SU1655899A1 - Способ очистки хлористого водорода - Google Patents

Способ очистки хлористого водорода Download PDF

Info

Publication number
SU1655899A1
SU1655899A1 SU894692981A SU4692981A SU1655899A1 SU 1655899 A1 SU1655899 A1 SU 1655899A1 SU 894692981 A SU894692981 A SU 894692981A SU 4692981 A SU4692981 A SU 4692981A SU 1655899 A1 SU1655899 A1 SU 1655899A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
hydrogen chloride
purification
purifying hydrogen
degree
vinylidene fluoride
Prior art date
Application number
SU894692981A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгения Валентиновна Атаманюк
Юрий Николаевич Филатов
Алексей Дмитриевич Шепелев
Леонид Федорович Чуприна
Владимир Анатольевич Быков
Евгений Николаевич Макаревич
Николай Петрович Юшкин
Борис Иванович Шаталов
Вячеслав Емельянович Бабенко
Игорь Михайлович Мазурин
Валерий Табризович Салехов
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4684
Предприятие П/Я А-7629
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4684, Предприятие П/Я А-7629 filed Critical Предприятие П/Я Г-4684
Priority to SU894692981A priority Critical patent/SU1655899A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1655899A1 publication Critical patent/SU1655899A1/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B7/00Halogens; Halogen acids
    • C01B7/01Chlorine; Hydrogen chloride
    • C01B7/07Purification ; Separation
    • C01B7/0706Purification ; Separation of hydrogen chloride
    • C01B7/0718Purification ; Separation of hydrogen chloride by adsorption

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к очистке хлористого водорода, используемого в химической и электронной промышленности, и способствует повышению степени его чистоты. Газообразный хлористый водород, содержащий примеси органических соединений в количестве 0,08% (в пересчете на углерод), пропускают через волокнистый фильтрующий материал, представл ющий собой сополимер тетрафторэтилена с винилиденфторидом - фторопласт Ф-42 и процесс ведут при (-30) - (-50)°С и линейной скорости фильтрации 1-10 см/с. Степень очистки от органических примесей менее об.%. 1 табл.

Description

Изобретение относитс  к тонкой очистке хлористого водорода, который может быть использован в химической и электронной промышленности.
Целью изобретени   вл етс  повышение степени очистки.
Способ осуществл ют следующим образом .
Пример. Газообразный хлористый водород, содержащий примеси органических соединений в количестве 0,08% (в пересчете на углерод), подают на охлажденный фильтр, заполненный волокнистым сополимером тетрафторэтилена с винилиденфторидом с диаметром волокна 1 мкм. Процесс провод т в установке низкотемпературной фильтрации . Газ пропускают через фильтр с линейной скоростью 1 10 см/с при температуре (-ЗОМ-50)°С.
Выход щий после фильтра хлористый водород содержит примеси органических
веществ менее 1 : .% (по прототипу 7,5 ).
Данные по примеру сведены в таблицу.
При реализации предлагаемого способа обеспечиваетс  улучшение качественных характеристик хлористого водорода, что дает возможность при использовании его в электронной промышленности, в частности в эпитаксиальной технологии, увеличить выход годных в р де изделий до 15%.

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Способ очистки хлористого водорода от примесей органических соединений, включающий его пропускание через волокнистый фильтрующий материал при охлаждении, о т- личающийс  тем, что, с цел ью повышени  степени очистки, в качестве фильтрующего материала используют сополимер тетрафторэтилена с винилиденфторидом и процесс ведут при температуре (-30) -(-50)°С и линейной скорости фильтрации 1-10 см/с.
    СЛ
    С
    о ел ел
    00
    о
    Ч)
SU894692981A 1989-05-29 1989-05-29 Способ очистки хлористого водорода SU1655899A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894692981A SU1655899A1 (ru) 1989-05-29 1989-05-29 Способ очистки хлористого водорода

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894692981A SU1655899A1 (ru) 1989-05-29 1989-05-29 Способ очистки хлористого водорода

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1655899A1 true SU1655899A1 (ru) 1991-06-15

Family

ID=21448365

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894692981A SU1655899A1 (ru) 1989-05-29 1989-05-29 Способ очистки хлористого водорода

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1655899A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5458674A (en) * 1993-08-24 1995-10-17 E. I. Du Pont De Nemours And Company Organic separation from HF

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Антонов В.Н., Крашенинникова А.А., Пасманик М.И. Разработка метода получени хлористого водорода особой чистоты. Отчет, госрег. № 68030206. 1972, с. 55. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5458674A (en) * 1993-08-24 1995-10-17 E. I. Du Pont De Nemours And Company Organic separation from HF

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3248813C2 (ru)
US6156097A (en) CO2 removable from fluorocarbons by semipermeable membrane
US3467493A (en) Method for removal of impurities in rare gases
US4083946A (en) Process for removing chloride impurities from TiO2
SU1655899A1 (ru) Способ очистки хлористого водорода
JPH04292413A (ja) アンモニアの精製方法
RU2294893C2 (ru) Очистка h2s пористыми носителями
KR20080008420A (ko) 비닐렌 카르보네이트의 저장 및 수송 방법
US3019087A (en) Purification of silane
DE58905238D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur reinigung von rohgas aus einer feststoff-vergasung.
RU2127728C1 (ru) Способ получения меламина из мочевины
US3037337A (en) Purification of boron trichloride
DD240672A1 (de) Verfahren zur reinigung von kohlendioxid
US4908460A (en) Process for purification of 2,2,3,3-tetrafluorooxetane
CA2451869C (en) Method for producing an aqueous hydroxylamine solution devoid of salt
SU891126A1 (ru) Способ очистки водорода от хлористого водорода и хлоридов кремни
US3825658A (en) Process for the preparation of cyanogen chloride
JP3835488B2 (ja) 過酸化水素水溶液中の有機不純物の除去方法
US3337302A (en) Desulfurization of chlorine
US4263451A (en) Removing carbonaceous contaminant from zinc oxide
JP3292311B2 (ja) メタノールの精製方法
US4104146A (en) Process for the purification of gas streams
SE424507B (sv) Forfarande for rening av avgaser erhallna vid framstellning av aluminiumklorid
SU983032A1 (ru) Способ очистки абгазной сол ной кислоты
SU1310380A1 (ru) Способ очистки хлорбензола,используемого в синтезе органохлорсиланов