SU705699A2 - Установка дл электроннолучевого нагрева материалов - Google Patents
Установка дл электроннолучевого нагрева материаловInfo
- Publication number
- SU705699A2 SU705699A2 SU762355080A SU2355080A SU705699A2 SU 705699 A2 SU705699 A2 SU 705699A2 SU 762355080 A SU762355080 A SU 762355080A SU 2355080 A SU2355080 A SU 2355080A SU 705699 A2 SU705699 A2 SU 705699A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- coils
- electron beam
- materials
- heating
- installation
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/315—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for welding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
(54) УСТАНОВКА ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОГО НАГРЕВА МАТЕРИАЛОВ
Claims (1)
- Изобретение относитс к устройствам дл электроннолучевого нагрева материалов в вакууме . По основному авт. св. N 370899, известна установка дл электроннолучевого нагрева материалов , содержаща электроннолучевую пушку и электромагнитную систему управлени лучом, включающа магнитопровод пр моугольной формы, на длинных сторонах которого установлены катушки отклонени , а на других - катушки коррекции и фокусировки, причем кажда пара катушек.соединена электрически последовательно. Однако при работе на относительно малых углах отклонени (15 и менее) эффективность преобразовани и фокуснровки луча сводитс к минимуму. Целью изобретени вл етс расширение тех нологических возможностей установки и расширение пределов преобразовани формы электрон ного луча. Дл этого на каждой из катушек установлено по одной дополнительной катушке, которые соединены между собой электрически по следовательно, образу квадрупольную линзу. На фиг. 1 схематически изображено предложенное устройство; на фиг. 2 - показана схема электромагнитной системы. Устройство дл электроннолучевого нагре:Ва матерналов включает электростатическую щелевую Пушку Пирса, состо щую из линейного термокатода 1, прикатодного фокусирующего электрода 2 и ускор ющего анода 3. Лучевод 4 соедин ет ускор ющий анод 3 с основанием 5, в пазах которого расположена электромагнитна система управлени , выполненна в виде замкнутого пр моугольного магнитопрово- да 6, на стер5|да х которого расположены катушки отклонени 7, 8 и катушки развертки и фокусировки/ 9, 10. Последние снабжены дополнительными катушками 11-14. При электрическом последовательном соединении этих катушек н подключении их к источнику питани 15 с плавнорегулируемой величиной и пол рностью напр жени , создаютс поперечные по отношению к траектории электронного луча магнитные пол , образующие квадрупольную магнитную линзу. При определенной пол рное37 ти питающего напр жени электрический ток катушек 1-1, 12 создает поперечные магнитные пол , оказывающие собирающее воздействие на плоский слаборасход щийс луч 16, а электрический ток катушек 13, 14 оказьгеает рассеивающее действие (на фиг. 2 указанные пол изображены сплошными лини ми). При изменении пол рности питающего напр жени магни ные пол катушек П, 12 оказывают рассеивающее воздействие, а магнитные пол катушек 13, 14 - собирающее. Эффект воздействи квадрупольной магнит ной линзы на электронный луч сохран етс в достаточйо широком диапазоне углов отклонени луча, т.е. от 0 до максимального угла дан Это значиной конструкции устройства «45 тельно расшир ет технологические возможности применени установки. Получение достаточно длинного и узкого фокального п тна при малых углах отклонени позвол ет успешно примен ть устройства дл подогрева движущихс ленточных материалов без сканировани электронного луча, что значительно упрощает систему управлени лучом. Одновременно отпадает необходимость в использовании щунтирующих сопротивлений, выполн ющих функцию подфокусировки и преобразовани формы злктронного луча. Формула изобретени Установка дл электроннолучевого нагреза материалов по авт. св. N 370899, отличающа с тем, что, с целью расширени ее технологических возможностей путем улучшени фокусиррвки и расширени пределов преобразовани формы электронного луча, на каждой из катушек установлено по одной дополнительной катушке, которые соединены между собой электрически последовательно, образу квадрупольную линзу.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU762355080A SU705699A2 (ru) | 1976-05-03 | 1976-05-03 | Установка дл электроннолучевого нагрева материалов |
US05/792,981 US4105890A (en) | 1976-05-03 | 1977-05-02 | Device for electron-beam heating of materials |
DE2719725A DE2719725C2 (de) | 1976-05-03 | 1977-05-03 | Einrichtung zur Elektronenstrahlerwärmung von Materialien |
FR7713412A FR2350686A1 (fr) | 1976-05-03 | 1977-05-03 | Dispositif de chauffage de materiaux par bombardement electronique |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU762355080A SU705699A2 (ru) | 1976-05-03 | 1976-05-03 | Установка дл электроннолучевого нагрева материалов |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU370899A Addition SU78139A1 (ru) | 1947-05-21 | 1947-05-21 | Плавающий электрический кабель |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU705699A2 true SU705699A2 (ru) | 1979-12-25 |
Family
ID=20659554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU762355080A SU705699A2 (ru) | 1976-05-03 | 1976-05-03 | Установка дл электроннолучевого нагрева материалов |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4105890A (ru) |
DE (1) | DE2719725C2 (ru) |
FR (1) | FR2350686A1 (ru) |
SU (1) | SU705699A2 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7772571B2 (en) | 2007-10-08 | 2010-08-10 | Advanced Ion Beam Technology, Inc. | Implant beam utilization in an ion implanter |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3339131A1 (de) * | 1983-10-28 | 1985-05-09 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Elektronenstrahlverdampfer mit mindestens zwei magnetischen ablenksystemen |
DE3532888A1 (de) * | 1985-09-14 | 1987-04-02 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Anordnung zur regelung der ablenkung eines elektronenstrahls |
DE3916787C2 (de) * | 1989-05-23 | 1994-01-20 | Balzers Hochvakuum | Verfahren und Anordnung zur Steuerung der Bündelung eines Strahls monopolar geladener Partikel und Anwendung |
DE4309870A1 (de) * | 1993-03-26 | 1994-09-29 | Audi Ag | Verfahren zum Umschmelzen von Oberflächenbereichen von Werkstücken |
DE19634456A1 (de) | 1996-08-26 | 1998-03-05 | Rainer Dr Spehr | Elektronenoptische Linsenanordnung mit spaltförmigem Öffnungsquerschnitt |
US6196889B1 (en) | 1998-12-11 | 2001-03-06 | United Technologies Corporation | Method and apparatus for use an electron gun employing a thermionic source of electrons |
US6455990B1 (en) | 1998-12-11 | 2002-09-24 | United Technologies Corporation | Apparatus for an electron gun employing a thermionic electron source |
UA43927C2 (uk) * | 2000-12-26 | 2002-01-15 | Міжнародний Центр Електронно-Променевих Технологій Інституту Електрозварювання Ім. Е.О. Патона Нан України | Електронна гармата з лінійним термокатодом для електронно-променевого нагрівання |
MXPA03005782A (es) * | 2000-12-28 | 2003-09-10 | Ciba Sc Holding Ag | TINTES DE DISAZO Y SUS COMPLEJOS DE COBRE, PARA TEnIR PAPEL. |
DE102008036713A1 (de) * | 2008-08-07 | 2010-02-11 | Technische Universität Carolo-Wilhelmina Zu Braunschweig | Verfahren zum Trennen zweier über zumindest eine Klebschicht miteinander verklebter Objekte |
US10290463B2 (en) * | 2017-04-27 | 2019-05-14 | Imatrex, Inc. | Compact deflecting magnet |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3373310A (en) * | 1964-07-17 | 1968-03-12 | E H Res Lab Inc | Cathode ray tube selective deflection amplifier using a quadrupole lens of critical length |
US3555347A (en) * | 1967-07-10 | 1971-01-12 | Gen Electric | Self aligning electron beam welder |
SU370899A1 (ru) * | 1971-10-26 | 1979-04-05 | Институт Электросварки Им. Е.О. Патона Ан Украинской Сср | Установка дл электроннолучевого нагрева материалов |
US3900736A (en) * | 1974-01-28 | 1975-08-19 | Ibm | Method and apparatus for positioning a beam of charged particles |
-
1976
- 1976-05-03 SU SU762355080A patent/SU705699A2/ru active
-
1977
- 1977-05-02 US US05/792,981 patent/US4105890A/en not_active Expired - Lifetime
- 1977-05-03 FR FR7713412A patent/FR2350686A1/fr active Granted
- 1977-05-03 DE DE2719725A patent/DE2719725C2/de not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7772571B2 (en) | 2007-10-08 | 2010-08-10 | Advanced Ion Beam Technology, Inc. | Implant beam utilization in an ion implanter |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2350686B1 (ru) | 1980-02-08 |
FR2350686A1 (fr) | 1977-12-02 |
US4105890A (en) | 1978-08-08 |
DE2719725A1 (de) | 1977-11-17 |
DE2719725C2 (de) | 1984-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU705699A2 (ru) | Установка дл электроннолучевого нагрева материалов | |
US6438207B1 (en) | X-ray tube having improved focal spot control | |
US3916202A (en) | Lens-grid system for electron tubes | |
US3962583A (en) | X-ray tube focusing means | |
US4689809A (en) | X-ray tube having an adjustable focal spot | |
GB704586A (en) | Improvements in or relating to devices for sectional radioscopy | |
ES8703679A1 (es) | Un dispositivo semiconductor | |
US5254911A (en) | Parallel filament electron gun | |
SU370899A1 (ru) | Установка дл электроннолучевого нагрева материалов | |
JPS6138575B2 (ru) | ||
CN109148245A (zh) | 电子束装置以及具备该电子束装置的x射线产生装置和扫描电子显微镜 | |
US2376707A (en) | Space discharge device | |
US3514664A (en) | Electron guns | |
US4260893A (en) | Device for directing electrically charged particles towards a target | |
JPH0415982B2 (ru) | ||
GB701010A (en) | Compositions having lubricating properties | |
JPH02278632A (ja) | 電子ビームと発生器と該発生器を用いた電子装置 | |
US3073987A (en) | Electron discharge device with getter | |
SU57448A2 (ru) | Электронный коммутатор | |
US3975613A (en) | Electron beam-generating system | |
Pi | Magnesium ion source for high intensity mass spectrograph | |
JPH0567445A (ja) | 広範囲加速電圧イオン源用加速装置 | |
JP2526303B2 (ja) | リニアフィラメント型電子銃 | |
JP2002150989A (ja) | 電子ビーム露光装置及び電子レンズ | |
JPH0535540B2 (ru) |