TH29894A - วิธีการของการผลิตชิ้นวัตถุกึ่งตัวนำ - Google Patents
วิธีการของการผลิตชิ้นวัตถุกึ่งตัวนำInfo
- Publication number
- TH29894A TH29894A TH9701004683A TH9701004683A TH29894A TH 29894 A TH29894 A TH 29894A TH 9701004683 A TH9701004683 A TH 9701004683A TH 9701004683 A TH9701004683 A TH 9701004683A TH 29894 A TH29894 A TH 29894A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- porous
- silicon layer
- layer
- porous silicon
- manufacturing semiconductors
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (16/03/41) วิธีการของการผลิตชิ้นวัตถุกึ่งตัวนำ ที่ประกอบด้วยขั้นตอนของการเตรียมวัสดุรองรับแรกที่ รวมถึงวัสดุรองรับ ซิลิคอน ที่มีชั้น ซิลิคอน รูพรุน และชั้นสารกึ่งตัวนำที่ไม่เป็นรูพรุน ที่จัดไว้บนชั้น ซิลิคอน รูพรุนนั้น, การยึดติดวัสดุรองรับแรก และ วัสดุรองรับที่สอง เพื่อผลิตโครงสร้างหลายชั้น ด้วยชั้นสาร กึ่งตัวนำที่ไม่เป็นรูพรุนที่อยู่ด้านใน, การแยกวัสดุรองรับ แรกและที่สองของโครงสร้าง หลายชั้น ออกจากกันและกัน ตามชั้น ซิลิคอน รูพรุน โดยการให้ความร้อนโครงสร้าง หลายชั้นนั้น และการแยกชั้น ซิลิคอน รูพรุน ที่เหลือบน วัสดุรองรับที่สองที่แยกแล้วนั้น วิธีการของการผลิตชิ้นวัตถุกึ่งตัวนำ ที่ประกอบด้วยขั้นตอนของการเตรียมวัสดุรองรับแรกที่รวมถึงวัสดุรองรับ ซิลิคอน ที่มีชั้น ซิลิคอน รูพรุน และชั้นสารกึ่งตัวนำที่ไม่เป็นรูพรุน ทีจัดไว้บนชั้น ซิลิคอน รูพรุน, การยึดติดวัสดุรองรับแรก และ วัสดุรองรับที่สอง เพื่อผลิตโครงสร้างหลายชั้นด้วยชั้นสาร กึ่งตัวนำที่ไม่เป็นรูพรุนที่อยู่ด้านใน, การแยกวัสดุรองรับ แรกและที่สองของโครงสร้างหลายชั้น ออกจากกันและกัน ตามชั้น ซิลิคอน รูพรุน โดยการให้ความร้อนโครงสร้าง หลายชั้นนั้นและการแยกชั้น ซิลิคอน รูพรุน ที่เหลือบน วัสดุรองรับที่สองที่แยกแล้วนั้น
Claims (1)
1.วิธีการของการผลิตชิ้นวัตถุกึ่งตัวนำ ที่มีลักษณะเฉพาะที่ประกอบด้วยขั้นตอนของ: การเตรียมวัสดุรองรับแรกที่รวมถึงวัสดุรองรับ ซิลิคอนที่ มีชั้น ซิลิคอน รูพรุน และชั้นสารกึ่งตัวนำที่ไม่เป็นรูพรุน ที่จัดไว้บนชั้น ซิลิคอน รูพรุนที่กล่าวแล้วนั้น; การยึดติดวัสดุรองรับแรกที่กล่าวแล้วนั้น และวัสดุรองรับ ที่สอง เพื่อผลิตโครงสร้างหลายชั้นด้วยชั้นสารกึ่งตัวนำที่ไม่ เป็นรูพรุนที่กล่าวแล้วนั้น ที่อยู่ด้านใน; การแยกวัสดุรองรับและที่สองที่กล่าวแล้วนั้นของโครงสร้าง หลายชั้นที่กล่าวแล้วนั้น ออกจากกันและกัน ตามชั้นแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH29894A true TH29894A (th) | 1998-09-04 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2220600A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor article | |
| EP0867919A3 (en) | Semiconductor substrate and process for producing same | |
| EP0926709A3 (en) | Method of manufacturing an SOI structure | |
| EP0688048A3 (en) | Semiconductor substrate with SOI structure | |
| TW373330B (en) | Method of manufacturing semiconductor articles | |
| CA2225131A1 (en) | Process for producing semiconductor article | |
| DE69930583D1 (de) | Verbundbauteil, Verfahren zu seiner Trennung, und Herstellungsverfahren eines Halbleitersubstrates unter Verwendung desselben | |
| JPH11195562A5 (th) | ||
| EP0757377A3 (en) | Semiconductor substrate and fabrication method for the same | |
| CA2233096A1 (en) | Substrate and production method thereof | |
| CA2061264A1 (en) | Etching solution for etching porous silicon, etching method using the etching solution and method of preparing semiconductor member using the etching solution | |
| CA2221100A1 (en) | Process for producing semiconductor article | |
| EP0961312A3 (en) | SOI Substrate formed by bonding | |
| EP1006567A3 (en) | Method of manufacturing semiconductor wafer method of using and utilizing the same | |
| CA2233115A1 (en) | Semiconductor substrate and method of manufacturing the same | |
| EP1246238A3 (en) | Method of fabricating a bonded substrate | |
| JP2004507094A (ja) | 半導体チップおよびこれを製造する方法 | |
| TH29894A (th) | วิธีการของการผลิตชิ้นวัตถุกึ่งตัวนำ | |
| TH29893A (th) | วิธีการของการผลิตชิ้นวัตถุกึ่งตัวนำ | |
| JPH10247648A5 (th) | ||
| TH32186A (th) | กรรมวิธีสำหรับการผลิตชิ้นวัตถุกึ่งตัวนำ | |
| EP0989616A3 (en) | Method and apparatus for producing photoelectric conversion device | |
| TH36084A (th) | กรรมวิธีการผลิตของวัสดุรองรับสารกึ่งตัวนำ | |
| JP2560378Y2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| TH31233A (th) | แผ่นฐานสารกึ่งตัวนำ และวิธีการของการผลิตแผ่นฐานนี้ |