อุปกรณ์เคลือบสารที่ได้จากปฏิกิริยาเคมีของไอสารชนิดที่ปรับปรุงให้ดีขึ้น ซึ่งมีที่ให้ความร้อนที่จัดได้ว่าอยู่ ล้อมรอบช่องเคลือบสารที่เป็นช่องใน เพื่อทำให้สภาพด้าน อุณหภูมิภายในช่องคงที่หรือควบคุมความแตกต่างได้อย่าง เที่ยงตรง ชิ้นส่วนภายในของช่องเกิดปฏิกิริยาทำด้วยควอตซ์ หรือวัสดุที่คล้ายคลึงกันที่สามารถถ่ายเทพลังงานด้วยการแผ่ รังสีผ่านได้ สิ่งต่าง ๆ ที่รวมอยู่ด้วยคือที่ทำความเย็น แบบพิเศษเพื่อป้องกัน แหวนผนึกที่ว่องไวต่อความร้อน การทำโครงสร้างของส่วนประกอบ ที่เป็นแก้วที่จะต้องรับความเครียดอย่างรุนแรงในขณะดำเนิน การให้แข็งแรงขึ้นและการออกแบบอย่างจำเพาะเพื่อทำให้ถอดและ เปลี่ยนส่วนประกอบที่เป็นแก้วทุกชิ้นที่สัมผัสกับก๊าซที่ ใช้ทำปฏิกิริยาเคลือบสารได้โดยง่าย Improved vapor-chemical reaction coatings Which has a place that gives the heat that it is Surround the coating cavity To make the condition The temperature inside the chamber is constant or precisely controlled. The internal part of the channel is made of quartz. Or similar materials that can transfer energy through radiation. Special protection Heat sensitive sealing ring Making the structure of the components It is a glass that will have to undergo severe stress while working. Strengthening and modular design to make and Replace all glass components that come into contact with the gas that Easy to use for coating reaction
Claims (1)
1. อุปกรณ์เคลือบสารโดยมีการควบคุมอุณหภูมิซึ่งประกอบด้วยช่องเกิดปฏิกิริยาเคลือบสารเป็นช่องในที่มีที่กระจายก๊าซ สำหรับป้อนก๊าซเข้าสู่ช่องในและเอาก๊าซออกจากช่องนั้น ที่ ที่เป็นเช่งสูญญากาศล้อมรอบช่องเกิดปฏิกิริยาเคลือบสารที่ เป็นช่องในและอยู่ห่างออกมาจากผนังของช่องในเพื่อรักษา สูญญากาศระดับปานกลางไว้ในช่องนั้น ที่ที่เป็นช่องสูญญากาศ ประกอบด้วยตัวถังรูปโดมและส่วนฐานที่ทำหน้าที่ร่วมกับตัว ถังนั้น วัสดุที่ ใช้ทำตัวถังรูปโดมและส่วนฐานเป็นสารที่จัดได้ว่ายอมให้ รังสีแผ่ผ่านได้ ที่ให้ความร้อนด้วยก1.Temperature-controlled coating equipment consisting of a coating reaction chamber, an inner cavity with a gas diffuser. For feeding gases into the inner cavity and removing gases from that cavity, such as a vacuum surround the coating reaction chamber that Is the inner cavity and away from the wall of the inner cavity to maintain Medium vacuum in that compartment Where is the vacuum chamber It consists of a domed hull and a base that acts in conjunction with the hull. The materials used to make the dome hull and the base are classified as tolerant. Radiation That is heated by
TH8401000427A1984-08-29
The coating is obtained from the chemical reaction of the vapor.
TH2075A
(en)