TH1431A - ขบวนการและอุปกรณ์สำหรับการฉาบด้วยไอสารเคมี - Google Patents
ขบวนการและอุปกรณ์สำหรับการฉาบด้วยไอสารเคมีInfo
- Publication number
- TH1431A TH1431A TH8301000316A TH8301000316A TH1431A TH 1431 A TH1431 A TH 1431A TH 8301000316 A TH8301000316 A TH 8301000316A TH 8301000316 A TH8301000316 A TH 8301000316A TH 1431 A TH1431 A TH 1431A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- chemical vapor
- reaction chamber
- plastering
- internal reaction
- processes
- Prior art date
Links
Abstract
อุปกรณ์สำหรับการฉาบไอสารเคมีที่ประกอบด้วยแหล่งความร้อนที่อยู่โดยรอบห้องปฏิกิริยาส่วนในอย่างค่อนข้างสม่ำเสมอ เพื่อ ก่อให้เกิดความสมดุลของอุณหภูมิ หรือเพื่อการควบคุม อุณหภูมิ ไว้ภายใน โดยห้องปฏิกิริยาถูกล้อมรอบไว้ด้วยผนังของห้อง สุญญากาศที่อยู่ห่างออกมา
Claims (2)
1. อุปกรณ์สำหรับฉาบที่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ ซึ่งประกอบด้วยชุดแผ่ความร้อนที่พันห้องปฏิกิริยาภายในเอาไว้ โดยรอบ เพื่อให้เกิดการควบคุมอุณหภูมิที่แน่นอน โดยห้องปฏิกิริยา ภายใน มีอุปกรณ์สำหรับส่งก๊าซเข้าภายใน และสำหรับดูดก๊าซออก พร้อม ด้วยห้องสูญญากาศที่อยู่โดยรอบห้องปฏิกิริยาภายในที่อยู่ใน ลักษณะของการก่อให้เกิดช่องว่างขึ้นระหว่างผนังเพื่อจะได้ คงไว้ ซึ่งสภาวะแห่งการเป็นสูญญากาศ
2. อุปกรณ์สำหรับฉาบไอสารเคมีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งห้อง สูญญากาศประกอบด้วยโครงตัวถังรูปโค้ง และฐานที่ปฏิบัติงาน ร่วมกันแท็ก :
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH1431A true TH1431A (th) | 1984-03-01 |
| TH1431EX TH1431EX (th) | 1984-03-01 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AU9118291A (en) | A catalyst structure having integral heat exchange (ii) | |
| GB1520838A (en) | Activated gas reaction apparatus | |
| NO870825D0 (no) | Innretning for luftkjoeling av roerfordeler for gassturbiners kompressorer. | |
| KR910015003A (ko) | 열처리 장치 및 이를 사용한 박막형성 방법 | |
| BR8104287A (pt) | Bloco de tijolo refratario permeavel a gases | |
| JPS5319181A (en) | Low pressure reaction apparatus | |
| TH1431A (th) | ขบวนการและอุปกรณ์สำหรับการฉาบด้วยไอสารเคมี | |
| AU467508B2 (en) | Method of cooling the flame ofan industrial gas burner and burner assembly for carrying out the method | |
| IT1195780B (it) | Dispositivo per sorvegliare i valori dei gas di scarico di impianti di riscaldamento o similari | |
| TH1431EX (th) | ขบวนการและอุปกรณ์สำหรับการฉาบด้วยไอสารเคมี | |
| IT1041338B (it) | Procedimento per il trattamento di miscele d aria con gas rari..particolarmente provenienti dalla riela borazione dei combustibili nucleari irraggiati | |
| JPS53101276A (en) | Decompression cvd device | |
| JPS51117977A (en) | Gas heating method and arc plasma chemical reaction furnace carrying out the method | |
| ES2030051T3 (es) | Aparato de vacio para material en forma de alambre provisto de pasamuros especiales de alimentacion. | |
| AT378592B (de) | Vorrichtung zur verminderung der waermeverluste von kamingebundenen gas-raumheizgeraeten waehrend des betriebs | |
| ES2017707B3 (es) | Elemento alimentador para aplicacion en un aparato de vacio y aparato de vacio provisto de uno o mas de estos elementos alimentadores. | |
| IT7920741A0 (it) | Apparecchio per raffreddare gas industriali. | |
| JPS5276761A (en) | Manufacturing method of heat pipe | |
| GB2113509B (en) | Plasma method and apparatus for the production of compounds from gas mixtures, particularly useful for the production of nitric oxides from atmospheric air | |
| FR2209088A1 (en) | Exhaust gas cooler - with expansion relief for cooling pipes | |
| ZA746721B (en) | One-piece pipe bend or cover for sheating heat, cold, or sound proofing, insulations and process for the manufacture thereof | |
| JPS5337940A (en) | Refrigerant-heat carrying system | |
| KR940704054A (ko) | 열처리 장치(Heat Treatment Apparatus) | |
| JPS53116165A (en) | Vapor phase oxidation reaction apparatus for production of optical fibers | |
| JPS52153810A (en) | Sealing device for industrial furnace |