SU703149A1 - Устройство дл обработки деталей в жидкости - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к технологичеокому оборудованию, и оно может быть иопопьзовано в любой отрасли народного хоз; йства , где требуетс  жидкостна  обработка деталей, а также предназначено дл  использовани  в полупроводниковой промышленности при отделении технологичес кого выступа от пластины после резки слитка. Известны устройства, предназначенные дл  обработки деталей в жидкой среде, в которых над емкостью с рабочим агентом расположено приспособление дл  погружени  закрепленных на нем деталей в pa6oii чую емкость и передачи их на другую технологическую операцию. Приспособление это выполнено в виде пространственного конвейера с подвесками дл  изделий. Кон вейер подает детали в емкость с рабочей средой. Где они (детали) наход тс  в статическом положении, через заданное врем  вывод тс  из емкости и подаютс  на следующую технологическую операцию, например , в другую емкость, на сушку и Недостатком указанных устройств  вл етс  низка  скорость обработки деталей иэ-за статической установки еХшости с жидкостью и отсутстви  активных механических воздействий рабочей среды па обрабатываемые детали, в то врем , как при осушествлении целого р да технологических операций, например, операции отделени  технологического выступа (графитового и др.) от полупроводниковой пластины. Осуществл емой после операции резки на пластины дл  ускорени  разм гчени  кле щего веШества, с помощью которого графитовый слой прикреплен к пластине, необходимы равномерные механические воздействи  рабочей среды на поверхность обрабатываемой детали. Ближайшим по технической сущности к данному изобретению  вл етс  устройство дл  обработки деталей в жидкости, содержащее рабочую емкость с жидкостью, рооположенное над рабочей емкостью приспособление в виде конвейера дл  установки деталей и привод вертикального перемоще-, ни  рабочей емкости 2 , . 3 Недостаток последнего устройства зак лючаетс  в том, что оно не обеспечивает обработки деталей с высокой скоростью, так как детали в рабочей емкости наход  с  в статическом положении, вследствие чего не может быть достигнута интенсификаци  технологического процесса, отво чающа  требовани м современного производства , в частности полупроводникового. Кроме того, при использовании известного устройства в автоматической поточной линии, например, дл  изготовлени  полупроводниковых пластин (резка слитко на пластины, очистка их, сушка и т. д.) конвейер должен иметь дополнительные средства дл  автоматической загрузки на конвейер деталей, поступающих непосредственно со станка резки, в п1:ютивном же случае детали могут быть загружены только вручную; передача деталей на следующую операцию в ориентированном положении с помощью конвейера затруднена и требует дополнительных приспособлений Использование конвейерных механизмов в полупроводнш овом производстве не отвечает требованй. м технической эстетики и культуры производства. Целью изобретени  вл етс  интенсификаци  процесса обработки деталей. Это достигаетс  тем, что приспособление дл  установки деталей выполнено в виде кассеты , смонтированной на оси и снабженно приводом поворота и качани . Привод поворота и качани  приспособлени  дл  установки деталей соединен с приводом вертикального перемещени  рабочей емкости посредством системы управлени . На чертеже представлена схема устройства дл  обработки деталей в жидкости с изображением двух рабочих позиций. Устройство дл  обработки деталей в жидкости имеет станину 1, в нижней части которой смонтированы вертикальные направл ющие 2 и привод вертикального перемещени  рабочей емкости 3 в виде пневмоцилиндра 4, шток которого шарнирно соединен с рабочей емкостью 3,установленной , в свою очередь, с помощью подщипников скольжени  с возможностью вертикального перемещени  по направл ющим 2. В верхней части стайины 1 смонтирован пневмоцилиндр 5, привода поворота и качани  кассеты 6 приспособлени  дл  установки деталей, имеюшей форму Удлиненного пр моугольного параллелепипеда и смонтированной на оси 7 с во можностью поворота на заданный угол, например 105 . Взаимодействие пневмо4 цилиидра 5 с кассетой 6 осуществл етс  j посредством рычага 8, один конец кото,, рого щарнирно закреплен на оси 7, а другой также щарнирно св зан со што ком 9 пневмоцилиндра 5. Пневмоцилиндры 4 и 5 св заны между собой через электронный блок системы управлени  1 О. Рабоча  емкость 3 снабжена лотком 11 дл  отекани  рабочей жидкости с кассеты G при подъеме ее вместе с детал ми ( деталью). Устройство работает следующим образом . Кассета 6 с помощью привода (пневмоцилиндра 5) устанавливаетс  в вертикалЕ ное положеттие. После этого рабоча  емкость 3 с помощью пневмоцнлиндра 4 по направл5(юишм 2 перемещаетс  в верхнее крайнее положение. Затем по стггналу, поступающему с блока системы управлени  10, кассета б отклон етс  от вертикального положени  нп заданный угол (ориентиру(т- с  в определенном наггравлеиии), обеспечива  тем самым возмо/киоссь авюматичес- кой загрузки пластигг непосредственно с операции резки слитка на пластины (со станка резки). После того, как пластина (деталь) оказалась загруженной в кассету 6, подаетс  сигнал с блока системы управлени  10 и кассета О посредством I пневмоцилиндра 5, рьгчага 8, взаимодействующего со щтоком 9, вместе с пластиной начинает совершать качательные движени  на оси 7. При этом жидкость, кото|эа  находитс  в рабочей емкости 3, например , щелочной раствор, подогретый . до 80 С, механически активно вЬздействует на обе поверхности обрабатываемой пластийы, св эугбщеё вещество, наход щеес  между технологическим выступом (графитом) и пластиной, постепенно разм гчаетс  и упом нутый выступ отдел етс  от пластины, остава сь на дне рабочей емкости 3, По сигналу с блока системы управлени  10 срабатываетпнеВмоци линдр 4, и рабоча  емкость 3 по направл ющим 2 опускаетс  в нижнее положение (крайнее). Пластина, нахОд Ша с  в кассете 6, выводитс  из рабочей емкости 3 путем поворота кассеты б в горизонтальное положение. Затем в зависимости от характера очередной технологической операции кассета б занимает определенное ориентированное положение, и пластина, скольз  по поверхности кассеты 6, наклоненной на некоторый угол, поступает на следующую операцию, например, отмывку. После выгрузки пластины кассета б затгин мает вертикальное положение, рабоча  емJKocTh . 3 поднимаетс  вверх и цикл работы устройс1-ва повтор етс .

Выполнение приспособлени  дл  установки деталей в виде кассеты, смонтированной на оси и снабженной приводом поворота и качани  Fia заданный угол, позвол ет повысить интенсивность процесса обработки деталей и уменьшить технологическое врем  на обработку за счет то1Ч), что детали в рабочей емкости подвергаютс  непрерывным механическим воздействи м среды.

Другим преимуществом датпюго изобретени   вл етс  повышение эксплуатационных качеств за счет исключени  н&обходимости использовани  механизма конвейерного типа дл  загрузки деталей в рабочую емкость и передачи их на еле- дуюиую операцию, а следовательно, исключени  необходимости использовани  при загрузке и разгрузке конвейерного механизма дополнительных приспособлений , необходимых дл  автоматизации технологических процессов.

I о р м у л а м о о б р о i е и и   |

Claims (2)

1, Устройство лл  обработки деталей в жидкости, содорлс.-пнее рабочую емкость с жидкостью, расположенное над рабочей емкостью приспособлеиио дл  устаноики деталей и привод вортш алы1Ого пером нюпи  рабочей емкости, о т л и ч а е ш о е с   тем, что, с цёпьЮ ш тепсификации пр цесса обрабо1т{И деталей, при способной но дл  установки деталей выполнено в вндо кассеты, смонтированной на оси и CHafiженной нрино71ом поворота и качани ,

2, Устройство по п, 1, о т л и ч а е ш е е с   тем, что привод поворота и качани  приспособлени  дл  установки деталей соединен с приводом вертикального перемещени  рабочей емкости посредством системы управлени .

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1,Патент QUA NJ 3968013, кл, 202-170, опубл{п. О6.О7.77.

2.Авторское свидетельство СССР № 135373, кл. В 05С 3/09, 19GO

(прототип).