TH76442B - ระบบระบายความร้อนส่วนกลางแบบปิดของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย - Google Patents
ระบบระบายความร้อนส่วนกลางแบบปิดของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยInfo
- Publication number
- TH76442B TH76442B TH601001234A TH0601001234A TH76442B TH 76442 B TH76442 B TH 76442B TH 601001234 A TH601001234 A TH 601001234A TH 0601001234 A TH0601001234 A TH 0601001234A TH 76442 B TH76442 B TH 76442B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- coolant
- tank
- cooling
- saw
- filter
- Prior art date
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract 24
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract 55
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims abstract 29
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract 24
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract 20
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract 13
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract 8
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims abstract 7
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract 7
- 238000004064 recycling Methods 0.000 claims abstract 4
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims 8
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 8
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims 6
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 abstract 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 abstract 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 abstract 1
- 230000003134 recirculating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 1
Abstract
------20/12/2560------(OCR) หน้า 1 ของจำนวน 1 หน้า บทสรุปการประดิษฐ์ ระบบระบายความร้อนอย่างน้อยหนึ่งเลื่อยสำหรับการแบ่งแยกตัวที่ใช้เพื่อแบ่งแยกตัว ส่วนประกอบจากซับสเตรท ระบบนี่ประกอบรวมด้วยวงรอบสารให้ความเย็นที่มีส่วนประกอบส่งสารให้ ความเย็นหนึ่งส่วนหรอมากกว่า, ส่วนประกอบรวบรวมสารให้ความเย็น, ถังนำกลับมาใช้ใหม่หนึ่งถังหรือ มากกว่าสำหรับอนุภาคปนเปื้อนในการตกตะกอนจากสารให้ความเย็นที่ถูกเก็บ ถังผสมซึ่งถูกจัดโครงแบบ ไว้หลังถังนำกลับมาใช้ใหม่ภายในวงรอบเพื่อผลิตและเปลี่ยนแทนที่สารให้ความเย็นที่สูญเสียไป, และ ส่วนประกอบระบายความร้อนเพื่อระบายความร้อนสารให้ความเย็น ระปบนี้สามารถรวมถึงตัวกรองภายใน วงรอบเพื่อกำจัดอนุภาคที่ไม่ถูกกำจัดโดยถังตกตะกอนได้ด้วย นอกจากนี้ระบบนี้สามารถถูกจัดโครงแบบ ให้มีถังพักเก็บซึ่งถูกจัดโครงแบบเพื่อป้องกันฟองใดๆ ไม่ให้เข้าไปในส่วนประกอบส่งสารให้ความเย็น ------------ ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยที่ ประกอบด้วยถังบรรจุน้ำยาระบายความร้อน ถังผสมน้ำยาระบายความร้อน ระบบกรองความสะอาด สำหรับกรองน้ำยาระบายความร้อนที่ยังไม่ได้ใช้ รวมถึงน้ำยาระบายความร้อนที่หมุนเวียนมาใช้ ใหม่ ระบบควบคุมอุณหภูมิ ระบบกรองความสะอาดสำหรับกรองน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้ว ก่อนที่น้ำยาระบายความร้อนดังกล่าวจะถูกหมุนเวียนกลับไปใช้ใหม่ โดยที่ระบบดังกล่าวเชื่อมต่อ กันด้วยท่อนำน้ายาระบายความร้อนที่มีแรงดันเพื่อนำน้ำยาระบายความร้อนไปทำหน้าที่หล่อลื่น และหล่อเย็นที่เครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย โดยเป็นระบบระบายความร้อน สำหรับเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยแบบส่วนกลางแบบปิดสามารถเชื่อมต่อกับ เครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยเพื่อนำน้ำยาระบายความร้อนไปหล่อลื่นและ หล่อเย็นที่เครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยได้หลายๆ ตัว
Claims (9)
1. ระบบระบายความร้อนอย่างน้อยหนึ่งกระบวนการแบบแบ่งแยกตัวที่ประกอบรวมด้วย: วงรอบของสารให้ความเย็นที่หนึ่งที่ประกอบด้วย: ตัวเลื่อยสำหรับอุปกรณ์สารนึ่งตัวนำที่แบ่งแยกตัว วิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็นอย่างน้อยหนึ่งวิถีทางที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อส่งมอบสาร ให้ความเย็นไปยังตัวเลื่อย วิถีทางรวบรวมสารให้ความเย็นที่ถูกจัดตำแหน่งไว้ข้างใต้ตัวเลื่อยที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อ จับยึดสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ สารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ที่ประกอบรวมด้วย อนุภาคที่เป็นผลจากการแบ่งแยกตัวของสารนึ่งตัวนำ ถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังที่ถูกจัดตำแหน่งไว้ปลายทางของตัวเลื่อยและถูก เชื่อมต่อกับวิถีทางรวบรวมสารให้ความเย็นจนกระทั่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะรับสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมา ใช้ใหม่กับอนุภาคต่างๆ ที่ซึ่งถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังถูกทำเป็นโครงร่างที่ทำให้อนุภาควางลง แบบเคลื่อนเข้าไปยังส่วนก้นของถังนำกลับมาใช้ใหม่จนกระทั่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะวางอนุภาคออกจากสาร ให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ ถังผสมที่ถูกทำเป็นโครงร่างที่ปลายทางของถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังเพื่อรับ สารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่โดยปราศจากอนุภาคที่ถูกวางไว้ วิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็น และ วงรอบทางผ่านที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็นและเข้ากับวิถีทางควบ คุมอุณหภูมิสารให้ความเย็น วงรอบทางผ่านที่ประกอบรวมด้วยอย่างน้อยส่วนไหลทางผ่านซึ่งจะทำให้สารให้ ความเย็นย้อนกลับไปยังวิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็นโดยปราศจากที่จะถูกรวบรวมไว้โดยวิถีทางรวบ รวมสารให้ความเย็น, ถังนำกลับมาใช้ใหม่และถังผสมอย่างน้อยหนึ่งถัง
2. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของตัวกรองแบบแถวชั้นที่ถูก ทำเป็นโครงร่างไว้ที่ต้นทางของถังผสมและถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อเอาอนุภาคขนาดใหญ่ในสารให้ความเย็นออก หน้า 2 ของจำนวน 3 หน้า
3. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของตัวกรองละเอียดที่ถูกทำ เป็นโครงร่างที่ปลายทางของถังผสมและถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อเอาอนุภาคสารให้ความเย็นขนาดเล็กกว่าออก จากตัวกรองแบบแถวชั้น
4. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 3 ที่ซึ่งตัวกรองแบบแถวชั้นถูกประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของ ชิ้นประกอบตัวกรองแบบแถวชั้นที่ถูกทำเป็นโครงร่างขนานกัน ที่ซึ่งตัวกรองละเอียดถูกประกอบรวมด้วย จำนวนหนึ่งของชิ้นประกอบตัวกรองละเอียดที่ถูกทำเป็นโครงร่างขนานกัน และที่ซึ่งชิ้นประกอบตัวกรองแบบ แถวชั้นและชิ้นประกอบตัวกรองละเอียดอย่างน้อยหนึ่งชิ้นประกอบจะถูกแลกเปลี่ยนในระหว่างการทำงานของ วงรอบของสารให้ความเย็นที่หนึ่ง
5. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 3 ที่ซึ่งตัวกรองแบบแถวชั้นจะเอาอนุภาค 50-100 ไมครอนที่มี ขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางใหญ่ที่สุดออกและตัวกรองละเอียดจะเอาอนุภาคระหว่าง 10-25ไมครอนที่มีขนาดใหญ่ ที่สุดออก
6. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยถังพักเก็บภายในวงรอบของสารให้ความ เย็นที่หนึ่งที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อป้องกันฟองอากาศจากที่ได้รับไปยังวิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็น
7. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งถังผสมจะประกอบรวมด้วย: ทางเข้าแหล่งจ่ายนํ้าที่ถูกดีไอออนไนซ์ที่สามารถควบคุมได้สำหรับที่จัดเตรียมนํ้าที่ถูกดีไอออน ไนซ์ ทางเข้าสารเคมีที่สามารถควบคุมได้สำหรับที่จัดเตรียมสารเคมี ตัวตรวจจับสำหรับที่ตรวจจับระดับสารให้ความเย็นในถังผสม ที่ซึ่งระบบถูกทำเป็นโครงร่าง เพื่อควบคุมอัตราส่วนของนํ้าที่ถูกดีไอออนไนซ์และสารเคมีที่ขึ้นอยู่กับระดับสารให้ความเย็น ทางเข้าสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวงรอบที่หนึ่ง ตัวผสมสำหรับที่ผสมนํ้าที่ถูกดีไอออนไนซ์, สารเคมี และสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ ใหม่ และ ทางออกสารให้ความเย็นของถังผสมที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวงรอบที่หนึ่ง
8. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็นจะรักษาอุณหภูมิไว้ ที่ 18-20 องศาเซนติเกรดที่วิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็น
9. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งปริมาตรของถังพักเก็บจะใหญ่กว่า 1000 ลิตร หน้า 3 ของจำนวน 3 หน้า 1
0. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะประกอบรวมด้วยชิ้นประกอบเอา อนุภาคออกซึ่งจะเอาอนุภาคในสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ออกจากถังนำกลับมาใช้ใหม่ ------------ แก้ไข 30/09/2558
1. ระบบระบายความร้อนอย่างน้อยหนึ่งกระบวนการแบบแบ่งแยกตัวประกอบรวมด้วย: วงรอบของสารให้ความเย็นที่หนึ่งที่ประกอบด้วย: ตัวเลื่อยสำหรับอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำที่แบ่งแยกตัว วิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็นอย่างน้อยหนึ่งวิถีทางที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อส่งมอบสาร ให้ความเย็นไปยังตัวเลื่อย วิถีทางรวบรวมสารให้ความเย็นที่ถูกจัดตำแหน่งไว้ข้างใต้ตัวเลื่อยที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อ จับยึดสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ สารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ที่ประกอบรวมด้วย อนุภาคที่เป็นผลจากการแบ่งแยกตัวของสารกึ่งตัวนำ ถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังที่ถูกจัดตำแหน่งไว้ปลายทางของตัวเลื่อยและถูก เชื่อมต่อกับวิถีทางรวบรวมสารให้ความเย็นจนกระทั่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะรับสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมา ใช้ใหม่กับอนุภาคต่างๆ ที่ซึ่งถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังถูกทำเป็นโครงร่างที่ทำให้อนุภาควางลง แบบเคลื่อนเข้าไปยังส่วนก้นของถังนำกลับมาใช้ใหม่จนกระทั่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะวางอนุภาคออกจากสาร ให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ ถังผสมที่ถูกทำเป็นโครงร่างที่ปลายทางของถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังเพื่อรับ สารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่โดยปราศจากอนุภาคที่ถูกวางไว้ วิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็น และ วงรอบทางผ่านที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็นและเข้ากับวิถีทางควบ คุมอุณหภูมิสารให้ความเย็น วงรอบทางผ่านที่ประกอบรวมด้วยอย่างน้อยส่วนไหลทางผ่านซึ่งจะทำให้สารให้ ความเย็นย้อนกลับไปยังวิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็นโดยปราศจากที่จะถูกรวบรวมไว้โดยวิถีทางรวบ รวมสารให้ความเย็น, ถังนำกลับมาใช้ใหม่และถังผสมอย่างน้อยหนึ่งถัง
2. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของตัวกรองแบบแถวชั้นที่ถูก ทำเป็นโครงร่างไว้ที่ต้นทางของถังผสมและถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อเอานุภาคขนาดใหญ่ในสารให้ความเย็นออก
3. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของตัวกรองละเอียดที่ถูกทำ เป็นโครงร่างที่ปลายทางของถังผสมและถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อเอานุภาคสารให้ความเย็นขนาดเล็กกว่าออก จากตัวกรองแบบแถวชั้น
4. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 3 ที่ซึ่งตัวกรองแบบแถวชั้นถูกประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของ ชิ้นประกอบตัวกรองแบบแถวชั้นที่ถูกทำเป็นโครงร่างขนานกัน ที่ซึ่งตัวกรองละเอียดถูกประกอบรวมด้วย จำนวนหนึ่งของชิ้นประกอบตัวกรองละเอียดที่ถูกทำเป็นโครงร่างขนานกัน และที่ซึ่งชิ้นประกอบตัวกรองแบบ แถวชั้นและชิ้นประกอบตัวกรองละเอียดอย่างน้อยหนึ่งชิ้นประกอบจะถูกแลกเปลี่ยนในระหว่างการทำงานของ วงรอบของสารให้ความเย็นที่หนึ่ง
5. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 3 ที่ซึ่งตัวกรองแบบแถวชั้นจะเอาอนุภาค 50-100 ไมครอนที่มี ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่ที่สุดออกและตัวกรองละเอียดจะเอาอนุภาคระหว่าง 10-25ไมครอนที่มีขนาดใหญ่ ที่สุดออก
6. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยถังพักเก็บภายในวงรอบของสารให้ความ เย็นที่หนึ่งที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อป้องกันฟองอากาศจากที่ได้รับไปยังวิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็น
7. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งถังผสมจะประกอบรวมด้วย: ทางเข้าแหล่งจ่ายน้ำที่ถูกดีไอออนไนซ์ที่สามารถควบคุมได้สำหรับที่จัดเตรียมน้ำที่ถูกดีไอออน ไนซ์ ทางเข้าสารเคมีที่สามารถควบคุมได้สำหรับที่จัดเตรียมสารเคมี ตัวตรวจจับสำหรับที่ตรวจจับระดับสารให้ความเย็นในถังผสม ที่ซึ่งระบบถูกทำให้เป็นโครงร่าง เพื่อควบคุมอัตราส่วนของน้ำที่ถูกดีไอออนไนซ์และสารเคมีที่ขึ้นอยู่กับระดับสารให้ความเย็น ทางเข้าสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวงรอบที่หนึ่ง ตัวผสมสำหรับที่ผสมน้ำที่ถูกดีไอออนไนซ์, สารเคมี และสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ ใหม่ และ ทางออกสารให้ความเย็นของถังผสมที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวงรอบที่หนึ่ง
8. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็นจะรับษาอุณหภูมิไว้ ที่ 18-20 องศาเซนติเกรดที่วิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็น
9. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งปริมาตรของถังพักเก็บจะใหญ่กว่า 1000 ลิตร 1 0.ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะประกอบรวมด้วยชิ้นประกอบเอา อนุภาคออกซึ่งจะเอาอนุภาคในสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ออกจากถังนำกลับมาใช้ใหม่ ---------------------------------
1. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยที่ ประกอบด้วยถังบรรจุน้ำยาระบายความร้อน ถังผสมน้ำยาระบายความร้อน ระบบกรองความสะอาด ระบบควบคุมอุณหภูมิ ที่เชื่อมต่อกันด้วยท่อนำน้ำยาระบายความร้อนที่มีแรงดันเพื่อนำน้ำยาระบาย ความร้อนไปทำหน้าที่หล่อลื่นและหล่อเย็นที่เครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ที่มี ลักษณะพิเศษคือ ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ดังกล่าวเป็นระบบระบายความร้อนสำหรับเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยแบบ ส่วนกลางแบบปิดที่ประกอบด้วย ระบบกรองความสะอาดน้ำยาระบายความร้อนที่หนึ่งสำหรับกรองน้ำยาระบาย ความร้อนที่ยังไม่ได้ใช้รวมถึงน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้วที่หมุนเวียนกลับมาใช้ใหม่ ระบบกรองความสะอาดที่สองสำหรับกรองน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้ว ถังพักน้ำยาเพื่อเก็บกักน้ำยาที่ยังไม่ได้ใช้ให้มีปริมาณเพียงพอที่นำจ่ายไปยังเครื่อง แบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย และ ถังพักเก็บน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้วเพื่อตกตะกอนน้ำยาระบายความร้อนที่ ถูกใช้แล้ว ก่อนที่ปล่อยน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้วที่ผ่านการตกตะกอนแล้วไปยังระบบกรอง ความสะอาดน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้ว โดยที่ถังบรรจุน้ำยาระบายความร้อน ถังผสมน้ำยาระบายความร้อน ระบบกรอง ความสะอาดน้ำยาระบายความร้อนที่หนึ่ง ถังพักเก็บน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้ว และระบบ กรองความสะอาดน้ำยาระบายความร้อนที่สอง เชื่อมต่อกันเป็นระบบลำเลียงน้ำยาระบายความร้อน ผ่านระบบควบคุมอุณหภูมิและเชื่อมต่อกับเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยเพื่อนำ น้ำยาระบายความร้อนไปหล่อลื่นและหล่อเย็นที่เครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยได้ หลายๆตัว
2. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ระบบกรองความสะอาดที่หนึ่งดังกล่าวประกอบด้วยชุดกรองความสะอาด มากกว่า1 ชุด แต่ละชุดมีความสามารถในการกรองสิ่งสกปรกที่มีอนุภาคขนาดต่างกัน
3. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 2 โดยที่ แต่ละชุดกรองของระบบกรองความสะอาดที่หนึ่งมีตัวกรองมากกว่าหนึ่ง ตัวที่ต่อกันแบบขนาน และตัวกรองของแต่ละชุดกรองที่ต่อกันแบบขนานดังกล่าวมีความสามารถ ในการกรองความสะอาดที่มีอนุภาคขนาดเท่ากัน
4. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่มีถังพักน้ำยาระบายความร้อนสำหรับพักน้ำยาระบายความร้อนที่ยังไม่ได้ใช้ งานรวมถึงน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้งานแล้วที่หมุนเวียนกลับมาใช้ใหม่
5. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่มีถังพักน้ำยาระบายความร้อนใช้แล้วสำหรับพักน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้ งานแล้วเพื่อให้ตกตะกอน โดยที่ถังน้ำยาระบายความร้อนใช้แล้วดังกล่าวมีมากกว่า 1 ถัง และแต่ ละถังเชื่อมต่อกันแบบระบบน้ำล้น
6. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่มีระบบกรองความสะอาดที่สองสำหรับกรองน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้งาน แล้วที่ผ่านการตกตะกอนแล้ว โดยที่ ระบบกรองความสะอาดที่สองดังกล่าวประกอบด้วยชุดกรอง ความสะอาดมากกว่า 1 ชุด แต่ละชุดมีความสามารถในการกรองสิ่งสกปรกที่มีอนุภาคขนาดต่างกัน
7. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 6 โดยที่ แต่ละชุดกรองของระบบกรองความสะอาดที่สองมีตัวกรองมากกว่าหนึ่ง ตัวที่ต่อกันแบบขนาน โดยที่ตัวกรองของแต่ละชุดกรองที่ต่อกันแบบขนานดังกล่าวมีความสามารถ ในการกรองความสะอาดที่มีอนุภาคขนาดเท่ากัน
8. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งข้างต้นที่มีการติดตั้งมิเตอร์วัดความดันของน้ำยาระบายความร้อน ภายในท่อนำน้ำยาระบายความร้อนเพื่อควบคุมการไหลของน้ำยาระบายความร้อนภายในระบบ
9. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งข้างต้นที่แต่ละตัวกรองของแต่ละชุดกรองของแต่ละระบบกรองความ สะอาดติดตั้งมิเตอร์วัดความดันเพื่อควบคุมความดันของระบบ และทำหน้าที่เป็นตัวบ่งสัญญาณการ เปลี่ยนไส้กรองของตัวกรองของระบบกรองความสะอาด 1
0. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งข้างต้นที่มีการติดตั้งมิเตอร์วัดความดันไว้ที่ท่อน้ำยาระบายความ ร้อนเพื่อควบคุมความดันภายในท่อน้ำยาระบายคามร้อนและควบคุมการไหลของน้ำยาระบาย ความร้อนภายในท่อน้ำยาระบายความร้อน
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH94361A TH94361A (th) | 2009-03-13 |
| TH76442B true TH76442B (th) | 2020-06-08 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5318700A (en) | Engine and radiator coolant treatment and handling, enabling coolant reuse | |
| US5167826A (en) | Engine collant recycling apparatus and process | |
| SE411021B (sv) | Sett och anordning for rening av skervetska | |
| US5858070A (en) | Apparatus for cleaning a hydraulic fluid | |
| JP4268776B2 (ja) | ガスタービン用液体燃料から夾雑アルカリ金属を除去する方法及び装置 | |
| CN107816472A (zh) | 一种液压系统清洗装置 | |
| JP2014094431A (ja) | 加工液浄化システム | |
| WO2006132289A1 (ja) | ろ過水監視装置及びろ過水監視システム | |
| TWI869423B (zh) | 廢棄液處理裝置 | |
| US6274037B1 (en) | Coolant purification system | |
| JP3149079B2 (ja) | 加工液の浄化装置 | |
| US7938029B2 (en) | Simplified oil sampling assembly | |
| US20160144296A1 (en) | Filtration system | |
| TH76442B (th) | ระบบระบายความร้อนส่วนกลางแบบปิดของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย | |
| TH94361A (th) | ระบบระบายความร้อนส่วนกลางแบบปิดของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย | |
| BG61597B1 (bg) | Устройство за филтриране на замърсени течности, по-специалнона отработено масло | |
| US20120006528A1 (en) | Method of and system for cooling a singulation process | |
| KR102021423B1 (ko) | 절삭유 재생 및 재활용 공급장치 | |
| CN107100695A (zh) | 一种旁路过滤式发动机 | |
| CN102423570A (zh) | 模块化恒温多滤桶油雾净化及排渣过滤系统 | |
| CN209264199U (zh) | 一种用于包装容器密性检测的恒温供水系统 | |
| US11319214B2 (en) | Waste liquid treating apparatus | |
| US8871101B2 (en) | Liquid separator including venturi device | |
| CN223749193U (zh) | 一种零部件数控车床降温装置 | |
| SE2030245A1 (sv) | System för tillståndsövervakning av trycksatta vätskesystem |