Claims (2)
Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл производства изделий радиотехники и может быть использовано в устройствах дл жидкостной обработки полупроводниковых пластин, например очистки с применением ультразвука кремниевых подложек посл резки. Известно устройство дл жидкостной обработки полупроводниковь х пластин, содержащее ванну, внутри которой наход тс держатели пластин с приводом вращени 1. В этом устройстве не предусмотрено пощтуч ное перемещение обрабатываемых деталей в ванне от зоны загрузки к зоне выгрузки. Также известно устройство дл жидкостной обработки изделий, содержащее ваину изамкнутый цепной конвейер с держател ми изделий 2 Недостатком этого устройства вл етс то, По обработка деталей производитс в держате.г д х, имею1лих кор()бчатую конструкцию, в которую загружаютс группы деталей, что ухудша ет качестве оПрабщки изделий по сравнению с их пощтучной обработкой. Кроме того, в устройстве затруднены загрузка и выгрузка деталей, что снижает его эксплуатационные качества. Цель изобретени повыщенис удобства эксплуатации устройства и повыщение качества обработки издеДий - достигаетс тем, что устройство дл транспортировани изделий преимущественно при жидкостной обработке полупроводниковых пдастин, содержащее расположенный на станине и св занный с приводным механизмом горизонтальный замкнутый цепной конвейер с дepжaтeJт ми пластин, снабжено доподнительным конвейером, расположенным р дом с упом нутым, рамой, щарнирно закреплеттной на станине, и дополнительным приводным механизмом поворота рамы. Причем оба конвейера смонтированы на раме и снабжены криволинейт1ыми копирами, разметценными на участках поворота цени конвейера, и направл ющими дл держателей, а держатели размещены на конвейерах попарно с образованием каждой парой держателей гнезда дл размещени пластин на сопр гающихс ветв х конвейера , каждый держатель шарнирно закреплен на цепи конвейера и снабжен цилиндрическим пальцем дл взаимодействи с копиром. Ко1шры, расположенные на участке выгрузки , пластин, выполнены с радиусом кривизны, равным радиусу поворота цепи конвейера, причем центр радиуса кривизны этих копиров смещен против хода конвейера на величину рассто 1ш между центром оси щарнирного закреплени держател и его пальца. На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство , общий вид; на фиг. 2 показан разрез А-А на фиг. 1 (конвейеры); на фиг. 3 -- разре Б-Б на фиг. 1. Устройство содержит станину с ванной 1, на которой щарнирно закреплена рама 2, кинематически св занна с приводом 3 ее поворота. На раме смонтированы два идентичных цепных конвейера 4 и 5 (фиг. 2) с держател ми 6, которые щарнирно св заны с цепью конвейера ос ми 7 (фиг. 1). На пр молинейных участках конвейеров расположены направл ющие 8 дл перемещени держателей, а на у шстках поворота - криволинейные копиры 9-12 с канавкаш1 Держатели снабжены цилиндрическими пад1ьцами 13, которые вход т в канавки копиров на участках поворота конвейера. Радиус кривиз ны канавок копиров 9 и 12, наход щихс на участке выгрузки пластин, равен радиусу поворота цепи конвейера, по которому деремещаетс ось 7 щарнирного за1 реплени держател б, причем центр радиуса канавок копиров 9 к 12 смещен против направлени движени конвейера на величину рассто ни между осью 7 щарнирного закреплени держател 6 и Пальцем 13 зтого держател . Конвейеры приводитс в движение приводным механизмом 14 через систему шестерен 15 и 16 и приводные звездочки 17. Дл синхронизации работы узлов устройства служат фотодатчик 18 и блок управлени 19. Держатели б размещены на цеп х конвейера так, что тары держателей разноименных конвейеров образуют гаезда дл размещени обрабатываемых пластин 20 (фиг. 3). Устройство работает следующим образом. При загрузке пластины 20 в шездо, образованное держател ми 6, фогодатчик 18 выдает сигнал на блок управлени 19, который включает привод 3 поворота рамы 2. Рама с уста674 новленными на ней конвейерами 4 и 5 поднимаетс над ван1{ой 1. Затем включаетс приводной механизм 14 и конвейеры перемещаютс на один ujar. При этом деталь, наход пш с на позиции выгрузки, выпадает из гнезда, так как держатели (расход тс в стороны на участке поворота цепей конвейера. Так как центры радиусов поворота оси 7 и пальца 13 смещены на величину рассто ни между осью и пальцем, -то держатели расход тс , остава сь параллельными сами себе на участке выгрузки,что обеспечивает наиболее благопри тные услови дл выгрузки пластин.После зтого рама с конвейерами опускаетс и пластины погружаютс в жидкость, наход щуюс в ванне. Затем цикл повтор етс . Формула изобретени 1.Устройство дл транспортировани изделий, преимущественно при жидкостной обработке полупроводниковых пластин, содержащее расположенный на станине и св занный с приводнюм механизмом горизонтальный замкнутый цепной конвейер с держател ми пластин, отличающеес тем, что, с целью повыщени удобства эксплуатации и повыщени качества обработки изделий, оно снабжено дополнительным конвейером, расположенным р ,цом с основным , рамой, щарнирно закрепленной на станине, и дополнительным приводным механизмом поворота рамы, причем оба конвейера размещены на раме и снабжены криволинейн ми копирами, размещенными на участках поворота цепи конвейера, и направл ющими дл держателей,, а держатели размещены на конвейерах попарно с образованием каждой парой держателей гнезда дл размещени пластин на сопр гающихс ветв х конвейера, каждый держатель шар1-шрно закреплен на цепи конве йера и снабжен цилиндрическим пальцем дл взаимодействи с копиром. 2.Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ ее с тем, -что копиры,, расположенное на участке выгрузки пластин, выполнены с радиусом кривизны, равным радиусу поворота цепи коьшёйера; причем центр радиуса.кривизны этих копиров смещен против хода конвейера на величину рассто ни между центром оси щарнирного закреплени держател и, его пальца.. Источ1мки информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 419047, 1СЛ. С 23 G 3/00, 30.08.74. The invention relates to manufacturing equipment for the manufacture of radio products and can be used in devices for liquid processing of semiconductor wafers, for example, cleaning using ultrasound silicon substrates after cutting. A device for liquid processing of semiconductor wafers is known, which contains a bath, inside of which there are holders of plates with a rotating drive 1. This device does not provide for direct movement of workpieces in the bath from the loading zone to the unloading zone. A device for liquid processing of products is also known, which contains a vain from a closed chain conveyor with product holders. 2 The disadvantage of this device is that the parts are machined in holders, which have groups of parts that impairs the quality of processing of products compared with their single-piece processing. In addition, the device is difficult to load and unload parts, which reduces its performance. The purpose of the invention is to increase the convenience of operating the device and improve the quality of processing of products - this is achieved by the fact that the device for transporting products mainly in the liquid treatment of semiconductor pdastin containing a horizontal closed chain conveyor located on a frame and equipped with a drive mechanism, located adjacent to said frame, hingedly fixed on the frame, and an additional drive mechanism for rotating the frame. Moreover, both conveyors are mounted on a frame and equipped with curvilinear copiers, marked on the turning sections of the conveyor, and guides for the holders, and the holders are placed on the conveyors in pairs with each pair of holders forming the plates for placing the plates on the mating branches of the conveyor, each holder is hinged on a conveyor chain and provided with a cylindrical pin for interacting with the cam. The lines located at the discharge site of the plates are made with a radius of curvature equal to the turn radius of the conveyor chain, and the center of curvature radius of these copiers is shifted opposite to the turn of the conveyor by a distance of 1 m between the center of the hinge axis of the holder and its finger. FIG. 1 shows the proposed device, a general view; in fig. 2 shows section A-A in FIG. 1 (conveyors); in fig. 3 is a section BB in FIG. 1. The device comprises a frame with a bath 1, on which a frame 2 is hingedly fixed, kinematically connected with the drive 3 of its rotation. Two identical chain conveyors 4 and 5 (Fig. 2) with holders 6 are mounted on the frame, which are pivotally connected to the conveyor chain by axles 7 (Fig. 1). On the straight sections of the conveyors there are guides 8 for moving the holders, and on the turning points there are curvilinear copiers 9-12 with grooves1. The holders are provided with cylindrical paddles 13 which enter the grooves of the copiers on the turning sections of the conveyor. The radius of curvature of the grooves of the copiers 9 and 12 located on the plate unloading area is equal to the turning radius of the conveyor chain, along which the hinged axis 7 of the hinge holder b moves, with the radius center of the copiers 9 and 12 shifted by the distance between the axis 7 of the hinged fastening of the holder 6 and the Finger 13 of this holder. The conveyors are driven by a drive mechanism 14 through gears 15 and 16 and drive sprockets 17. To synchronize the operation of the device components, serve the photo sensor 18 and the control unit 19. Holders b are placed on conveyor chains so that containers of opposite conveyors form a hedge to accommodate machined plates 20 (Fig. 3). The device works as follows. When the plate 20 is loaded into the shank, formed by the holders 6, the sensor 18 sends a signal to the control unit 19, which turns on the drive 3 of the frame 2. The frame with the conveyors 4 and 5 installed on it rises above the van1 of the 1st. Then the drive mechanism 14 and the conveyors are moved by one ujar. At the same time, the part, located at the unloading position, falls out of the slot, since the holders (dispersed to the side in the turning section of the conveyor chains. Since the centers of the turning radii of the axis 7 and the finger 13 are shifted by the distance between the axis and the finger, the holders are consumed while remaining parallel to themselves at the discharge site, which provides the most favorable conditions for unloading the plates. The subsequent frame with conveyors is lowered and the plates are immersed in the liquid in the bath. The cycle is then repeated. Formula 1. A device for transporting articles, mainly in the liquid treatment of semiconductor wafers, comprising a horizontal closed chain conveyor with plate holders associated with the wedge mechanism, characterized in that, in order to increase the ease of operation and improve the quality of the machining of the products, it is equipped with a conveyor located with a main frame with a frame hinged to the frame and an additional driving mechanism for turning the frame, both of which are conveyor They are placed on the frame and provided with curvilinear copiers placed on the sections of the rotation of the conveyor chain and guides for the holders, and the holders are placed on the conveyors in pairs with each pair of holders forming sockets for placing the plates on the mating conveyor branches, each ball 1 It is attached to the chain of a conveyor and equipped with a cylindrical finger for interacting with the cam. 2. The device according to claim 1, of which it is, that the copiers, located at the plate unloading site, are made with a radius of curvature equal to the turning radius of the kosheyer chain; moreover, the center of the curvature of these copiers is offset against the course of the conveyor by the amount of distance between the center of the axis of the hinged fastening of the holder and his finger. Information sources taken into account in the examination 1. USSR author's certificate No. 419047, 1СЛ. C 23 G 3/00, 08/30/74.
2.Авторское свидетельство СССР № 176154, кл. С 23 G 3/00, 1965 (прототип).2. USSR author's certificate number 176154, cl. C 23 G 3/00, 1965 (prototype).