SU605721A1

SU605721A1 - Устройство дл химической резки монокристаллов

Info

Publication number: SU605721A1
Application number: SU762388651A
Authority: SU
Inventors: Анатолий Владимирович Завилинский; Михаил Лазаревич Поляченко; Игорь Константинович Засимчук
Original assignee: Опытно-Конструкторское Бюро Института Металлофизики Ан Украинской Сср
Priority date: 1976-07-21
Filing date: 1976-07-21
Publication date: 1978-05-05

Description

1

Изобретение относитс к вспомогательному научному оборудованию и входит в состав устройств, предназначенных дл бездеформационной резки монокристаппов.

Известное устройство дл резки монокрио таппов с распиловочным диском не обеспечивает нужного качества реза l.

Известно другое устройство дл химической , резки монокристаллов, содержащее механизм подачи кристаллодержател с электродвигателем подачи, режущую струну с втулками , соединенными эластичными трубками с резервуаром рабочего раствора и электродвигатель возвратно-поступательного перемещени режущей струны 2.

Это устройство вл етс наиболее блиэким к изобретению по технической сущности и достигаемомурезультату.

Недостатком этого устройства вл етс , необходимость поддерживать посто нным усилие нат жени режущей струны. Тарировка силоизмерительного датчика зависит от деформации режущей струны под действием оптимального усили нажати струны на монокристалл , а деформаци , в свою очередь,

зависит от нат жени струны. Нат жение режущей струны в процессе резки измен етс вследствие ее износа. Кроме гого, затрунена эксплуатаци станка, так как необ(;одимо иметь специальные средства дл обеспечени посто нного, предварительно заданного усили нат жени струны при ее замене, или необходимо проводить тарировку силоизмерительного датчика при каждой такой замене.

Цель изобретени - поддержание оптимального усили нат жени ружущей струны на монок рис талл.

Claims

Это достигаетс тем, что устройство дл химической резки монокристаллов, содержащее механизм подачи кристаллодержатеп с электродвигателем подачи, режущую струну с втулками, соединенными эластичными трубками с резервуаром рабочего раствора, и электродвигатель возвратно-поступательного перемещени режущей струны, снабжено кареткой с коромыслом весовой системы, снабженной грузом задани усили нажати струны и датчиком перемещени , причем электродвигатепь в.озвратно-поступательного перемещени режущей струны кинематически св зан с кареткоЙ на одном плече коромысла закреплена режуша струна, а др гое его плечо кинематически св зано с дат чиком перемещени , электрически св занногоС электродвигателем подачи. На чертеже изображено предлагаемое устройство, общий вид; Устройство дл хик ической резки монокрисгалпов включает станину, механизм подачи К{Щ(:галлодержател 1 со след щим .Г|х ирибором, состо щий из стола 2, Ц1ГОК9 3, редуктора 4 и электродвигател подйчм 5. На станине расположены каретка б несуш1 коромысло 7 весовой системы и электродвигатель 8, осуществл ющий возврйгно-поогупательное перемещение кчретки кривошипно-шагунного мехаЕ)изма 9 и реечного дифференциала 10, На одном плече коромысла закреплена режуща струна 11, а другое его плечо св зано с датчиком перемещений 12, На коромысле имеетс противовес 13, служащий дл балансировки весовой системы, и груз 14 задани усили нажаги режущей струны на монокристалл. На режущие струны надеты втулки 15, соединенные эластичными трубками 16 с резервуаром . 17 рабочего раствора. Перед запуском станка между монокриотаппом и режущей струной задаетс необходимое усилие контакта, при этом сигнал от датчика перемещений устанавливаетс ра&ным О, а коромысло занимает определенное положение, Кривошипно-шатунный механизм 9 преобразует вращение электродвигател 8 в возвратно-поступательное перемещение каретки 6. Реечный дифференциал 1О служит дл увеличени длины хода каретки. Вместе с кареткой перемещаетс и коромысло 7 весовой системы, несущее струну 11, котора , проход через втулку 15 и смачива сь рабочим раствором, подводимым к втулкам по трубкам 16 из резервуара 17, переносит раствор в место реза на монокристалле Движение от электродвигател подачи 5 через редуктор и винтовую пару пр€,-образует с в поступательное перемещен}1е lUTOKa 3, на столе 2 которого усга:1авлив:1етс кристаплодоржатель 1 с закрепленным SiOHOKpncталлом , В прощ.ссе резкл монокристалла коромысло 7 весовой системы стремитс отклонитьс из первоначального положени вниз нод действием силы, определ емой положением груза 14 на коромысле, или вверх за счет перемещени монокристалла. При этом по вл етс сигнал разбаланса на датчике перемещений 12, . .Сигнал разбаланса через электронный усилитель поступает на реверсивный электродвигатель подачи 5, который перемещает монокристалл и возвращает коромысло 7 весовой системы в первоначальное положение. Формула изобретени Устройство дл химической резки монокристаллов , содержащее механизм подачи кристалл оде ржател с электродвигателем подачи, режущую струну с втулками, соединенными эластичными трубками с резервуаром рабочего раствора, и электродвигатель возвратно-поступательного перемещени режущей струны, отличающеес тем, что, с целью поддержани оптимального усили нажати режущей струны на монокристалл , устройство снабжено кареткой с коромыслом весовой системы, снабженной грузом задани усили нажати струны и датчиком перемещени , причем электродвигатель перемещени струны кинематически св зан с кареткой , на одном плече коромысла закреплена режуща струна, а другое его плечо кинематически св зано с датчиком перемещени , электрически св занного с эпекгродвигагелем подачи. Источники информации, прин тые во вниание при экспертизе: 1.За вка № 2022039, кл. В 28 D 3/02, 1974, по которой прин то рещение о выдаче авторского свидетельства. 2,Авторское свидегепьство № 447288, кл, В 28D I 5/06, 1973.