TH100556A - วิธีการผลิต และเครื่องผลิตของซับสเตรตแก้วสำหรับจานบันทึกแม่เหล็ก และวิธีการผลิตของจานบันทึกแม่เหล็ก - Google Patents
วิธีการผลิต และเครื่องผลิตของซับสเตรตแก้วสำหรับจานบันทึกแม่เหล็ก และวิธีการผลิตของจานบันทึกแม่เหล็กInfo
- Publication number
- TH100556A TH100556A TH801006010A TH0801006010A TH100556A TH 100556 A TH100556 A TH 100556A TH 801006010 A TH801006010 A TH 801006010A TH 0801006010 A TH0801006010 A TH 0801006010A TH 100556 A TH100556 A TH 100556A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- glass substrates
- shaft
- glass substrate
- polishing
- stacked
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 ส่วนผนังด้านก้น 19 ของลำตัวหลักตัวยึดจับ 17 ของตัวยึดจับชิ้นงานได้รับการยึดติดลงบน แท่น 5 ซับสเตรตแก้ว 2 จำนวนหนึ่งได้รับการวางซ้อนลงบนส่วนผนังด้านก้น 19 เพลา 12 ได้รับการ จัดให้มีไว้ในแนวตั้งฉากกับส่วนผนังด้านก้น 19 เพื่อให้เพลายื่นผ่านรูด้านในที่ติดต่อกันของ ซับสเตรตแก้ววางซ้อน 2 เพื่อการจัดตำแหน่งซับสเตรตแก้ว 2 บนส่วนผนังด้านก้น 19 ในขณะที่ ซับสเตรตแก้วผ่านการจัดตำแหน่ง 2 ได้รับการกดจากด้านบนโดยส่วนกด 22 ของชิ้นปิดครอบตัวยึด จับ 18 ของตัวยึดจับชิ้นงาน เพลา 12 ได้รับการนำออกมาจากรูด้านในที่ติดต่อกันของซับสเตรตแก้ว 2 และแปรงขัดเรียบได้รับการสอดเข้าในรูด้านในสำหรับการขัดเรียบ ส่วนผนังด้านก้น 19 ของลำตัวหลักยึดจับ 17 ของตัวยึดจับชิ้นงานได้รับการยึดติดลงบน แท่น 5 ซับสเตรตแก้ว 2 จำนวนได้รับการวางซ้อนลงบนส่วนผนังด้านก้น 19 เพลา 12 ได้รับการ จัดให้มีไว้ในแนวตั้งฉากกับส่วนผนังด้านก้น 19 เพื่อให้เพลายื่นผ่านรูด้านในที่ติดต่อกันของ ซับสเตรตแก้ววางซ้อน 2 เพื่อการจัดตำแหน่งซับสเตรดแก้ว 2 บนส่วนผนังด้านก้น 19 ในขณะที่ ซับสเตรทแก้วผ่านการจัดตำแหน่ง 2 ได้รับการกดจากด้านบนโดยส่วนกด 22 ของชิ้นปิดครอบตัวยึด จับ 18 ของตัวยึดจับชิ้นงาน เพลา 12 ได้รับการนำออกมาจากรูด้านในที่ติดต่อกันของซํบสเตรทแก้ว 2 และแปรงขัดเรียบได้รับการสอดเข้ารูด้านในสำหรับการขัดเรียบ
Claims (9)
1. วิธีการของการผลิตซับสเตรดแก้วสำหรับจานบันทึกแม่เหล็กที่ประกอบรวมด้วยขั้นตอนการ ขัดเรียบพื้นผิวขอบตามแนวเส้นรอบวงด้านในสำหรับการวางซ้อนซับสเตรตแก้วที่มีรูด้านใน และ สำหรับการสอดวัตถุการขัดเรียบเข้าในรูด้านในที่ติดต่อกันเพื่อการขัดเรียบ ซึ่งประกอบรวมต่อไปอีก ด้วย ขั้นตอนของการประกอบติดตั้งชิ้นประกอบจัดตำแหน่งลงไปแทนที่วัตถุขัดเรียบของ เครื่องขัดเรียบในลักษณะที่ให้แกนกลางของชิ้นประกอบตำแหน่งอยู่ตรงแนวกันกับแกนกลางของ วัตถุการขัดเรียบ ณ ตำแหน่งที่จะจัดให้มีวัตถุการขับเรียบ ขั้นตอนการวางซ้อนซับสเตรทแก้วจำนวนหนึ่ง ขั้นตอนของการทำให้ชิ้นประกอบจัดตำแหน่งยื่นผ่านรูในที่ติดต่อกันของซับสเตรทแก้ว วางซ้อน ขั้นตอนของการยึดตรึงซับสเตรตแก้ววางซ้อน ขั้นตอนของการนำชิ้นประกอบตำแหน่งออกมาจากรูด้านในที่ติดต่อกันของซับสเตรตแก้ว ผ่านการจัดตำแหน่ง ขั้นตอนของการยึดติดวัตถุการขัดเรียบเข้ากับเครื่องขัดเรียบแทนที่ชิ้นประกอบจัดตำแหน่ง และ ขั้นตอนของการสอดวัตถุการขัดเรียบเข้าในรูด้านในที่ติดต่อกันของซับสเตรตแก้วผ่านการจัด ตำแหน่ง
2. วิธีการผลิตของซับสเตรตแก้วสำหรับจานบันทึกแม่เหล็กที่ประกอบรวมด้วย ขั้นตอนของการยึดติดส่วนตรึงด้านล่างของของตัวยึดจับชิ้นงานซึ่งประกบซับสเตรดแก้วไว้ใน ภาวะที่ซับสเตรทแก้วจำนวนหนึ่งได้รับการวางซ้อนกันโดยส่วนตรึงด้านบนและส่วนตรึงด้านล่างบน แท่นของเครื่องขัดเรียบสำหรับการขัดเรียบพื้นผิวขอบตามแนวเส้นรอบวงด้านในของรูด้านในที่ ได้รับการก่อรูปขึ้นมาในซับสเตรตแก้ว ขั้นตอนของการวางซ้อนซับสเตรทแก้วจำนวนหนึ่งบนส่วนตรึงด้านล่าง ขั้นตอนของการจัดให้มีเพลาไว้ในแนวตั้งฉากกับส่วนตรึงด้านล่างเพื่อให้เพลายื่นผ่านรูด้าน ในที่ติดต่อกันของซับสเตรทแก้วที่วางซ้อนบนส่วนตรึงด้านล่าง ขั้นตอนของการจัดตำแหน่งซับสเตรตแก้ววางซ้อนโดยการใช้เพลา ขั้นตอนของการกดซับสเตรตแก้ววางซ้อนโดยการใช้เพลา ขั้นตอนของการกดซับสเตรทแก้วที่ได้รับการจัดตำแหน่งไว้บนส่วนตรึงด้านล่างด้วยส่วน ตรึงด้านบนจากด้านบน ขั้นตอนของการนำเพลาออกมาจากรูด้านในที่ติดต่อกันของซับสเตรทแก้วผ่านการจัด ตำแหน่ง ขั้นตอนของการสอดวัตถุการขัดเรียบเข้าในรูด้านในที่ติดต่อกันของซํบสเตรทแก้วผ่านการจัด ตำแหน่ง และ ขั้นตอนของการขัดเรียบพื้นผิวขอบตามแนวเส้นรอบวงด้านในโดยวัตถุการขัดเรียบโดยการ ทำให้แท่นและวัตถุการขัดเรียบหมุนหรือเคลื่อนที่อย่างสัมพัทธ์กัน
3. วิธีการผลิตของซับสเตรทแก้วสำหรับจานบันทึกแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิข้อ 4 ที่ซึ่ง เพลาสามารถขยายใหญ่ขึ้นหรือหดเล็กลงได้ในทิศทางตามแนวรัศมี ในขั้นตอนที่ได้จัดตำแหน่งซับสเตรตแก้ววางซ้อนโดยเพลา จะทำให้เพลาขยายใหญ่ขึ้นใน ทิศทางตามแนวรัศมีสำหรับการจัดตำแหน่ง และ ในขั้นตอนที่นำเพลาออกมาจากรูด้านในที่ติดต่อกันของซับสเตรตแก้วผ่านการจัดตำแหน่ง จะทำให้เพลาหดเล็กลงในทิศทางตามแนวรัศมีเพื่อการนำออกมา
4. วิธีการผลิตซับสเตรทแก้วสำหรับจานบันทึกแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิข้อ 2 หรือ 3 ที่ซึ่ง ขั้นตอนของการวางซ้อนซับสเตรทแก้วจำนวนหนึ่งบนส่วนตรึงด้านล่างประกอบต่อไปอีก ด้วย ขั้นตอนของการบรรจุซับสเตรทแก้วลงในชั้นปิดครอบชิ้นงานรูปทรงกระบอกมีก้นที่มีส่วน ด้านบนที่เปิดออกในภาวะที่ได้วางซ้อนซับสเตรมแก้วจำนวนหนึ่ง และ ขั้นตอนของการจัดซับสเตรทแก้วลงในชิ้นปิดครอบชิ้นงานเข้าที่อย่างโดยรวมบน ส่วนตรึงด้านล่างพร้อมกับชิ้นปิดครอบชิ้นงาน
5. เครื่องผลิตซับสเตรทแก้วสำหรับจานบันทึกแม่เหล็กที่ประกอบด้วย ตัวยึดจับชิ้นงานซึ่งประกบซับสเตรทจำนวนหนึ่งที่มีรูด้านในไว้ในภาวะวางซ้อนโดย สวนตรึงด้านบนและด้านล่าง แท่นที่ได้ยึดติดส่วนตรึงด้านล่างไว้ เพลาที่สามารถขยายใหญ่ขึ้นหรือหดเล็กลงได้ในทิศทางตามแนวรัศมี และ ส่วนยึดติดวัตถุการขัดเรียบสำหรับการยึดติดวัตถุการขัดเรียบซึ่งจะขัดเรียบพื้นผิวขอบตาม แนวเส้นรอบวงด้านในของรูด้านในโดยการหมุนหรือการเคลื่อนที่อย่างสัมพัทธ์กับแท่น ที่ซึ่ง เพลาสามารถได้รับการจัดไว้ในแนวตั้งฉากกับแท่นได้เพื่อให้เพลาขยายใหญ่ขึ้นใน ทิศทางตามแนวรัศมีเพื่อการกำหนดตำแหน่งของซับสเตรตแก้วเมื่อได้วางซ้อนซับสเตรทแก้วจำนวน หนึ่งบนส่วนตรึงด้านล่างที่ยึดเข้ากับแท่น และสามารถได้รับการทำให้กดเล็กลงในทิศทางตาม แนวรัศมีได้อีกด้วยเพื่อที่จะได้รับการนำออกมาจากรูด้านใน ในขณะที่ทำการกดซับสเตรทแก้วผ่าน การจัดตำแหน่งจากด้านบนโดยส่วนตรึงด้านบน และ วัตถุการขัดเรียบที่ยึดติดกับส่วนยึดติดวัตถุการขัดเรียบได้รับการสอดเข้าในรูด้านในขอ ซับสเตรตแก้วที่ได้รับการจัดตำแหน่งโดยเพลา หลังจากที่ได้นำเพลาออกมาจากรูด้านในนั้นเพื่อการ ขัดเรียบพื้นผิวขอบตามแนวเส้นรอบวงด้านใน
6. เครื่องผลิตของซับสเตรตแก้วสำหรับจานบันทึกแม่เหลบ็กตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ประกอบรวม ต่อไปอีกด้วย ชิ้นปิดครอบชิ้นงานรูปร่างทรงกระบอกมีก้นซึ่งมีสาวนด้านบนที่เปิดออกซึ่งได้บรรจุ ซับสเตรตแก้วจำนวนหนึ่งไว้ในภาวะวางซ้อน ที่ซึ่ง ได้จัดซับสเตรตแก้วที่บรรจุไว้ในชิ้นครอบชิ้นงานเข้าที่บนส่วนตรึงด้านล่างในลักษณะ ประกอบเป็บชึดเดียวกันกับชิ้นปิดครอบชิ้นงาน
7. วิธีการผลิตของจานแม่เหล็กที่ประกอบรวมด้วย ขั้นตอนของการยึดติดส่วนตรึงด้านล่างของตัวยึดจับชิ้นงานซึ่งประกบซับสเตรตแก้วจำนวน หนึ่งไว้ในภาวะวางซ้อนระหว่างส่วนตรึงด้านบนและส่วนตรึงด้านล่าง บนแท่นของเครื่องขัดเรียบ สำหรับการขัดเรียบพื้นผิวตามแนวเส้นรอบนอกวงด้านในของรูด้านในที่ได้รับการก่อรูปขึ้นมาบน ซับสเตรทแก้ว ขั้นตอนของการวางซ้อนซับสเตรตแก้วจำนวนหนึ่งบนส่วนตรึงด้านล่าง ขั้นตอนของการจัดให้มีเพลาไว้ในแนวตั้งฉากกับส่วนตรึงด้านล่างเพื่อให้เพลายื่นผ่านรูด้าน ในที่ติดต่อกันของซับสเตรตแก้วที่วางซ้อนบนส่วนตรึงด้านล่าง ขั้นตอนของการจัดตำแหน่งซับสเตรทแก้ววางซ้อนโดยเพลา ขั้นตอนของการกดซํบสเตรตแก้วที่ได้รับการจัดตำแหน่งบนส่วนตรึงด้านล่างด้วนส่วนตรึง ด้านบนจากด้านบน ขั้นตอนของการนำเพลาออกมาจากรูด้านในที่ติดต่อกันของซับสเตรตแก้วผ่านการจัด ตำแหน่ง ขั้นตอนของการสอดวัตถุการขัดเรียบเข้าในรูด้านในทื่ติดต่อกันของซับสเตรตแก้วผ่านการจัด ตำแหน่ง ขั้นตอนของการขัดเรียบพื้นผิวตามแนวเส้นรอบวงด้านในโดยวัตถุการขัดเรียบโดยการ ทำให้แท่นและวัตถุการขับเรียบหมุนหรือเคลื่อนที่อย่างสัมพัทธ์กัน และ ขั้นตอนของการก่อรูปชั้นแม่เหล็กขึ้นมาบนพื้นผิวของซับสเตรตแก้วหลังการขัดเรียบ ซับสเตรตแก้ว
8. วิธีการผลิตของจานบันทึกแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ซึ่ง เพลาสามารถขยายใหญ่ขึ้นหรือหดเล็กลงได้ในทิศทางตามแนวรัศมี ในขั้นตอนที่ได้จัดตำแหน่งซับสเตรตแก้ววางซ้อนโดยเพลา จะทำให้เพลาขยายใหญ่ขึ้นใน ทิศทางตามแนวรัศมีสำหรับจัดตำแหน่ง และ ในขั้นตอนที่นำเพลาออกมาจากรูด้านในที่ติดต่อกันของซับสเตรตแก้วผ่านการจัดตำแหน่ง จะทำให้เพลาหกเล็กลงในทิศทางตามแนวรัศมีเพื่อการนำออกมา
9. วิธีการผลิตของจานบันทึกแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิข้อ 7 หรือ 8 ที่ซึ่งขั้นตอนของการวางซ้อน ซับสเตรตแก้วจำนวนหนึ่งบนส่วนตรึงด้านล่างประกอบด้วย ขั้นตอนของการบรรจุซับสเตรตแก้วลงในชิ้นปิดครอบชิ้นงานรูปทรงกระบอกมีก้นที่มีส่วน ด้านบนที่เปิดออกในภาวะที่ได้วางซ้อนซับสเตรตแก้วจำนวนหนึ่ง และ ขั้นตอนของการจัดซับสเตรตแก้วที่บรรจุไว้ในชิ้นปิดครอบชิ้นงานเข้าที่อย่างโดยรวมบน ส่วนตรึงด้านล่างพร้อมกับชิ้นปิดครอบชิ้นงานในลักษณะประกอบเป็นชุดเดียวกัน
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH100556A true TH100556A (th) | 2010-03-24 |
| TH100556B TH100556B (th) | 2010-03-24 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2010186971A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
| CN101426614B (zh) | 将工件固定在支撑基座上以及随后进行分离的方法和装置 | |
| US20080053620A1 (en) | Method for the bonding of disk-shaped substrates and apparatus for carrying out the method | |
| JP4102406B2 (ja) | 光ディスク修復装置 | |
| CN112201566A (zh) | 一种晶圆片减薄方法、装置和卸片夹具 | |
| JP2000141202A (ja) | バリ取り方法およびバリ取り機 | |
| CN101265932A (zh) | 涂胶粘片机 | |
| JP2012076191A (ja) | 被研磨体装填治具及び被研磨体の研磨方法及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
| JP2013041908A (ja) | 光デバイスウェーハの分割方法 | |
| JP6415952B2 (ja) | 工作機械 | |
| JP2008006578A (ja) | 磁気ディスク用基板の取り出し方法および磁気ディスク用基板の表面加工装置 | |
| JP3411530B2 (ja) | 情報ディスクの製作方法及び装置 | |
| US8528011B2 (en) | Turntable for motor with disk holding part having particles and method for producing the same | |
| JP2009200390A (ja) | プローブカード移載装置 | |
| WO2019078009A1 (ja) | 片面研磨装置へのウェーハ貼付装置、および片面研磨装置へのウェーハ貼付方法 | |
| TH100555A (th) | วิธีการผลิต และเครื่องผลิตของซับสเตรตแก้วสำหรับจานบันทึกแม่เหล็ก และวิธีการผลิตของจานบันทึกแม่เหล็ก | |
| CN111701816A (zh) | 一种卡托弹件凸轮翻转点胶装配治具 | |
| JP2004206857A (ja) | ディスクセンタリングデバイス | |
| JP3747553B2 (ja) | ディスク状記録媒体のチャッキング装置 | |
| JP4758321B2 (ja) | 包装装置、及び包装方法 | |
| CN220233145U (zh) | 面板封装分离系统 | |
| JP3302136B2 (ja) | 腕時計カバーガラス用接着機及び腕時計カバーガラスの接着方法 | |
| CN201201354Y (zh) | 涂胶粘片机 | |
| JPH0655436A (ja) | ワークの付着を防止した平面研磨方法及び装置 | |
| CN212916373U (zh) | 一种用于砂盘涂胶的旋转台装置 |