SU638636A1 - Способ пассивации поверхности нержавеющей стали - Google Patents

Claims (2)

1. зоватепем 6, а спектр остаточных газов масс-спектрометром 7. Устройство работает следующим образом . Детали 5 подогреваютс  нагревателем 2 до . Температура нагрева контропируетс  термопарой 3. Ионы инертного (гепи ) получаютс  в ионном источнике 4 и инжектируютс  в вакуумиую камеру 1, где об учают деталь 5 с энергией 5 кэВ и концентравней 1О см. Энерги  внедр емых ионовдолжна быть в пределах 5-10 кэВ дл  попзгчени  достаточной глубины проиикновани  внедр емых в йоверсность ИОВОВ. Концентраци  внедренного газа должна быть не менее и не более Ю см , так как заметна  пассиваци  пове{Ш1ости наблюд етс  при концентраций Ю см концентрации более 10 см- возможно возникновение пузырей. Температура обрабатываемого металла должна составл ть от температуры его плавлени  дл  обеспечени  п следующей диффузии внедренного газа в глубь металла, с тем, «ггобы получить д статочно толстый пассивирукмшй слой. Предложенный способ пассивации нержавеюшей стали снижает адсорбционную емкость поверхности, что позвол ет умейьшить длительность прогрева цельнометаллических вакуумных систем, необходимого дл  получени  сверхвысокого вакуума. Формула изобретени  Способ пассивации поверхности нержавекэшЫ стали путем обработки ее поверхности ионами инертного газа в вакууме, отличающийс  тем, «гго, с целью сш{же1ш  адсорбции поверхности мегеашв и улучшешЕЯ качества ее обработки в качестве инертного газа еспопьэуJQT гелй1 с анергией ионов кэВ и концентрацией 10 10 см при температуре обрабатываемой поверхности металла 30-4О% от темперетуры его плавлени . Источники информации, прин тые во внимание при экспертисзе: 1. Патент США. №3832219, кл. 117-93.3. 1974.
2. 2. Патент ФРГ № И28О1, кл. С 23 С 15/ОО, 1971.