Claims (9)
ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :------03/11/2560------(OCR) หน้า 1 ของจำนวน 3 หน้า ข้อถือสิทธิ 1. วิธีการสำหรับการตรวจสอบผลิตภัณฑ์ (80) ของกรรมวิธีการเคลือบ ที่ซึ่งเคลือบผิว (90) ได้รับการ ใส่ลงไปสู่พื้นผิวของซับสเตรตเพื่อการก่อรูปพื้นผิวผ่านการเคลือบขึ้นมา ซึ่งวิธีการนั้นประกอบรวมด้วย ขั้นตอน: (a) การจัดให้มีผลิตภัณฑ์ (80)ที่เป็นวัตถุการตรวจสอบ (c) การวัดการปลดปล่อยของสารชนิดระเหยง่ายอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดจากวัตถุการ ตรวจสอบเข้าในพื้นที่แก๊สใกล้กับพื้นผิวผ่านการเคลือบ และ (d) การเปรียบเทียบผลลัพธ์ของขั้นตอน (c) กับผลลัพธ์ของขั้นตอน (c) สำหรับวัตถุอ้างอิง อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่ได้รับการวัดภายใต้ภาวะการทดสอบที่เหมือนกัน ซึ่งเป็นการกำหนดออกมาซึ่ง การมีหรือการไม่มีของเคลือบผิว (90) วิธีการที่มีลักษณะเฉพาะคือ เคลือบผิวถูกใส่โดย PECVD จากสารตั้งต้นซิลิคอนอินทรีย์ ขั้นตอน (c) ได้รับการกระทำโดยการวัดอัตราการไหลเชิงมวลของสารชนิดระเหยง่ายอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งชนิดในพื้นที่แก๊สใกล้กับพื้นผิวผ่านการเคลือบในรูปแบบการไหลเชิงโมเลกุล และในลักษณะ เฉพาะที่ ภาวะที่มีประสิทธิผลในการจำแนกการมีหรือการไม่มีของเคลือบผิว (90) กับระดับหก-ซิกม่าของ ความแน่นอน รวมถึงช่วงเวลาทดสอบที่น้อยกว่าหนึ่งนาที 2. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่ง นอกจากนั้นแล้ว สมบัติทางกายภาพ และ/หรือ ทางเคมีของ เคลือบผิว (90) ได้รับการกำหนดออกมา ซึ่งได้รับการเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วย ผลการกั้นของ เคลือบผิว, ความตึงเมื่อเปียกของเคลือบผิว และสารผสมของเคลือบผิว และอย่างเป็นการดี ผลการกั้น ของเคลือบผิวนั้น 3. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง: (i) วัตถุอ้างอิงคือซับสเตรตไม่ผ่านการเคลือบ หรือ (ii) วัตถุอ้างอิงคือซับสเตรตที่เคลือบด้วยเคลือบผิวอ้างอิง 4. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ประกอบรวมด้วย ในฐานะขั้นตอนเพิ่มเติม ระหว่างขั้นตอน (a) และ (c) ด้วยขั้นตอนของ (b) การเปลี่ยนแปลงความดันบรรยากาศในพื้นที่แก๊สใกล้กับพื้นผิวผ่านการเคลือบในสภาพที่ความ ดันแตกต่างคร่อมพื้นผิวผ่านการเคลือบจะได้รับการจัดให้มีขึ้น และอาจได้มาซึ่งอัตราการไหลเชิงมวลของ สารชนิดระเหยง่ายที่สูงกว่าสภาพที่ไม่มีความดันแตกต่าง หน้า 2 ของจำนวน 3 หน้า 5. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 4 ที่ซึ่ง ได้กระทำการวัดโดยการใช้เซลล์การวัด (362) ที่ได้วางแทรกไว้ ระหว่างพื้นผิวผ่านการเคลือบของซับสเตรดและแหล่งของสุญญากาศ(98) 6. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งสารชนิดระเหยง่ายคือแก๊สหรือไอ ณ ภาวะการทดสอบ ซึ่งอย่างเป็นการดีได้รับการเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วย อากาศ, ไนโตรเจน, ออกซิเจน, ไอนํ้า, ส่วนประกอบเคลือบผิวระเหยง่าย, ส่วนประกอบซับสเตรดระเหยง่าย, และสารเหล่านี้ ประกอบกัน โดยอย่างเป็นการดีมากขึ้นคือ อากาศ ไนโตรเจน ออกซิเจน ไอนํ้า หรือสารเหล่านี้ประกอบกัน 7. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งวัตถุการตรวจสอบได้รับการทำให้สัมผัส กับสารชนิดระเหยง่ายในขั้นตอน (a) ซึ่งอย่างเป็นการดีคือสารชนิดระเหยง่ายที่เลือกมาจากกลุ่มที่ ประกอบด้วย อากาศ ไนโตรเจน ออกซิเจน ไอนํ้า และสารเหล่านี้ประกอบกัน ซึ่งอย่างเป็นการดีเพื่อการ ยอมให้มีการดูดซับหรือการดูดซึมของสารชนิดระเหยง่ายดังกล่าวลงบนหรือเข้าในวัสดุของวัตถุการ ตรวจสอบ และ ที่ซึ่งการปลดปล่อยที่ต่อตามมาของสารชนิดระเหยง่ายดังกล่าวจากวัตถุการตรวจสอบได้รับ การวัดในขั้นตอน (c) 8. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง สารชนิดระเหยง่ายที่ต่างกันจำนวนหนึ่ง ได้รับการวัดในขั้นตอน (c) และ ที่ซึ่ง อย่างเป็นการดี สารชนิดระเหยง่ายทั้งหมดอย่างโดยสำคัญที่ ปลดปล่อยออกมาจากวัตถุการตรวจสอบได้รับการวัดในขั้นตอน (c) 9. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งซับสเตรตเป็นสารประกอบพอลิเมอร์ ซึ่ง อย่างเป็นการดีคือพอลิเอสเทอร์, พอลิโอเลฟิน, ไซคลิกโอเลฟินโคพอลิเมอร์, พอลิคาร์บอเนต,หรือสาร เหล่านี้ประกอบกัน 1 0. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง (i) เคลือบผิวเป็นเคลือบผิวตัวกั้น ซึ่งอย่างเป็นการดีคือชั้น SiOx ที่ซึ่ง X มีค่าจากประมาณ 1.5 ถึง ประมาณ 2.9 และ/หรือ (ii) เคลือบผิวคือเคลือบผิวที่ดัดแปลงสภาพหล่อลื่น และ/หรือ ความตึงผิวของซับสเตรตผ่านการ เคลือบ ซึ่งอย่างเป็นการดีคือชั้นของ SiwOxCyHz โดย w คือ 1 X มีค่าจากประมาณ 0.5 ถึง 2.4 y มีค่าจาก ประมาณ 0.6 ถึงประมาณ 3 และ Z มีค่าจาก 2 ถึงประมาณ 9 1Disclaimer (all) which will not appear on the advertisement page. : ------ 03/11/2017 ------ (OCR) Page 1 of 3 pages Disclaimer 1. Methods for product inspection (80) of coating process. Where the coating (90) is applied to the substrate surface to form the surface through the coating. That method includes steps: (a) provision of products. (80) that is the examination object (c) the measurement of the emission of at least one volatile substance from the Check into the gas area near the surface through the coating and (d) compare the result of the procedure (c) with the result of the procedure (c) for the reference object. At least one type was measured under the same test conditions. Which is the determination of which Presence or absence of coating (90). A characteristic approach is The coating was applied by PECVD from an organic silicon substrate. The step (c) was done by measuring at least the mass flow rate of the volatile substance. In the gas region near the surface through the coating, in a molecular flow model, and in a particular manner at the effective condition to classify the presence or absence of the coating (90) with the six-sigma degree of The certainty includes a test period of less than one minute. The physical and / or chemical properties of coatings (90) have been determined. It was selected from the group consisting of coating barrier effect, coating wet tension. And mixtures of the coating And, ideally, the barrier effect of that coating. 3. Method according to one of the preceding claims, where: (i) the reference object is an uncoated substrate, or (ii) the reference material. Is a substrate coated with a surface coating. Reference 4. Method according to one of the preceding claims. That includes As an additional step Between (a) and (c) phases with the steps of (b) the change in atmospheric pressure in the gas area near the surface through the coating in the condition that The differential pressure across the surface through the coating will be provided. And may obtain the mass flow rate of The volatile matter was higher than the non-pressure difference condition p. 2 of the number 3 p. 5. Method of claim 4, where measurement was performed using the inserted measuring cell (362). Between the substrate through the coating of the substrate and the vacuum source (98) 6. Method of one of the preceding claims. Where volatile substances are gases or vapors at test conditions, which are ideally chosen from groups containing air, nitrogen, oxygen, water vapor, volatile coating components, volatile substrate components, And these substances are complementary, air, nitrogen, oxygen, water vapor, or these substances in combination. 7. Method of one of the preceding claims. Where the examination object is touched Ideally, the volatile substances are chosen from a group consisting of air, nitrogen, oxygen, steam and these compounds. Which is good for Allows for the absorption or absorption of the volatile substance onto or into the material of the inspection object and where the subsequent release of the volatile substance from the inspection object is permitted. receive Step Measurement (c) 8. Method to one of the preceding claims where a number of different volatile substances Were measured in steps (c) and where is well All volatile substances, especially those that The release from the object of review has been measured in step (c) 9. Method according to one of the previous claims. Where the substrate is a polymer compound, which is, ideally, polyesters, polyolefins, cyclic olefin copolymers, polycarbonates. , Or substance These comprise 1 0. One of the methods in the previous claim, where (i) the coating is a barrier coating. Ideally, the SiOx layer, where X is approximately 1.5 to approximately 2.9, and / or (ii) a coating is a modified coating, lubricated condition, and / or substrate surface tension through which Ideally, the SiwOxCyHz layer, where w is 1, X is approximately 0.5 to 2.4, y is from approximately 0.6 to approx 3, and Z is from 2 to approximately 9 1.
1. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง สารชนิดระเหยง่ายเป็นสารชนิดระเหย ง่ายที่ปลดปล่อยจากเคลือบผิว ซึ่งอย่างเป็นการดีคือส่วนประกอบเคลือบผิวระเหยง่าย และ ที่ซึ่งการ ตรวจสอบได้รับการกระทำเพื่อกำหนดออกมาถึงการมีอยู่ สมบัติ และ/หรือ องค์ประกอบของเคลือบผิว 11. Methods according to one of the preceding claims, where volatile substances are volatile substances. Easy to release from the coating. Ideally, these are volatile coating components and where investigations have been done to determine the existence, properties and / or composition of the coating.
2. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึง สารชนิดระเหยง่ายคือสารชนิดระเหยง่าย ที่ปลดปล่อยจากซับสเตรต และ ที่ซึ่งการตรวจสอบได้รับการกระทำเพื่อกำหนดออกมาถึงการมีอยู่ของ เคลือบผิว และ/หรือ ผลการกั้นของเคลือบผิว หน้า 3 ของจำนวน 3 หน้า 12. Method according to one of the preceding claims where volatile substances are volatile substances. That is released from the substrate and where investigations have been performed to determine the presence of the coating and / or the blocking effect of the surface coating 3 of the number 3, page 1.
3. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง ซับสเตรตเป็นเวสเซล (80) ที่มีผนังซึ่ง ได้รับการเคลือบอย่างน้อยที่สุดส่วนหนึ่งบนพื้นผิวด้านในหรือด้านนอกของผนังนั้นในระหว่างกรรมวิธีการ เคลือบ และ ที่ซึ่ง อย่างเป็นการดี เคลือบผิวได้รับการจัดวางไว้บนพื้นผิวด้านในของผนังเวสเซล 13. Method according to one of the previous claims, where the substrate is a Vessel (80) with a wall which To be coated at least partially on the inner or outer surface of that wall during the coating process and where well The coating has been placed on the inner surface of the Wessel wall.
4. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 13 ที่ซึ่ง ความดันแตกต่างระหว่างช่องภายในเวสเซลและภายนอก ได้รับการสร้างขึ้นเพื่อวัดการปล่อยออกแก๊สสำหรับสารชนิดระเหยง่ายจากผนังเวสเซลผ่านการเคลือบ 14. Method of claim 13, where the pressure is different between the inner and outer vessel cavity. Built to measure gas emissions for volatile wessels from the Vessel wall through coating 1
5. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 13 หรือ 14 ที่ซึ่ง ความดันแตกต่างได้รับการจัดให้มีขึ้นโดยการทำให้ พื้นที่แก๊สในเวสเซลเป็นสุญญากาศอย่างน้อยที่สุดส่วนหนึ่ง 15. Methods of claim 13 or 14 where differential pressure is provided by making The gas area in Vessel is at least partially vacuum.
6. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง ภาวะที่มีประสิทธิผลในการจำแนกการ มีหรือการไม่มีของเคลือบผิว รวมถึงช่วงการทดสอบที่น้อยกว่า 50 วินาที, หรือน้อยกว่า 40 วินาที, หรือ น้อยกว่า 30 วินาที, หรือน้อยกว่า 20 วินาที, หรือน้อยกว่า 15 วินาที, หรือน้อยกว่า 10 วินาที, หรือน้อยกว่า 8 วินาที, หรือน้อยกว่า 6 วินาที, หรือน้อยกว่า 4 วินาที, หรือน้อยกว่า 3 วินาที, หรือน้อยกว่า 2 วินาที, หรือ น้อยกว่า 1 วินาที 16. The method according to any of the preceding claims where the effective condition of classification The presence or absence of a coating This includes testing intervals of less than 50 seconds, or less than 40 seconds, or less than 30 seconds, or less than 20 seconds, or less than 15 seconds, or less than 10 seconds, or less than 8 seconds, or less. 6 s, or less than 4 s, or less than 3 s, or less than 2 s, or less than 1 s 1
7. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่ง อัตราการปลดปล่อยของสารชนิดระเหย ง่ายได้รับการดัดแปลงโดยการดัดแปลงความดันโดยรอบ และ/หรือ อุณหภูมิ และ/หรือ ความชื้น ซึ่งเป็นการ เพิ่มความต่างระหว่างวัตถุอ้างอิงและวัตถุการตรวจสอบขึ้นสำหรับอัตราการปลดปล่อย และ/หรือ ชนิดของ สารชนิดระเหยง่ายที่วัด 17. Method according to one of the preceding claims where the rate of discharge of volatile matter Simple.It is modified by modifying ambient pressure and / or temperature and / or humidity, increasing the difference between the reference object and the verification object for the measured discharge rate and / or volatile type 1.
8. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ซึ่งได้รับการใช้เป็นการควบคุมกรรมวิธีในสาย สำหรับกรรมวิธีการเคลือบเพื่อการระบุและกำจัดผลิตภัณฑ์ผ่านการเคลือบที่ไม่ตรงตามมาตรฐานที่กำหนด ไว้ล่วงหน้าหรือผลิตภัณฑ์เคลือบที่เสียหาย 18. Means according to any one of the previous claims. Which has been used as a process control in the line For coating processes for the identification and removal of products through non-conforming coatings. Or damaged coating products 1
9. วิธีการตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งการเคลือบเป็นการเคลือบแบบพีอีซีวีดี ที่ได้รับการกระทำภายใต้ภาวะสุญญากาศและที่ซึ่งการวัดการปล่อยออกแก๊สที่ต่อตามมาได้รับการ ดำเนินการโดยไม่ทำลายสุญญากาศที่ใช้สำหรับพีอีซีวีดี ------------ 1.วิธีการสำหรับการตรวจสอบผลิตภัณฑ์ของกรรมวิธีการเคลือบที่ซึ่งเคลือบผิวได้รับการใส่ลงไปสู่พื้นผิวของซับสเตรตเพื่อการก่อรูปพื้นผิวผ่านการเคลือบขึ้นมาซึ่งวิธีการนั้นประกอบรวมด้วยขั้นตอน(a)การจัดให้มีผลิตภัณฑ์ที่เป็นวัตถุการตรวจสอบ(c)การวัดการปลดปล่อยของสารชนิดระเหยง่ายอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดจากวัตถุการตรวจสอบเข้าในพื้นที่แก๊สใกล้กับพื้นผิวผ่านการเคลือบและ(d)การเปรียบเทียบผลลัพธ์ของขั้นตอน(c)กับผลลัพธ์ของขั้นตอน(c)สำหรับวัตถุอ้างอิงอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่ได้รับการวัดภายใต้ภาวะการทดสอบที่เหมือนกันซึ่งเป็นการกำหนดออกมาซึ่งการมีหรือการไม่มีของเคลือบผิวและ/หรือสมบัติทางกายภาพและ/หรือทางเคมีของเคลือบผิวนั้น9. Means according to any of the preceding claims. Where the coating is a PE-CVD coating That were performed under vacuum conditions and where subsequent emission measurements were Performed without damaging the vacuum used for PVCVD ------------ 1. Method for product inspection of the coating process in which the coating has been put into The surface of the substrate for forming the surface is coated, the method consists of: (a) the provision of a product as an inspection object (c) the measurement of the discharge of At least one volatile substance from the inspection object enters the gas area near the surface through the coating, and (d) the comparison of the procedure results (c) with the results of the procedure (c) for the reference object, for example. At least one type is measured under the same test conditions, which determines the presence or absence of a coating and / or the physical and / or chemical properties of that coating.