соwith
iNd Изобретение относитс к испьггательной технике и может быть исполь зовано при испытани х на герметичность газонаполненных изделий с при менением масс-спектрометрических течеискателей. Известен способ испытаний изделий на герметичность, заключающийс в том. что вокруг испытуемого издели создают замкнутую оболочку, заполн ют изделие пробным газом, накапливают вытекающий пробный газ в объеме оболочки при атмосферном давлении, измер ют его концентрацию с помощью течеискател в начале и конце накоплени , а о герметичности суд т по изменению концентрации про ного газа за врем накоплени Л . Недостаток этого способа - низка , чувствительность, обусловленна относительно большой концентрацией пробного газа в атмосфере. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту вл етс способ испыта НИИ изделий на герметичность, заключающийс в том, что изделие размещают в вакуумной камере, откачива ее, измер ю.т фоновую концентрацию пробйого газа в камере, заполн ют изделие пробным газом, а о герметичности суд т по изменению концент рации пробного газа в камере по сравнению с фоновой 2J . Недостатком известного способа вл етс низка достоверность, обусловленна тем, что после заполнени издели пробным газом невозможно определить его фоновое значение и сравнение провод т с фоновым сигналом до заполнени издели , тем самым снижа достоверность в оп ределении величины негерметичности, так как фоновьй сигнал в откачиваемой системе со временем измен етс . Цель изобретени - повышение дос т.оверности испытаний. Указанна цель достигаетс тем, что согласно способу испытаний изделий на .герметичность, заключающемус в том, что изделие размещают в вакуумной камере, откачивают ее, измер ют фоновую концентрацию пробного газа в камере, заполн ют изделие пробным газом, а о герметичности суд т по изменению концентрации пробного газа в камере по сравнению с фоновой, одновременно с фоновой измер ют концентрацию газа. отличного от пробного, а о фоновой концентрации пробного газа в камере после заполнени издели суд т по концентрации газа, отличного от пробного, с учетом соотношени меж-. ду измеренными концентраци ми во времени. Способ осуществл етс следующим образом. Изделие размещают в вакуумной камере, откачивают камеру до рабочего давлени , присоедин ют к камере течеискатель, настроенный на пробный газ - гелий и дополнительный течеискатель, настроенный на газ, отличный от пробного, например аргон, и одновременно обоими течеискател ми измер ют изменение во времени фоновой концентрации пробного газа - гели oi ц. (t) и аргона , (t) . Определ ют соотношение между ними в виде функции св зи Ысв t) представленной приближенно зависимостью ) а 4 + + I . Коэффи1щенты а представленной зависимости вычисл ют по экспериментальным точкам методом Гаусса с помощью.ЭВМ. Провод т калибровку испытаний с помощью калиброванной гелиевой течи, в результате которой определ ют цену делени выходного прибора течеискател .к потоку гели ц Q Q о6го6св1) где Q - величина калиброванной течи . м Па/cj оС, - сигнал первого течеискател при регистрации течи, мВ-, 1Лд - сигнал дополнительного течеискател во врем регистрации течи, мВ. Далее заполн ют изделие гелиевовоздушной смесью определенной концентрации Jf до заданного давлени и вьщерживают в течение необходимого времени, после чего регистрируют сигналы течеискателей odj и оС... (t). Негерметичность издели Q(j определ ют по формуле (tS,(t).-i. () Использование изобретени позво ет повысить достоверность резуль3 татов испытаний засчет воз можности определени фонового содержани пробногогаза не11321604 посредственно во врем калиб ровки и измерени потока пробного газа от издели- .iNd The invention relates to an executing technique and can be used in leak tightness tests of gas-filled products using mass spectrometric leak detectors. A method of testing products for leak tightness is known. that a test shell is created around the product being tested, the product is filled with test gas, the outgoing test gas accumulates in the shell volume at atmospheric pressure, its concentration is measured using a leak detector at the beginning and end of accumulation, and the tightness is judged by accumulation time l. The disadvantage of this method is low, the sensitivity due to the relatively high concentration of test gas in the atmosphere. The closest to the invention in terms of technical essence and effect achieved is the method of testing the research institute for leakproofness of products, which means that the product is placed in a vacuum chamber, pumping it out, measuring the background concentration of the test gas in the chamber, filling the product with test gas, The integrity is judged by the change in the concentration of the test gas in the chamber compared to the background 2J. The disadvantage of this method is low reliability due to the fact that after filling the product with test gas, it is impossible to determine its background value and the comparison is made with a background signal before filling the product, thereby reducing the accuracy in determining the leakage value, as the background signal in the pumped out system changes over time. The purpose of the invention is to increase the availability of testing. This goal is achieved by the fact that, according to the method of testing products for tightness, which consists in placing the product in a vacuum chamber, pumping it out, measuring the background concentration of the test gas in the chamber, filling the product with test gas, and verifying the leaktightness The concentration of the sample gas in the chamber compared to the background gas, while simultaneously measuring the gas concentration. after filling the product, the concentration of the test gas in the chamber after filling the product is judged from the concentration of the gas other than the test gas, taking into account the ratio of inter-. by measured concentrations over time. The method is carried out as follows. The product is placed in a vacuum chamber, the chamber is pumped out to the operating pressure, a leak detector tuned to a test gas — helium and an additional leak detector tuned to a gas other than the test gas, such as argon — is attached to the chamber, and the two time leak detectors measure simultaneously the concentration of the sample gas - gels oi c. (t) and argon, (t). The relation between them is determined as a function of the link Vbc t) by the approximate dependence presented) a 4 + + I. The coefficients of the presented dependence are calculated by experimental points using the Gauss method with the aid of a computer. The tests are calibrated using a calibrated helium leak, which determines the cost of dividing the output leak detector device to the helium flow stream Q Q6 6 C 6) where Q is the value of the calibrated leak. m Pa / cj оС, is the signal of the first leak detector at the registration of the leak, mV-, 1Ld is the signal of the additional leak detector at the time of registration of the leak, mV. Next, the product is filled with a helium-air mixture of a certain concentration of Jf to a predetermined pressure and held for the required time, after which the signals of the leak detectors odj and oC ... (t) are recorded. The leakage of the product Q (j is determined by the formula (tS, (t) .- i. () The use of the invention improves the reliability of the test results by determining the background content of the sample gas directly during calibration and measurement of the sample gas flow from the product -.