SU932657A1 - Контактное устройство - Google Patents

Контактное устройство Download PDF

Info

Publication number
SU932657A1
SU932657A1 SU792739486A SU2739486A SU932657A1 SU 932657 A1 SU932657 A1 SU 932657A1 SU 792739486 A SU792739486 A SU 792739486A SU 2739486 A SU2739486 A SU 2739486A SU 932657 A1 SU932657 A1 SU 932657A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
probes
contact device
probe
guide
control
Prior art date
Application number
SU792739486A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Борисович Дрешер
Юрий Владимирович Люпин
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4645
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4645 filed Critical Предприятие П/Я Г-4645
Priority to SU792739486A priority Critical patent/SU932657A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU932657A1 publication Critical patent/SU932657A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

(5) КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к радиотех нике и может быть использовано дл  контрол  измерени  и подгонки электрических параметров пленочных эле ментов гибридных интегральных схем. Известно контактное устройство, содержащее направл ющую в виде кольца с зондодержател ми, в которых зак реплены подвижные упругие Г-образные зонды 1 . . Использование контактного устройства дл  контрол  пленочных ридных интегральных схем обладает невозможностью подключени  к отдельным эл ментам вследствие перекрыти  зондами рабочей зоны, недостаточной точностью контрол  из-за необходимос ти дополнительного вертикального пер мещени  координатного стола, а также неудобством эксплуатации из-за затру ненного визуального контрол . Известно контактное устройство, содержащее направл ющую, в отверсти  х которой размещены зондодержатели С зондами, каждый из которых снабжен электромагнитным приводомГ23. Однако это контактное устройство не обеспечивает достаточную точность контрол  и удобство эксплуатации изза перекрыти  рабочей зоны зондами. Цель изобретени  - повышение точности контрол  и удобства эксплуатации . Указанна  цель достигаетс  тем, что в контактном устройстве, преимущественно дл  контрол  пленочных гибридных интегральных микросхем, содержащем направл ющую, зондодержатели с зондами, каждый из которых снабжен электромагнитным приводом, направл юща  выполнена в виде кольца с клиновидными пазами, снабженного буртиком, в каждом из которых размещен подпружиненный зондодержатель с зондом. На фиг. 1 изображено контактное устройство, вид сбоку, (разрез А-А на фиг. 2); на фиг. 2 - то же, вид сверху. Контактное устройство содержит направл ющую 1 в виде кольца с клиновидными пазами 2 и буртиком 3. В каждом пазу 2 размещен диэлектрический зондодержатель с поворотной головкой 5 и прижимным винтом 6 парой упругих Г-образных зондов 7, с пр иводом в виде электромагнита 8 и рычага 9. Зондодержатели подпружиненны пружиной 10 возврата. Устройство работает следующим образом. Контактное устройство закрепл етс  на установке дл  контрол  и Лодгонки параметров пленочных элементов между рабочим органом и подвижным координатным столом, на кото ром устанавливаетс  гибридна  интег ральна  микросхема 11. Все зондодержатели Л под действием пружин 10 отведены ( наход тс  в верхнем полож нии). Последовательно позициониру  каж дый провер емый элемент под рабочий орган производ т настройку зондов. Дл  этого, подключив напр жение питани  к соответствующему электромаг ниту, опускают зондодержатель k. Затем,отжимай винты 6 и поворачива  гоповки 5, устанавливают зонды каждой пары на контактные площадки провер емого элемента. Зонды фиксируют , закрепл   головки 5 и зажима  ВИНТЬ) 6. 7 На координатный стол устанавли- ; вают микросхему 11 по заданной программе осуществл ют позиционирование провер емого элемента и включают электромагнит соответствующего зондодержател . После замера и подгонки до требуемого значени  параметра элемента электромагнит 8 отключают и выполн ют позиционирование следующего по программе элемента. Формула изобретени  Контактное устройство, преиму- . щественно дл  контрол  пленочных гибридных интегральных микросхем, содержащее направл ющую, зондодержатели с зондами, каждый из которых снабжен электромагнитным приводом, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности контрол  и удобства эксплуатации,направл юща  выполнена в виде кольца с клиновидными пазами, снабженного буртиком, в .каждом из которых размещен подпружиненный зондодержатель с зондом. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1,Авторское свидетельство СССР № , кл. Н 05 К 1/0, 1976.
  2. 2.Патент Японии № , кл. 59 G ii.tH 05 К З/ОО;, 1970, (прототип).
    Г
    Фиг2
SU792739486A 1979-03-20 1979-03-20 Контактное устройство SU932657A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792739486A SU932657A1 (ru) 1979-03-20 1979-03-20 Контактное устройство

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792739486A SU932657A1 (ru) 1979-03-20 1979-03-20 Контактное устройство

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU932657A1 true SU932657A1 (ru) 1982-05-30

Family

ID=20816431

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792739486A SU932657A1 (ru) 1979-03-20 1979-03-20 Контактное устройство

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU932657A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3345567A (en) Multipoint probe apparatus for electrically testing multiple surface points within small zones
US5657394A (en) Integrated circuit probe card inspection system
US4934064A (en) Alignment method in a wafer prober
US4251772A (en) Probe head for an automatic semiconductive wafer prober
EP0259942A2 (en) Piezoelectric pressure sensing apparatus for integrated circuit testing stations
JPH0469816B2 (ru)
JP3156192B2 (ja) プローブ方法及びその装置
US4175327A (en) Measuring machine
US6970006B2 (en) Apparatus for the automated testing, calibration and characterization of test adapters
GB2014315A (en) Determining Probe Contact
SU932657A1 (ru) Контактное устройство
US20020071127A1 (en) Positioning apparatus for probe card and TAB
US1460279A (en) Centering device
US2376303A (en) Measuring and indicating apparatus for machine tools
SU960959A1 (ru) Устройство дл контрол интегральных схем
JPS5612744A (en) Wafer prober
CN220509084U (zh) 一种csp芯片测试用的探针测试装置及csp芯片测试设备
JPH0399450A (ja) 半導体試験装置
JP2932464B2 (ja) 半導体チップマーキング装置のマーキング位置決め方法
JPH0345125Y2 (ru)
JPH05152389A (ja) プローブカード
JPH0685404B2 (ja) プロ−ブ装置
US2343891A (en) Device for analyzing surface defects
JPH0661317A (ja) プローブ装置
JP3194566B2 (ja) プローバ用マ−キング機構の調整装置