SU1655899A1 - Способ очистки хлористого водорода - Google Patents
Способ очистки хлористого водорода Download PDFInfo
- Publication number
- SU1655899A1 SU1655899A1 SU894692981A SU4692981A SU1655899A1 SU 1655899 A1 SU1655899 A1 SU 1655899A1 SU 894692981 A SU894692981 A SU 894692981A SU 4692981 A SU4692981 A SU 4692981A SU 1655899 A1 SU1655899 A1 SU 1655899A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- hydrogen chloride
- purification
- purifying hydrogen
- degree
- vinylidene fluoride
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B7/00—Halogens; Halogen acids
- C01B7/01—Chlorine; Hydrogen chloride
- C01B7/07—Purification ; Separation
- C01B7/0706—Purification ; Separation of hydrogen chloride
- C01B7/0718—Purification ; Separation of hydrogen chloride by adsorption
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к очистке хлористого водорода, используемого в химической и электронной промышленности, и способствует повышению степени его чистоты. Газообразный хлористый водород, содержащий примеси органических соединений в количестве 0,08% (в пересчете на углерод), пропускают через волокнистый фильтрующий материал, представл ющий собой сополимер тетрафторэтилена с винилиденфторидом - фторопласт Ф-42 и процесс ведут при (-30) - (-50)°С и линейной скорости фильтрации 1-10 см/с. Степень очистки от органических примесей менее об.%. 1 табл.
Description
Изобретение относитс к тонкой очистке хлористого водорода, который может быть использован в химической и электронной промышленности.
Целью изобретени вл етс повышение степени очистки.
Способ осуществл ют следующим образом .
Пример. Газообразный хлористый водород, содержащий примеси органических соединений в количестве 0,08% (в пересчете на углерод), подают на охлажденный фильтр, заполненный волокнистым сополимером тетрафторэтилена с винилиденфторидом с диаметром волокна 1 мкм. Процесс провод т в установке низкотемпературной фильтрации . Газ пропускают через фильтр с линейной скоростью 1 10 см/с при температуре (-ЗОМ-50)°С.
Выход щий после фильтра хлористый водород содержит примеси органических
веществ менее 1 : .% (по прототипу 7,5 ).
Данные по примеру сведены в таблицу.
При реализации предлагаемого способа обеспечиваетс улучшение качественных характеристик хлористого водорода, что дает возможность при использовании его в электронной промышленности, в частности в эпитаксиальной технологии, увеличить выход годных в р де изделий до 15%.
Claims (1)
- Формула изобретени Способ очистки хлористого водорода от примесей органических соединений, включающий его пропускание через волокнистый фильтрующий материал при охлаждении, о т- личающийс тем, что, с цел ью повышени степени очистки, в качестве фильтрующего материала используют сополимер тетрафторэтилена с винилиденфторидом и процесс ведут при температуре (-30) -(-50)°С и линейной скорости фильтрации 1-10 см/с.СЛСо ел ел00оЧ)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894692981A SU1655899A1 (ru) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Способ очистки хлористого водорода |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894692981A SU1655899A1 (ru) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Способ очистки хлористого водорода |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1655899A1 true SU1655899A1 (ru) | 1991-06-15 |
Family
ID=21448365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894692981A SU1655899A1 (ru) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Способ очистки хлористого водорода |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1655899A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5458674A (en) * | 1993-08-24 | 1995-10-17 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Organic separation from HF |
-
1989
- 1989-05-29 SU SU894692981A patent/SU1655899A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Антонов В.Н., Крашенинникова А.А., Пасманик М.И. Разработка метода получени хлористого водорода особой чистоты. Отчет, госрег. № 68030206. 1972, с. 55. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5458674A (en) * | 1993-08-24 | 1995-10-17 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Organic separation from HF |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3248813C2 (ru) | ||
EP0980346B1 (en) | Co 2? removal from fluorocarbons by semipermeable membrane | |
BE904997A (fr) | Super purificateur pour le gaz argon et procede de purification de l'argon. | |
US3467493A (en) | Method for removal of impurities in rare gases | |
US4083946A (en) | Process for removing chloride impurities from TiO2 | |
SU1655899A1 (ru) | Способ очистки хлористого водорода | |
IN160952B (ru) | ||
RU2294893C2 (ru) | Очистка h2s пористыми носителями | |
KR20080008420A (ko) | 비닐렌 카르보네이트의 저장 및 수송 방법 | |
US3019087A (en) | Purification of silane | |
RU2127728C1 (ru) | Способ получения меламина из мочевины | |
US3037337A (en) | Purification of boron trichloride | |
DD240672A1 (de) | Verfahren zur reinigung von kohlendioxid | |
ES8701798A1 (es) | Procedimiento para purificar un copolimero que contiene gru-pos acrilonitrilo | |
CA2451869C (en) | Method for producing an aqueous hydroxylamine solution devoid of salt | |
SU891126A1 (ru) | Способ очистки водорода от хлористого водорода и хлоридов кремни | |
JP3835488B2 (ja) | 過酸化水素水溶液中の有機不純物の除去方法 | |
US3337302A (en) | Desulfurization of chlorine | |
US4263451A (en) | Removing carbonaceous contaminant from zinc oxide | |
JP3292311B2 (ja) | メタノールの精製方法 | |
US4104146A (en) | Process for the purification of gas streams | |
SU1310380A1 (ru) | Способ очистки хлорбензола,используемого в синтезе органохлорсиланов | |
US4243644A (en) | Process to synthesize ammonia | |
SU623564A1 (ru) | Способ очистки жидкости | |
US3347022A (en) | Process for removal of solid particles from a hydrogen fluoride reactor |