TH1431A - ขบวนการและอุปกรณ์สำหรับการฉาบด้วยไอสารเคมี - Google Patents

ขบวนการและอุปกรณ์สำหรับการฉาบด้วยไอสารเคมี

Info

Publication number
TH1431A
TH1431A TH8301000316A TH8301000316A TH1431A TH 1431 A TH1431 A TH 1431A TH 8301000316 A TH8301000316 A TH 8301000316A TH 8301000316 A TH8301000316 A TH 8301000316A TH 1431 A TH1431 A TH 1431A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
chemical vapor
reaction chamber
plastering
internal reaction
processes
Prior art date
Application number
TH8301000316A
Other languages
English (en)
Inventor
เอ. แคมป์เบลล์ นายไบรอันท์
อี. มิลเลอร์ นายนิโคลาส
Original Assignee
นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า
Filing date
Publication date
Application filed by นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า filed Critical นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า
Publication of TH1431A publication Critical patent/TH1431A/th

Links

Abstract

อุปกรณ์สำหรับการฉาบไอสารเคมีที่ประกอบด้วยแหล่งความร้อนที่อยู่โดยรอบห้องปฏิกิริยาส่วนในอย่างค่อนข้างสม่ำเสมอ เพื่อ ก่อให้เกิดความสมดุลของอุณหภูมิ หรือเพื่อการควบคุม อุณหภูมิ ไว้ภายใน โดยห้องปฏิกิริยาถูกล้อมรอบไว้ด้วยผนังของห้อง สุญญากาศที่อยู่ห่างออกมา

Claims (2)

1. อุปกรณ์สำหรับฉาบที่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ ซึ่งประกอบด้วยชุดแผ่ความร้อนที่พันห้องปฏิกิริยาภายในเอาไว้ โดยรอบ เพื่อให้เกิดการควบคุมอุณหภูมิที่แน่นอน โดยห้องปฏิกิริยา ภายใน มีอุปกรณ์สำหรับส่งก๊าซเข้าภายใน และสำหรับดูดก๊าซออก พร้อม ด้วยห้องสูญญากาศที่อยู่โดยรอบห้องปฏิกิริยาภายในที่อยู่ใน ลักษณะของการก่อให้เกิดช่องว่างขึ้นระหว่างผนังเพื่อจะได้ คงไว้ ซึ่งสภาวะแห่งการเป็นสูญญากาศ
2. อุปกรณ์สำหรับฉาบไอสารเคมีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งห้อง สูญญากาศประกอบด้วยโครงตัวถังรูปโค้ง และฐานที่ปฏิบัติงาน ร่วมกันแท็ก :
TH8301000316A 1983-08-25 ขบวนการและอุปกรณ์สำหรับการฉาบด้วยไอสารเคมี TH1431A (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH1431A true TH1431A (th) 1984-03-01

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU9118291A (en) A catalyst structure having integral heat exchange (ii)
BR8304635A (pt) Dispositivo e processo de deposicao de vapor quimico
GB1520838A (en) Activated gas reaction apparatus
NO870825D0 (no) Innretning for luftkjoeling av roerfordeler for gassturbiners kompressorer.
KR910015003A (ko) 열처리 장치 및 이를 사용한 박막형성 방법
ES422676A1 (es) Procedimiento y dispositivo para refrigerar rapidamente re-cipientes colocados en un recinto con atmosfera de vapor o de gas.
AU539753B2 (en) Fire proof gas permeable structural unit
IT8021782V0 (it) Dispositivo per la pulitura di pareti mediante gas compresso rispettivamente vapore.
CA959403A (en) Method of cooling the flame of an industrial gas burner and burner assembly for carrying out the method
TH1431A (th) ขบวนการและอุปกรณ์สำหรับการฉาบด้วยไอสารเคมี
JPS5213020A (en) Manifold reactor
NO156388C (no) FremgangsmŸte til drift av en varmegenerator og varmegenerator til utfŸrelse av fremgangsmŸten.
JPS53101276A (en) Decompression cvd device
ES2030051T3 (es) Aparato de vacio para material en forma de alambre provisto de pasamuros especiales de alimentacion.
JPS51117977A (en) Gas heating method and arc plasma chemical reaction furnace carrying out the method
AT378592B (de) Vorrichtung zur verminderung der waermeverluste von kamingebundenen gas-raumheizgeraeten waehrend des betriebs
ES2017707B3 (es) Elemento alimentador para aplicacion en un aparato de vacio y aparato de vacio provisto de uno o mas de estos elementos alimentadores.
FR2209088A1 (en) Exhaust gas cooler - with expansion relief for cooling pipes
IT7920741A0 (it) Apparecchio per raffreddare gas industriali.
IT964600B (it) Procedimento per il trattamento di gas di scarico industriali
ZA746721B (en) One-piece pipe bend or cover for sheating heat, cold, or sound proofing, insulations and process for the manufacture thereof
EP0635875A4 (en) ARRANGEMENT FOR THERMAL TREATMENT.
SU594108A1 (ru) Способ получени -непредельных азосоединений
JPS5276761A (en) Manufacturing method of heat pipe
SU462599A1 (ru) Способ очистки газов от пыли