SU891126A1 - Способ очистки водорода от хлористого водорода и хлоридов кремни - Google Patents
Способ очистки водорода от хлористого водорода и хлоридов кремни Download PDFInfo
- Publication number
- SU891126A1 SU891126A1 SU772451955A SU2451955A SU891126A1 SU 891126 A1 SU891126 A1 SU 891126A1 SU 772451955 A SU772451955 A SU 772451955A SU 2451955 A SU2451955 A SU 2451955A SU 891126 A1 SU891126 A1 SU 891126A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- hydrogen
- chloride
- silicium
- cleaning
- silicon
- Prior art date
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)
Description
(54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ВОДОРОДА ОТ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА И ХЛОРИДОВ КРЕМНИЯ
I
Изобретение относитс к очистке га- f зов, например, водорода, от хлористого водорода и хлоридов кремни и может быть использоваио в производствах по - лупроводииковых материалов, редких и цветных металлов, а также в химической И топливной промышленности.
Известен способ очистки газов, наnpKNtep , водорода, путем пропускани их через перегородку из газопроницаемого сплава паллади с золотом .
Недостаток известного способа заключаетс в применении дорогосто щих металлов .
. Наиболее близким решением к предлагаемому вл етс способ очистки газов, например водорода, от хлористогО водорода и хлоридов кремни путем вымораживани паров с одновременной их ф пьтрацией через мембрану из полимера ФП, охлажденную до температуры вымораживани примесей .
Недостаток известного способа - уоложнение процесса очистки вследствие
необходимости специального приготовлё-ни материала мембраны, необходимости ее монтажа и демонтажа и св занные с этим снижение чистоты газов и загр знение окружающей среды агрессивными веществами из-за разгерметизации аппаратуры .
Цель изобретени - упрощение пррцео са очистки водорода от хлористого водорода и хлоридов кремни .
Поставленна цель достигаетс тем, что в качестве мембраны используют хлорид элемента, выбранный из группы, содержащей углерод, кремний, германий, титан , олово, и процесс ведут при температуре (-114)-(195)°С.
Сущность способа заключаетс в следующем .
Затвердеви1ие хлориды указанных элементов вл ютс пористыми телами. Коэ ({)фициент их газопроницаемости высок и составл ет величину 4-10 атм. Газ свободно проходит через их слой,а частицы хлористого водорода и хлоридов
Claims (1)
- Способ очистки водорода и хлоридов кремния путем вымораживания с одновременной фильтрацией через мембрану, отличающ и й с я тем, что, с целью упрощения процесса, в качестве мембраны используют· хлорид элемента, выбранный из группы, содержащей углерод, кремний, германий, титан , олово, и процесс ведут при(-114)&- (-195)°С.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент Японии № 14891, ХЛ. 14 С 3 (С 01 В), 1971.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772451955A SU891126A1 (ru) | 1977-02-14 | 1977-02-14 | Способ очистки водорода от хлористого водорода и хлоридов кремни |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772451955A SU891126A1 (ru) | 1977-02-14 | 1977-02-14 | Способ очистки водорода от хлористого водорода и хлоридов кремни |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU891126A1 true SU891126A1 (ru) | 1981-12-23 |
Family
ID=20695353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU772451955A SU891126A1 (ru) | 1977-02-14 | 1977-02-14 | Способ очистки водорода от хлористого водорода и хлоридов кремни |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU891126A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1045077C (zh) * | 1995-09-29 | 1999-09-15 | 中国科学院山西煤炭化学研究所 | 碳化硅纤维生产中的尾气回收方法及装置 |
-
1977
- 1977-02-14 SU SU772451955A patent/SU891126A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1045077C (zh) * | 1995-09-29 | 1999-09-15 | 中国科学院山西煤炭化学研究所 | 碳化硅纤维生产中的尾气回收方法及装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Itoh et al. | Basic experimental study on palladium membrane reactors | |
| JPH034250B2 (ru) | ||
| ATE78720T1 (de) | Verfahren zur herstellung eines katalysators. | |
| FR2416897A1 (fr) | Procede de purification des hydrosilanes et des hydrosiloxanes | |
| US6165438A (en) | Apparatus and method for simultaneous recovery of hydrogen from water and from hydrocarbons | |
| FR2443870A1 (fr) | Dispositif d'epuration pouvant etre regenere pour l'elimination en continu d'ammoniac et son application aux piles a combustibles et au gaz de reforming | |
| RU95106987A (ru) | Способ удаления газообразных примесей из потока водорода и устройство для его осуществления | |
| RU95106479A (ru) | Способ удаления газообразных примесей из потока водорода и устройство для его осуществления | |
| KR870000237A (ko) | 질소의 초정제 장치 및 정제 방법 | |
| GB2214173A (en) | Recovery of catalytic metal and carrier from waste catalysts | |
| SU891126A1 (ru) | Способ очистки водорода от хлористого водорода и хлоридов кремни | |
| PT1100611E (pt) | Processo de purificacao de uma corrente gasosa | |
| ES8502208A1 (es) | Un aparato purificador para reducir el efecto de contaminacion de gases que contienen particulas solidas y liquidas | |
| SU1544475A1 (ru) | Способ получени сорбента дл очистки газов | |
| EP1829604A4 (en) | OXYGEN CONDUCTIVE COMPOSITE MEMBRANE | |
| KR920002205A (ko) | 불활성 가스 스트림의 정제방법 | |
| US4944777A (en) | Separating hydrogen from a mixture of substances | |
| GB1434115A (en) | Catalytic carbon monoxide removal apparatus for internal com bustion engine exhaust gases | |
| SU1163892A1 (ru) | Способ очистки воздуха от ртути | |
| SU1655899A1 (ru) | Способ очистки хлористого водорода | |
| SU764703A1 (ru) | Фильтр дл очистки газовых потоков | |
| SU1681922A1 (ru) | Способ очистки водорода от кислых примесей | |
| RU1723761C (ru) | Способ получения элементарной серы из сероводорода | |
| SU1419241A1 (ru) | Способ получени высокочистого гели | |
| SU493239A1 (ru) | Способ регенерации наносных катализаторов на основе металлов платиновой группы |