SU741041A1 - Интерферометр типа майкельсона дл измерени криволинейных поверхностей - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к области контрольно-измерительной техники, а именно к интерференционным измерени м криволинейных поверхностей, и может быть использовано, например, дл  измерени  радиусов кривизны, дл  контрол  формы поверхности, дл  измерени  длины образующей поверхности и т.д. Известно интерференционное устрой ство дл  измерени  радиусов выпуклых неполных цилиндрических и сферических поверхностей, содержащее прозрач ную установочную призму с определенным двугранным углом, контактирующую с измер емой поверхностью в двух точ ках 1 . Известное устройство не обеспечивает высокой точности измерени . Наиболее близким по технической сущности к изобретению  вл етс  интерферометр .типа Майкельсона дл  измерени  криволинейных поверхностей, измерительна  ветвь которого включает элемент, предназначенный .цл  наложени  на измер емую поверхность и .выполненный в виде специальных маленьких зеркал, наклеиваемых на измер емую поверхность в нескольких контрольных точках 2. Недостатком известного интерферометра  вл етс  то, что он позвол ет произвести лишь дискретные измерени , поскольку они провод тс  лишь в нескольких контрольных точках, что снижает точность измерени . Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерени . Указанна  цель достигаетс  тем, что элемент, предказначенный дл  наложени  на измер емую поверхность, выполнен в виде гибкого световода с аттестованной длиной, На фиг. 1 изображена оптическа  схема интерферометра типа Майкельсона дл  измерени  криволинейных поверхностей; на фиг. 2 - то же, в процессе контрол . Интерферометр содержит (фиг. 1) осветительную систему 1, светоделительный кубик 2 с зеркальной гранью 3, образующей референтное зеркало, измерительную ветвь, включающую элемент , предназначенный дл  наложени  на измер емую поверхность (фиг. 2) и выполненный в виде гибкого световода 4 с отражательным торцом 5, оптическую систему (окул р 6), предназначенную дл  образовани  в плоскости изображени  интерференционной картины .

Работает описываемый интерферометр следующим образом.

Гибкий световод 4 накладываетс  на измер емую поверхность 7 (фиг. 2) Крепление световода 4 к поверхности 7 детали может осуществл тьс  различными известными способами, например наклеиванием, прижатием механическими прижимами и т.п. При наложении на измер емую поверхность 7 детали световод 4 изгибаетс  соответственно прфилю поверхности 7 детали. Следствием изгиба  вл етс  изменение ойтической длины световода (как это видно на фиг. 2) и, соответственно, изменение (смещение) интерференционной картины, наблюдаемой через оптическую систему 6, по сравнению с интерференционной картиной,наблюдаемой при пр молинейном световоде (фиг. 1) По изменению интерференционной картины , соответствующей изменению оптической длины световода, и по известной геометрической длине его вычисл ют требуемый размер, например радиус кривизны детали.

Выполнение в описываемом интерферометре элемента, вход щего в измерительную ветвь и предназначенного дл  наложени  на измер емую поверхность , в виде гибкого световода позвол ет осуществить непрерывное измерение в отличие от дискретных.измерений осуществл емых в отдельных контрольных точках, что позвол ет nf высить точность измерени .

Claims (2)

1. Формула изобретени 

   Интерферометр типа Майкельсона дл  измерени  криволинейных поверхностей , измерительна  ветвь которог включает элемент, предназначенный дл  наложени  на измер емую поверхность , отличающийс   тем что, с целью повышени  точности измерени , элемент, предназначенный дл  наложени  на измер емую поверхность , выполнен в виде гибкого световода с аттестованной длиной. Источники информации,прин тые во внимание при экспертизе

   1,Авторское свидетельство СССР № 408141, кл. G 01 В 11/24, 1971.
2. 2.Патент США № 4022532, кл. 356-109, 1977 (прототип).