(54) СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ ИЗДЕЛИЙ НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ(54) METHOD FOR TESTING PRODUCTS FOR TIGHTNESS
Изобретение .относитс к области машиностроени .. Известен способ испытани вакуумных систем на герметичность, . заключающийс в том, что испытываемую систему подсоедин ют к течеискатёлю, ваку5 мируют ее внутреннюю полость и прерывисто обдувают предполагаемые места неплотностей пробным, га.зом, попадение которого, в систему фиксируетс регистрирующим прибором. Применение в качест.ве пробного газа природных газов (например, гели , аргона и дpJ , содержание которых в атмосфере достаточно велико, ограничивает возможность повышени чувствительности величиной, определ емой количественным содержанием данного газа в атмосфере и существующими индикаторами . Известен газовый течеискатель, в котором в качестве контрольного газа используетс синтетический газ шестифториста сера SF, Работа с течеискателем может проводитьс в режиме щупа и в режиме, когда испытуемое изделие помещают в камеру с газообразным азотом. Изделие заполн ют контрольным газом SFg, утечки . которого регистрируютс с помощью течеискател , ссэёдйненнЪго с камерой. Применение, таза SF вместо природного газа позвол ет повысить чувствительнос .ть испытаний, но не настолько, чтобы проводигы испытани на молекул рном уровне. . Наиболее близким по технической сущности к изобретений вл етс способ испытани изделий на герметичность , заключающийс в том, что изделие заполн ют контрольным газом под давлением, помещают его в испытательную камеру и обнаруживают утечку, определ ее как разность соотношений компонентов контрольного газа внутри издели и в камере. , Недостатком известного способа также вл етс недостаточна чувст1вительность , св занна с йевозможностью проведени испытаний на герметичность на молекул рном уровне, Цель изобретени - повьааение чувствительности испытаний. . Цель достигаетс тем, что смесь газов из испытательной камеры подают в ;сепаратор, в котором выдел ют молекулы контрольного газа, с помоиью ускорител ускор ют эти молекулы иThe invention relates to the field of mechanical engineering. A method of testing vacuum systems for leak tightness is known,. The test system is connected to the leak detector, evacuates its internal cavity, and intermittently blasts the leaky places with a test, gas, the entry of which into the system is recorded by a recording device. The use of natural gas as a test gas (e.g., gels, argon, and ji), whose content in the atmosphere is sufficiently high, limits the possibility of sensitivity increase to a value determined by the quantitative content of a given gas in the atmosphere and existing indicators. A gas leak detector is known in which The hexafluoride sulfur sulfur SF is used as the reference gas. The leak detector can be operated in the probe mode and in the mode when the test product is placed in the chamber with gas Nitrogen gas. The product is filled with SFg test gas, the leakage of which is recorded using a leak detector that is sealed with a chamber. Using an SF pelvis instead of natural gas allows for an increase in the sensitivity of the tests, but not so much as to conduct tests at the molecular level. The closest in technical essence to the inventions is a method for testing products for tightness, which consists in filling the product with a test gas under pressure, placing it in a test chamber and detecting a leak, defined it as the difference in the ratio of the components of the control gas inside the product and in the chamber. The disadvantage of this method is also the lack of sensitivity associated with its ability to conduct leak tests at the molecular level. The purpose of the invention is to increase the sensitivity of the tests. . The goal is achieved by supplying a mixture of gases from the test chamber to a separator, in which the molecules of the control gas are released, with the help of an accelerator these molecules are accelerated and
направл ют их в камеру с перегретой жидкостью, а о веушчине утечки суд т по количеству траекторий движени молекул , в перегретой жидкости.they are directed to a chamber with superheated liquid, and the leakage velocity is judged by the number of trajectories of the molecules in the superheated liquid.
На чертеже дана схема устройства, реализующего предложенный способ.The drawing is a diagram of the device that implements the proposed method.
Испытуемое изделие 1 заполн ют под 1авлением контрольным газом,, напримзр шестифтористой серой SF, из источника давлени 2, Помещают изделие 1 в испытательную камеру 3, в которой с помощью вакуумных насосов 4 создают разрежение, контролируемое манометром 5. С помощью вентилей б отключают насосы по достижении требуемого разрежени . Молекулы контрольного газа через .микротечи проникают в испытйтельную камеру 3, смешива сь с остаточным газом. Эту газовую смесь подают в сёпара;тор 7, где .л гот молекулы контрольного газа, которому J3 ускорителе 8 сообщаетс дополнительна энерги . Ускоренные молекулы контрольного газа направл ют в каме-, ру 9 с жидко.стью, поддерживаемой в еосто нии перегрева, Кажда молекула контрольной среды, попавша в .камеру с жидкостью, становитс инициатором местного вскипани , в результате чего образуетс пузырек. Наблюдают траекторию движени молекул в виде серии пузырьков, и по количеств.у траекторий суд т о степени герметичности , . The test article 1 is filled under a test gas with a test gas, for example, sulfur hexafluoride SF, from a pressure source 2. The product 1 is placed in a test chamber 3, in which a vacuum is controlled by means of a vacuum pressure gauge 5 using valves b achieving the required dilution. The control gas molecules penetrate through the test chamber into the test chamber 3, mixing with the residual gas. This gaseous mixture is fed to the separator; torus 7, where the liter of the control gas molecules, to which J3 accelerator 8 is supplied with additional energy. Accelerated molecules of the control gas are directed to chamber 9 with a liquid maintained in an overheating state. Each molecule of the control medium that enters the chamber with liquid becomes an initiator of local boiling up, resulting in a bubble. The trajectory of the molecules is observed in the form of a series of bubbles, and the number of trajectories is judged on the degree of tightness,.