Claims (9)
ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :------20/12/2560------(OCR) หน้า 1 ของจำนวน 3 หน้า ข้อถือสิทธิDisclaimer (all) which will not appear on the advertisement page. : ------ 20/12/2017 ------ (OCR) Page 1 of 3 pages.
1. ระบบระบายความร้อนอย่างน้อยหนึ่งกระบวนการแบบแบ่งแยกตัวที่ประกอบรวมด้วย: วงรอบของสารให้ความเย็นที่หนึ่งที่ประกอบด้วย: ตัวเลื่อยสำหรับอุปกรณ์สารนึ่งตัวนำที่แบ่งแยกตัว วิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็นอย่างน้อยหนึ่งวิถีทางที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อส่งมอบสาร ให้ความเย็นไปยังตัวเลื่อย วิถีทางรวบรวมสารให้ความเย็นที่ถูกจัดตำแหน่งไว้ข้างใต้ตัวเลื่อยที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อ จับยึดสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ สารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ที่ประกอบรวมด้วย อนุภาคที่เป็นผลจากการแบ่งแยกตัวของสารนึ่งตัวนำ ถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังที่ถูกจัดตำแหน่งไว้ปลายทางของตัวเลื่อยและถูก เชื่อมต่อกับวิถีทางรวบรวมสารให้ความเย็นจนกระทั่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะรับสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมา ใช้ใหม่กับอนุภาคต่างๆ ที่ซึ่งถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังถูกทำเป็นโครงร่างที่ทำให้อนุภาควางลง แบบเคลื่อนเข้าไปยังส่วนก้นของถังนำกลับมาใช้ใหม่จนกระทั่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะวางอนุภาคออกจากสาร ให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ ถังผสมที่ถูกทำเป็นโครงร่างที่ปลายทางของถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังเพื่อรับ สารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่โดยปราศจากอนุภาคที่ถูกวางไว้ วิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็น และ วงรอบทางผ่านที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็นและเข้ากับวิถีทางควบ คุมอุณหภูมิสารให้ความเย็น วงรอบทางผ่านที่ประกอบรวมด้วยอย่างน้อยส่วนไหลทางผ่านซึ่งจะทำให้สารให้ ความเย็นย้อนกลับไปยังวิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็นโดยปราศจากที่จะถูกรวบรวมไว้โดยวิถีทางรวบ รวมสารให้ความเย็น, ถังนำกลับมาใช้ใหม่และถังผสมอย่างน้อยหนึ่งถัง1. One or more discrete process cooling systems that include: one coolant loop consisting of: saws for discrete autoclave devices. At least one cooling agent delivery route is outlined for delivery. Provide cooling to the saw body The cooling agent collection path is positioned under the profile saw to Clamp the refrigerant that has been recycled. Recycled coolant that includes Particles resulting from the separation of the autoclave At least one of the recycled buckets that have been positioned at the end of the saw body and are Connected to the refrigerant collection path until the recycled tank receives the refrigerant that has been recovered. Reapply with particles Where at least one of the recycled tanks is structured where the particles are placed. The form moves into the bottom of the recycling tank until the reuse tank lays particles out of the substance. Provides coolness that has been recycled. A structured mixing tank at the destination of at least one recycled tank to receive Coolant that was recycled without any particles that have been placed on it. The refrigerant temperature control path and the pass cycle are connected to the refrigerant delivery route and to the coupling route. Control the temperature of the refrigerant A passageway that consists of at least a passageway that allows the substance to The cooling returns to the refrigerant temperature control path without being collected by the collective method. Include at least one coolant, a reuse tank, and one mixing tank.
2. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของตัวกรองแบบแถวชั้นที่ถูก ทำเป็นโครงร่างไว้ที่ต้นทางของถังผสมและถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อเอาอนุภาคขนาดใหญ่ในสารให้ความเย็นออก หน้า 2 ของจำนวน 3 หน้า2. The system of claim 1 also includes a certain number of row-layer filters. Outlined at the source of the mixing tank and outlined to remove large particles in the coolant, page 2 of 3.
3. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของตัวกรองละเอียดที่ถูกทำ เป็นโครงร่างที่ปลายทางของถังผสมและถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อเอาอนุภาคสารให้ความเย็นขนาดเล็กกว่าออก จากตัวกรองแบบแถวชั้น3. The system of claim 1 also includes a certain number of fine filters being done. It is outlined at the end of the mixing tank and is outlined to remove smaller coolant particles. From a layered filter
4. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 3 ที่ซึ่งตัวกรองแบบแถวชั้นถูกประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของ ชิ้นประกอบตัวกรองแบบแถวชั้นที่ถูกทำเป็นโครงร่างขนานกัน ที่ซึ่งตัวกรองละเอียดถูกประกอบรวมด้วย จำนวนหนึ่งของชิ้นประกอบตัวกรองละเอียดที่ถูกทำเป็นโครงร่างขนานกัน และที่ซึ่งชิ้นประกอบตัวกรองแบบ แถวชั้นและชิ้นประกอบตัวกรองละเอียดอย่างน้อยหนึ่งชิ้นประกอบจะถูกแลกเปลี่ยนในระหว่างการทำงานของ วงรอบของสารให้ความเย็นที่หนึ่ง4. System of claim 3, where a row-layer filter is composed of a certain number of The parallel-outlined layered filter assemblies Where the fine filter is assembled. A number of fine filter assemblies are outlined in parallel. And where the filter assembly The rack row and one or more fine filter assemblies will be exchanged during operation of the First coolant cycle
5. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 3 ที่ซึ่งตัวกรองแบบแถวชั้นจะเอาอนุภาค 50-100 ไมครอนที่มี ขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางใหญ่ที่สุดออกและตัวกรองละเอียดจะเอาอนุภาคระหว่าง 10-25ไมครอนที่มีขนาดใหญ่ ที่สุดออก5. System of claim 3 where the layered filter removes the largest diameter 50-100 micron particles, and the fine filter removes particles between 10-25 microns at the largest output
6. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยถังพักเก็บภายในวงรอบของสารให้ความ เย็นที่หนึ่งที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อป้องกันฟองอากาศจากที่ได้รับไปยังวิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็น6. The system of claim 1 also includes a storage tank within the substance cycle. The cold one is pre-engineered to prevent air bubbles from getting to the refrigerant delivery route.
7. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งถังผสมจะประกอบรวมด้วย: ทางเข้าแหล่งจ่ายนํ้าที่ถูกดีไอออนไนซ์ที่สามารถควบคุมได้สำหรับที่จัดเตรียมนํ้าที่ถูกดีไอออน ไนซ์ ทางเข้าสารเคมีที่สามารถควบคุมได้สำหรับที่จัดเตรียมสารเคมี ตัวตรวจจับสำหรับที่ตรวจจับระดับสารให้ความเย็นในถังผสม ที่ซึ่งระบบถูกทำเป็นโครงร่าง เพื่อควบคุมอัตราส่วนของนํ้าที่ถูกดีไอออนไนซ์และสารเคมีที่ขึ้นอยู่กับระดับสารให้ความเย็น ทางเข้าสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวงรอบที่หนึ่ง ตัวผสมสำหรับที่ผสมนํ้าที่ถูกดีไอออนไนซ์, สารเคมี และสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ ใหม่ และ ทางออกสารให้ความเย็นของถังผสมที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวงรอบที่หนึ่ง7. System of claim 6, where the mixing tank is composed of: Controllable deionized water supply inlet for the provision of deionized water. Controllable for the chemical preparation Detector for detecting the refrigerant level in the mixing tank. Where the system is structured To control the ratio of deionized water and chemicals depending on the refrigerant level. The recycled coolant entrance connected to the first loop. A mixer for mixing deionized water, recycled chemicals and coolants, and the cooling agent outlet of the mixing tank connected to the first loop.
8. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็นจะรักษาอุณหภูมิไว้ ที่ 18-20 องศาเซนติเกรดที่วิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็น8. System of claim 7 where the refrigerant temperature control path maintains the temperature at 18-20 degrees centigrade at the refrigerant delivery route.
9. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งปริมาตรของถังพักเก็บจะใหญ่กว่า 1000 ลิตร หน้า 3 ของจำนวน 3 หน้า 19.The system of claim 7, where the volume of the holding tank is greater than 1000 liters, page 3 of the number 3, page 1.
0. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะประกอบรวมด้วยชิ้นประกอบเอา อนุภาคออกซึ่งจะเอาอนุภาคในสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ออกจากถังนำกลับมาใช้ใหม่ ------------ แก้ไข 30/09/25580. The system of claim 1 where the recycled tank is assembled with assembled parts. Particles, which will remove the particles in the recycled coolant from the recycled tank. ------------ Revised 30/09/2015
1. ระบบระบายความร้อนอย่างน้อยหนึ่งกระบวนการแบบแบ่งแยกตัวประกอบรวมด้วย: วงรอบของสารให้ความเย็นที่หนึ่งที่ประกอบด้วย: ตัวเลื่อยสำหรับอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำที่แบ่งแยกตัว วิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็นอย่างน้อยหนึ่งวิถีทางที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อส่งมอบสาร ให้ความเย็นไปยังตัวเลื่อย วิถีทางรวบรวมสารให้ความเย็นที่ถูกจัดตำแหน่งไว้ข้างใต้ตัวเลื่อยที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อ จับยึดสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ สารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ที่ประกอบรวมด้วย อนุภาคที่เป็นผลจากการแบ่งแยกตัวของสารกึ่งตัวนำ ถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังที่ถูกจัดตำแหน่งไว้ปลายทางของตัวเลื่อยและถูก เชื่อมต่อกับวิถีทางรวบรวมสารให้ความเย็นจนกระทั่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะรับสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมา ใช้ใหม่กับอนุภาคต่างๆ ที่ซึ่งถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังถูกทำเป็นโครงร่างที่ทำให้อนุภาควางลง แบบเคลื่อนเข้าไปยังส่วนก้นของถังนำกลับมาใช้ใหม่จนกระทั่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะวางอนุภาคออกจากสาร ให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ ถังผสมที่ถูกทำเป็นโครงร่างที่ปลายทางของถังนำกลับมาใช้ใหม่อย่างน้อยหนึ่งถังเพื่อรับ สารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่โดยปราศจากอนุภาคที่ถูกวางไว้ วิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็น และ วงรอบทางผ่านที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็นและเข้ากับวิถีทางควบ คุมอุณหภูมิสารให้ความเย็น วงรอบทางผ่านที่ประกอบรวมด้วยอย่างน้อยส่วนไหลทางผ่านซึ่งจะทำให้สารให้ ความเย็นย้อนกลับไปยังวิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็นโดยปราศจากที่จะถูกรวบรวมไว้โดยวิถีทางรวบ รวมสารให้ความเย็น, ถังนำกลับมาใช้ใหม่และถังผสมอย่างน้อยหนึ่งถัง1. At least one cooling system factorized process, including: one cooling agent loop containing: saws for discrete semiconductor devices. At least one cooling agent delivery route is outlined for delivery. Provide cooling to the saw body The cooling agent collection path is positioned under the profile saw to Clamp the refrigerant that has been recycled. Recycled coolant that includes Particles resulting from semiconductor separation At least one of the recycled buckets that have been positioned at the end of the saw body and are Connected to the refrigerant collection path until the recycled tank receives the refrigerant that has been recovered. Reapply with particles Where at least one of the recycled tanks is structured where the particles are placed. The form moves into the bottom of the recycling tank until the reuse tank lays particles out of the substance. Provides coolness that has been recycled. A structured mixing tank at the destination of at least one recycled tank to receive Coolant that was recycled without any particles that have been placed on it. The refrigerant temperature control path and the pass cycle are connected to the refrigerant delivery route and to the coupling route. Control the temperature of the refrigerant A passageway that consists of at least a passageway that allows the substance to The cooling returns to the refrigerant temperature control path without being collected by the collective method. Include at least one coolant, a reuse tank, and one mixing tank.
2. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของตัวกรองแบบแถวชั้นที่ถูก ทำเป็นโครงร่างไว้ที่ต้นทางของถังผสมและถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อเอานุภาคขนาดใหญ่ในสารให้ความเย็นออก2. The system of claim 1 also includes a certain number of row-layer filters. Outlined at the source of the mixing tank and skeletal to suppress large portions in the refrigerant.
3. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของตัวกรองละเอียดที่ถูกทำ เป็นโครงร่างที่ปลายทางของถังผสมและถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อเอานุภาคสารให้ความเย็นขนาดเล็กกว่าออก จากตัวกรองแบบแถวชั้น3. The system of claim 1 also includes a certain number of fine filters being done. It is outlined at the end of the mixing tank and is outlined to suppress the smaller coolant sectors. From a layered filter
4. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 3 ที่ซึ่งตัวกรองแบบแถวชั้นถูกประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของ ชิ้นประกอบตัวกรองแบบแถวชั้นที่ถูกทำเป็นโครงร่างขนานกัน ที่ซึ่งตัวกรองละเอียดถูกประกอบรวมด้วย จำนวนหนึ่งของชิ้นประกอบตัวกรองละเอียดที่ถูกทำเป็นโครงร่างขนานกัน และที่ซึ่งชิ้นประกอบตัวกรองแบบ แถวชั้นและชิ้นประกอบตัวกรองละเอียดอย่างน้อยหนึ่งชิ้นประกอบจะถูกแลกเปลี่ยนในระหว่างการทำงานของ วงรอบของสารให้ความเย็นที่หนึ่ง4. System of claim 3, where a row-layer filter is composed of a certain number of The parallel-outlined layered filter assemblies Where the fine filter is assembled. A number of fine filter assemblies are outlined in parallel. And where the filter assembly The rack row and one or more fine filter assemblies will be exchanged during operation of the First coolant cycle
5. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 3 ที่ซึ่งตัวกรองแบบแถวชั้นจะเอาอนุภาค 50-100 ไมครอนที่มี ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่ที่สุดออกและตัวกรองละเอียดจะเอาอนุภาคระหว่าง 10-25ไมครอนที่มีขนาดใหญ่ ที่สุดออก5. System of claim 3 where the layered filter removes the largest diameter 50-100 micron particles, and the fine filter removes particles between 10-25 microns at the largest output
6. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ยังประกอบรวมด้วยถังพักเก็บภายในวงรอบของสารให้ความ เย็นที่หนึ่งที่ถูกทำเป็นโครงร่างเพื่อป้องกันฟองอากาศจากที่ได้รับไปยังวิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็น6. The system of claim 1 also includes a storage tank within the substance cycle. The cold one is pre-engineered to prevent air bubbles from getting to the refrigerant delivery route.
7. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งถังผสมจะประกอบรวมด้วย: ทางเข้าแหล่งจ่ายน้ำที่ถูกดีไอออนไนซ์ที่สามารถควบคุมได้สำหรับที่จัดเตรียมน้ำที่ถูกดีไอออน ไนซ์ ทางเข้าสารเคมีที่สามารถควบคุมได้สำหรับที่จัดเตรียมสารเคมี ตัวตรวจจับสำหรับที่ตรวจจับระดับสารให้ความเย็นในถังผสม ที่ซึ่งระบบถูกทำให้เป็นโครงร่าง เพื่อควบคุมอัตราส่วนของน้ำที่ถูกดีไอออนไนซ์และสารเคมีที่ขึ้นอยู่กับระดับสารให้ความเย็น ทางเข้าสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวงรอบที่หนึ่ง ตัวผสมสำหรับที่ผสมน้ำที่ถูกดีไอออนไนซ์, สารเคมี และสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ ใหม่ และ ทางออกสารให้ความเย็นของถังผสมที่ถูกเชื่อมต่อเข้ากับวงรอบที่หนึ่ง7. System of claim 6, where the mixing tank is composed of: Controllable deionized water supply inlet for deionized water supply. Controllable for the chemical preparation Detector for detecting the refrigerant level in the mixing tank. Where the system is structured To control the ratio of deionized water and chemicals depending on the refrigerant level. The recycled coolant entrance connected to the first loop. A mixer for mixing deionized water, recycled chemicals and coolants, and the cooling agent outlet of the mixing tank connected to the first loop.
8. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมอุณหภูมิสารให้ความเย็นจะรับษาอุณหภูมิไว้ ที่ 18-20 องศาเซนติเกรดที่วิถีทางส่งมอบสารให้ความเย็น8. System of claim 7, where the refrigerant temperature regulating route maintains the temperature at 18-20 degrees centigrade at the refrigerant delivery route.
9. ระบบของข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งปริมาตรของถังพักเก็บจะใหญ่กว่า 1000 ลิตร 1 0.ระบบของข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งถังนำกลับมาใช้ใหม่จะประกอบรวมด้วยชิ้นประกอบเอา อนุภาคออกซึ่งจะเอาอนุภาคในสารให้ความเย็นที่ถูกนำกลับมาใช้ใหม่ออกจากถังนำกลับมาใช้ใหม่ ---------------------------------9. System of claim 7, where the volume of the holding tank is greater than 1000 liters 1 0. The system of claim 1 where the recycled tank is assembled with assembled parts. This removes the particles in the recycled coolant from the recycling tank. ---------------------------------
1. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยที่ ประกอบด้วยถังบรรจุน้ำยาระบายความร้อน ถังผสมน้ำยาระบายความร้อน ระบบกรองความสะอาด ระบบควบคุมอุณหภูมิ ที่เชื่อมต่อกันด้วยท่อนำน้ำยาระบายความร้อนที่มีแรงดันเพื่อนำน้ำยาระบาย ความร้อนไปทำหน้าที่หล่อลื่นและหล่อเย็นที่เครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ที่มี ลักษณะพิเศษคือ ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ดังกล่าวเป็นระบบระบายความร้อนสำหรับเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยแบบ ส่วนกลางแบบปิดที่ประกอบด้วย ระบบกรองความสะอาดน้ำยาระบายความร้อนที่หนึ่งสำหรับกรองน้ำยาระบาย ความร้อนที่ยังไม่ได้ใช้รวมถึงน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้วที่หมุนเวียนกลับมาใช้ใหม่ ระบบกรองความสะอาดที่สองสำหรับกรองน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้ว ถังพักน้ำยาเพื่อเก็บกักน้ำยาที่ยังไม่ได้ใช้ให้มีปริมาณเพียงพอที่นำจ่ายไปยังเครื่อง แบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย และ ถังพักเก็บน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้วเพื่อตกตะกอนน้ำยาระบายความร้อนที่ ถูกใช้แล้ว ก่อนที่ปล่อยน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้วที่ผ่านการตกตะกอนแล้วไปยังระบบกรอง ความสะอาดน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้ว โดยที่ถังบรรจุน้ำยาระบายความร้อน ถังผสมน้ำยาระบายความร้อน ระบบกรอง ความสะอาดน้ำยาระบายความร้อนที่หนึ่ง ถังพักเก็บน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้แล้ว และระบบ กรองความสะอาดน้ำยาระบายความร้อนที่สอง เชื่อมต่อกันเป็นระบบลำเลียงน้ำยาระบายความร้อน ผ่านระบบควบคุมอุณหภูมิและเชื่อมต่อกับเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยเพื่อนำ น้ำยาระบายความร้อนไปหล่อลื่นและหล่อเย็นที่เครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อยได้ หลายๆตัว1. The cooling system of the saw-type semiconductor separator that Contains a tank containing cooling fluid Cooling liquid mixing tank Clean filter system Temperature control system Connected by a pressure hose for cooling fluid to bring the liquid to drain The heat acts to lubricate and cool the splitters of the saw semiconductor device. Cooling system of saw semiconductor splitters It is a cooling system for the saw-type semiconductor separator. A closed central part containing First coolant cleaning system for filtering the drains. The unused heat, including the used coolant that has been recycled Second cleaning system for filtering the used coolant. Reservoir tank to hold enough unused liquid to be delivered to the machine. Separate the saw semiconductor device and the spent coolant reservoir to precipitate the used coolant before releasing the precipitated used coolant to the filter system. Cleaning used coolant Where the tank containing cooling fluid Coolant mixing tank, cleaning filter system, coolant first The reservoir holds the used coolant and the second coolant cleaning filter. Connected together as a cooling fluid conveying system Via temperature control system and connected to the saw semiconductor separator to conduct The coolant lubricates and cools multiple saw semiconductor separators.
2. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ระบบกรองความสะอาดที่หนึ่งดังกล่าวประกอบด้วยชุดกรองความสะอาด มากกว่า1 ชุด แต่ละชุดมีความสามารถในการกรองสิ่งสกปรกที่มีอนุภาคขนาดต่างกัน2. The cooling system of the saw semiconductor separator. According to claim 1, the first filter system consists of more than one filter unit, each capable of filtering impurities with different particle sizes.
3. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 2 โดยที่ แต่ละชุดกรองของระบบกรองความสะอาดที่หนึ่งมีตัวกรองมากกว่าหนึ่ง ตัวที่ต่อกันแบบขนาน และตัวกรองของแต่ละชุดกรองที่ต่อกันแบบขนานดังกล่าวมีความสามารถ ในการกรองความสะอาดที่มีอนุภาคขนาดเท่ากัน3.Cooling system of the saw semiconductor separator. According to claim 2, where each filter set of one clean filter system has more than one filter. Those connected in parallel And the filters of each set of parallel filters are capable of To filter cleanliness with particles of the same size
4. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่มีถังพักน้ำยาระบายความร้อนสำหรับพักน้ำยาระบายความร้อนที่ยังไม่ได้ใช้ งานรวมถึงน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้งานแล้วที่หมุนเวียนกลับมาใช้ใหม่4.The cooling system of the saw-type semiconductor separator. According to claim 1, there is a coolant reservoir to hold the unused coolant. Work includes used coolant that is recycled.
5. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่มีถังพักน้ำยาระบายความร้อนใช้แล้วสำหรับพักน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้ งานแล้วเพื่อให้ตกตะกอน โดยที่ถังน้ำยาระบายความร้อนใช้แล้วดังกล่าวมีมากกว่า 1 ถัง และแต่ ละถังเชื่อมต่อกันแบบระบบน้ำล้น5.The cooling system of the saw-type semiconductor separator. According to claim 1, there is a used coolant reservoir for holding the used coolant. Then work to make settling There are more than one such used coolant tank and each tank is connected in an overflowing system.
6. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่มีระบบกรองความสะอาดที่สองสำหรับกรองน้ำยาระบายความร้อนที่ใช้งาน แล้วที่ผ่านการตกตะกอนแล้ว โดยที่ ระบบกรองความสะอาดที่สองดังกล่าวประกอบด้วยชุดกรอง ความสะอาดมากกว่า 1 ชุด แต่ละชุดมีความสามารถในการกรองสิ่งสกปรกที่มีอนุภาคขนาดต่างกัน6.The cooling system of the saw-type semiconductor separator. According to claim 1, there is a second clean filter system for filtering the active coolant. Then that has been precipitated, where the second cleaning system consists of a set of filters. More than one set of cleanliness, each capable of filtering impurities with different sized particles.
7. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิที่ 6 โดยที่ แต่ละชุดกรองของระบบกรองความสะอาดที่สองมีตัวกรองมากกว่าหนึ่ง ตัวที่ต่อกันแบบขนาน โดยที่ตัวกรองของแต่ละชุดกรองที่ต่อกันแบบขนานดังกล่าวมีความสามารถ ในการกรองความสะอาดที่มีอนุภาคขนาดเท่ากัน7.The cooling system of the saw-type semiconductor separator. According to claim 6, where each filter set of a second cleaning system has more than one filter. Those connected in parallel Where the filters of each of these parallel series filters are capable of To filter cleanliness with particles of the same size
8. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งข้างต้นที่มีการติดตั้งมิเตอร์วัดความดันของน้ำยาระบายความร้อน ภายในท่อนำน้ำยาระบายความร้อนเพื่อควบคุมการไหลของน้ำยาระบายความร้อนภายในระบบ8.The cooling system of the saw-type semiconductor separator. In accordance with any of the above claims, the coolant pressure meter is installed. Inside the coolant conduit to control the flow of coolant inside the system
9. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งข้างต้นที่แต่ละตัวกรองของแต่ละชุดกรองของแต่ละระบบกรองความ สะอาดติดตั้งมิเตอร์วัดความดันเพื่อควบคุมความดันของระบบ และทำหน้าที่เป็นตัวบ่งสัญญาณการ เปลี่ยนไส้กรองของตัวกรองของระบบกรองความสะอาด 19.The cooling system of the saw-type semiconductor separator. According to any of the above claims that each filter of each filter set of each system filters the Install a pressure meter to control the system pressure. And serves as a signal indicator Replace the filter of the purification system filter 1
0. ระบบระบายความร้อนของเครื่องแบ่งแยกตัวอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบเลื่อย ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งข้างต้นที่มีการติดตั้งมิเตอร์วัดความดันไว้ที่ท่อน้ำยาระบายความ ร้อนเพื่อควบคุมความดันภายในท่อน้ำยาระบายคามร้อนและควบคุมการไหลของน้ำยาระบาย ความร้อนภายในท่อน้ำยาระบายความร้อน0. Cooling system of saw semiconductor separator body. In accordance with any of the above claims, a pressure meter is installed on the drain hose. Hot to control the pressure inside the coolant pipe and control the flow of the drain Heat inside the cooling fluid pipe