TH26021B - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

Info

Publication number
TH26021B
TH26021B TH9601002996A TH9601002996A TH26021B TH 26021 B TH26021 B TH 26021B TH 9601002996 A TH9601002996 A TH 9601002996A TH 9601002996 A TH9601002996 A TH 9601002996A TH 26021 B TH26021 B TH 26021B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
semiconductor
layer
base
semiconductor layer
capacitance
Prior art date
Application number
TH9601002996A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH26021A (en
Inventor
นาย ฮิเดกิโมริ นายฮิเดกิ โมริ
Original Assignee
โซนี่ คอร์ปอเรชั่น
Filing date
Publication date
Application filed by โซนี่ คอร์ปอเรชั่น filed Critical โซนี่ คอร์ปอเรชั่น
Publication of TH26021A publication Critical patent/TH26021A/en
Publication of TH26021B publication Critical patent/TH26021B/en

Links

Abstract

อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำซึ่งแก้ไขปัญหาของความจุไฟฟ้า ของชั้นฐานเชิงปรสิตที่ลดทอนอัตราเร็วการดำเนินกรรมวิธีสัญญาณ และ ลดอัตราเร็วการปฏิบัติการของไอซี จะก่อรูปชั้นสารกึ่งตัวนำ 12 แบบชนิดเอ็นบนฐานของสารกึ่งตัวนำ แบบชนิดพี แอลฟิล์ม ฉนวน 13 และแผ่น 16 จะได้รับการก่อรูปบนชั้นสารกึ่งตัวนำ 12 จะก่อรูปชั้นการแพร่ซึม 20 เพื่อการแยกโดดแบบชนิดพี ใน ส่วนหนึ่งของชั้นสารกึ่งตัวนำ 12 ข้างใต้ฟิล์มฉนวน 13 จะ ก่อรูปชั้นการแพร่ซึมสารเจือปน 17 แบบชนิดเอ็นที่เชื่อมต่อ กับชั้นสารกึ่งตัวนำ 12 บนชั้นสารกึ่งตัวนำ 12 และอิเล็กโท รด 19 ที่เชื่อมต่อกับชั้นการแพร่ซึมสารเจือปน 17 ผ่านรู 18 เพื่อการเชื่อมต่อที่ก่อรูปในฟิล์มฉนวน 13 ข้างบนชั้นการแพร่ซึมสารเจือปน 17 จะได้รับการก่อรูปใน ลักษณะที่ว่าจะเป็นอิสระอย่างทางไฟฟ้าจากแผ่น 16 จะก่อรูป ชั้นการแพร่ซึม 20 เพื่อการแยกโดดไว้ภายนอกส่วนรอบนอกด้าน ข้าง ของชั้นการแพร่ซึมสารเจือปน 17 และในลักษณะที่ว่ารอย ต่อพีเอ็นระหว่างฐานของสารกึ่งตัวนำ 11 และชั้นสารกึ่งตัว นำ 12 จะปรากฎอยู่อย่างน้อยที่สุดในส่วนหนึ่งของพื้นที่ ข้างใต้แผ่น 16 ในอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำเช่นนี้ เพราะว่ารอย ต่อพีเอ็นระหว่างฐานของสารกึ่งตัวนำ 11 และชั้นสารกึ่งตัว นำ 12 จะปรากฏอยู่อย่างน้อยที่สุดในส่วนหนึ่งของพื้นที่ ข้างใต้แผ่น 16 ในอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำเช่นนี้ เพราะว่ารอย ต่อพีเอ็นระหว่างฐานของสารกึ่งตัวนำ 11 และชั้นสารกึ่งตัวนำ 12 จะปรากฏอยู่อย่างน้อยที่สุด ในส่วน หนึ่งของพื้นที่ข้างใต้แผ่นความจุไฟฟ้าของรอยต่อพีเอ็นเช่น นี้จะได้รับการเชื่อมต่อในลักษณะอนุกรมกับแผ่นนี้ ดังผล ลัพธ์ที่ได้จะทำให้ความจุไฟฟ้าที่เรียกว่าความจุไฟฟ้าของ ชั้นฐาน (ฐานของสารกึ่งตัวนำ) ที่เชื่อมต่ออย่างเชิงปรสิต ลดลง เช่นเดียวกันโดยการป้อนเข้าของสนามแบบผกผัน บนชั้นสาร กึ่งตัวนำและฐานของสารกึ่งตัวนำจากอิเล็กโทรด 19 จะทำให้ ความจุไฟฟ้าของรอยต่อพีเอ็นนี้ลดลงในความกว้างของชั้นการ ปลอดพาหะ A semiconductor device that solves the problem of electrical capacitance. Of parasitic basal layers that reduce the signal processing speed and the operating speed of ICs On a PL-type semiconductor base, insulating film 13 and sheet 16 are formed on the semiconductor layer 12 to form a diffusion layer 20 for the P-type isolation, in part of the semiconductor layer 12, under the insulating film 13 forms 17 N-connected dope diffusion layers. With semiconductor layer 12 on semiconductor layer 12 and electrode 19 connected to dopant diffusion layer 17 through hole 18 for the connections formed in insulating film 13 above the diffusion layer. Contaminated 17 will be formed in In such a way that it is electrically independent from sheet 16 it forms a diffusion layer 20 for external isolation, the lateral periphery of the impurity diffusion layer 17, and in such a manner that it is welded The PN between the semiconductor base 11 and the semiconductor layer 12 is present at least part of the area under plate 16 in such semiconductor devices because the PN junction between the semiconductor bases. Conductor 11 and semiconductor layer 12 appear at least in part of the area under plate 16 in such semiconductor devices, because the PN junction between the base of the semiconductor 11 and the semiconductor layer 12 will It appears at least in part of the area below the capacitance of a PN junction, such as This will be connected in series with this plate, as a result, the resulting capacitance known as the parasitically connected base layer (semiconductor base) capacitance is likewise reduced by The inverse field input on the semiconductor layer and the semiconductor base from the electrode 19 reduces the capacitance of this PN junction in the width of the carrier-free layer.

Claims (1)

1. อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำซึ่งประกอบด้วยฐานของสารกึ่งตัวนำที่เป็นแบบชนิดนำไฟฟ้าแบบชนิดที่หนึ่ง ชั้นสารกึ่งตัวนำที่เป็นแบบชนิดนำไฟฟ้า แบบชนิดที่สองที่ ตรงกันข้ามกับแบบชนิดนำไฟฟ้า แบบชนิดที่หนึ่งดังกล่าวซึ่ง ก่อรูปบนฐานของสารกึ่งตัวนำดังกล่าว ฟิล์มฉนวนที่ก่อรูปบนชั้นสารกึ่งตัวนำดังกล่าว แผ่นที่ประกอบด้วยฟิล์มนำไฟฟ้า ซึ่งก่อรูปบนฟิล์มฉนวนดัง กล่าว ชั้นการแพร่ซึมเพื่อการแยกโดด ที่เป็นแบบชนิดนำไฟฟ้าแบบ ชนิดที่หนึ่งดังกล่าว ซึ่งได้รับการก่อรูปบนส่วนของชั้นสาร กึ่งตัวนำดังกล่าวข้างใต้ฟิล์มฉนวนดังกล่าว ชั้น1. a semiconductor device consisting of a type one conductive semiconductor base. Conductive semiconductor layer The second kind that In contrast to the conductive type. One such type, which Form on the base of such semiconductor The insulating film that forms on the said semiconductor layer. Sheet containing conductive film Which forms on such insulating film, diffusion layer for isolation Which is a conductive type One such type Which has been formed on the part of the substance layer The semiconductor below the insulating film thereof
TH9601002996A 1996-09-06 Semiconductor device TH26021B (en)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH26021A TH26021A (en) 1997-07-16
TH26021B true TH26021B (en) 1997-07-16

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU457237A3 (en) Integrated circuit
EP0457886B1 (en) Power mosfet transistor circuit
KR880008428A (en) Semiconductor structure using merged bipolar / CMOS technology using electrically active trench and method of manufacturing the same
JPS6358380B2 (en)
CN100514678C (en) Low capacitance ESD-protection structure under a bond pad
ATE107440T1 (en) MONOLITHIC INTEGRATED TRANSISTOR CIRCUIT FOR LIMITING POSITIVE OVERVOLTAGE.
KR970024165A (en) A Semiconductor Integrated Circuit and Its Fabricating Method
KR100298819B1 (en) Structure for esd protection in semiconductor chips
JP2751650B2 (en) Semiconductor circuit
US6392307B1 (en) Semiconductor device
JPS61296770A (en) Insulated gate field effect type semiconductor device
US6320229B1 (en) Semiconductor device
TH26021B (en) Semiconductor device
TH26021A (en) Semiconductor device
EP0353308A4 (en) Semiconductor device
JPS62244160A (en) Semiconductor device
JPS58186959A (en) Semiconductor device
JPH069208B2 (en) Semiconductor device
JPS627160A (en) Semiconductor device
KR950021286A (en) Input pad of semiconductor device and forming method thereof
TWI231593B (en) Line skeleton of power MOS product having gate-source protection diode
JP2830092B2 (en) Electrostatic protection element for semiconductor device
KR100240684B1 (en) Esd protection circuit of semiconductor device
JPS62297762A (en) Inspecting method for semiconductor device
JPS59104171A (en) Semiconductor device