SU952619A1 - Устройство дл резки пластин полупроводниковых материалов - Google Patents
Устройство дл резки пластин полупроводниковых материалов Download PDFInfo
- Publication number
- SU952619A1 SU952619A1 SU813240052A SU3240052A SU952619A1 SU 952619 A1 SU952619 A1 SU 952619A1 SU 813240052 A SU813240052 A SU 813240052A SU 3240052 A SU3240052 A SU 3240052A SU 952619 A1 SU952619 A1 SU 952619A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- waffers
- cutting
- carriage
- cutting semiconductor
- guides
- Prior art date
Links
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл обработки неметаллических материалов и может , быть использовано при разрезке пластин кремни , германи и др. твердых и хрупких материалов алмазным кругом.
Известен станок дл резки изделий из керамических материалов, содержащий отрезной круг, раму с закрепленными на ней с помощью фланцев направл ющими круглого сечени и установленную на них каретку с роликами, при этом ролики, установленные на одной из направл ющих, выполнены призматического профил , а фланцы расположены между направл ющими и рамой и прикреплены к ним снизу с помощью винтов и штифта fl.
Наиболее близким к предлагаемому техническим решением вл етс устройство дл резки пластин полупроводниковых материалов, содержащее расположенный в корпусе шпиндель с режущим инструментом, каретку с приводом поперечного перемещени в виде ходового винта и гайки, каретку дл продольного перемещени , направл ющие дл кареток, вакуумный стол дл закреплени пластин и систему подачи смазочно-Ьхлаждающей среды C2j.
Недостатками известных устройств вл ютс низка производительность и неточность позиционировани каретки за счет накоплени ошибки ходового винта.
Цель изобретени - повышение точности и производительности устройства .
Поставленна цель достигаетс
10 тем, что устройство дл резки пластиь полу троводниковых материалов, содержащее расположенный в корпусе шпиндель с режущим инструментом, каретку с приводом поперечного пере15 мещени в виде ходового винта и гай- ки, каретку дл продольного перемещени , направл ющие дл кареток, вакуумный стол дл закреплени пластины и систему подачи омазочно-охлаж20 дающей среды, снабжено средством дл коррекции поперечного перемещени каретки, выполненным в виде подпружиненного Г-образного рычага и регулировочной планки, причем один конец
25 рычага шарнирно соединен с гайкой, а другой - снабжен роликами, взаимодействующими с регулировочной планкой, при этом направл ющие кареток установлены на аэростатических опоргл,
Claims (2)
1.Авторское свидетельство СССР № 327074, кл. В 28 О 1/18, 1972.
2.Авторское свидетельство СССР 5 617271, кл. в 28 О 1/18, 1976.
А
м
/
77/77
i:
у / X Y У
13 2J .jo
ч
. I
B-S
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813240052A SU952619A1 (ru) | 1981-01-21 | 1981-01-21 | Устройство дл резки пластин полупроводниковых материалов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813240052A SU952619A1 (ru) | 1981-01-21 | 1981-01-21 | Устройство дл резки пластин полупроводниковых материалов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU952619A1 true SU952619A1 (ru) | 1982-08-23 |
Family
ID=20940160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU813240052A SU952619A1 (ru) | 1981-01-21 | 1981-01-21 | Устройство дл резки пластин полупроводниковых материалов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU952619A1 (ru) |
-
1981
- 1981-01-21 SU SU813240052A patent/SU952619A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3326071A (en) | Dicing machine | |
| KR930007659B1 (ko) | 평판재의 위치 결정장치 | |
| SU952619A1 (ru) | Устройство дл резки пластин полупроводниковых материалов | |
| US4653371A (en) | Work holder for vertical saws | |
| US3032026A (en) | Device for slicing semiconductor crystals and the like | |
| US3702604A (en) | Work mounting mechanism in slicing machine | |
| ES489495A1 (es) | Perfeccionamientos introducidos en las mesas corredizas parasierras circulares | |
| US1694560A (en) | Machine tool | |
| CN201746450U (zh) | 异形玻璃切割机工作平台的导向结构 | |
| US3222963A (en) | Device for scoring of crystalline semiconductor materials | |
| US1716279A (en) | Portable mitering machine | |
| CN208514758U (zh) | 一种硅棒组合加工机 | |
| ATA254790A (de) | Einrichtung zum schneiden von fliesen und/oder platten | |
| US4144676A (en) | Machine tool having frame mounted head and tail stocks | |
| US2372025A (en) | Material handling apparatus | |
| GB1229468A (ru) | ||
| US2355811A (en) | Method of and apparatus for shaping articles | |
| CN219633942U (zh) | 一种卷料开料机 | |
| US1983090A (en) | Machine for universally milling, grinding, and drilling workpieces of all kinds | |
| CN219255009U (zh) | 一种无心磨工件用辅助支撑装置 | |
| CN217619333U (zh) | 一种用于棒材生产线全定尺生产装置 | |
| CN217618099U (zh) | 一种钢材批量式切割装置 | |
| GB1076070A (en) | Work-gripping means, particulary for sawing machines | |
| CN218364725U (zh) | 一种模块化的划线平台装置 | |
| CN204736346U (zh) | 线锯排架 |