TH64371B - วิธีการอาศัยการปล่อยออกแก๊สสำหรับการตรวจสอบพื้นผิวผ่านการเคลือบ - Google Patents

Abstract

DC60 (14/11/54) ได้จัดให้มีวิธีการสำหรับการตรวจสอบผลิตภัณฑ์ของกรรมวิธีการเคลือบ ในนั้น การ ปลดปล่อยของสารชนิดระเหยง่ายอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดจากพื้นผิวผ่านการเคลือบเข้าในพื้นที่แก๊ส ได้รับการวัด และผลลัพธ์ได้รับการนำมาเปรียบเทียบกับผลลัพธ์สำหรับวัตถุอ้างอิงอย่างน้อยที่สุด หนึ่งชนิดที่ได้วัดภายใต้ภาวะการทดสอบเดียวกัน ดังนั้น การมีหรือไม่มีของเคลือบผิว และ/หรือ สมบัติทางกายภาพ และ/หรือ ทางเคมีของเคลือบผิวสามารถได้รับการกำหนดออกมาได้ วิธีการนั้นใช้ ประโยชน์ได้สำหรับการตรวจสอบสิ่งของผ่านการเคลือบใด ๆ ตัวอย่างเช่น เวสเซล การประยุกต์ใช้ ของวิธีการนั้นบนการตรวจสอบของเคลือบผิวพีอีซีวีดีที่ทำขึ้นมาจากสารตั้งต้นซิลิคอนอินทรีย์ โดยเฉพาะอย่างยิ่ง เคลือบผิวตัวกั้น ได้รับการเปิดเผยไว้อีกด้วย

Claims (9)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :------03/11/2560------(OCR) หน้า 1 ของจำนวน 3 หน้า ข้อถือสิทธิ 1. วิธีการสำหรับการตรวจสอบผลิตภัณฑ์ (80) ของกรรมวิธีการเคลือบ ที่ซึ่งเคลือบผิว (90) ได้รับการ ใส่ลงไปสู่พื้นผิวของซับสเตรตเพื่อการก่อรูปพื้นผิวผ่านการเคลือบขึ้นมา ซึ่งวิธีการนั้นประกอบรวมด้วย ขั้นตอน: (a) การจัดให้มีผลิตภัณฑ์ (80)ที่เป็นวัตถุการตรวจสอบ (c) การวัดการปลดปล่อยของสารชนิดระเหยง่ายอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดจากวัตถุการ ตรวจสอบเข้าในพื้นที่แก๊สใกล้กับพื้นผิวผ่านการเคลือบ และ (d) การเปรียบเทียบผลลัพธ์ของขั้นตอน (c) กับผลลัพธ์ของขั้นตอน (c) สำหรับวัตถุอ้างอิง อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่ได้รับการวัดภายใต้ภาวะการทดสอบที่เหมือนกัน ซึ่งเป็นการกำหนดออกมาซึ่ง การมีหรือการไม่มีของเคลือบผิว (90) วิธีการที่มีลักษณะเฉพาะคือ เคลือบผิวถูกใส่โดย PECVD จากสารตั้งต้นซิลิคอนอินทรีย์ ขั้นตอน (c) ได้รับการกระทำโดยการวัดอัตราการไหลเชิงมวลของสารชนิดระเหยง่ายอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งชนิดในพื้นที่แก๊สใกล้กับพื้นผิวผ่านการเคลือบในรูปแบบการไหลเชิงโมเลกุล และในลักษณะ เฉพาะที่ ภาวะที่มีประสิทธิผลในการจำแนกการมีหรือการไม่มีของเคลือบผิว (90) กับระดับหก-ซิกม่าของ ความแน่นอน รวมถึงช่วงเวลาทดสอบที่น้อยกว่าหนึ่งนาที 2. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่ง นอกจากนั้นแล้ว สมบัติทางกายภาพ และ/หรือ ทางเคมีของ เคลือบผิว (90) ได้รับการกำหนดออกมา ซึ่งได้รับการเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วย ผลการกั้นของ เคลือบผิว, ความตึงเมื่อเปียกของเคลือบผิว และสารผสมของเคลือบผิว และอย่างเป็นการดี ผลการกั้น ของเคลือบผิวนั้น 3. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง: (i) วัตถุอ้างอิงคือซับสเตรตไม่ผ่านการเคลือบ หรือ (ii) วัตถุอ้างอิงคือซับสเตรตที่เคลือบด้วยเคลือบผิวอ้างอิง 4. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ประกอบรวมด้วย ในฐานะขั้นตอนเพิ่มเติม ระหว่างขั้นตอน (a) และ (c) ด้วยขั้นตอนของ (b) การเปลี่ยนแปลงความดันบรรยากาศในพื้นที่แก๊สใกล้กับพื้นผิวผ่านการเคลือบในสภาพที่ความ ดันแตกต่างคร่อมพื้นผิวผ่านการเคลือบจะได้รับการจัดให้มีขึ้น และอาจได้มาซึ่งอัตราการไหลเชิงมวลของ สารชนิดระเหยง่ายที่สูงกว่าสภาพที่ไม่มีความดันแตกต่าง หน้า 2 ของจำนวน 3 หน้า 5. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 4 ที่ซึ่ง ได้กระทำการวัดโดยการใช้เซลล์การวัด (362) ที่ได้วางแทรกไว้ ระหว่างพื้นผิวผ่านการเคลือบของซับสเตรดและแหล่งของสุญญากาศ(98) 6. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งสารชนิดระเหยง่ายคือแก๊สหรือไอ ณ ภาวะการทดสอบ ซึ่งอย่างเป็นการดีได้รับการเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วย อากาศ, ไนโตรเจน, ออกซิเจน, ไอนํ้า, ส่วนประกอบเคลือบผิวระเหยง่าย, ส่วนประกอบซับสเตรดระเหยง่าย, และสารเหล่านี้ ประกอบกัน โดยอย่างเป็นการดีมากขึ้นคือ อากาศ ไนโตรเจน ออกซิเจน ไอนํ้า หรือสารเหล่านี้ประกอบกัน 7. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งวัตถุการตรวจสอบได้รับการทำให้สัมผัส กับสารชนิดระเหยง่ายในขั้นตอน (a) ซึ่งอย่างเป็นการดีคือสารชนิดระเหยง่ายที่เลือกมาจากกลุ่มที่ ประกอบด้วย อากาศ ไนโตรเจน ออกซิเจน ไอนํ้า และสารเหล่านี้ประกอบกัน ซึ่งอย่างเป็นการดีเพื่อการ ยอมให้มีการดูดซับหรือการดูดซึมของสารชนิดระเหยง่ายดังกล่าวลงบนหรือเข้าในวัสดุของวัตถุการ ตรวจสอบ และ ที่ซึ่งการปลดปล่อยที่ต่อตามมาของสารชนิดระเหยง่ายดังกล่าวจากวัตถุการตรวจสอบได้รับ การวัดในขั้นตอน (c) 8. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง สารชนิดระเหยง่ายที่ต่างกันจำนวนหนึ่ง ได้รับการวัดในขั้นตอน (c) และ ที่ซึ่ง อย่างเป็นการดี สารชนิดระเหยง่ายทั้งหมดอย่างโดยสำคัญที่ ปลดปล่อยออกมาจากวัตถุการตรวจสอบได้รับการวัดในขั้นตอน (c) 9. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งซับสเตรตเป็นสารประกอบพอลิเมอร์ ซึ่ง อย่างเป็นการดีคือพอลิเอสเทอร์, พอลิโอเลฟิน, ไซคลิกโอเลฟินโคพอลิเมอร์, พอลิคาร์บอเนต,หรือสาร เหล่านี้ประกอบกัน 1 0. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง (i) เคลือบผิวเป็นเคลือบผิวตัวกั้น ซึ่งอย่างเป็นการดีคือชั้น SiOx ที่ซึ่ง X มีค่าจากประมาณ 1.5 ถึง ประมาณ 2.9 และ/หรือ (ii) เคลือบผิวคือเคลือบผิวที่ดัดแปลงสภาพหล่อลื่น และ/หรือ ความตึงผิวของซับสเตรตผ่านการ เคลือบ ซึ่งอย่างเป็นการดีคือชั้นของ SiwOxCyHz โดย w คือ 1 X มีค่าจากประมาณ 0.5 ถึง 2.4 y มีค่าจาก ประมาณ 0.6 ถึงประมาณ 3 และ Z มีค่าจาก 2 ถึงประมาณ 9 1

1. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง สารชนิดระเหยง่ายเป็นสารชนิดระเหย ง่ายที่ปลดปล่อยจากเคลือบผิว ซึ่งอย่างเป็นการดีคือส่วนประกอบเคลือบผิวระเหยง่าย และ ที่ซึ่งการ ตรวจสอบได้รับการกระทำเพื่อกำหนดออกมาถึงการมีอยู่ สมบัติ และ/หรือ องค์ประกอบของเคลือบผิว 1

2. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึง สารชนิดระเหยง่ายคือสารชนิดระเหยง่าย ที่ปลดปล่อยจากซับสเตรต และ ที่ซึ่งการตรวจสอบได้รับการกระทำเพื่อกำหนดออกมาถึงการมีอยู่ของ เคลือบผิว และ/หรือ ผลการกั้นของเคลือบผิว หน้า 3 ของจำนวน 3 หน้า 1

3. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง ซับสเตรตเป็นเวสเซล (80) ที่มีผนังซึ่ง ได้รับการเคลือบอย่างน้อยที่สุดส่วนหนึ่งบนพื้นผิวด้านในหรือด้านนอกของผนังนั้นในระหว่างกรรมวิธีการ เคลือบ และ ที่ซึ่ง อย่างเป็นการดี เคลือบผิวได้รับการจัดวางไว้บนพื้นผิวด้านในของผนังเวสเซล 1

4. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 13 ที่ซึ่ง ความดันแตกต่างระหว่างช่องภายในเวสเซลและภายนอก ได้รับการสร้างขึ้นเพื่อวัดการปล่อยออกแก๊สสำหรับสารชนิดระเหยง่ายจากผนังเวสเซลผ่านการเคลือบ 1

5. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 13 หรือ 14 ที่ซึ่ง ความดันแตกต่างได้รับการจัดให้มีขึ้นโดยการทำให้ พื้นที่แก๊สในเวสเซลเป็นสุญญากาศอย่างน้อยที่สุดส่วนหนึ่ง 1

6. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง ภาวะที่มีประสิทธิผลในการจำแนกการ มีหรือการไม่มีของเคลือบผิว รวมถึงช่วงการทดสอบที่น้อยกว่า 50 วินาที, หรือน้อยกว่า 40 วินาที, หรือ น้อยกว่า 30 วินาที, หรือน้อยกว่า 20 วินาที, หรือน้อยกว่า 15 วินาที, หรือน้อยกว่า 10 วินาที, หรือน้อยกว่า 8 วินาที, หรือน้อยกว่า 6 วินาที, หรือน้อยกว่า 4 วินาที, หรือน้อยกว่า 3 วินาที, หรือน้อยกว่า 2 วินาที, หรือ น้อยกว่า 1 วินาที 1

7. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง อัตราการปลดปล่อยของสารชนิดระเหย ง่ายได้รับการดัดแปลงโดยการดัดแปลงความดันโดยรอบ และ/หรือ อุณหภูมิ และ/หรือ ความชื้น ซึ่งเป็นการ เพิ่มความต่างระหว่างวัตถุอ้างอิงและวัตถุการตรวจสอบขึ้นสำหรับอัตราการปลดปล่อย และ/หรือ ชนิดของ สารชนิดระเหยง่ายที่วัด 1

8. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ซึ่งได้รับการใช้เป็นการควบคุมกรรมวิธีในสาย สำหรับกรรมวิธีการเคลือบเพื่อการระบุและกำจัดผลิตภัณฑ์ผ่านการเคลือบที่ไม่ตรงตามมาตรฐานที่กำหนด ไว้ล่วงหน้าหรือผลิตภัณฑ์เคลือบที่เสียหาย 1

9. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งการเคลือบเป็นการเคลือบแบบพีอีซีวีดี ที่ได้รับการกระทำภายใต้ภาวะสุญญากาศและที่ซึ่งการวัดการปล่อยออกแก๊สที่ต่อตามมาได้รับการ ดำเนินการโดยไม่ทำลายสุญญากาศที่ใช้สำหรับพีอีซีวีดี ------------ 1.วิธีการสำหรับการตรวจสอบผลิตภัณฑ์ของกรรมวิธีการเคลือบที่ซึ่งเคลือบผิวได้รับการใส่ลงไปสู่พื้นผิวของซับสเตรตเพื่อการก่อรูปพื้นผิวผ่านการเคลือบขึ้นมาซึ่งวิธีการนั้นประกอบรวมด้วยขั้นตอน(a)การจัดให้มีผลิตภัณฑ์ที่เป็นวัตถุการตรวจสอบ(c)การวัดการปลดปล่อยของสารชนิดระเหยง่ายอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดจากวัตถุการตรวจสอบเข้าในพื้นที่แก๊สใกล้กับพื้นผิวผ่านการเคลือบและ(d)การเปรียบเทียบผลลัพธ์ของขั้นตอน(c)กับผลลัพธ์ของขั้นตอน(c)สำหรับวัตถุอ้างอิงอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่ได้รับการวัดภายใต้ภาวะการทดสอบที่เหมือนกันซึ่งเป็นการกำหนดออกมาซึ่งการมีหรือการไม่มีของเคลือบผิวและ/หรือสมบัติทางกายภาพและ/หรือทางเคมีของเคลือบผิวนั้น