิข้อ 7 หรือ 8 ที่ซึ่ง ชิ้นส่วนคล้ายแผ่นดังกล่าวเป็นแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำซึ่งถูกขัดที่ด้านหลัง

13. วิธีการยึดติดตามข้อถือสิทธิข้อ 8 ที่ซึ่ง ขั้นตอนการยึดใหม่แบบชั่วคราวดังกล่าวถูกดำเนินการโดยการจ่ายความร้อนหรือไฟ ฟ้าสถิต