SU803851A3 - Устройство дл фотоотверждени пОКРыТи HA дВижущЕйС пОдлОжКЕ - Google Patents
Устройство дл фотоотверждени пОКРыТи HA дВижущЕйС пОдлОжКЕ Download PDFInfo
- Publication number
- SU803851A3 SU803851A3 SU772542048A SU2542048A SU803851A3 SU 803851 A3 SU803851 A3 SU 803851A3 SU 772542048 A SU772542048 A SU 772542048A SU 2542048 A SU2542048 A SU 2542048A SU 803851 A3 SU803851 A3 SU 803851A3
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- substrate
- tunnel
- inert gas
- reflector
- coating
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 13
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 230000011514 reflex Effects 0.000 claims description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
- B05D3/06—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to radiation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
- B01J19/122—Incoherent waves
- B01J19/123—Ultraviolet light
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
- F26B21/14—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects using gases or vapours other than air or steam, e.g. inert gases
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B3/00—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
- F26B3/28—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by radiation, e.g. from the sun
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Microbiology (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Description
Изобретение относитс к области нанесени покрытий, в частности к устройствам дл отверждени покрытий , отверждак дихс под действием света, использующих ртутные лампы. Известно устройство дл фотоотвер ждени покрыти на движущейс подложке , содержащее входной и выходной туннели, между которыми установлены инжектор дл подачи инертного газа на подложку и рабоча камера со смон тированной в ней ртутной лампой с ре флекторным приспособлением 1 . Однако в данном устройстве ртутны лампы используют вместе с рефлектора ми, поверхность которых охлаждают за счет отвода тепла. Во многих случа х избыточное покрытие испар етс с поверхности и осаждаетс на поверхност х рефлекторов и ламп, вызыва уменьшение мощности ультрафиолетового излучени и привод к неравномерному отверждению. Целью изобретени вл етс предотэращение осаждени паров на поверхность рефлекторного приспособлени . Поставленна пель достигаетс тем что в устройстве дл фотоотверждени покрыти на движущейс подложке, содержащем входной и выходной туннели, между KOTOptJMH установлены инжектор дл подачи инертного газа на подложку и рабоча камера со смонтированной в ней ртутной лампой с рефлекторным приспособлением, последнее снабжено охлаждаемым жидкостью теплоотводным приспособлением, установленным с зазогюм относительно рефлекторного приспособлени . Кроме того, устройство снабжено установленным между инжектором дл подачи инертного газа и рабочей камерой приспособлением дл подачи дополнительного потока инертного газа в направлении двшкени ,а высота выходного туннел подложки превышает высоту входного туннел , причем противолежащие поверхности рефлекторного и теплоотвод щего приспособлений имеют черный цвет. На фиг. 1 схематически изображено устройство/ на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1. Устройство содержит рабочую камеру 1 , в которой смонтирован источник ультрафиолетового излучени 2, представл ющий р д ртутных ламп среднего давлени , рефлекторное /отражательное ) приспособление 3, частично окружгиоцее этот источник и служащее
л направлени ультрафиолетового злучени на поверхность подложки, отора проходит через входной туннель 4 рабочей кгичеры, где покрытие на подложке отверждают под действием ультрафиолетового излучени , а затем выходит через выходной туннель 5.
Инертный газ подаетс из нагнетательной камеры б через инжектор 7, Назначение этого газа состоит в том, чтобы изолировать поверхность движущейс подложки и удалить кислород, который ингибирует отверждение. В устройстве предусмотрен также второй источник инертного газа,который подают через камеру экранирующего газа 8, имеющ то выходную щель 9. Над рефлекторным приспособлением 3 с зазором относительно него смонтировано охлаждаемое теплоотвод щее приспособление 10. Теплоотвод осуществл етс только за счет излучени .
.Противолежащие поверхности рефлекторного 3 и теплоотвод щего 10 приспособлений имеют черный цвет. Устройство работает следующим образом.
Подложка с нанесенным покрытием входит в туннель 4 рабочей камеры. Инертный газ подаетс из камер 6 и 8. Хот направление потока газа на фиг.1 показано как параллельное перемещению подложки, угол потока может составл ть от З до IS- относительно нее. Поток экранирующего газа увлекает и захватывает практически все пары, выдел емые с поверхности покрыти , по мере его отверждени , и выносит их через туннель 5. Высота h) выг }содного туннел 5 больше, чем высота Е) входного туннел 4. Это позвол ет парам более легко покидать рабочую камеру вместе с экранирующим потоком газа. Выдел емые пары covЗиpaютc под ламинарньм потоком экраниругацего инертного газа и приподнимают его над поверхностью покрыти , увеличива тем самым толщину сло ламинарного потока. Поэтому больша высота выходного туннел .5 по сравнению с высотой входного гуниел 4облегчает удаление паров из устройства. Использование потока экранирующего газа целесообразно, однако, устройство нор ально функционирует и без такого потока экранирующего газа.
Охлаждаемое .водой теплоотвод щее приспособление 10 расположено по отношению к поверхности рефлекторного приспособлени 3 таким образом, что между поверхностью рефлекторного 3 и тв жютвод щего 10 приспособлений перенос тепла осуществл етс только за счет излучени . За счет регулировровки температуры поверхности рефлекторного .приспособлени (с целью уменьшени конвенционных потоков) значительно сннжаетс осаждение на его поверхность паров.
Устройство может быть выполнено в различных вариантах.
Например, дл уменьшени количества инертного газа, используемого в системе, можно создать экранирующий пару поток воздуха ниже первой камеры 6 и перед второй камерой 8, Могут быть выполнены выпускные туннели перед входным туннелем и после выходного туннел , а также Предусмотрена регулировка отношени давлени газа в туннел х дл распределени потока 5 между каждым из выпускных туннелей таким образом, чтобы поддерживать поток инертного газа, удал ющего максимально возможное количество паров .
Позволит предотвратить попадание/ паров на поверхность рефлекторного приспособлени за счет использовани экраннрующего пары потока газа.
Claims (4)
1.Устройство дл фотоотверждени покрыти на движущейс подложке, содержащее входной и выходной туннели , между которыми установлены инжектор дл подачи инертного газа на подложку и рабоча камера со смонтированной в ней ртутной лампой с рефлекторным приспособлением, отличающеес тем, что с целью предотвращени осаждени паро на поверхность рефлекторного приспособлени , последнее снабжено охлаждаемым жидкостью теплоотводным приспособлением, установленным с зазором относительно рефлекторного приспособлени .
2.Устройство по П.1, о т л ичающеес тем, что оно снабжено установленным между инжектором дл подачи инертного газа и рабочей каинерой приспособлением дл подачи дополнительного потока инертного газа в направлении движени подложки ,
3.Устройство по П.1, о т л ичаюцеес тем, что высота выхного туннел превьлнает высоту входнго туннел .
4.Устройство по П.1, о т л и ч а щ е е с тем, что противолежащие пверхности рефлекторного и теплоотводиого приспособлений имеют черный цвет.
Источники информации, прин тые во внимание при экспертиз
1.Патент ouA i 3936950, кл. 34-4, опублик. 10,02,76 (прототип ) , / f /
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US05/739,120 US4135098A (en) | 1976-11-05 | 1976-11-05 | Method and apparatus for curing coating materials |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU803851A3 true SU803851A3 (ru) | 1981-02-07 |
Family
ID=24970908
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU772542048A SU803851A3 (ru) | 1976-11-05 | 1977-11-04 | Устройство дл фотоотверждени пОКРыТи HA дВижущЕйС пОдлОжКЕ |
Country Status (16)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4135098A (ru) |
JP (1) | JPS5363786A (ru) |
AU (1) | AU511287B2 (ru) |
BE (1) | BE860509A (ru) |
CA (1) | CA1100904A (ru) |
DE (1) | DE2749439C3 (ru) |
DK (1) | DK492377A (ru) |
ES (2) | ES463846A1 (ru) |
FR (1) | FR2370071A1 (ru) |
GB (1) | GB1591442A (ru) |
IT (1) | IT1090430B (ru) |
NL (1) | NL7712191A (ru) |
NO (1) | NO154684C (ru) |
SE (1) | SE438107B (ru) |
SU (1) | SU803851A3 (ru) |
ZA (1) | ZA776207B (ru) |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1980001558A1 (en) * | 1979-01-29 | 1980-08-07 | K Taniuchi | Easy-to-open lid for container |
US4331705A (en) * | 1979-05-11 | 1982-05-25 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Curing of polyamic acids or salts thereof by ultraviolet exposure |
DE3010821A1 (de) * | 1980-03-21 | 1981-10-01 | Polymer-Physik GmbH & Co KG, 2844 Lemförde | Verfahren und vorrichtung zur vernetzung von auf traegermaterialien aufgebrachten lacken auf kunststoffbasis |
DE3402505A1 (de) * | 1983-01-25 | 1984-08-09 | Citizen Watch Co. Ltd., Tanashi, Tokyo | Vorrichtung und verfahren zum aushaerten von unter lichteinwirkung aushaertenden kunstharzklebern |
FR2544324B1 (fr) * | 1983-04-13 | 1987-07-10 | Toyo Boseki | Procede pour accroitre l'adherence de la surface d'un produit faconne en polyester et produit obtenu par ce procede |
DE3416502A1 (de) * | 1984-05-04 | 1985-11-07 | Goldschmidt Ag Th | Vorrichtung zum aushaerten von flaechigen werkstoffen aus durch uv-strahlung haertbaren verbindungen oder zubereitungen |
US4660297A (en) * | 1985-11-01 | 1987-04-28 | Philip Danielson | Desorption of water molecules in a vacuum system using ultraviolet radiation |
JPS63158166A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | 帯状物の乾燥方法 |
US4798007A (en) * | 1987-05-28 | 1989-01-17 | Eichenlaub John E | Explosion-proof, pollution-free infrared dryer |
US4811493A (en) * | 1987-08-05 | 1989-03-14 | Burgio Joseph T Jr | Dryer-cooler apparatus |
US4823680A (en) * | 1987-12-07 | 1989-04-25 | Union Carbide Corporation | Wide laminar fluid doors |
US5225170A (en) * | 1989-02-07 | 1993-07-06 | Steelcase Inc. | Monolithic finishing process and machine for furniture parts and the like |
US5116639A (en) * | 1989-02-07 | 1992-05-26 | Steelcase Inc. | Monolithic finishing process and machine for furniture parts and the like |
JPH0390319A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Sogo Shika Iryo Kenkyusho:Kk | 可視光重合型レジンの連続硬化方法及び装置 |
DE4431502A1 (de) * | 1994-09-03 | 1996-03-07 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren zur mehrschichtigen Oberflächenbehandlung von Werkstücken aus Kunststoff in Tauchbadanlagen |
DE19516053C2 (de) * | 1995-05-04 | 2000-08-24 | Ist Metz Gmbh | UV-Strahler |
EP0830217B1 (de) * | 1995-05-04 | 1999-11-24 | NÖLLE GmbH | Vorrichtung zum härten einer schicht auf einem substrat |
US6126095A (en) * | 1998-09-09 | 2000-10-03 | Fusion Uv Systems, Inc. | Ultraviolet curing apparatus using an inert atmosphere chamber |
US6755518B2 (en) * | 2001-08-30 | 2004-06-29 | L&P Property Management Company | Method and apparatus for ink jet printing on rigid panels |
DE10238253B4 (de) * | 2002-08-21 | 2007-12-13 | Advanced Photonics Technologies Ag | UV-Bestrahlungsanlage zur Erzeugung eines ausgedehnten UV-Strahlungsfeldes |
FR2865418B1 (fr) * | 2004-01-28 | 2006-03-03 | Air Liquide | Equipement de reticulation ultraviolette sous atmosphere controlee |
US20050250346A1 (en) * | 2004-05-06 | 2005-11-10 | Applied Materials, Inc. | Process and apparatus for post deposition treatment of low k dielectric materials |
DE102005000837B4 (de) | 2005-01-05 | 2022-03-31 | Advanced Photonics Technologies Ag | Thermische Bestrahlungsanordnung zur Erwärmung eines Bestrahlungsgutes |
US20060251827A1 (en) * | 2005-05-09 | 2006-11-09 | Applied Materials, Inc. | Tandem uv chamber for curing dielectric materials |
US7777198B2 (en) * | 2005-05-09 | 2010-08-17 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for exposing a substrate to a rotating irradiance pattern of UV radiation |
US7692171B2 (en) * | 2006-03-17 | 2010-04-06 | Andrzei Kaszuba | Apparatus and method for exposing a substrate to UV radiation using asymmetric reflectors |
US7566891B2 (en) * | 2006-03-17 | 2009-07-28 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for treating a substrate with UV radiation using primary and secondary reflectors |
US7589336B2 (en) * | 2006-03-17 | 2009-09-15 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for exposing a substrate to UV radiation while monitoring deterioration of the UV source and reflectors |
US20120258259A1 (en) | 2011-04-08 | 2012-10-11 | Amit Bansal | Apparatus and method for uv treatment, chemical treatment, and deposition |
DE102015219239A1 (de) * | 2015-10-06 | 2017-04-06 | Reicolor Chemie-Gmbh Chemische- Und Lackfabrik | Verfahren zum Lackieren von Stiften sowie Lackiervorrichtung |
CN112384369B (zh) * | 2018-07-27 | 2022-05-31 | 京瓷株式会社 | 光照射装置以及印刷装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR761815A (fr) * | 1932-12-20 | 1934-03-28 | Vitamina | Perfectionnements aux appareils à stériliser par rayons ultra-violets |
GB715700A (en) * | 1951-10-12 | 1954-09-22 | English Electric Co Ltd | Improvements relating to control apparatus for electric motors |
NL261714A (ru) * | 1960-06-14 | |||
GB991561A (en) * | 1961-03-20 | 1965-05-12 | Ford Motor Co | Improvements in coatings of compositions comprising a polyester |
DE2018984A1 (de) * | 1969-04-23 | 1971-06-24 | British Insulated Callenders | Verfahren und Einrichtung zum Aus harten von Isolationsuberzugen auf elek tnschen Leitern |
US3807052A (en) * | 1972-06-26 | 1974-04-30 | Union Carbide Corp | Apparatus for irradiation of a moving product in an inert atmosphere |
US3790801A (en) * | 1972-09-08 | 1974-02-05 | Ppg Industries Inc | Apparatus for ultraviolet light treatment in a controlled atmosphere |
US3826014A (en) * | 1973-03-19 | 1974-07-30 | Sun Chemical Corp | Shutter mechanism for radiation-curing lamp |
JPS5022081A (ru) * | 1973-05-25 | 1975-03-08 | ||
US3819929A (en) * | 1973-06-08 | 1974-06-25 | Canrad Precision Ind Inc | Ultraviolet lamp housing |
JPS5241370B2 (ru) * | 1973-09-14 | 1977-10-18 | ||
US3936950A (en) * | 1974-04-16 | 1976-02-10 | Union Carbide Corporation | Method of inerting the atmosphere above a moving product |
CA1045580A (en) * | 1974-04-16 | 1979-01-02 | Harden H. Troue | Method of inerting the atmosphere above a moving product |
US4005135A (en) * | 1975-04-07 | 1977-01-25 | Sun Chemical Corporation | Rotatable ultraviolet lamp reflector and heat sink |
US3994073A (en) * | 1975-04-08 | 1976-11-30 | Ppg Industries, Inc. | Air cooling means for UV processor |
-
1976
- 1976-11-05 US US05/739,120 patent/US4135098A/en not_active Expired - Lifetime
-
1977
- 1977-10-18 ZA ZA00776207A patent/ZA776207B/xx unknown
- 1977-10-26 CA CA289,543A patent/CA1100904A/en not_active Expired
- 1977-11-04 BE BE182369A patent/BE860509A/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-11-04 ES ES463846A patent/ES463846A1/es not_active Expired
- 1977-11-04 IT IT51697/77A patent/IT1090430B/it active
- 1977-11-04 DE DE2749439A patent/DE2749439C3/de not_active Expired
- 1977-11-04 SU SU772542048A patent/SU803851A3/ru active
- 1977-11-04 NL NL7712191A patent/NL7712191A/xx not_active Application Discontinuation
- 1977-11-04 NO NO773792A patent/NO154684C/no unknown
- 1977-11-04 FR FR7733243A patent/FR2370071A1/fr active Granted
- 1977-11-04 AU AU30331/77A patent/AU511287B2/en not_active Expired
- 1977-11-04 GB GB45903/77A patent/GB1591442A/en not_active Expired
- 1977-11-04 JP JP13163877A patent/JPS5363786A/ja active Granted
- 1977-11-04 DK DK492377A patent/DK492377A/da not_active Application Discontinuation
- 1977-11-04 SE SE7712490A patent/SE438107B/sv not_active IP Right Cessation
- 1977-12-14 ES ES465054A patent/ES465054A1/es not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NO154684C (no) | 1986-12-03 |
BE860509A (fr) | 1978-05-05 |
ES463846A1 (es) | 1978-06-16 |
CA1100904A (en) | 1981-05-12 |
DE2749439C3 (de) | 1980-10-16 |
DK492377A (da) | 1978-05-06 |
NO154684B (no) | 1986-08-25 |
FR2370071B1 (ru) | 1983-02-25 |
FR2370071A1 (fr) | 1978-06-02 |
ZA776207B (en) | 1978-06-28 |
NL7712191A (nl) | 1978-05-09 |
AU3033177A (en) | 1979-05-10 |
IT1090430B (it) | 1985-06-26 |
AU511287B2 (en) | 1980-08-07 |
US4135098A (en) | 1979-01-16 |
JPS5537949B2 (ru) | 1980-10-01 |
DE2749439A1 (de) | 1978-05-11 |
GB1591442A (en) | 1981-06-24 |
SE7712490L (sv) | 1978-05-06 |
ES465054A1 (es) | 1978-09-01 |
DE2749439B2 (de) | 1980-02-28 |
SE438107B (sv) | 1985-04-01 |
NO773792L (no) | 1978-05-08 |
JPS5363786A (en) | 1978-06-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU803851A3 (ru) | Устройство дл фотоотверждени пОКРыТи HA дВижущЕйС пОдлОжКЕ | |
US6646278B1 (en) | Irradiating device | |
US4563589A (en) | Ultraviolet curing lamp device | |
SU580807A3 (ru) | Устройство дл облучени непрерывно движущегос материала | |
US4864145A (en) | Apparatus and method for curing photosensitive coatings | |
CN105060739A (zh) | 一种光强可调的光纤涂层紫外固化设备 | |
JP2002260595A5 (ru) | ||
WO2010105365A1 (en) | Distributed light sources for photo-reactive curing | |
EP0349507A1 (en) | A drying section provided with UV-light generating devices | |
CN105521932A (zh) | 一种光纤带固化设备 | |
KR20180105654A (ko) | 분할된 uv 반사 미러들을 구비하는 uv 경화 장치 | |
WO2011080852A1 (ja) | 液晶表示パネルの製造方法及び製造装置 | |
US20040111914A1 (en) | Apparatus for curing radiation-curable coatings | |
US8017925B2 (en) | Polymerization device | |
JP6885081B2 (ja) | 処理装置 | |
JPS637830B2 (ru) | ||
JPS61108124A (ja) | 半導体製造装置 | |
JPS61131422A (ja) | 半導体製造装置 | |
JPS63200835A (ja) | 表面処理方法および装置 | |
JPS62262807A (ja) | 線材用紫外線照射装置 | |
JPS61129811A (ja) | 半導体製造装置 | |
Owen et al. | Solid-State UV Curing Technology Comes of Age | |
CN114325890A (zh) | 光学照明装置及光学改性设备 | |
JPH0551930U (ja) | 光ファイバーに塗布されたコーティング剤の硬化装置 | |
KR970077300A (ko) | 반도체 제조용 건식 식각 장치 |