Изобретение относитс к устройствам ДЛЯ нанесени покрытий посредством центробежной сипы и может быть, в част ности, использовано дл нанесени светочувствительного спо (фоторезиста) на пластины и фотошаблоны при химической фотогравировке. Известно устройство ДЛЯ нанесени светочувствительного спо на пластины при химической фотогравировке, содержащее сборник фоторезиста, установленную внутри него вращающуюс оправку с вакуумной ПОЛОСТЬЮ и каналом дл подвода вакуума, вакуумное уплотнение и электро двигатель l. , Недостатком его вл етс больша СЛОЖНОСТЬ конструкции и изготовлени ,, а также низка эксплуатационна надежность . Известно также устройство дл нанесени фоторезиста н пластины, содержащее вертикально установленный барабан со СТОЛИКОМ и расположенные по периферии барабана держатели дл закреплени пластин в горизонтальной плоскости 2, Данное устройство вл етс наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату. Недостатком его вл етс то, что оно не обеспеч1шает надежной фиксации обрабатываемых пластин, вследствие чего при раскрутке барабана пластина удар етс о держатели. При нанесении фоторезиста на пластины из хрупких материалов, например германи ИЛИ кремни , это ведет к образованию СКОЛОВ по кра м пластин и мккротрацин в теле пластины, и суп1ественно снижает процент выхода годных на последующих операци х изготовлени микросхем. Целью изобретени 5юл етс исключение повреждени пластин. Указанна цель достигаетс тем, что держател установлены с возможностью поворота на закрепленных в барабане ос х и снабжены грузами, расположенными на их нерабочих концах. Кроме того, с целью регулировани зажимного усили , грузы установлены с возможностью перемещени вдоль нера бочихчгонцов держателей. Устройство дл нанесени фоторезиста на пластины изображено на чертеже. Устройство содержит вертикально установленный барабан 1 со стошжом 2 и расположенные по периферии барабана 1 держатели 3 дл закреплени пластин 4 в горизонтальной плоскости. Держатели 3 установлены с возможностью поворота на закрепленных в барабане 1 ро х 5 и снабжены грузами 6, расположенными на их нерабочих концах. Грузы 6 усУайЪтвлёны с возможностью перемещени вдоль нерабочих концов держателей 3 и фиксируютс на них при помощи гаек 7. Устройство дл нанесени фоторезиста на пластины работает следующим обрадом Пластину 4 укладьгоают на подн тый в крайнее верхнее положение столик 2, после чего столик 2 под действием привода возвратно-поступательного переЫещени (на ертеже не показан) опускаетс в крайнее нижнее положение и пластина 4 ложитс на барабан 1. При этом межДУ ,ДДвстиной 4 и.столиком 2 образуетс зазор. После этого на центр пластины 4 нанос т дозу фоторезиста и соо&цают барабану 1 вращательное движение с большой скоростью. Под действием центробежных сил грузы 6 бТ1х: й т от оси вращени барабана 1. При этом держатег ли 3 пбвбраЧйвйютс вокруг осей S и своими рабочими концами надежно зажимак )т пластину 4. После того как под действием центробежных сил фоторезист растечетс по пластине 4, барабан 1 останавливают. При этом держатели 3 под действием грузов 6 принимйк)т первоначальное вертикальное положение и ос вобождают пластину 4. Под действием привода .столик 2 поди пластина 4 с нанесенным нймаете , слоем фоторезиста выгружаетс . Цикл повтор етс . Зажимное усилие держателей 3 регулируетс путем перемещени грузов 6 вдоль нерабочих концов держателей 3. Фиксаци грузов в требуемом положенииОсуществл етс гайками 7. Данна конструкци устройства дл нанесени фоторезиста на пластины исключает побреждение краев пластины и образование микротрещин в теле пластины за счет обеспечени надежной фиксации пластин. Это способствует увеличению процента выхода годных на последующих операци х изготовлени микросхем. Кроме того, конструкци устройства по;звол ет осуществл ть фиксацию пластин , а также сн тие фиксиругоЩих усилий при остановке барабана автоматически за счет использовани центробежных сил. Испытани макета предлагаемого устройства дл нанесени фоторезиста на пластины показали, что оно полностью исключает повреждение обрабатьиваемых пластин, ь то врем как при нанесении фоторезиста на известных устройствах до 3% пластин повреждаютс . Формула 11з6бретени 1.Устройство дл нанесени фоторезиста на пластиньт, содержащее вертикально установленный барабан со столиком и расположеннью по периферии барабана держатели дл закреплени пластин в горизонтальной плоскости, о т л и ч аю ад е е с tsM, что, с целью исключени повреткденй пластин, держатели установлены с возможностьюnoBopqiTa на закрепленных в барабане ос х и снабжены грузами, расположенными на их нерабочих концах. 2.Устройство по п. 1, о т л и ч аю щ е е с т&л, что, с целью регулировани зажимного , грузы устанрвленыг с возможностью перемйцени вдоль нерабочих концов держателей. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 358019, кл. В 04 В 5/ОО, 197О. 2.Авторское свидетельствр СССР № 360110, кл. В 04 В 5/00, 1970.