TH39578B - กรรมวิธีสำหรับการทำให้เกิดรูในซับสเตรตแบบพอลิเมอร์ - Google Patents

Abstract

DC60 (22/09/46) สิ่งที่ได้รับการจัดเตรียม คือ กรรมวิธีสำหรับการทำให้เกิดรูผ่านที่ทะลุซับสเตรต ที่รวมถึง ขั้นตอนต่างๆ ของ (a) การจัดเตรียมฟิล์มที่ปราศจากโพรงอย่างเป็นสำคัญของสารผสมที่สามารถบ่มได้ (b) การนำมาใช้ของฉนวนชุบไว้บนฟิล์มที่สามารถบ่มได้นั้น (c) การทำให้เกิดเป็นภาพของฉนวนชุบ ในตำแหน่งซึ่งได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าแล้ว (d) การดีวีโลพฉนวนชุบให้เผยออกของพื้นที่ซึ่งได้ รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าแล้วของฟิล์มที่สามารถบ่มได้นั้น (e) การขจัดพื้นที่ซึ่งได้รับการเผยออก ของฟิล์มที่สามารถบ่มได้เพื่อที่จะจัดขึ้นรูปเป็นรูที่ทะลุฟิล์มที่สามารถบ่มได้นั้น และ (f) การให้ความ ร้อนกับฟิล์มที่สามารถบ่มได้ของขั้นตอน (e) จนถึงอุณหภูมิค่าหนึ่งและเป็นเวลานานค่าหนึ่งที่เพียงพอ ที่จะบ่มสารผสมที่สามารถบ่มได้นั้น และสิ่งที่ได้รับการเปิดเผยอีก คือ กรรมวิธีของการสร้างเป็นชุด ประกอบวงจรที่รวมถึง การสร้างชั้นวงจรที่ได้รับการกำหนดแบบรูปอยู่บนซับสเตรต ที่มี รูผ่านที่ได้ รับการเตรียมไว้โดยกรรมวิธีที่ได้รับการกล่าวถึงแล้วก่อนหน้านี้ สิ่งที่ได้รับการจัดเตรียม คือ กรรมวิธีสำหรับการทำให้เกิดรูผ่านที่ทะลุซับสเตรต ที่รวมถึง ขั้นตอนต่างๆ ของ (a) การจัดเตรียมฟิล์มที่ปราศจากโพรงอย่างเป็นสำคัญของสารผสมที่สามารถบ่มได้ (b) การนำมาใช้ของฉนวนชุบไว้บนฟิล์มที่สามารถบ่มได้นั้น (c) การทำให้เกิดเป็นภาพของฉนวนชุบ ในตำแหน่งซึ่งได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าแล้ว (d) การดีวีโลพฉนวนชุบให้เผยออกของพื้นที่ซึ่งได้ รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าแล้วของฟิล์มที่สามารถบ่มได้นั้น (e) การขจัดพื้นที่ซึ่งได้รับการเผยออก ของฟิล์มที่สามารถบ่มได้เวพื่อที่จะจัดขึ้นรูปเป็นรูที่ทะลุฟิล์มที่สามารบ่มได้นั้น และ (f) การให้ความ ร้อนกับฟิล์มที่สามารถบ่มได้ของขั้นตอน (e) จนถึงอุณหภูมิค่าหนึ่งและเป็นเวลานานค่าหนึ่งที่เพียงพอ ที่จะบ่มสารผสมที่สามารถบ่มได้นั้น และสิ่งที่ได้รับการเปิดเผยอีก คือ กรรมวิธีของการสร้างเป็นชุด ประกอบวงจรที่รวมถึง การสร้างชั้นวงจรที่ได้รับการกำหนดแบบรูปอยู่บนซับสเตรต ที่มี รูผ่านที่ได้ รับการเตรียมไว้โดยกรรมวิธีที่ได้รับการกล่าวถึงแล้วก่อนหน้านี้

Claims (3)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : 1. กรรมวิธีสำหรับการสร้างรูผ่านทะลุซับสเตรตซึ่งประกอบรวมด้วยขั้นตอนต่อไปนี้ (a) การจัดให้มีฟิล์มที่สามารถบ่มได้ที่ปราศจากโพรงอย่างเป็นสำคัญที่ประกอบรวมด้วย สารผสมที่สามารถบ่มได้ (b) การนำมาใช้ของฉนวนชุบไว้บนฟิล์มที่สามารถบ่มได้ดังกล่าว (c) การทำให้เกิดเป็นภาพของฉนวนชุบดังกล่าวในตำเเหน่งซึ่งได้รับการไว้กำหนดล่วงหน้า (d) การดีวีโลพจฉนวนชุบดังกล่าวเพื่อเปิดเผยพื้นที่ซึ่งได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าเเล้วของ ฟิล์มที่สามารถบ่มได้ (e) การขจัดพื้นที่ที่ได้รับการเผยออกของฟิล์มที่สามารถบ่มได้เพื่อก่อรูปรูผ่านฟิล์มที่สามารถ บ่มได้ดังกล่าว เเละ (f) การให้ความร้อนฟิล์มที่สามารหถบ่มได้ของขั้นตอน (e) จนถึงอุณหภูมิเเละเป็นเวลานาน พอเพียงเพื่อบ่มสารผสมที่สามารถบ่มได้ 2. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมรวมด้วยขั้นตอนต่อไปนี้ (g) การลอกฉนวนชุบที่เหลืออยู่ออก เเละ (h) อย่างเป็นทางเลือก การนำมาใช้ของชั้นของโลหะกับพื้นผิวทั้งหมด 3. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 2 โดยที่โลหะที่ได้รับการนำมาใช้ในขั้นตอน (h) ประกอบ รวมด้วยทองเเดง 4. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 2 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมรวมด้วยขั้นตอนที่ตามมาต่อไปนี้ (i) การทำให้เกิดเป็นภาพเเละการดีวีโลพฉนวนชุบที่สองดังกล่าวเพื่อเปิดเผยเเบบรูปที่ กำหนดไว้ล่วงหน้าของโลหะที่อยู่ข้างใต้ที่ไม่ได้รับการปิดคลุม (k) การเเช่กัดส่วนที่ไม่ได้รับการปิดคลุมดังกล่าวของชั้นของโลหะที่อยู่ข้างใต้ เเละ (I) การลอกฉนวนชุดที่สองที่เหลืออยู่ออกเพื่อก่อรูปเเบบรูปวงจรไฟฟ้า 5. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 4 โดยที่ฉนวนชุบได้รับการทำให้เกิดเป็นภาพในขั้นตอน (i) บนพื้นผิวหลักทั้งสองด้านของซับสเตรตของขั้นตอน (i) 6. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 4 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมรวมด้วยขั้นตอนที่ตามมาต่อไปนี้ (m) การนำมาใช้สารผสมไดอิเล็กตริกกับพื้นผิวทั้งหมด (n) การจัดให้มีรูในสารผสมไดอิเล็กตริกดังกล่าวในตำเเหน่งซึ่งได้รับการไว้กำหนดล่วงหน้า (o) การนำมาใช้ของชั้นที่สองของโลหะกับพื้นผิวทั้งหมด (p) การนำมาใช้ของฉนวนชุดที่สามกับพื้นผิวทั้งหมดของชั้นที่สองดังกล่าวของโลหะ (q) การทำให้เกิดเป็นภาพเเละการดีวีโลพฉนวนชุบที่สามดังกล่าวเพื่อเปิดเผยเเบบรูปที่ กำหนดไ่ว้ล่วงหน้าของชั้นที่สองของโลหะ เเละ (r) การเเช่กัดส่วนที่ได้รับการเผยออกดังกล่าวของชั้นที่สองของโลหะเพื่อก่อรูปเเบบรูปวงจร ไฟฟ้า 7. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 6 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมรวมด้วยขั้นตอนดังต่อไปนี้ (s) การลอกฉนวนชุดที่สามที่เหลืออยู่ออก 8. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 7 โดยที่เมื่อมีการเสร็จสิ้นของขั้นตอน (s) ขั้นตอน (m) ถึง (s) จะถูกทำซ้ำหนึ่งครั้งหรือมากกว่าเพื่อให้จำนวนที่ต้องการของชั้นของเเบบรูปวงจรไฟฟ้าที่มีการชื่อม ต่อระหว่างกัน 9. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 2 โดยที่ขั้นตอน (f) จะถูกกระทำก่อนขั้นตอน (g) 1 0. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 2 โดยที่ขั้ันตอน (g) จะถูกกระทำก่อนขั้นตอน (f) 1 1. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่สารผสมที่สามารถบ่มได้ดังกล่าวประกอบรวมด้วย (a) เรซินที่บรรจุด้วยเเอคทีฟไฮโดรเจนหนึ่งชนิดหรือมากกว่า เเละ (b) รีเอเจนต์การบ่มหนึ่งชนิดหรือมากกว่าที่ทำปฏิกิริยากับเเอคทีฟไฮโดรเจนของ (a) 1 2. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 11 โดยที่เรซินที่มีเเอคทีฟไฮโดรเจนดังกล่าวประกอบรวม ด้วยอย่างน้อยที่สุดพอลิเมอร์หนึ่งชนิดที่เลือกจากพอลิอีพอกไซด์พอลิเมอร์ อครีลิกพอลิเมอร์ พอลิเอสเตอร์พอลิเมอร์ ยูรีเธนพอลิเมอร์ พอลิเมอร์ที่มีพื้นฐานของซิลิคอน พอลิอีเธอร์พอลิเมอร์ พอลิยูเรียพอลิเมอร์ ไวนิลพอลิเมอร์ พอลิเอไมด์พอลิเมอร์ พอลิอิมีดพอลิเมอร์ ของผสมของสิ่งนั้น เเละโคโพลิเมอร์ของสิ่งนั้น 1 3. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 11 โดยที่ตัวกระทำการบ่มดังกล่าว (b) ถูกเลือกจาก ไอโซไซยาเนทที่ได้รับการบล็อก คาร์บอดีอิมีด อะเซอริดีน อีพอกซิ อะมิโนพลาสท์ เเอทีฟ เอสเตอร์ เเละของผสมของสิ่งนั้น 1 4. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ขั้นตอน (d) เเละ (e) จะเกิดขึ้นอย่างพร้อมเพรียงกัน 1 5. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ฉนวนชุบได้รับการดีวีโลพในขั้นตอน (d) โดยการ นำมาใช้ของสารละลายที่เป็นกรด เเละผิวเคลือบที่สามารถบ่มได้ถูกขจัดออกในขั้นตอน (e) โดยการ นำมาใช้ของสารละลายเบส 1 6. กรรมิวธีขอวข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ฉนวนชุบได้รับการดีวีโลพในขั้นตอน (d) โดยการ นำมาใช้ของสารละลายเบส เเละผิวเคลือบที่สามารถบ่มได้ถูกขจัดออกในขั้นตอน (e) โดยการนำมา ใช้ของสารละลายที่เป็นกรด 1 7. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่สารผสมที่สามารถบ่มได้ถูกขจัดออกในขั้นตอน (e) โดยการนำตัวทำละลายเเบบอินทรีย์มาใช้ 1 8. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่สารผสมที่ได้รับการบ่มหลังขั้นตอน (f) จะประกอบ รวมด้วยวัสดุไดอิเล็กตริก 1 9. กรรมวิธีสำหรับการประกอบสร้างชุดประกอบวงจรไฟฟ้าเเบบหลายชั้นซึ่งประกอบรวม ด้วยขั้นตอนต่อไปนี้ (a) การจัดให้มีฟิล์มที่สามารถบ่มได้ที่ปราศจากโพรงอย่างเป็นสำคัญของสารผสมที่สามารถ บ่มได้ (b) การนำมาใช้ของฉนวนชุบไว้บนฟิล์มที่สามารถบ่มได้ดังกล่าว (c) การทำให้เกิดเป็นภาพของฉนวนชุบดังกล่าวในตำเเหน่งซึ่งได้รับการไว้กำหนดล่วงหน้า (d) การดีวีโลพฉนวนชุบดังกล่าวเพื่อเปิดเผยพื้นที่ซึ่งได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าเเล้วของ ฟิล์มที่สามารถบ่มได้ (e) การขจัดพื้นที่ที่ได้รับการเผยออกของฟิล์มที่สามารถบ่มได้เพื่อก่อรูปรูผ่านฟิล์มที่สามารถ บ่มได้ดังกล่าว (f) การให้ความร้อนฟิล์มที่สามารถบ่มได้ของขั้นตอน (e) จนถึงอุณหภูมิเเละเป็นเวลานาน พอเพียงเพื่อบ่มสารผสมที่สามารถบ่มได้ (g) การลอกฉนวนชุบที่เหลืออยู่ออก (h) การนำมาใช้ของชั้นของโลหะกับพื้นผิวทั้งหมด (i) การนำมาใช้ของฉนวนชุบที่สองเหนือพื้นผิวทั้งหมดของชั้นของโลหะที่ได้รับการนำมาใช้ ในขั้นตอน (h) (j) การทำให้เกิดเป็นภาพเเละการวีดีโลฑฉนวนชุบที่สองดังกล่าวเพื่อเปิดเผยเเบบรุปที่ กำหนดไว้ล่วงหน้าของโลหะที่อยู่ข้างใต้ที่ไม่ได้รับการปิดคลุม (k) การเเช่กัดส่วนที่ไม่ได้รับการปิดคลุมดังกล่าวของชั้นของโลหะที่อยู่ข้างใต้ (I) การลอกฉนวนชุดที่สองที่เหลืออยู่ออกเพื่อก่อรูปเเบบรูปวงจรไฟฟ้า (m) การนำสารผสมไดอิเล็กตริกมาใช้กับพื้นผิวทั้งหมด (n) การจัดให้มีฉนวนชุบในสารผสมไดอิเล็กตริกดังกล่าวในตำเเหน่งซึ่งได้รับการไว้กำหนด ล่วงหน้า (o) การนำมาใช้ของชั้นที่สองของโลหะกับพื้นผิวทั้งหมด (p) การนำมาใช้ของฉนวนชุบที่สามกับพื้นผิวทั้งหมดของชั้นที่สองดังกล่าวของโลหะ (q) การทำให้เกิดเป็นภาพเเละการดีวีโลพฉนวนชุบที่สามดังกล่าวเพื่อเปิดเผยเเบบรูปที่ กำหนดไว้ล่วงหน้าของชั้นที่สองของโลหะ (r) การเเช่กัดส่วนที่ได้รับการเผยออกดังกล่าวของชั้นที่สองของโลหะเพื่อก่อรูปเเบบรูปวงจร ไฟฟ้า (s) การลอกฉนวนชุดที่สามที่เหลืออยู่ออก เเละ (t) การทำซ้ำอย่างเป็นทางเลือกขั้นตอน (n) ถึง (t) หนึ่งครั้งหรือมากกว่า เพื่อก่อรูปชั้นหลาย ชั้นของเเบบรูปวงจรไฟฟ้าที่มีการเชื่อมต่อระหว่างกัน 2 0. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่โลหะที่ได้รับการนำมาใช้ในขั้นตอน (h) ประกอบ รวมด้วยทองเเดง 2 1. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่ขั้นตอน (f) ถูกกระทำก่อนขั้นตอน (g) 2 2. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่ขั้นตอน (g) ถูกกระทำก่อนขั้นตอน (f) 2 3. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่สารผสมที่สามารถบ่มได้ดังกล่าวประกอบ รวมด้วย (a) เรซินที่มีเเอคทีฟไฮโดรเจนหนึ่งหรือมากกว่า เเละ (b) รีเอเจนต์การบ่มหนึ่งชนิดหรือมากกว่าที่ทำปฏิกิริยากับเเอคทีฟไฮโดรเจนของ (a) 2 4. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 23 โดยที่เรซินที่มีเเอคทีฟไฮโดรเจนดังกล่าวประกอบรวม ด้วยอย่างน้อยที่สุดพอลิเมอร์หนึ่งชนิดที่เลือกจาก พอลิอีพอกไซด์พอลิเมอรื อครีลิกพอลิเมอร์ พอลิเอสเตอร์พอลิเมอร์ พอลิเมอร์ที่มีพื้นฐานของซิลิคอน ยูรีเธนพอลิเมอร์ พอลิลิกพอลิเมอร์ พอลิยูเรียพอลิเมอร์ ไวนิลพอลิเมอร์ พอลิเอไมด์พอลิเมอร์ พอลิอิมีดพอลิเมอร์ของผสมของสิ่งนั้น เเละโคโพลิเมอร์ของสิ่งนั้น 2 5. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 23 โดยที่ตัวกระทำการบ่มดังกล่าว (b) ถูกเลือกจาก ไอโซไซยาเนทที่ได้รับการบล็อก คาร์บอดีอิมีด อะเซอริดีน อีพอกซิ อะมิโนพลาสท์ เเอคทีฟ เอส เทอร์ เเละของผสมของสิ่งนั้น 2 6. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่ขั้นตอน (d) เเละ (e) จะเกิดขึ้นอย่างพร้อมเพรียงกัน 2 7. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่ฉนวนชุบได้รับการดีวีโลพในขั้นตอน (d) โดยการ นำมาใช้ของสารละลายที่เป็นกรด เเละผิวเคลือบที่สามารถบ่มได้ถูกขจัดออกในขั้นตอน (e) โดยการ นำมาใช้ของสารละลายเบส 2 8. กรรมวิธีวของข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่ฉนวนชุบได้รับการดีวีโลพในขั้นตอน (d) โดยการ นำมาใช้ของสารละลายเบส เเละผิวเคลือบที่สามารถบ่มได้ถูกขจัดออกในขั้นตอน (e) โดยการนำมา ใช้ของสารละลายที่เป็นกรด 2 9. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่สารผสมที่สามารถบ่มได้ถูกขจัดออกในขั้นตอน (e) โดยการนำมาใช้ตัวทำละลายเเบบอินทรีย์ 3 0. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่สารผสมที่ได้รับการบ่มหลังขัันตอน (f) ประกอบ รวมด้วยวัสดุไดอิเล็กตริก 3 1. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่ฉนวนชุบได้รับการทำให้เกิดเป็นภาพในขั้นตอน (j) บนพื้นผิวหลักทั้งสองด้านของซับสเตรตของขั้นตอน (i) 3 2. กรรมวิธีสำหรับการสร้างรูผ่านทะลุซับสเตรตซึ่งประกอบรวมด้วยขั้นตอนต่อไปนี้ (a) การจัดให้มีฟิล์มที่ปราศจากโพรงอย่างเป็นสำคัญ (b) การนำมาใช้ของฉนวนชุบไว้บนฟิล์มดังกล่าว (c) การทำให้เกิดเป็นภาพของฉนวนชุบดังกล่าวในตำเเหน่งซึ่งได้รับการไว้กำหนดล่วงหน้า (d) การดีวีโลพฉนวนชุบดังกล่าวเพื่อเปิดเผยพื้นที่ซึ่งได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าเเล้วของ ฟิล์ม เเละ (e) การขจัดพื้นที่ที่ได้รับการเผยออกของฟิล์มเพื่อก่อรูปรูผ่านฟิล์มดังกล่าว 3 3. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 32 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมรวมด้วยขั้นตอนต่อไปนี้ (g) การลอกฉนวนชุบที่เหลืออยู่ออก เเละ (h) อย่างเป็นทางเลือก การนำมาใช้ของชั้นของโลหะกับพื้นผิวทั้งหมด 3 4. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 33 โดยที่โลหะที่ได้รับการนำมาใช้ในขั้นตอน (h) ประกอบ รวมด้วยทองเเดง 3 5. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 32 โดยที่ฉนวนชุบได้รับการดีวีโลพในขั้นตอน (d) โดยการ นำมาใช้ของสารละลายที่เป็นกรด เเละพื้นที่ที่ได้รับการเผยออกของฟิล์มถูกขจัดออกในขั้นตอน (e) โดยการนำมาใช้ของสารละลายเบส 3 6. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 32 โดยที่ฉนวนชุบได้รับการดีวีโลพในขั้นตอน (d) โดยการ นำมาใช้ของสารละลายเบส เเละพื้นที่ที่ได้รับการเผยออกของฟิล์มจะถูกขจัดออกในขั้นตอน (e) โดยการนำมาใช้ของสารละลายที่เป็นกรด 3 7. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 32 โดยที่พื้นที่ที่ได้รับการเผยออกของฟิล์มจะถูกขจัดออก ในขั้นตอน (e) โดยการนำมาใช้ตัวทำละลายเเบบอินทรีย์ 3 8. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 32 โดยที่ฟิล์มประกอบรวมด้วยวัสดุไดอิเล็กตริก 3 9. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 33 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมรวมด้วยขั้นตอนที่ตามมาต่อไปนี้ (i) การนำมาของฉนวนชุบที่สองเหนือพื้นผิวทั้งหมดของชั้นของโลหะที่ได้รับการนำมาใช้ ในขั้นตอน (h) (i) การทำให้เกิดเป็นภาพเเละการดีวีโลพฉนวนชุบที่สองดังกล่าวเพื่อเปิดเผยเเบบรูปที่ กำหนดไว้ล่วงหน้าของโลหะที่อยู่ข้างใต้ที่ไม่ได้รับการปิดคลุม. (k) การเเช่กัดส่วนที่ไม่ได้รับการปิดคลุมดังกล่าวของชั้นของโลหะที่อยู่ข้างใต้ เเละ (i) การลอกฉนวนชุบที่สองที่เหลืออยู่ออกเพื่อก่อรูปเเบบรูปวงจรไฟฟ้า 4 0. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 39 โดยที่ฉนวนชุบได้รับการทำให้เกิดเป็นภาพในขั้นตอน (i) บนพื้นผิวหลังกทั้งสองด้านของซับสเตรตของขั้นตอน (i) 4

1. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 39 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมรวมด้วยขั้นตอนที่ตามมาต่อไปนี้ (m) การนำมาใช้สารผสมไดอิเล็กตริกกับพื้นผิวทั้งหมด (n) การจัดให้มีรูในสารผสมไดอิเล็กตริกดังกล่าวในตำเเหน่งซึ่งได้รับการไว้กำหนดล่วงหน้า (o) การนำมาใช้ของชั้นที่สองของโลหะกับพื้นผิวทั้งหมด (p) การนำมาใช้ของฉนวนชุบที่สามกับพื้นผิวทั้งหมดของชั้นที่สองดังกล่าวของโลหะ (q) การทำให้เกิดเป็นภาพเเละการดีวีโลพฉนวนชุบที่สามดังกล่าวเพื่อปิดเผยเเเบบรูปที่ กำหนดไว้ล่วงหน้าของชั้นที่สองของโลหะ เเละ (r) การเเช่กัดส่วนที่ได้รับการเผยออกดังกล่าวของชั้นที่สองของโลหะเพื่อก่อรูปเเบบรูปวงจร ไฟฟ้า 4

2. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 41 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมรวมด้วยขั้นตอนดังต่อไปนี้ (s) การลอกฉนวนชุบที่สามที่เหลืออยู่ออก 4

3. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 42 โดยที่เมื่อการเสร็จสิ้นของขั้นตอน (s) ขั้นตอน (m) ถึง (s) จะถูกทำซ้ำหนึ่งครั้งหรือมากกว่าเพื่อให้จำนวนที่ต้องการของชั้นของเเบบรูปวงจรไฟฟ้าที่มี การเชื่อมต่อระหว่างกัน