TH1431A

TH1431A - ขบวนการและอุปกรณ์สำหรับการฉาบด้วยไอสารเคมี

Info

Publication number: TH1431A
Application number: TH8301000316A
Authority: TH
Inventors: อี มิลเลอร์ นายนิโคลาส; เอ แคมป์เบลล์ นายไบรอันท์
Original assignee: นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า; อนิคอน อินซ์
Filing date: 1983-08-25
Publication date: 1984-03-01

Abstract

อุปกรณ์สำหรับการฉาบไอสารเคมีที่ประกอบด้วยแหล่งความร้อนที่อยู่โดยรอบห้องปฏิกิริยาส่วนในอย่างค่อนข้างสม่ำเสมอ เพื่อ ก่อให้เกิดความสมดุลของอุณหภูมิ หรือเพื่อการควบคุม อุณหภูมิ ไว้ภายใน โดยห้องปฏิกิริยาถูกล้อมรอบไว้ด้วยผนังของห้อง สุญญากาศที่อยู่ห่างออกมา

Claims

1. อุปกรณ์สำหรับฉาบที่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ ซึ่งประกอบด้วยชุดแผ่ความร้อนที่พันห้องปฏิกิริยาภายในเอาไว้ โดยรอบ เพื่อให้เกิดการควบคุมอุณหภูมิที่แน่นอน โดยห้องปฏิกิริยา ภายใน มีอุปกรณ์สำหรับส่งก๊าซเข้าภายใน และสำหรับดูดก๊าซออก พร้อม ด้วยห้องสูญญากาศที่อยู่โดยรอบห้องปฏิกิริยาภายในที่อยู่ใน ลักษณะของการก่อให้เกิดช่องว่างขึ้นระหว่างผนังเพื่อจะได้ คงไว้ ซึ่งสภาวะแห่งการเป็นสูญญากาศ

2. อุปกรณ์สำหรับฉาบไอสารเคมีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งห้อง สูญญากาศประกอบด้วยโครงตัวถังรูปโค้ง และฐานที่ปฏิบัติงาน ร่วมกัน ซึ่งผลิตขึ้นจากวัสดุโปร่งใสสำหรับให้รังสีความ ร้อนผ่านไปได้ และอุปกรณ์สำหรับทำความร้อนได้รับการติดตั้ง ไว้ในผิวนอกของตัวถังรูปโค้ง กับฐาน เพื่อก่อให้เกิด อุณหภูมิซึ่งสามารถควบคุมได้ภายในห้องปฏิกิริยา

3. อุปกรณ์สำหรับฉาบไอสารเคมีตามข้อถือสิทธิข้อ 2 ซึ่งส่วน ฐานรวมไปถึงส่วนที่เป็นผนังรูปโค้ง

4. อุปกรณ์สำหรับฉาบไอสารเคมีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งห้อง สูญญากาศประกอบด้วยโครงตัวถังรูปโค้ง และส่วนฐานที่ประกบ เข้ากันผลิตขึ้นจากวัสดุโปร่งใส และอุปกรณ์ในความร้อนดัง กล่าวถูกติดตั้งอยู่ที่ผิวนอกของโครงตัวถังรูปโค้ง และ ระหว่างฐานกับห้องปฏิกิริยา เพื่อก่อให้เกิดการควบคุม อุณหภูมิขึ้นภายในห้องปฏิกิริยานั้น

5. อุปกรณ์สำหรับฉาบไอสารเคมีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งห้อง ปฏิกิริยาชั้นในถูกกำหนดขอบเขตไว้ด้วยปนังในที่อยู่ห่างจาก ห้องสุญญากาศดังกล่าว โดยผนังในเป็นวัสดุที่สามารถให้รังสี ความร้อนผ่านได้

6. อุปกรณ์สำหรับฉาบไอสารเคมีตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ซึ่งระบบ ส่งก๊าซรวมถึงชุดส่งก๊าซ และชุดเก็บก๊าซซึ่งอยู่ตรงข้ามกับ ส่วนสำหรับการฉาบวัตถุฐานเพื่อรับวัตถุฐาน

7. อุปกรณ์สำหรับฉาบไอสารเคมีตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ซึ่งชุด ส่งก๊าวและชุดเก็บก๊าซประกอบขึ้นเป็นวิธีของการส่งก๊าซ ปฏิกิริยาเข้าไปในแนวที่ขนานกันกับผิวของวัตถุฐานที่วางตัว อยู่ในลัษณะตั้งเพียงครั้งเดียว อันเป็นเหตุให้การเปลี่ยน แปลงของอัตรส่วนผสมของก๊าซเกิดขึ้นเพียงเล็กน้อย

8. อุปกรณ์สำหรับฉาบไอสารเคมีตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ซึ่งแรง ดันของก๊าซฟอกเกิดขึ้นระหว่างห้องปฏิกิริยาด้านในส่วนที่ เป็นผนังกับห้องสุญญากาศ เพื่อช่วยป้องกันมิให้ก๊าซจากห้อง ปฏิกิริยาด้านในรั่วออกได้

9. อุปกรณ์สำหรับฉาบไอสารเคมีตามข้อถือสิทธิข้อ 2 รวมถึง อุปกรณ์สำหรับใช้ป้องกันการรั่วไหลที่ทำงานประสานกับโครง ตัวถังกับฐานเพื่อก่อให้เกิดความเป็นสุญญากาศขึ้นตรงกลาง และอุปกรณ์สำหรับป้องกันการรั่วไหลนี้มีส่วนซึ่งช่วยในการ ป้องกันความเสียหายจากความร้อนที่มาลักษณะเป็นของเหลวระบาย ความร้อน

10. ขบวนการสำหรับการฉาบด้วยไอสารเคมี ซึ่งสามารถควบคุม อุณหภูมิได้ให้กับวัตถุฐานประกอบด้วย การสัมผัสของก๊าซ ปฏิกิริยาที่เกิดขึ้นบนผิวของวัตถุฐานที่ไหลไปในทิศทางที่ ขนานกันกับผิวนั้นในสภาวะที่มีการรควบคุมอุณหภูมิไว้ในเขต ของการทำปฏิกิริยาในระดับ 250 ถึง 1300 องศาเซลเซียสและมี ความดันต่ำกว่า 750 มม.ปรอท โดยความแตกต่างของอุณหภูมิ ตลอดเขตปฏิกิริยาอยู่ในระดับที่ต่ำกว่า 2 องศาเซลเซียสจาก อุณหภูมิที่ได้กำหนดไว้จากนั้นก๊าซที่ไหลผ่านก็จะถูกดูดออก หลังจากที่ไหลผ่านผิวของวัตถุฐานไปแล้วหนึ่งครึ้ง

11. ขบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 10 ซึ่งเขตปฏิกิริยาเป็นเขต ที่มีดุลยภาพทางอุณหภูมิ และความแตกต่างของอุณหภูมิตลอดเขต ปฏิกิริยาอยู่ในระดับต่ำกว่า 2 องศาเซลเซียส

12. ขบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 10 ซึ่งวัตถุฐานจำนวนหนึ่ง ถูกวางไว้ในลักษณะตั้งไปในแนวเดียวกันภายในห้องปฏิกิริยา ที่มีการควบคุมอุณหภูมิไว้ และก๊าซปฏิกิริยาไหลผ่านผิวของ วัตถุฐานในทิศทางตั้ง

13. ขบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 12 ซึ่งการควบคุมอุณหภูมิภาย ในห้องปฏิกิริยาเกิดขึ้นได้โดยการให้ความร้อนจากแหล่งความ ร้อนที่อยู่โดยรอบห้องปฏิกิริยา โดยผนังของห้องปฏิกิริยา ผลิตขึ้นจากวัสดุโปร่งใส เพื่อให้รังสีความร้อนผ่านได้

14. ขบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 13 ซึ่งห้องปฏิกิริยาถูกล้อม รอบไว้ด้วยตัวถังของห้องสุญญากาศในลักษณะที่มีช่องว่างอยู่ ระหว่างผนังโดยผนังของห้องสูญญากาศนี้ผลิตขึ้นจากวัสดุ โปร่งใส และการแผ่รังสีความร้อนจากแหล่งความร้อนเกิดขึ้น โดยรอบตัวถังของห้องสูญญากาศนั้น

15. ขบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 14 ซึ่งก๊าซฟอกที่มี คุณสมบัติเหมาะสมกับก๊าซปฏิกิริยาถูกส่งเข้าสู่ช่องว่าง ระหว่างตัวถังห้องสุญญากาศกับห้องปฏิกิริยา โดยความกดดัน ภายในห้องสุญญากาศระหว่างส่วนนอกกับห้องปฏิกิริยาอยู่ใน อัตราที่สูงกว่าความกดดันของก๊าซภายในห้องสุญญากาศ และการ ฉาบอขงไอสารเคมีที่มีต่อตัวถังของห้องสุญญากาศก็จะได้รับ การป้องกันไว้ (ข้อถือสิทธิ 15 ข้อ, 38 หน้า, - รูป)