SU889439A1 - Устройство дл химической резки кристаллов - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к устройст вам дл  резки кристаллов и может быть использовано дл  приготовлени  образцов дл  изучени  физических свойств материалов и их структуры с помощью электронной микроскопии и рентгенографических методов. Известно устройство дл  химическо резки монокристаллов, содержащее кристаллодержатель.. механизм подачи кристаллодержател  с электродвигателем подачи, режущую струну, соединен ную с системой смачивани  струны травильным раствором, и электродвигатель возвратно-поступательного перемещени  режущей струны l. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому  вл етс  устройство дл  химической резки крис таллов, содержащее станину на которой смонтированы кристаллодержате ь с механизмом его подачи, каретку с коромыслом, на котором закреплена режущд  струна, стол с установленны ми на нем системой смачивани  режущей струны и привод каретки 2. Недостатком известных устройств  вл етс  то, что они не обеспечивают высокого качества поверхности реза, необходимого дл  некоторых физически исследований, в результате перемеще-, ни  режущей струны и монокристалла в направлении, перпендикул рном плоскости реза и неравномерного смачивани  струны травильным раствором. Цель изобретени  - повышение качества поверхности реза. Поставленна  цель достигаетс  тем, что устройство дл  химической резки кристаллов, содержащее станину, на которой смонтированы кристаллодержатель с механизмом его подачи, каретку с коромыслом, на котором закреплена режуща  струна, стол с установленными на нем системой смачивани  реисущей струны и привод каретки, оно снабжено установленными на столе гребенками , стабилизирующими положение струны относительно базирующих поверхностей кристаллодержател  и механизмом коррекции положени  гребенок относительно кристаллодержател , а стол установлен с возможностью перемещени  относительно кристалла. На фиг. 1 изображено предлагаемое удтройство, на фиг. 2 - вид А на фиг. 1, на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 1. Устройство содержит станину 1,на которой установлены кристаллодержатель 2 с механизмом его подачи, каретка 3 и горизонтальный стол 4.Механизм подачи кристаллодержател  2 состоит из электродвигател  5, редуктора б, штока 7, горизонтальной плиты 8 и жестко св занной с ней верти-г кальной контактной плиты 9. Каретка

3св зана с электродвигателем 10 посредством реечной передачи 11. Ка (ретка 3 несет коромысло 12 весовой системы, на котором закреплена режуща  струна 13, датчик 14 подачи и груз 15 дл  приведени  системы в равновесие и установки необходимого усили  контакта струны 13 и кристаллодержател  2. .

Горизонтальный стол 4 соединен со станиной 1 посредством двух подшипниковых узлов 16 и 17, предназначенных дл  корректировки взаимного положени  стола 4 и кристаллодержател  2. Стол

4поджат к плите 9 пружиной 18 посредством двух упоров 19. На столе 4 жестко закреплены две вертикальные гребенки 20, состо щие из двух алундорых трубок 21 и установлены с возможностью поворота вокруг вертикальной оси дл  регулировани  зазора межДУ трубками 21.

Устройство содержит систему смачивани  22 режущей струны, режуща  струна 13 заводитс  в направл ющие гребенки 20 и канавки23 роликов 24, где она проходит на рассто нии 12 мм от наружной поверхности роликов 24, не каса сь канавки 23.

Устройство работает следующим образом .

В систему смачивани  22 заливаетс  соответствующий травильный раствор таким образом, чтобы ролики 24 были погружены в него на три четверти своей высоты, что позвол ет при ширине кольцевой канавки 23 мм и диаметре роликов 24-30 мм заполнить канавку 23 кислотой за счет капилл рных сил. С помощью груза 15 задаетс  усилие контакта режущей струны 13 и монокристалла . При этом сигнал от датчика 14 подачи устанавливаетс  равным О, а короглысло 12 занимает горизонтальное положение.

В процессе работы устройства реечна  передача 11 преобразует вращение оси электродвигател  10 в возвратно-поступательное перемещение каретки 3. с кареткой 3 перемещаетс  коромысло 12 весовой системы с за.крепленной на нем режущей струной 13. Последн  , проход  через капилл рные кольцевые канавки 23 роликов 24, смачиваетс  травильньм раствором, залитым в ванны, и переносит его к месту реза монокристалла. .Ролики 24 совершают возвратно-вращательное движение, задаваемое кареткой 3, тем самый обеспечиваетс  посто нное равномерное обновление травильного раствора в месте реза монокристалла . Вращение оси электродвигател  5 подачи через механизм подачи кристаллодержател  2 преобразуетс  в поступательное перемещение кристаллодержател  2. Коромысло 12 весовой системы по мере резки монокристалла или опускаетс  из первоначального положени  под действием усили  контакта, определ емого грузом 15, или поднимаетс  за счет перемещени  монокристалла. При зтом возникает сигнал разбаланса на датчике 14 подачи. Сигнал через злектронный усилитель поступает на электродвигатель |5, который перемещает монокристалл и возвращает коромысло 12 в первоначальное положение.

В процессе резки положение режущей струны 13, а следовательно, и поверхности реза определ етс  двум  вертикальными гребенками 20, жестко установленными на горизонтальном столе 4, который поджимаетс  пружиной 1 к вертикальной контактной плите 9 и упираетс  в нее упорами 19. Поскольку вертикальна  плита 9 жестко св зана с горизонтальной плитой 9, на кот торой установлен кристаллодержатель 2, режуща  струна 13 повтор ет все возможные перемещени  разрезаемого кристсшла в направлении, перпендикул рном плоскости реза.Корректировка взаимного положени  струны 13, стола 4 и кристаллодержател  2 обеспечиваетс  возможностью поворота стола 4 в подшипниковых узлах 16 и 17, установленных на станине 1.

Возможны та1:же и другие варианты осуществлени  корректировки взаимного положени  струны 13 и кристаллодержател  2. В частности тот же эффект можно получить, если узел 17 с вертикальной осью закрепить на кристаллодержателе 2.

Таким образом, при условии высокой чистоты поверхности контактной вертикальной плиты, поверхности направл ющих гребенок, точности устанрвки зазора в гребенках и правильности заполнени  ванн травильным раствором, достигаетс  повышение чистоты поверхности реза, так как предлагаемое устройство значительно уменьшает- относительные смещени  монокристалла и струны в направлении поперечном плоскости реза.

Claims (2)

1.Авторское свидетельство СССР № 447288, кл. В 2В d 5/06, 1973.

2.Авторское свидетельство СССР № 605721, кл. В 28 d 5/06/ 1976.

ZO 21 3 I/ /

л Фиг.1 2 J